KR20190094633A - 잉곳 절단 장치 및 방법 - Google Patents

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KR20190094633A
KR20190094633A KR1020180014000A KR20180014000A KR20190094633A KR 20190094633 A KR20190094633 A KR 20190094633A KR 1020180014000 A KR1020180014000 A KR 1020180014000A KR 20180014000 A KR20180014000 A KR 20180014000A KR 20190094633 A KR20190094633 A KR 20190094633A
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김항기
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에스케이실트론 주식회사
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
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    • B28D7/005—Devices for the automatic drive or the program control of the machines

Abstract

실시예는 제1 와이어 가이드로부터 제2 와이어 가이드로 와이어를 이동시키는 (a) 단계; 상기 제2 와이어 가이드로부터 상기 제1 와이어 가이드로 상기 와이어를 이동시키는 (b) 단계; 및 상기 와이어 방향으로 잉곳을 이동시켜 상기 잉곳을 절단하는 (c)단계;를 포함하고, 상기 와이어 방향으로의 상기 잉곳의 이동 속도는, 상기 제1,2 와이어 가이드 사이에서 상기 와이어의 이동 속도에 따라 달라지는 잉곳 절단 방법을 제공한다.

Description

잉곳 절단 장치 및 방법{APPARATUS AND METHOD FOR SAWING WAFER}
실시예는 잉곳(Ingot) 절단(sawing) 장치 및 방법에 관한 것이다.
반도체 등의 전자 부품이나 태양 전지를 생산하기 위한 소재로 사용되는 실리콘 웨이퍼(wafer)는 단결정 실리콘 잉곳(ingot)을 웨이퍼 형태로 얇게 절단하는 슬라이싱 공정, 원하는 웨이퍼의 두께로 연마하면서 평탄도를 개선하는 래핑 공정(lapping), 웨이퍼 내부의 손상(damage)층 제거를 위한 식각 공정(etching), 표면 경면화 및 평탄도를 향상시키기 위한 폴리싱 공정(polishing), 웨이퍼 표면의 오염물질을 제거하기 위한 세정 공정(cleaning) 등의 단계를 거쳐 생산된다.
전술한 슬라이싱 공정에서 잉곳은 와이어(wire)와 슬러리(slurry)를 이용하여 얇은 웨이퍼 형태로 절단(sawing)되는데, 최근 웨이퍼(wafer)의 대형화 추세에 따라 잉곳(Ingot)을 절단하는 잉곳 절단 장치가 사용되고 있다.
잉곳 절단 장치는, 고속으로 왕복 가능하도록 구비되는 와이어를 이용하여 잉곳을 절단한다. 상세하게는, 고속으로 왕복 가능하도록 구비된 와이어의 상부면에 연마재와 오일을 포함하는 슬러리(Slurry)를 도포하여 와이어에 부착된 연마재와 잉곳의 마찰력을 이용하여 잉곳을 절단시켜 웨이퍼를 생산한다.
그러나, 종래의 잉곳 절단 장치는 다음과 같은 문제점이 있다.
잉곳의 절단시에 와이어는 한 쌍의 와이어 가이드의 사이에서 왕복 운동을 하기 때문에 와이어의 이동 속도가 일정하지 않다. 이때, 와이어의 상부에서 와이어 방향으로 잉곳이 일정하게 움직일 경우, 와이어를 절단하는 잉곳의 속도가 일정하지 않은 문제점이 발생할 수 있다.
즉, 와이어의 가속이나 감속으로 인하여 잉곳의 절단면에서 웨이퍼의 휨(warp)이 발생할 수 있다. 또한, 와이어의 이동 방향이 변하는 순간에 절단되는 잉곳의 절단면의 결이 달라지는 문제점이 발생할 수도 있다.
실시예는 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 잉곳의 절단 공정에서 잉곳의 절단면에서 웨이퍼의 휨을 방지하고자 한다.
또한, 잉곳의 절단 공정에서 절단되는 잉곳의 절단면의 결이 달라지지 문제점을 해결하고자 한다.
실시예는 제1 와이어 가이드로부터 제2 와이어 가이드로 와이어를 이동시키는 (a) 단계; 상기 제2 와이어 가이드로부터 상기 제1 와이어 가이드로 상기 와이어를 이동시키는 (b) 단계; 및 상기 와이어 방향으로 잉곳을 이동시켜 상기 잉곳을 절단하는 (c)단계;를 포함하고, 상기 와이어 방향으로의 상기 잉곳의 이동 속도는, 상기 제1,2 와이어 가이드 사이에서 상기 와이어의 이동 속도에 따라 달라지는 잉곳 절단 방법을 제공한다.
와이어 방향으로의 상기 잉곳의 이동 속도의 절대 값은, 상기 제1,2 와이어 가이드 사이에서 상기 와이어의 이동 속도의 절대 값과 비례하여 변할 수 있다.
(a) 단계와 (b) 단계는 각각, 상기 와이어의 이동 속도가 증가하는 제1 단계와 상기 와이어의 이동 속도가 일정한 제2 단계 및 상기 와이어의 이동 속도가 감소하는 제3 단계를 포함할 수 있다.
(a) 단계는, 상기 와이어의 이동 속도가 증가하는 제1-1 단계와 상기 와이어의 이동 속도가 일정한 제1-2 단계 및 상기 와이어의 이동 속도가 감소하는 제1-3 단계를 포함하고, 상기 (c) 단계는, 상기 와이어 방향으로의 상기 잉곳의 이동 속도가 증가하는 제3-1 단계와 상기 와이어 방향으로의 상기 잉곳의 이동 속도가 일정한 제3-2 단계 및 상기 와이어 방향으로의 상기 잉곳의 이동 속도가 감소하는 제3-3 단계를 포함하고, 상기 제1-1 단계와 상기 제3-1 단계가 동시에 진행되고, 상기 제1-2 단계와 상기 제3-2 단계가 동시에 진행되며, 상기 제1-3 단계와 상기 제3-3 단계가 동시에 진행될 수 있다.
(b) 단계는, 상기 와이어의 이동 속도가 감소하는 제2-1 단계와 상기 와이어의 이동 속도가 일정한 제2-2 단계 및 상기 와이어의 이동 속도가 증가하는 제2-3 단계를 포함하고, 상기 (c) 단계는, 상기 와이어 방향으로의 상기 잉곳의 이동 속도가 증가하는 제4-1 단계와 상기 와이어 방향으로의 상기 잉곳의 이동 속도가 일정한 제4-2 단계 및 상기 와이어 방향으로의 상기 잉곳의 이동 속도가 감소하는 제4-3 단계를 포함하고, 상기 제2-1 단계와 상기 제4-1 단계가 동시에 진행되고, 상기 제2-2 단계와 상기 제4-2 단계가 동시에 진행되며, 상기 제2-3 단계와 상기 제4-3 단계가 동시에 진행될 수 있다.
(a) 단계와 (c) 단계에서 상기 와이어의 이동 속도의 절대 값은 동일할 수 있다.
(a) 단계와 (b) 단계에서, 시간에 대한 상기 제1,2 와이어 가이드 사이에서의 상기 와이어의 이동 속도의 도함수는 불연속 구간을 포함하지 않을 수 있다.
다른 실시예는 잉곳이 거치되는 거치대; 상기 거치대의 하부에 구비되고, 와이어가 감기는 제1 와이어 가이드와 제2 와이어 가이드; 상기 와이어 방향으로 상기 잉곳을 이동시키는 이송부; 및 상기 이송부와 상기 제1,2 와이어 가이드의 구동을 제어하는 제어부를 포함하고, 상기 제어부는, 상기 와이어 방향으로의 상기 잉곳의 이동 속도가 상기 제1,2 와이어 가이드 사이에서 상기 와이어의 이동 속도에 따라 다르도록 제어하는 잉곳 절단 장치를 제공한다.
제어부는, 상기 와이어 방향으로의 상기 잉곳의 이동 속도의 절대 값이 상기 제1,2 와이어 가이드 사이에서 상기 와이어의 이동 속도의 절대 값과 비례하도록 제어할 수 있다.
제어부는, 상기 와이어가 상기 제1,2 와이어 가이드의 사이에서 정지할 때 상기 와이어 방향으로의 상기 잉곳의 이동을 중지시킬 수 있다.
실시예에 따른 잉곳 절단 장치 및 방법은, 한 쌍의 와이어 가이드의 사이에서 왕복 운동을 하여 이동 속도의 절대값이 변하는 와이어의 이동 속도에 따라, 잉곳의 와이어 방향으로의 이동 속도 내지 접근속도가 변하도록 제어하여, 와이어가 빨리 이동할 때 잉곳을 더 빨리 이동시키고, 와이어가 느리게 이동할 때 잉곳을 느리게 이동시켜서, 와이어의 가속이나 감속 구간에서 잉곳의 절삭면에 부하가 크게 걸리는 것을 방지할 수 있으며, 와이어의 이동 방향이 변하는 순간에 절단되는 잉곳의 절단면의 결이 달라지는 것도 방지할 수 있다.
도 1은 실시예에 따른 잉곳 절단 장치의 일실시예의 구성을 나타낸 도면이고,
도 2는 와이어에 의하여 잉곳이 절단되는 것을 상세히 나타낸 도면이고,
도 3a는 실시예에 따른 잉곳 절단 방법에서 와이어의 이동 속도를 나타내고,
도 3b는 실시예에 따른 잉곳 절단 방법에서 잉곳의 이동 속도를 나타내고,
도 3c는 비교예에 따른 잉곳 절단 방법에서 잉곳의 이동 속도를 나타내고,
도 4a 및 도 4b는 다른 실시예에 따른 잉곳 절단 방법에서 와이어의 이동 속도와 잉곳의 이동 속도를 나타내고,
도 5는 잉곳으로부터 절단되어 제조된 웨이퍼들의 전면과 후면을 나타내고,
도 6은 실시예에 따른 잉곳 절단 장치와 방법으로 제조된 웨이퍼들의 휨을 나타내고,
도 7은 비교예에 따른 잉곳 절단 장치와 방법으로 제조된 웨이퍼들의 휨을 나타낸다.
이하, 본 발명을 구체적으로 설명하기 위해 실시 예를 들어 설명하고, 발명에 대한 이해를 돕기 위해 첨부도면을 참조하여 상세하게 설명하기로 한다.
그러나, 본 발명에 따른 실시 예들은 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시 예들에 한정되는 것으로 해석되지 않아야 한다. 본 발명의 실시 예들은 당 업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다.
또한, 이하에서 이용되는 "제1" 및 "제2," "상부" 및 "하부" 등과 같은 관계적 용어들은, 그런 실체 또는 요소들 간의 어떠한 물리적 또는 논리적 관계 또는 순서를 반드시 요구하거나 내포하지는 않으면서, 어느 한 실체 또는 요소를 다른 실체 또는 요소와 구별하기 위해서만 이용될 수도 있다.
도면에서 각층의 두께나 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장되거나 생략되거나 또는 개략적으로 도시되었다. 또한 각 구성요소의 크기는 실제크기를 전적으로 반영하는 것은 아니다.
도 1은 실시예에 따른 잉곳 절단 장치의 일실시예의 구성을 나타낸 도면이다.
실시예에 따른 잉곳 절단 장치(100)는 잉곳(Ingot)이 거치되는 거치대(10)와, 거치대(10)의 하부에 구비되고, 와이어(wire)가 감기는 제1 와이어 가이드(31)와 제2 와이어 가이드(32), 잉곳을 와이어 방향으로 이동시키는 이송부(20), 이송부(20)와 제1,2 와이어 가이드(31, 32)의 구동을 제어하는 제어부(70) 및 슬러리(s)를 공급하는 슬러리 공급부(50)를 포함할 수 있다.
거치대(10)는 빔(11)과 접착 부재(12, 예를 들면 에폭시)를 포함하며, 잉곳을 위에서 거치할 수 있다.
이송부(20)는 거치대(10)의 상부에 구비되고, 거치대(10)에 거치된 잉곳을 와이어 방향인 도 1의 수직 하방으로 이동시킬 수 있다.
제1,2 와이어 가이드(31, 32)는 롤러(roller)의 형상일 수 있는데, 제1,2 와이어 가이드(31, 32)에 와이어가 감길 수 있다. 그리고, 제1,2 와이어 가이드(31, 32)는 서로 동일한 방향으로 회전할 수 있는데, 회전 방향이 변하면 제1,2 와이어 가이드(31, 32)의 사이에서 왕복 운동을 하는 와이어의 이동 방향도 변할 수 있다.
이때, 잉곳의 이동 방향과 와이어의 왕복 운동 방향은 서로 교차하거나 예를 들면 수직일 수 있다.
슬러리 공급부(50)는 도시된 바와 같이 와이어에 슬러리(s)를 도포할 수 있다.
제어부(70)는 이송부(20)와 제1,2 와이어 가이드(31, 32)의 운동을 제어할 수 있는데, 예를 들면 도 1에서 이송부(20)의 수직 방향으로의 이동과 속도를 제어하고 또한 제1,2 와이어 가이드(31, 32)의 회전 운동 방향과 속도를 제어할 수 있다.
도 2는 와이어에 의하여 잉곳이 절단되는 것을 상세히 나타낸 도면이다.
이송부(20)의 운동에 의하여 거치대(10)에 거치된 잉곳이 아래로 이동할 수있고, 이때 제1,2 와이어 가이드(31, 32)의 사이에서 왕복 운동 중인 와이어에 의하여 절단될 수 있다. 도 2에서 점선은 잉곳의 이동 방향에 수직한 수평선이며 와이어는 잉곳의 압력에 의하여 상술한 수평선보다 일시적으로 아래로 처질 수 있다.
도 3a는 실시예에 따른 잉곳 절단 방법에서 와이어의 이동 속도를 나타내고, 도 3b는 실시예에 따른 잉곳 절단 방법에서 잉곳의 이동 속도를 나타낸다. 이하에서, 도 3a 및 도 3b를 참조하여 실시예에 따른 잉곳 절단 방법을 설명한다.
도 3a에서 제1-1 단계 내지 제1-3 단계에서 와이어가 제1 와이어 가이드로부터 제2 와이어 가이드로 와이어를 이동하는 단계를 (a) 단계라 하고, 제2-1 단계 내지 제2-3 단계에서 와이어가 제2 와이어 가이드로부터 상기 제1 와이어 가이드로 이동하는 단계를 (b) 단계라 할 수 있고, 와이어 방향으로 잉곳을 이동시켜 상기 잉곳을 절단하는 제3-1 단계 내지 제4-3 단계를 (c)단계라고 할 수 있다.
실시예에서는, 잉곳의 와이어 방향으로의 이동 속도를, 제1,2 와이어 가이드 사이에서 와이어의 이동 속도에 따라 다르게 제어할 수 있다.
도 3a에서, 제1-1 단계에서 제1 와이어 가이드로부터 제2 와이어 가이드 방향으로의 와이어의 이동 속도(Vwire)가 b초 동안 일정하게 증가하고, 제1-2 단계에서는 제1 와이어 가이드로부터 제2 와이어 가이드 방향으로의 와이어의 이동 속도(Vwire)가 c초 동안 일정하고, 제1-3 단계에서는 제1 와이어 가이드로부터 제2 와이어 가이드 방향으로의 와이어의 이동 속도(Vwire)가 b초 동안 일정하게 감소할 수 있다. 그리고, 와이어의 최대 속도는 a(m/s)일 수 있다.
그리고, 상술한 (b) 구간에서는 와이어가 제2 와이어 가이드로부터 제1 와이어 가이드로 이동하므로, 상술한 (a) 구간과 와이어의 이동 방향이 반대가 되어 속도가 (-) 부호로 표시되고 있다. 즉, (a) 구간과 (b) 구간에서 와이어의 이동 속력은 동일하되, 방향이 반대일 수 있다. 여기서, 속도는 크기와 방향을 가지는 벡터 값이고, 속력은 크기만 가지는 스칼라량이다.
상세하게는, 제2-1 단계에서 제2 와이어 가이드로부터 제1 와이어 가이드 방향으로의 와이어의 이동 속도(Vwire)가 b초 동안 일정하게 감소하고, 제2-2 단계에서는 제2 와이어 가이드로부터 제1 와이어 가이드 방향으로의 와이어의 이동 속도(Vwire)가 c초 동안 일정하고, 제2-3 단계에서는 제2 와이어 가이드로부터 제1 와이어 가이드 방향으로의 와이어의 이동 속도(Vwire)가 b초 동안 일정하게 증가할 수 있다. 그리고, 와이어의 최소 속도는 -a(m/s)일 수 있다. 여기서 속도가 아닌 속력으로 표현하면, 제2-1 단계에서 와이어의 이동 속력은 b초 동안 일정하게 증가하고, 제2-2 단계에서는 제2 와이어 가이드로부터 제1 와이어 가이드 방향으로의 와이어의 이동 속력은 c초 동안 일정하고, 제2-3 단계에서는 제2 와이어 가이드로부터 제1 와이어 가이드 방향으로의 와이어의 이동 속력은 일정하게 감소할 수 있다.
도 3b에서, 제3-1 단계에서 잉곳의 이동 속도(Vtable)가 B초 동안 일정하게 증가하고, 제3-2 단계에서는 잉곳의 이동 속도가 C초 동안 일정하고, 제3-3 단계에서는 잉곳의 이동 속도가 B초 동안 일정하게 감소할 수 있다. 그리고, 제4-1 단계 내지 제4-3 단계에서 잉곳의 이동 속도는 제3-1 단계 내지 제3-3 단계와 동일할 수 있다.
그리고, 도 3a에서의 시간 b초와 c초는 도 3b에서의 시간 B초 및 C초와 각각 동일할 수 있다. 그리고, 도 3a에서 와이어의 이동 속도(Vwire)인 a와 도 3b에서 잉곳의 이동 속도(Vtable)인 A는 서로 다를 수 있다. 잉곳의 이동 속도를 'Vtable'이라고 표현하는 것은, 제어부에서는 잉곳의 이동 속도를 직접 제어하지 않고 거치대의 이동 속도를 통하여 간접적으로 제어할 수 있기 때문이다.
도 3b에서 잉곳의 와이어 방향으로의 이동 속도의 절대 값은, 도 3a에서 제1,2 와이어 가이드 사이에서 와이어의 이동 속도의 절대 값과 비례하여 변할 수 있다. 즉, 도 3b의 잉곳의 이동 속도의 그래프는 도 3a의 와이어의 이동 속도의 그래프의 절대값에 비례하므로, 벡터 값을 가지는 이동 속도가 아닌 스칼라 값을 가지는 이동 속력 만을 고려하면, 잉곳의 이동 속력은 와이어의 이동 속력에 비례하여 변할 수 있다.
즉, 제1 와이어 가이드로부터 제2 와이어 가이드로 와이어가 운동할 때 속도가 점차 증가한 후 일정하게 유지되고 다시 속도가 점차 감소할 수 있으며, 다시 제2 와이어 가이드로부터 제1 와이어 가이드로 이동할 때는 상술한 제1 와이어로부터 제2 와이어 가이드로 이동할 때와 이동 방향만 다를 뿐 이동 속도의 절대 값은 같은 패턴이 반복될 수 있다. 따라서, 본 실시예에서 잉곳의 이동은 상부에서 하부 즉, 와이어 방향으로만 이동하므로, 시간에 대한 잉곳의 이동 속도의 그래프는 도 3b에 도시된 바와 같이 동일한 패턴이 반복될 수 있다.
그리고, 도 3a에서 와이어의 이동 속도의 변화가 불연속점을 가지는데, 와이어의 이동 속도는 유선형으로 변할 수도 있다.
도 4a 및 도 4b는 다른 실시예에 따른 잉곳 절단 방법에서 와이어의 이동 속도와 잉곳의 이동 속도를 나타낸다. 여기서, 시간에 대한 상기 제1,2 와이어 가이드 사이에서의 상기 와이어의 이동 속도는 연속으로 변하여, 시간에 대한 와이어의 이동 속도의 도함수는 불연속 구간을 포함하지 않을 수 있다.
도 3c는 비교예에 따른 잉곳 절단 방법에서 잉곳의 이동 속도를 나타낸다. 즉, 종래에는 와이어의 이동 속도에 관계 없이 잉곳이 일정한 속도로 이동하며 와이어 방향으로 접근할 수 있다.
이러한 잉곳 절단 방법은 상술한 제어부(70)의 작용에 의하여 구현될 수 있다. 즉, 제어부(70)는 잉곳의 와이어 방향으로의 이동 속도가 제1,2 와이어 가이드 사이에서 와이어의 이동 속도에 따라 변하도록 제어하며, 상세하게는 잉곳의 상기 와이어 방향으로의 이동 속도의 절대 값을, 제1,2 와이어 가이드 사이에서 와이어의 이동 속도의 절대 값과 비례하여 변하도록 제어할 수 있다. 그리고, 제1,2 와이어의 사이에서 와이어의 이동 방향이 변할 때에는 순간적으로 와이어가 정지할 수 있는데, 이때 잉곳의 이동도 순간적으로 정지할 수 있다.
도 5는 잉곳으로부터 절단되어 제조된 웨이퍼들의 전면과 후면을 나타낸다.
시드(seed)측으로부터 테일(tail)측까지 종방향으로 성장된 실리콘 단결정 잉곳(Ingot)은, 상술한 공정을 통하여 횡방향으로 절단(sawing)될 수 있다. 절단된 잉곳은 추가 가공 공정을 통하여 복수 개의 웨이퍼(wafer)로 제조될 수 있으며, 이때 시드측 방향에서 절단된 면을 전면(front side)라 하고, 테일측 방향에서 절단된 면을 후면(back side)라고 할 수 있다.
도 6은 실시예에 따른 잉곳 절단 장치와 방법으로 제조된 웨이퍼들의 휨을 나타내고, 도 7은 비교예에 따른 잉곳 절단 장치와 방법으로 제조된 웨이퍼들의 휨을 나타낸다.
실시예에 따른 잉곳 절단 장치와 방법은, 한 쌍의 와이어 가이드의 사이에서 왕복 운동을 하여 이동 속도의 절대값이 변하는 와이어의 이동 속도에 따라, 잉곳의 와이어 방향으로의 이동 속도 내지 접근속도가 변하도록 제어하여, 와이어가 빨리 이동할 때 잉곳을 더 빨리 이동시키고, 와이어가 느리게 이동할 때 잉곳을 느리게 이동시킨다. 따라서, 와이어의 가속이나 감속 구간에서 잉곳의 절삭면에 부하가 크게 걸리는 것을 방지할 수 있으며, 와이어의 이동 방향이 변하는 순간에 절단되는 잉곳의 절단면의 결이 달라지는 것도 방지할 수 있다.
따라서, 도 6에 도시된 바와 같이 웨이퍼의 절삭면 내지 절단면의 휨(warp)이 개선될 수 있어서, 도 7에 도시된 바와 같은 웨이퍼의 표면에서의 휨을 방지할 수 있다.
이상과 같이 실시예는 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다.
그러므로, 본 발명의 범위는 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니되며, 후술하는 특허청구범위뿐 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
10: 거치대 11: 빔
12: 접착 부재 20: 이송부
31, 32: 제1,2 와이어 가이드 50: 슬러리 공급부
70: 제어부 100: 잉곳 절단 장치

Claims (10)

  1. 제1 와이어 가이드로부터 제2 와이어 가이드로 와이어를 이동시키는 (a) 단계;
    상기 제2 와이어 가이드로부터 상기 제1 와이어 가이드로 상기 와이어를 이동시키는 (b) 단계; 및
    상기 와이어 방향으로 잉곳을 이동시켜 상기 잉곳을 절단하는 (c)단계;를 포함하고,
    상기 와이어 방향으로의 상기 잉곳의 이동 속도는, 상기 제1,2 와이어 가이드 사이에서 상기 와이어의 이동 속도에 따라 달라지는 잉곳 절단 방법.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 와이어 방향으로의 상기 잉곳의 이동 속도의 절대 값은, 상기 제1,2 와이어 가이드 사이에서 상기 와이어의 이동 속도의 절대 값과 비례하여 변하는 잉곳 절단 방법.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 (a) 단계와 (b) 단계는 각각, 상기 와이어의 이동 속도가 증가하는 제1 단계와 상기 와이어의 이동 속도가 일정한 제2 단계 및 상기 와이어의 이동 속도가 감소하는 제3 단계를 포함하는 잉곳 절단 방법.
  4. 제3 항에 있어서,
    상기 (a) 단계는, 상기 와이어의 이동 속도가 증가하는 제1-1 단계와 상기 와이어의 이동 속도가 일정한 제1-2 단계 및 상기 와이어의 이동 속도가 감소하는 제1-3 단계를 포함하고,
    상기 (c) 단계는, 상기 와이어 방향으로의 상기 잉곳의 이동 속도가 증가하는 제3-1 단계와 상기 와이어 방향으로의 상기 잉곳의 이동 속도가 일정한 제3-2 단계 및 상기 와이어 방향으로의 상기 잉곳의 이동 속도가 감소하는 제3-3 단계를 포함하고,
    상기 제1-1 단계와 상기 제3-1 단계가 동시에 진행되고, 상기 제1-2 단계와 상기 제3-2 단계가 동시에 진행되며, 상기 제1-3 단계와 상기 제3-3 단계가 동시에 진행되는 잉곳 절단 방법.
  5. 제3 항에 있어서,
    상기 (b) 단계는, 상기 와이어의 이동 속도가 감소하는 제2-1 단계와 상기 와이어의 이동 속도가 일정한 제2-2 단계 및 상기 와이어의 이동 속도가 증가하는 제2-3 단계를 포함하고,
    상기 (c) 단계는, 상기 와이어 방향으로의 상기 잉곳의 이동 속도가 증가하는 제4-1 단계와 상기 와이어 방향으로의 상기 잉곳의 이동 속도가 일정한 제4-2 단계 및 상기 와이어 방향으로의 상기 잉곳의 이동 속도가 감소하는 제4-3 단계를 포함하고,
    상기 제2-1 단계와 상기 제4-1 단계가 동시에 진행되고, 상기 제2-2 단계와 상기 제4-2 단계가 동시에 진행되며, 상기 제2-3 단계와 상기 제4-3 단계가 동시에 진행되는 잉곳 절단 방법.
  6. 제3 항 내지 제5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 (a) 단계와 (c) 단계에서, 상기 와이어의 이동 속도의 절대 값은 동일한 잉곳 절단 방법.
  7. 제1 항에 있어서,
    상기 (a) 단계와 (b) 단계에서, 시간에 대한 상기 제1,2 와이어 가이드 사이에서의 상기 와이어의 이동 속도의 도함수는 불연속 구간을 포함하지 않는 잉곳 절단 방법.
  8. 잉곳이 거치되는 거치대;
    상기 거치대의 하부에 구비되고, 와이어가 감기는 제1 와이어 가이드와 제2 와이어 가이드;
    상기 잉곳을 상기 와이어 방향으로 이동시키는 이송부; 및
    상기 이송부와 상기 제1,2 와이어 가이드의 구동을 제어하는 제어부를 포함하고,
    상기 제어부는, 상기 와이어 방향으로의 상기 잉곳의 이동 속도가 상기 제1,2 와이어 가이드 사이에서 상기 와이어의 이동 속도에 따라 다르도록 제어하는 잉곳 절단 장치.
  9. 제8 항에 있어서,
    상기 제어부는, 상기 와이어 방향으로의 상기 잉곳의 이동 속도의 절대 값이 상기 제1,2 와이어 가이드 사이에서 상기 와이어의 이동 속도의 절대 값과 비례하도록 제어하는 잉곳 절단 장치.
  10. 제8 항 또는 제9 항에 있어서,
    상기 제어부는, 상기 와이어가 상기 제1,2 와이어 가이드의 사이에서 정지할 때 상기 와이어 방향으로의 상기 잉곳의 이동을 중지시키는 잉곳 절단 장치.
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