JPH07283295A

JPH07283295A - シート保持治具

Info

Publication number: JPH07283295A
Application number: JP10081794A
Authority: JP
Inventors: Toshishige Matsuhashi; 利成松端
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1994-04-13
Filing date: 1994-04-13
Publication date: 1995-10-27
Anticipated expiration: 2016-04-25
Also published as: JP3161221B2

Abstract

(57)【要約】【目的】搬送時にシートの撓みや弛みを防止でき、比較
的安価で、位置決め精度が高く、しかもウエーハの剥離
も簡単なシート保持治具を提供する。【構成】シート保持治具は、上面に複数のウエーハを貼
り付けたウエーハ固定用シートを保持するものであり、
硬質板にて平板状に形成されたベース板を備え、ベース
板の上面にシートの下面を粘着保持する粘着層を有す
る。シートに貼り付けられたウエーハと対応するベース
板の部位には、ウエーハとほぼ同等の大きさの複数の貫
通穴を有する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は上面にセラミックスウエ
ーハやシリコンウエーハ等のウエーハを貼り付けたシー
トを保持する治具に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、セラミックスウエーハやシリコン
ウエーハから多数のチップに分割する際、ウエーハをま
ずウエーハ固定用シートの上面に貼り付けるとともに、
このシートの周縁部上面にリング状のフレームを貼り付
けている。このシートをダイシング装置に運んでウエー
ハをチップに切断した後、剥離装置へ運び、切断された
チップをシートから取り出している。ウエーハ固定用シ
ートとしては、例えばＵＶシートと呼ばれる紫外線を照
射することにより粘着力が低下する粘着層が片面に設け
られたシートが使用される。ところが、上記の場合に
は、ダイシング装置にセットした時にシートが伸長でき
るように、フレームとウエーハとの間にはある程度の隙
間が設けられ、かつシートはフレームにより周縁部のみ
で支持されているに過ぎない。そのため、シートの搬送
時にウエーハの重量によってシートが下方へ撓み、シー
トに弛みが発生しやすいという欠点があった。また、ダ
イシング装置にシートをセットした時、シートが引き延
ばされるため、ウエーハのダイシング装置に対する位置
精度が悪いという欠点がある。

【０００３】そこで、シートを平板状のシート保持治具
上に貼り付け、このシート上にウエーハを貼り付けるよ
うにしたものもある。上記シートは、その上面に加熱に
より粘着力が低下する発泡剥離性の第１粘着層が設けら
れ、下面には加熱により粘着力が低下しない又は粘着力
の低下が第１粘着層より小さい第２粘着層が設けられた
両面粘着シートである。この場合には、シートの下面が
シート保持治具で支持されるので、シートに弛みが生じ
る心配がなく、シート保持治具をダイシング装置に位置
決めすれば、ウエーハも自動的に位置決めされるため、
位置精度が高くなる利点がある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記のよう
に特殊な粘着層を両面に設けたシートは高価であり、特
にシートは１回のダイシングが終了すれば廃棄される消
耗品であるので、コスト上昇を招く欠点がある。また、
シートからチップを剥離する際、第１粘着層を発泡させ
るためにシート保持治具全体を加熱しなればならず、剥
離に時間がかかるという問題もある。そこで、本発明の
目的は、搬送時にシートの撓みや弛みを防止でき、比較
的安価で、位置決め精度が高く、しかもウエーハの剥離
が簡単なシート保持治具を提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は、上面に複数のウエーハを貼り付けたウエ
ーハ固定用シートを保持する治具において、硬質板にて
平板状に形成されたベース板を備え、このベース板の上
面に上記シートの下面を粘着保持するとともに、上記シ
ートに貼り付けられたウエーハと対応するベース板の部
位に、ウエーハとほぼ同等の大きさの複数の貫通穴を有
することを特徴とするものである。

【０００６】

【作用】シートの下面をシート保持治具の上面に粘着保
持し、シート保持治具の貫通穴に対応するシートの上面
にウエーハを貼り付ける。なお、予め上面にウエーハを
貼り付けたシートをシート保持治具の上面に粘着保持し
てもよい。このシート保持治具をダイシング装置へ搬送
する際、シートは周辺部だけでなくウエーハの隙間の部
分もシート保持治具で支持されるので、シートの撓みを
防止できる。このシート保持治具をダイシング装置にセ
ットする時、シートを引き延ばす必要がなく、シート保
持治具をダイシング装置に位置決めすれば、ウエーハも
同時にダイシング装置に対して位置決めされる。ダイシ
ング装置に、シート保持治具の貫通穴と嵌合し、かつシ
ートの下面を吸着できる凸部を設ければ、ダイシング時
のシートの撓みや横ずれを確実に防止できる。ダイシン
グ後、シート保持治具をシートとともにダイシング装置
から取外し、剥離装置へ運ぶ。剥離装置では、シートと
チップとの粘着力を低下させた上でチップをシートから
取り出すのが望ましい。そのため、シートの上面に紫外
線を照射することにより粘着力が低下する粘着層や、加
熱することにより粘着力が低下する発泡剥離性の粘着層
を設けるのが望ましい。シートの粘着層が紫外線を照射
することにより粘着力が低下する粘着層である場合、紫
外線をシート保持治具の貫通穴を介してシートの下面に
照射すれば、チップを貼着している粘着部の粘着力を効
果的に低下させることができる。また、シートの粘着層
が発泡剥離性の粘着層である場合も、貫通穴を介してシ
ートを加熱すれば、チップを貼着している粘着部の粘着
力を効果的に低下させることができる。このようにし
て、シートからチップを傷付けずに容易に剥離できる。
チップを取り出した後、シートをシート保持治具から引
き剥がせば、シートを簡単に剥離できる。

【０００７】シート保持治具の上面にシートを安定して
粘着保持するため、ベース板の上面またはシートの下面
の双方または一方に粘着性シリコーンゴムやシリコーン
ゲル等の粘着層を設けるのが望ましい。この場合、シー
トはダイシング工程に１回使用すれば廃棄されるのに対
し、シート保持治具は繰り返し使用されるので、シート
保持治具の上面に粘着層を設ける方がコスト上望まし
い。シートの上面の粘着層が加熱により粘着力が低下す
る発泡剥離性粘着剤の場合、加熱温度は約１２０°Ｃ程
度であるため、ベース板の上面に設けられる粘着層は耐
熱性を有する材料が望ましい。また、シート保持治具の
素材も鉄，ステンレス（例えばＳＵＳ），ガラス，アル
ミニウムのような比較的耐熱性を有する材料を用いるの
が望ましい。

【０００８】

【実施例】図１，図２は本発明にかかるシート保持治具
をダイシング工程に用いた例を示す。ダイシングテーブ
ル１０はポーラス状の材料よりなり、上面には一定幅の
溝１１によって縦横に分離された複数の凸部１２が形成
されている。凸部１２の上面は平坦で後述するウエーハ
Ｗとほぼ同等な大きさに形成され、この上面に微小なシ
ート吸着穴１３が多数開口している。これら吸着穴１３
はダイシングテーブル１０の下側に配置された真空吸引
装置１４にチューブ１５を介して接続されている。ダイ
シングテーブル１０の周辺部の上面には、シート保持治
具２０を位置決めするための２本の位置決めピン１６，
１７が突設されている。なお、ダイシングテーブル１０
は、少なくとも凸部１２の上面に多数の吸着穴１３が開
口しておればよく、必ずしもポーラスな材料で形成する
必要はない。

【０００９】シート保持治具２０は矩形板状のベース板
２１を備えている。このベース板２１は、鉄，アルミニ
ウムなどの金属材料、セラミックス、ガラス、樹脂等よ
りなる硬質板であり、その上下面は平坦な平滑面となっ
ている。ベース板２１には、上記凸部１２が遊嵌合する
方形の貫通穴２２が複数個設けられている。貫通穴２２
の形状は、後述するウエーハＷよりやや大きめに形成さ
れている。また、ベース板２１の上面には、粘着性シリ
コーンゴムシート等からなる粘着層２３が固着されてお
り、この粘着層２３は少なくとも貫通穴２２を設けたベ
ース板２１の領域の上面を覆っている。粘着層２３を含
むシート保持治具２０の全体の厚みは、上記凸部１２の
突出高さと等しい。

【００１０】上記シート保持治具２０の上面にはウエー
ハ固定用シート３０が粘着保持されている。シート３０
は、図３に示すように、ＰＥＴフィルムなどの合成樹脂
フィルムよりなる基材フィルム３１の上面に粘着層３２
を形成したものであり、この粘着層３２上にセラミック
スまたはシリコンからなるウエーハＷが所定間隔を開け
て貼着されている。ウエーハＷの貼着位置は、シート保
持治具２０の貫通穴２２と対応している。粘着層３２
は、加熱により粘着力が低下する発泡剥離性の粘着剤よ
りなり、具体的にはアクリル系粘着剤、イソブタン系発
泡剤などを用いることができる。シート３０の非粘着面
である下面はシート保持治具２０の粘着層２３上に粘着
される。粘着層３２としては、発泡剥離性の粘着剤に代
えて、紫外線により粘着力が低下する粘着剤を用いても
よい。

【００１１】上記ダイシングテーブル１０の上面に載置
されたシート保持治具２０は、空圧または油圧シリン
ダ、リニアアクチュエータなどの駆動装置１８によって
位置決めピン１６，１７に押し付けられることにより、
Ｘ，Ｙ方向に正確に位置決めされる。即ち、ベース板２
１の一辺には位置決めピン１６と係合するＶノッチ２４
が形成されており、図２のように、Ｖノッチ２４と位置
決めピン１６とが２点で接触することによりＸ方向に位
置決めされ、Ｖノッチ２４とピン１６との２点の接触お
よびシート保持治具２０とピン１７との接触によりＹ方
向に位置決めされる。

【００１２】つぎに、上記シート保持治具２０を用いて
ウエーハＷをダイシングする動作を説明する。まず、シ
ート３０をシート保持治具２０の粘着層２３上に載置
し、粘着層２３によりシート３０を粘着保持した後、貫
通穴２２と対応するシート３０の上面にウエーハＷを貼
り付ける。次に、シート保持治具２０を適宜の搬送手段
によってダイシングテーブル１０まで搬送し、貫通穴２
２をダイシングテーブル１０の凸部１２に嵌合させる。
そして、シリンダ装置１８によってシート保持治具２０
を位置決めピン１６，１７に押しつけ、位置決めする。
これにより、シート３０に貼着されたウエーハＷもダイ
シングテーブル１０に対して正確に位置決めされる。

【００１３】次に、真空吸引装置１４を駆動し、シート
３０を凸部１２の上面に吸着する。このとき、シート３
０の貫通穴２２と対応する部分、即ちウエーハＷを貼着
した部分はダイシングテーブル１０の凸部１２の上面に
密着し、しかも凸部１２の高さは粘着層２３を含むシー
ト保持治具２０の全体の厚みと等しいので、シート３０
を吸着した時にシート３０に撓みが生じない。上記のよ
うにシート３０を吸着した状態で、図４のようにダイサ
ーブレード１９によってウエーハＷをダイシングする。
この時、ウエーハＷと共にシート３０の一部もブレード
１９で削られるが、凸部１２や粘着層２３を傷付けない
ように調整されている。

【００１４】ダイシング後、真空吸引装置１４を停止す
るとともに、シリンダ装置１８を開放し、シート保持治
具２０をダイシングテーブル１０から取り出す。図５は
ダイシングテーブル１０から取り出されたシート保持治
具２０を示す。ダイシングテーブル１０からシート３０
を取り出す際、シート３０はシート保持治具２０と同時
に取り出されるので、シート３０に撓みが発生しにく
い。そのため、シート３０に無理な力が作用せず、シー
ト３０が破れる心配がない。

【００１５】シート保持治具２０を剥離装置（図示せ
ず）へ搬送し、シート３０からチップＣを剥離する。剥
離方法としては、例えばシート保持治具２０の下側から
熱風を吹きつける方法、シート保持治具２０をオーブン
内に収容し、全体を加熱する方法、ホットプレートを用
いて加熱する方法等がある。この時、シート保持治具２
０のチップＣと対応する部位に貫通穴２２が形成されて
いるので、チップＣが貼着されたシート３０の部位を効
率良く加熱できる。加熱によりシート３０の粘着層３２
の粘着力が低下するので、吸引チャック装置等によって
個々のチップＣを吸着すれば、チップＣをシート３０か
ら簡単に取り出すことができ、しかもチップＣに過大な
力を与えない。なお、シート３０の粘着層３２が紫外線
により粘着力が低下する粘着層の場合には、シート保持
治具２０の貫通穴２２を介して下方から紫外線を照射す
れば、チップＣが貼着されたシート３０の部位の粘着力
のみを効率よく低下させることができる。チップＣを剥
離したシート３０はシート保持治具２０から引き剥がさ
れ、廃棄される。シート保持治具２０はダイシング工程
へ運ばれ、再利用される。

【００１６】上記実施例では、シート保持治具２０をダ
イシング工程〜剥離工程に用いた例を示したが、これに
限らず、ウエーハＷの電気的測定に用いることが可能で
ある。例えば、図６のように、シート３０に予め端子挿
通用の穴３０ａを開けておき、この穴３０ａを介して測
定用端子４０の先端をウエーハＷの下面側の電極に当接
させる。一方、ウエーハＷの上面側の電極には別の測定
用端子４１を当接させ、ウエーハＷの電気的特性を測定
することができる。なお、穴３０ａの位置や大きさ、個
数などは測定するウエーハによって変えればよい。

【００１７】なお、本発明は上記実施例に限るものでは
ない。本発明のシート保持治具は、シリコンウエーハ、
セラミックウエーハのほか、他のウエーハの保持にも用
いることができる。また、シート保持治具をダイシング
テーブルにＸＹ方向に位置決めするための方法として
は、実施例のようにシート保持治具２０の一辺に設けた
Ｖノッチ２４と２本のピン１６，１７との組み合わせに
限らない。例えば、シート保持治具の直角な２辺とダイ
シングテーブルの直角な２面との組み合わせや、シート
保持治具に設けた複数の貫通穴と、ダイシングテーブル
に設けた貫通穴に嵌合する複数のピンとの組み合わせで
もよい。また、実施例のようにウエーハＷやシート，シ
ート保持治具の外径形状は矩形状である必要はない。た
だ、矩形状のウエーハＷを取り扱う場合、シートを矩形
状とすれば、その有効面積が増加することになり、必要
とするシート面積を少なくできるという利点がある。

【００１８】

【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明に
よれば、シート保持治具の上面にシートがその周辺部だ
けでなく、ウエーハの隙間の部位でも粘着保持されるた
め、シートに弛みが殆ど発生せず、シート上に貼着され
たウエーハとシート保持治具との位置関係を高精度に保
つことができる。そのため、シート保持治具をダイシン
グ装置などにセットする際、位置決めが非常に簡単とな
る。また、シート保持治具のウエーハと対応する位置に
貫通穴が設けられているので、シートの裏面側からの作
業が可能となる。そのため、シート上に紫外線や熱によ
って粘着力が低下する粘着剤が塗布されている場合、ウ
エーハの部位の粘着力のみを効果的に低下させることが
でき、シートからのウエーハの剥離作業が簡単となる。
さらに、シートはシート保持治具から剥離する場合も、
シートとシート保持治具とは粘着保持されているに過ぎ
ないので、簡単に剥離できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明にかかるダイシング装置の一例の斜視図
である。

【図２】シート保持治具をダイシングテーブルにセット
した状態の平面図である。

【図３】シートの断面図である。

【図４】ダイシング動作を示す断面図である。

【図５】ダイシングテーブルから取り出されたシート保
持治具の断面図である。

【図６】本発明の他の実施例のシート保持治具およびシ
ートの断面図である。

【符号の説明】

１０ダイシングテーブル１２凸部１３シート吸着穴１４真空吸引装置２０シート保持治具２１ベース板２２貫通穴２３粘着層３０ウエーハ固定用シート３２粘着層Ｗウエーハ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】上面に複数のウエーハを貼り付けたウエー
ハ固定用シートを保持する治具において、硬質板にて平板状に形成されたベース板を備え、このベ
ース板の上面に上記シートの下面を粘着保持するととも
に、上記シートに貼り付けられたウエーハと対応するベ
ース板の部位に、ウエーハとほぼ同等の大きさの複数の
貫通穴を有することを特徴とするシート保持治具。
【請求項２】請求項１に記載のシート保持治具におい
て、ベース板の上面にはシートの下面を粘着保持する粘着層
が設けられていることを特徴とするシート保持治具。
【請求項３】請求項１または２に記載のシート保持治具
において、上記ウエーハを貼り付けるためシートの上面に設けられ
た粘着層は、紫外線照射によりまたは加熱により粘着力
が低下する粘着層であることを特徴とするシート保持治
具。