KR101278463B1 - 시트 절단용 테이블 - Google Patents

Abstract

반도체 웨이퍼(W)에 접착 시트(S)를 첩부한 후, 반도체 웨이퍼(W)의 외주로부터 비어져 나온 불필요 접착 시트 영역을 불필요 접착 시트(S1)로서 절단 장치(15)로 절단하기 위한 시트 절단용의 테이블(13)에 있어서, 당해 테이블(13)은, 반도체 웨이퍼(W)를 지지하는 안쪽 테이블(52)과, 반도체 웨이퍼(W)의 바깥쪽으로 비어져 나온 불필요 접착 시트(S1)에 상대하는 바깥쪽 테이블(51)을 갖춘다. 이 바깥쪽 테이블(51)의 윗면은 비접착 처리면(51A)과, 접착 시트(S)를 접착시키는 링부재(53) 또는 판재(63)로 이루어진 접착 부재를 갖추고 있다.

반도체 웨이퍼, 접착 시트, 불필요 접착 시트, 절단 장치, 테이블, 비접착 처리면, 링부재, 접착 부재, 시트 첩부 장치

Description

시트 절단용 테이블{TABLE FOR CUTTING SHEET}

본 발명은 시트 절단용 테이블에 관한 것으로서, 더욱 자세하게는, 판형상 부재에 접착된 접착 시트를 당해 판형상 부재의 외주를 따라 절단할 때에, 접착 시트에 주름을 발생시키는 일 없이 절단을 할 수 있는 시트 절단용 테이블에 관한 것이다.

종래부터, 반도체 웨이퍼(이하, 단지,「웨이퍼」라 한다) 등의 판형상 부재에는, 그 회로면을 보호하기 위한 보호 시트를 첩부하거나, 이면 또는 표면에 감열 접착성의 접착 시트를 첩부하는 것이 행해지고 있다.

이와 같은 시트의 첩부 방법으로서는, 띠모양의 박리 시트에 띠모양의 접착 시트가 가접착된 원재료시트를 이용하여, 박리 시트로부터 접착 시트를 박리하여 웨이퍼에 첩부한 후에, 웨이퍼 외주를 따라 절단을 하는 것에 의해 웨이퍼 상에 접착 시트를 첩부하는 방법이 알려져 있다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조).

특허 문헌 1: 일본 특허공개2002-176011호 공보

[발명이 해결하고자 하는 과제]

그러나, 특허 문헌 1에 개시된 절단 장치에 있어서는, 웨이퍼 둘레에 생기는 불필요 접착 시트를 테이블로부터 박리하지 않으면 안 된다. 그래서, 박리의 인장력에 의하여 가늘어진 불필요 접착 시트 부분이 테이블에 강하게 접착하여 끊어져버리는 것 같은 일이 없도록, 테이블의 윗면에 특수한 가공, 예를 들면, 불소 수지 가공으로 대표되는 표면 처리를 시행하여 비접착 처리면으로 하는 것이 통상으로 되어 있다.

그러나, 이와 같은 비접착 처리면이 웨이퍼 둘레의 테이블의 윗면 전역에 시행되어 있으면, 커터날에 의한 절단시에, 접착 시트가 끌려가서 이동되는 것 같은 것에 의해 주름이 발생하고, 웨이퍼(W)측에까지 주름이 혼입되어, 웨이퍼 외주를 따라 접착 시트를 깨끗하게 절단할 수 없게 되는 문제점을 초래한다. 이와 같은 문제점은 커터날의 마모가 진행됨에 따라 더욱 현저하게 나타난다.

[발명의 목적]

본 발명은, 이와 같은 문제점에 착안하여 안출된 것으로서, 그 목적은, 절단을 행할 때에, 접착 시트에 주름이 발생하는 것을 방지하고 당해 접착 시트를 정밀도 높게 절단할 수 있는 시트 절단용 테이블을 제공하는 것에 있다.

[과제를 해결하기 위한 수단]

상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명은, 판형상 부재의 평면적보다도 큰 평면적을 가진 접착 시트를 상기 판형상 부재에 첩부한 후, 당해 판형상 부재의 외주로부터 비어져 나온 영역을 불필요 접착 시트로서 절단 장치에 의하여 절단하기 위한 시트 절단용 테이블에 있어서,

상기 판형상 부재의 재치면이 되는 안쪽 테이블과, 이 안쪽 테이블의 바깥쪽에 위치하고 상기 불필요 접착 시트 영역에 상대하는 바깥쪽 테이블을 포함하고,

상기 바깥쪽 테이블의 윗면은 비접착 처리면으로서 구성되어 있고, 그 일부 영역에 상기 불필요 접착 시트 영역이 접착가능한 접착 부재가 설치되어 있는 것과 같은 구성을 채용하고 있다.

본 발명에 있어서, 상기 접착 부재는 상기 시트 절단용 테이블에 착탈가능하고, 상기 접착 시트의 접착력에 따라 그 접착 면적을 증감가능하게 설치할 수 있다.

또한, 상기 접착 부재는 하나 또는 복수로 구성되어 상기 시트 절단용 테이블에 착탈가능하고, 상기 접착 시트의 접착력에 따라 그 수량을 증감가능하게 설치할 수 있다.

또한, 상기 접착 부재는 상기 판형상 부재의 외주를 둘러싸는 폐루프 모양으로 설치될 수 있다.

또한, 상기 접착 부재는 상기 판형상 부재의 외주측에서 단속적으로 설치되는 것과 같은 구성을 채용하여도 좋다.

또한, 상기 접착 부재는 열전도 또는 히터에 의하여 가온(加溫) 가능한 것과 같은 구성을 채용할 수 있다.

[발명의 효과]

본 발명에 의하면, 바깥쪽 테이블의 윗면을 비접착 처리면으로서 구성하고, 그 일부 영역에 접착 시트가 접착가능한 접착 부재를 설치하고 있기 때문에, 불필요 접착 시트 영역은 부분적으로 접착 부재에 접착하게 된다. 따라서, 커터날에 의하여 접착 시트에 인장력이 작용해도, 웨이퍼 둘레의 불필요 접착 시트 영역은 이동하는 일이 없어지고, 접착 시트에 생길 수 있는 주름의 발생을 회피하여 정밀도 높게 절단을 행할 수 있다.

특히, 접착 부재가 판형상 부재의 외주를 둘러싸는 폐루프 형상으로 설치되어 있으면, 접착 시트에 주름을 발생시킬 여지를 완전히 없애는 것이 가능하고, 절단 정밀도를 더욱 높일 수 있다.

또한, 상기 접착 부재가 판형상 부재의 외주측에서 단속적으로 설치되어 있는 경우에도, 접착면의 위치, 배분을 고려하는 것에 의해, 접착 시트에 주름을 발생시키는 것이 방지될 수 있다.

도 1은 본 실시 형태에 관한 시트 첩부 장치의 개략 정면도이다.

도 2는 상기 시트 첩부 장치의 개략 사시도이다.

도 3은 시트 절단용 테이블의 개략 평면도이다.

도 4는 도 3의 A-A 선을 따라 도시한 확대 단면도이다.

도 5는 시트 절단용 테이블의 변형예를 나타내는 개략 평면도이다.

도 6은 시트 절단용 테이블의 다른 변형예를 나타내는 개략 평면도이다.

도 7은 시트 절단용 테이블의 또 다른 변형예를 나타내는 개략 평면도이다.

[부호의 설명]

13 테이블

51 바깥쪽 테이블

51A 비접착 처리면

53 링부재(접착 부재)

73 판재(접착 부재)

52 안쪽 테이블

W 웨이퍼(판형상 부재)

S 접착 시트

S1 불필요 접착 시트

[발명을 실시하기 위한 최선의 형태]

이하, 본 발명의 실시의 형태에 관하여 도면을 참조하면서 설명한다.

도 1에는, 본 발명에 관한 시트 절단용 테이블이 적용된 시트 첩부 장치의 개략 정면도가 도시되어 있고, 도 2에는, 그 개략 사시도가 도시되어 있다. 이러한 도면에 있어서, 시트 첩부 장치(10)는, 베이스(11)의 상부에 배치된 시트 공급 유닛(12)과, 판형상 부재로서의 웨이퍼(W)를 지지하는 테이블(13)과, 웨이퍼(W)의 윗면측에 공급된 감압 접착성의 접착 시트(S)에 가압력을 부여하여 당해 접착 시트(S)를 웨이퍼(W)에 첩부하는 가압 롤러(14)와, 웨이퍼(W)에 접착 시트(S)를 첩부한 후에 당해 웨이퍼(W)의 외주를 따라 접착 시트(S)를 절단하는 절단 장치(15)와, 웨이퍼(W)의 바깥쪽으로 비어져 나온 영역을 불필요 접착 시트(S1)(도 3, 도 4 참조)로서 테이블(13)의 윗면으로부터 박리하는 박리 장치(18)와, 불필요 접착 시트(S1)를 감는 권취 장치(19)를 구비하여 구성되어 있다.

상기 시트 공급 유닛(12)은, 띠모양의 박리 시트(PS)의 한쪽 면에 띠모양의 접착 시트(S)가 가접착(임시접착)된 롤형상의 원재료시트(L)를 지지하는 지지 롤러(20)와, 이 지지 롤러(20)로부터 공급된 원재료시트(L)를 급격하게 반전하여 접착 시트(S)를 박리 시트(PS)로부터 박리하는 필 플레이트(peel plate)(22)와, 박리 시트(PS)를 권취하여 회수하는 회수 롤러(23)와, 지지 롤러(20)와 회수 롤러(23)의 사이에 배치된 복수의 가이드 롤러(25∼31)와, 가이드 롤러(25)와 가이드 롤러(26) 사이에 배치된 버퍼 롤러(33)와, 가이드 롤러(27)와 가이드 롤러(28) 사이에 배치되어 있으면서, 로드 셀(39) 및 당해 로드 셀(39)에 지지되어 상기 필 플레이트(22)의 기부(基部)측에 위치하는 장력 측정 롤러(40)를 포함하는 장력 측정 수단(35)과, 필 플레이트(22), 가이드 롤러(27, 28, 29) 및 장력 측정 수단(35)을 일체적으로 지지하고 상기 가압 롤러(14)와 서로 작용하여 웨이퍼(W)에 대한 접착 시트(S)의 첩부 각도(θ)를 일정하게 유지하는 첩부 각도 유지 수단(37)을 구비하여 구성되어 있다. 상기 가이드 롤러(27, 29)에는, 브레이크 슈(32, 42)가 병설되어 있고, 이들 브레이크 슈(32, 42)는, 접착 시트(S)를 웨이퍼(W)에 첩부할 때에, 실린더(38, 48)에 의하여 대응하는 가이드 롤러(27, 29)에 대하여 진퇴하는 것에 의해 접착 시트(S)를 끼워넣어서 접착 시트(S)의 공급을 억제하도록 되어 있다.

또한, 상기 시트 공급 유닛(12) 및 당해 유닛을 구성하는 상기 장력 측정 수 단(35) 및 첩부 각도 유지 수단(37)은, 본 출원인에 의하여 출원된 일본 특허출원2005-198806호에 개시된 것과 동일하고, 여기에서는, 이에 대한 상세한 설명을 생략한다.

상기 테이블(13)은, 도 3 및 도 4에 도시되어 있는 바와 같이, 웨이퍼(W)를 흡착 지지하여 당해 웨이퍼(W)의 재치면을 이루는 평면도로 보았을 때 대략 원형의 안쪽 테이블(52)과, 이 안쪽 테이블(52)의 외주 가장자리의 사이에 간극(C)을 형성하도록 설치된 평면도로 보았을 때 대략 사각형의 바깥쪽 테이블(51)로 구성되어 있다. 바깥쪽 테이블(51)은 안쪽 테이블(52)을 수용할 수 있는 오목부를 가지고 있으면서, 도시하지 않는 단축(單軸) 로봇을 통하여 베이스(11)에 대하여 승강가능하게 설치되어 있다. 이 한쪽, 안쪽 테이블(52)은 단축 로봇(56)을 통하여 바깥쪽 테이블(51)에 대하여 승강가능하게 설치되어 있다. 따라서, 바깥쪽 테이블(51)과 안쪽 테이블(52)은, 일체적으로 승강가능하면서, 서로 독립하여 승강가능하게 되고, 이것에 의해, 접착 시트(S)의 두께, 웨이퍼(W)의 두께에 따라 소정의 높이 위치로 조정할 수 있게 되어 있다.

상기 바깥쪽 테이블(51)은, 그 상면에 불소 수지 가공이 시행되어 접착 시트(S)의 접착면측이 접착하는 일이 없는 비접착 처리면(51A)으로서 구성되고, 그 내주 영역에, 비접착 처리를 시행하지 않은 접착 부재를 구성하는 스테인리스재로 된 링 부재(53)가 배치되고, 도시하지 않은 고정구에 의하여 고정되어 있다. 본 실시 형태에서는 접착 부재를 스테인리스재로 구성했지만, 이것에 한정되는 일 없이 철재, 알루미늄재 등에 의하여 구성하여도 좋다. 이 링 부재(53)는 웨이퍼(W) 및 바깥쪽 테이블(51) 위에 접착 시트(S)가 위치하고 가압 롤러(14)로 접착 시트(S)에 첩부 압력이 부여된 때에, 웨이퍼(W)의 윗면과 함께 접착 시트(S)가 접착하게 되어 있다. 또한, 링 부재(53)는, 그 내부에 니크롬선 등에 의한 히터를 내장함으로써, 접착 시트(S)의 링 부재(53)로의 접착력을 컨트롤할 수 있는 점에서, 접착 시트(S)가 감열 접착성인 접착 시트로, 비감열 접착성인 경우의 대응도 가능하게 된다. 또한, 히터는 링 부재(53) 내부가 아니라, 바깥쪽 테이블(51)의 내부에 설치하고 링 부재(53)를 간접적으로 가온하도록 구성하여도 좋다. 게다가, 도 3, 도 4 중에 이점쇄선으로 도시한 바와 같이, 링 부재(53)는 복수 장착 가능하게 하고, 접착 시트(S)의 접착력에 따라 그 수량이 증감가능하게 설치되어 있다.

상기 가압 롤러(14)는, 문형(門型) 프레임(57)을 통하여 지지되어 있다. 문형 프레임(57)의 윗면측에는, 실린더(59, 59)가 설치되어 있고, 이들 실린더(59)의 작동에 의하여 가압 롤러(14)가 상하로 승강가능하게 설치되어 있다. 또한, 문형 프레임(57)은, 도 2에 도시된 바와 같이, 단축 로봇(60) 및 가이드 레일(61)을 통하여 동 도면 중에서 X 방향으로 이동가능하게 설치되어 있다.

상기 절단 장치(15)는 다관절 로봇에 의해 구성되어 있다. 이 절단 장치(15)는, 로봇 본체(62)와, 당해 로봇 본체(62)의 자유단측에 지지된 커터날(63)을 구비하여 구성되어 있다. 로봇 본체(62)는, 베이스부(64)와, 당해 베이스부(64)의 윗면측에 배치되어 소정 방향으로 회전가능하게 설치된 제 1 암(65A) 내지 제 6 암(65F)과, 제 6 암(65F)의 선단측 즉 로봇 본체(52)의 자유단측에 장착된 공구 유지 척(chuck)(69)을 포함한다. 공구 유지 척(69)는, 대략 원통 형상을 한 커터날 수용체(70)와, 당해 커터날 수용체(70)의 둘레 방향 약 120도 간격을 사이에 둔 위치에 배치되고 날(63B)을 가지고 있는 커터날(63)을 착탈가능하게 유지하는 ３ 개의 척 클로(chuck claw)(71)를 구비하여 구성되어 있다. 본 실시 형태에 있어서 절단 장치(15)는, 구체적으로는, 본 출원인에 의하여 이미 출원된 일본 특허출원2005-229226호에 개시된 것과 동일하고, 따라서, 그 상세한 설명을 생략한다.

상기 박리 장치(18)는, 도 1에 도시된 바와 같이, 소직경 롤러(80)와, 대직경 롤러(81)에 의해 구성되어 있다. 이들 소직경 롤러(80) 및 대직경 롤러(81)는, 이동 프레임(F)에 지지되어 있다. 이 이동 프레임(F)은, 도 2 중의 Y 방향을 따라 상대배치된 전방부 프레임(F1)과, 이 전방부 프레임(F1)에 연결부재(83)를 통하여 연결된 후방부 프레임(F2)으로 이루어지고, 후방부 프레임(F2)은, 단축 로봇(85)에 지지되어 있는 한편, 전방부 프레임(F1)은, 상기 가이드 레일(61)에 지지되고, 이것에 의해, 이동 프레임(F)는, 도 2 중의 X 방향으로 이동가능하게 되어 있다. 대직경 롤러(81)는, 암 부재(84)에 지지되어 있으면서, 당해 암 부재(84)는 실린더(88)에 의하여 대직경 롤러(81)가 소직경 롤러(80)에 대하여 이간, 접근하는 방향으로 변위가능하게 되어 있다.

상기 권취 장치(19)는, 이동 프레임(F)에 지지된 구동 롤러(90)와, 회전 암(91)의 자유단측에 지지되고, 스프링(92)을 통하여 구동 롤러(9O)의 외주면에 접하고 불필요 접착 시트(S1)를 닙(nip)하는 권취 롤러(93)에 의해 구성되어 있다. 구동 롤러(90)의 축단부에는, 구동 모터(M)가 배치되어 있고, 당해 모터(M)의 구동 에 의하여, 구동 롤러(90)가 회전하고, 권취 롤러(93)가 이것에 추종회전함으로써 불필요 접착 시트(S1)가 감기게 되어 있다. 또한, 권취 롤러(93)는, 권취량이 증대함에 따라, 스프링(92)의 힘에 대항하여 도 1 중의 오른쪽 방향으로 회전하게 된다.

다음에, 본 실시 형태에 있어서 접착 시트(S)의 절단 방법에 관하여 설명한다. 또한, 접착 시트(S)의 첩부 방법은, 실질적으로, 일본 특허출원2005-198806호와 동일하다. 이 경우, 웨이퍼(W) 둘레의 불필요 접착 시트(S1)는, 상기 링 부재(53)의 윗면에 대응하는 영역만이 비교적 공고하게 접착하고, 그 밖의 영역은, 바깥쪽 테이블(51)의 윗면 즉 비접착 처리면(51A)에 미세접착 혹은 접착하지 않은 상태로 유지된다.

절단 장치(15)는, 도시하지 않은 제어 장치의 기억부에 격납된 이동 궤적 데이터를 읽어내고, 날(63B)이 안쪽 테이블(52) 위에 있는 웨이퍼(W)의 외주를 따라 접착 시트(S)를 절단한다. 이 때, 링 부재(53)가 불필요 접착 시트(S1)에 부분적으로 접착하고 있기 때문에, 웨이퍼(W)의 외주 가장자리와 링 부재(53)의 사이의 접착 시트 영역은 인장된 상태로 되고, 이것에 의해, 날(63B)이 이동할 때에 그 인장력으로 접착 시트(S)가 날(63B)에 끌려서 이동하는 일이 없어지고, 웨이퍼(W) 측에 주름을 발생시키는 것 같은 일은 없다.

웨이퍼(W)의 외연을 따라서 접착 시트(S)의 절단이 완료된 후, 도시하지 않은 이재장치(移載裝置)를 통하여 웨이퍼(W)가 안쪽 테이블(52)로부터 제거되면, 권취 장치(19)에 의하여 불필요 접착 시트(S1)가 권취된다. 이 권취에 즈음해서, 불 필요 접착 시트(S1)는 부분적으로 링 부재(53)에 접착하고 있을 뿐이므로, 소직경 롤러(8O)에 의하여 감아 올리는 것에 의하여 간단하게 박리를 할 수 있고, 불필요 접착 시트(S1)의 끊김이나 늘어남 등의 권취에 있어서의 문제점은 발생하지 않는다. 또한, 이 권취는, 일본 특허출원2005-198806호에 개시된 작용과 동일하므로, 여기에서는 상세한 설명을 생략한다.

따라서, 이와 같은 실시 형태에 의하면, 웨이퍼(W)의 외주를 따라 접착 시트(S)를 절단할 때에, 웨이퍼(W) 둘레의 불필요 접착 시트(S1)의 일부가 폐루프의 궤적을 따라 링 부재(53)의 윗면에 접착하기 때문에, 날(63B)이 웨이퍼(W)의 외주를 따라 절단을 하고 있는 때에, 절단 위치보다 바깥쪽의 불필요 접착 시트(S1) 영역이 끌려가서 이동하는 것 같은 일이 없어지고, 이에 따라 접착 시트(S)나 웨이퍼(W)측에 주름 등을 발생시키는 일 없이 절단을 정밀도 좋게 행할 수 있은 효과를 얻는다.

이상과 같이, 본 발명을 실시하기 위한 최선의 구성, 방법 등은, 상기 기재로 개시되어 있지만, 본 발명은, 이것에 한정되는 것이 아니다.

즉, 본 발명은 주로 특정의 실시 형태에 관하여 특히 도시, 설명되어 있지만, 본 발명의 기술적 사상 및 목적의 범위로부터 일탈하는 일 없이, 이상 설명한 실시 형태에 대하여, 형상, 위치 또는 설치 등에 관하여, 필요에 따라 당업자가 다양한 변경을 가할 수 있다.

예를 들면, 상기 실시 형태에서는, 링 부재(53)를 복수 장착 가능하게 하고, 접착 시트(S)의 접착력에 따라 그 수량을 증감시키는 구성을 나타냈지만, 이에 대신하여, 링 부재(53)의 접착 영역의 크기가 다른 것을 수 종류 준비해 두고, 그 접착력에 따라 교환하도록 하여도 좋다. 또한, 상기 실시 형태에서는, 접착면이 웨이퍼(W)의 외주를 따라 놓여있는 링 부재(53)에 의하여 구성된 경우를 도시 설명했지만, 도 5 내지 도 7에 도시된 구성을 채용하는 것도 가능하다. 즉, 도 5에 도시된 예는, 바깥쪽 테이블(51)의 외형에 대응하여 대략 사각형의 궤적을 따라 놓여있는 프레임으로 이루어진 접착 부재로서의 판재(73)를 복수 배치한 것이다. 도 6에 도시된 예는, 바깥쪽 테이블(51)의 사방에 접착 부재로서의 판재(73)를 배치한 것이다. 더욱이, 도 7에 도시된 예는, 안쪽 테이블(52)의 외주를 따라 단속적으로 원반형상의 접착 부재로서의 판재(73)를 배치한 것이다. 여기에서, 도 7 중에서, 부호 51B는, 바닥이 있는 구멍을 나타내고, 이 구멍(51B)에 원반형상의 판재(73)가 착탈가능하게 배치된다. 또한, 상기 판재(73)를 배치하지 않고, 바깥쪽 테이블(51)의 윗면 처리에 즈음하여, 접착 부재에 상당하는 영역에 비접착 처리를 시행하지 않는 것에 의하여 접착면을 형성하고 접착 부재로 대체하는 것도 가능하다.

또한, 상기 실시 형태에서는, 판형상 부재로서 웨이퍼(W)를 대상으로 했지만, 본 발명에 있어서 판형상 부재는 반도체 웨이퍼(W)로 한정되는 것이 아니라, 글라스, 강철판, 또는, 수지판 등, 그 밖의 판형상 부재도 대상으로 할 수 있고, 반도체 웨이퍼는, 실리콘 웨이퍼나 화합물 웨이퍼라도 좋다. 또 판형상 부재는, 원형의 것에 한하지 않고, 다각형이라도 좋다.

Claims (6)

1. 판형상 부재의 외주로부터 비어져 나오는 크기를 가진 접착 시트를 상기 판형상 부재에 첩부한 후, 당해 판형상 부재의 외주로부터 비어져 나온 영역을 불필요 접착 시트로서 절단 장치의 날에 의하여 절단함으로써 상기 접착 시트의 접착면측 전체면을 상기 판형상 부재의 일방의 면에 첩부하기 위한 시트 절단용 테이블에 있어서,

   상기 판형상 부재의 재치면이 되는 안쪽 테이블과, 이 안쪽 테이블의 외측에 위치하여 상기 불필요 접착 시트 영역에 마주 대하는 바깥쪽 테이블을 포함하고,

   상기 바깥쪽 테이블의 상면은 비접착 처리면으로서 구성되어 있음과 아울러, 그 일부 영역에 상기 불필요 접착 시트 영역이 접착 가능하고, 상기 날의 이동에 끌려서 상기 접착 시트가 이동하는 것을 억제하도록 접착 부재가 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 시트 절단용 테이블.
2. 판형상 부재에 접착 시트를 첩부하는 시트 첩부 장치에 있어서,

   상기 판형상 부재를 지지하는 테이블과, 상기 판형상 부재의 외주로부터 비어져 나오는 크기를 가진 접착 시트를 상기 판형상 부재의 상면측에 풀어서 공급하는 시트 공급 유닛과, 상기 접착 시트에 가압력을 부여하여 당해 접착 시트를 판형상 부재에 첩부하는 가압 롤러와, 판형상 부재에 접착 시트를 첩부한 후에 당해 판형상 부재의 외주로부터 비어져 나오는 영역을 불필요 접착 시트로서 날에 의해 절단함으로써 상기 접착 시트의 접착면측 전체면을 상기 판형상 부재의 일방의 면에 첩부하는 절단 장치를 구비하고,

   상기 테이블은 상기 판형상 부재의 재치면이 되는 안쪽 테이블과, 이 안쪽 테이블의 외측에 위치하여 상기 불필요 접착 시트 영역에 마주 대하는 바깥쪽 테이블을 포함하고,

   상기 바깥쪽 테이블의 상면은, 비접착 처리면으로서 구성되어 있음과 아울러, 그 일부 영역에 상기 불필요 접착 시트 영역이 접착 가능하고, 상기 날의 이동에 끌려서 상기 접착 시트가 이동하는 것을 억제하도록 접착 부재가 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 시트 첩부 장치.
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