JP5112682B2 - シート貼付装置及び貼付方法 - Google Patents
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Description
プレスローラ2を基準とする場合は、予めスイッチSW1を押下することによって設定が行われる。この場合、第1のロードセル21によって検出されたプレスローラ2に加わる圧力と、所定圧力との比較は行わないように、その機能がキャンセルされる。そしてプレスローラ2が所定の位置、つまり、プレスローラ2の下部が前記貼付基準位置PよりダイシングテープDTの厚みと略同寸法上方位置に位置決め固定される。このような状態で、第2の単軸ロボット18は、ウエハWに加わる圧力と所定圧力との比較を行い、当該圧力比較による過不足を補うように内側テーブル4を上下動させ、且つ、第3の単軸ロボット19は、リングフレームFに加わる圧力と所定圧力との比較を行い、当該圧力比較による過不足を補うように外側テーブル5を上下動させつつ、ダイシングテープDTがリングフレームFとウエハWに貼付される。
内側テーブル4を基準とする場合は、予めSW2のスイッチを押下することによって設定が行われる。この場合、第2のロードセル22によって検出された内側テーブル4に加わる圧力と、所定圧力との比較は行わないように、その機能がキャンセルされる。そして内側テーブル4が所定の位置、つまり、図示しないセンサで検出されウエハWの上面が前記貼付基準位置Pと一致した位置に位置決め固定される。このような状態で、第1の単軸ロボット16は、プレスローラ2に加わる圧力と所定圧力との比較を行い、当該圧力比較による過不足を補うようにプレスローラ2を上下動させ、且つ、第3の単軸ロボット19は、リングフレームFに加わる圧力と所定圧力との比較を行い、当該圧力比較による過不足を補うように外側テーブル5を上下動させつつ、ダイシングテープDTがリングフレームFとウエハWに貼付される。
外側テーブル5を基準とする場合は、予めSW3のスイッチを押下することによって設定が行われる。この場合、第3のロードセル23によって検出された外側テーブル5に加わる圧力と、所定圧力との比較は行わないように、その機能がキャンセルされる。そして、外側テーブル5が所定の位置、つまり、図示しないセンサで検出されリングフレームFの上面が前記貼付基準位置Pと一致した位置に位置決め固定される。このような状態で、第1の単軸ロボット16は、プレスローラ2に加わる圧力と所定圧力との比較を行い、当該圧力比較による過不足を補うようにプレスローラ2を上下動させ、且つ、第2の単軸ロボット18は、ウエハWに加わる圧力と所定圧力との比較を行い、当該圧力比較による過不足を補うように内側テーブル4を上下動させつつ、ダイシングテープDTがリングフレームFとウエハWに貼付される。
F リングフレーム(フレーム)
W ウエハ(板状部材)
DT ダイシングテープ(シート)
P 貼付基準位置
1 シート繰出手段
2 プレスローラ(押圧手段)
4 内側テーブル
5 外側テーブル
16 第1の単軸ロボット(移動手段)
18 第2の単軸ロボット(移動手段)
19 第3の単軸ロボット(移動手段)
21 第1のロードセル(圧力検知手段)
22 第2のロードセル(圧力検知手段)
23 第3のロードセル(圧力検知手段)
32 プレスローラ制御手段(制御手段)
33 内側テーブル制御手段(制御手段)
34 外側テーブル制御手段(制御手段)
Claims (4)
- 板状部材の上面にシート繰出手段から繰り出されたシートを押圧手段で押圧して貼付するシート貼付装置において、
前記板状部材を支持する内側テーブルと、
前記内側テーブルを囲むように配置され、前記板状部材を保持するためのフレームを支持する外側テーブルと、
前記押圧手段、前記内側テーブル及び、前記外側テーブルそれぞれをシート貼付面に直交する方向へ移動させる移動手段と、
前記押圧手段、前記内側テーブル及び、前記外側テーブルの内のいずれか1つの部材を選択する選択手段と、
前記押圧手段、前記内側テーブル及び、前記外側テーブルの各移動手段を個別に制御する制御手段とを備え、
前記制御手段は、前記選択手段で選択された部材が前記押圧手段である場合は、前記シートの下面と板状部材の上面とが接する貼付基準位置を基準として前記シートの厚みに応じて該押圧手段を位置決め固定し、前記選択手段で選択された部材が前記内側テーブルである場合は、前記貼付基準位置を基準として前記板状部材の厚みに応じて該内側テーブルを位置決め固定し、前記選択手段で選択された部材が前記外側テーブルである場合は、前記貼付基準位置を基準として前記フレームの厚みに応じて該外側テーブルを位置決め固定し、前記各場合において、位置決め固定されなかった各部材を移動させる移動手段によって、前記板状部材の単位面積あたりの圧力が所定値となるようにして前記板状部材と前記フレームとに前記シートを貼付すること
を特徴とするシート貼付装置。 - 前記シート貼付装置は、前記押圧手段、前記内側テーブル及び、前記外側テーブルそれぞれに加わる圧力を検知する圧力検知手段を更に含み、
前記制御手段は、
前記選択手段で選択された前記押圧手段、前記内側テーブル又は、前記外側テーブルの内のいずれか1つの部材の圧力検知による移動手段の制御を行わないようにその機能を選択的にキャンセルするとともに、他の2つの部材のそれぞれの前記圧力検知手段で検知された圧力に基づき、前記板状部材の単位面積あたりの圧力が所定値となるように前記各移動手段を制御すること
を特徴とする請求項1に記載のシート貼付装置。 - 前記シート貼付装置は、前記シート繰出手段から繰出される前記シートの速度に同期して、前記内側テーブルと前記外側テーブルとを当該シートの繰出方向と略平行する方向に移動させながら前記押圧手段でシートを前記板状部材と前記フレームに貼付する、または、前記内側テーブルと前記外側テーブルとを移動させながら、その移動速度に同期して前記シート繰出手段から前記シートを繰出し、
前記押圧手段でシートを前記板状部材と前記フレームに貼付すること
を特徴とする請求項1または2に記載のシート貼付装置。 - 板状部材の上面にシート繰出手段から繰り出されたシートを押圧手段で押圧して貼付するシート貼付方法において、
前記板状部材を内側テーブルで支持し、
前記内側テーブルを囲む外側テーブルでフレームを支持し、
前記押圧手段、前記内側テーブル及び、前記外側テーブルをそれぞれの移動手段によりシート貼付面に直交する方向へ移動可能とし、
前記押圧手段、前記内側テーブル及び、前記外側テーブルの各移動手段を個別に制御可能とし、
前記押圧手段、前記内側テーブル及び、前記外側テーブルの内のいずれか1つの部材を選択手段により選択し、
前記制御手段は、前記選択手段で選択された部材が前記押圧手段である場合は、前記シートの下面と板状部材の上面とが接する貼付基準位置を基準として前記シートの厚みに応じて該押圧手段を位置決め固定し、前記選択手段で選択された部材が前記内側テーブルである場合は、前記貼付基準位置を基準として前記板状部材の厚みに応じて該内側テーブルを位置決め固定し、前記選択手段で選択された部材が前記外側テーブルである場合は、前記貼付基準位置を基準として前記フレームの厚みに応じて該外側テーブルを位置決め固定し、前記各場合において、位置決め固定されなかった各部材を移動させる移動手段によって、前記板状部材の単位面積あたりの圧力が所定値となるようにして前記板状部材と前記フレームとに前記シートを貼付すること
を特徴とするシート貼付方法。
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