TWI330127B - Tape adhering method and tape adhering device - Google Patents

Description

九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 $本發明係關於一種用於將-膠帶(例如，切割膠帶)貼著 〜 本發明亦係關於一種勃 订此膠帶貼著方法的膠帶貼著裝置。 【先前技術】 在製造半導體之領域中，存在车 指 年复一年使用大型晶圓的 I勢。另外’為了增強封裝密声 茗度減小了晶圓厚度，且為 丁减小晶圓厚度，磨削了半導體 蛀认 干等體日日圓之背面。在背面磨削 予’為了保護形成於晶圓$志 更办㈣曰曰回之表面上之半導體元件，將—表 面保護膜貼著至晶圓之表面。 在對晶圓進行背面磨削時，晶圓之厚度大大減小。因 $力口!1膠f貼著至晶圓之背面，使得晶圓可與安裝 ㈣整合為一體。當晶圓與安袭框架整合時’在下一步驟 可容易地處理晶圓。 曰：專利公開案第200"44152號揭示一種將一勝帶拉 :女裝框架及晶圓上以貼著該膠帶的貼著裝置。自膠帶 ^之膠帶由導引部件導引且首先藉由料滾筒貼著 安袭框架之一邊緣部分附近。 圖6為在諸如日本專利公開案第2_-〇44152號所揭示之 技術中開始將膠帶貼著至安裝框架上之操作的情況下 的晶f之俯視圖。在如圖6所示之貼著時，夥帶㈣貼著至 位於t裝框架36之一邊緣部分附近的貼著部分仏。 來在水平方向上移動用於支撐安裝框架36及晶圓 I20663.doc 1330127 20之台（未圖示）。藉此，膠帶3貼著至整個安裝框架％及晶 圓20。 然而，在開始將膠帶3貼著至安裝框架36時，貼著部分 3a之面積相對小。因此，此為由膠帶滾筒給出之膠帶3之 張力超過貼著部分3a處之貼著力的情況，在此種情況下， 如圖6所示，當施予膠帶3之張力超過膠帶3之彈性極限 時，在縱向方向上延伸之折皺99形成於膠帶上貼著部分“ 之兩末端部分3b、3c外。由於此等折皺99係因為超過膠帶 3之彈性極限之張力而形成於膠帶3上者’所以當折皺99形 成時，即使在已解除由膠帶滾筒給出之張力後仍不可能移 除該等折敏。 為此，圖7為展示一普通膠帶滾筒之狀態的視圖。正好 在膠帶滾筒M2已載入至一貼著裝置中之後拉出的切割膠 帶3之拉出位置在徑向方向上位於相對靠外處。當切割膠 帶3之貼著操作繼續進行且保持於膠帶滾筒μ?上之切割膠 的罝減少時，切割膠帶3之拉出位置在徑向方向上逐漸 向内移動。關於此問題’參看圖7中之假想線3,。在切割膠 二之拉出位置位於相對靠外處之情況下，為了防止膠帶 滾同142超限運轉，有必要鄰近於膠帶滾筒142來配置一制 動機構（未圖示）。 藉此正好在已載入膠帶滾筒142之後且正好在替換膠 帶’袞冋142之則’使膠帶滾筒142旋轉所需之驅動轉矩的強 尸不同的正好在已載入膠帶滾筒U2之後之驅動轉矩 又遠门於正好在置換膠帶滾筒142之前之驅動轉矩的 120663.doc 1330127 強度因此，正好在已載入膠帶滾筒142之後由膠帶滾筒 施：膠帶之張力的強度為相當高的。結果，正好在已載入 膠π滾筒142之後，先則所述之折皺傾向於在膠帶3上形 成另外，虽張力大大超過貼著部分3a處之貼著力時，已 貼著至貼著部分3a之膠帶3可能會自安裝框架％分離。 已蓉於上述情況而完成本發明。本發明之—目標為提供 -種能夠防止折皺形成之膠帶貼著方法。本發明之另一目

標為提供-種執行此膠帶貼著方法之膠帶貼著裝置。 【發明内容】 匈/這成上述目標 其包含：—膠帶滾筒，其用於拉出—膠帶；-制動構件 其用於制動-自該膠帶滚筒拉出之行進中之膠帶的— 分’-膠帶抽拉構件，其用於在該制動構件與該膠帶滚 ,間自該膠帶滾筒拉出由該制動構件制動之膠帶的—預:

量；及一膠帶貼著構件盆 J 絲動或解除由該制

仃的對该膠帶之制動時將位於 貼著至-待貼著物件上。 制動構件下游之， ，在第—態樣中，可預先將膠帶(例如，切割膠帶)拉出一 對應於待貼著物件的長度。因此， 不必佶酿胜* 在貫際貼者該膠帶時， 不义使膠帶滾筒旋轉。亦即 筒不會產㈣六 勝帶時，該膠帶淺 就此 、。因此’有可能防止折皺形成於膠帶上。 就此而…亥待貼著物件可 者。 日圓及安裝框架二 該膠帶貼著構件包括 根據第二態樣，如在第一態樣中 120663.doc 1330127 用於將膠帶按壓及貼著至待貼 荇貼者物件之邊緣部分的一貼著 來同，且亦包括能夠在水平 .,^ 向上移動、用於支撐該待貼 者物件的一支撐台。 亦即，在第二貫施例中，在fp # 轉帶已貼者至待貼著物件之 邊，，表。卩分後’在水平方向上蒋韌 蔣腴纸 #動該支撐台。以此方式，可 將膠帶貼著至整個物件。 根據第三態樣，如在筮_能# + ^ 時^ 在第一九、樣中，當將膠帶貼著至物件 時’使該支撐台升高。 1于 亦即，根據第三態樣，估貼鍫 便貼考凌琦的用於將膠帶按壓至 待貼著物件之移動量變得相 错此，可防止膠帶在 貼者時擺動。 甘 根據第四態樣’如在第—至第三態樣中之一者 帶抽拉構件為一跳動滾筒。 ^膠 亦即’根據第四態樣，可藉由一相 秸田相對簡早之結構來進一 V拉出一預定量之膠帶。 嫌根據第五態樣’如在第—至第四態樣中之—者中 ▼抽拉構件在制動構件與膠帶 膠 具许丁， 百僻1干之間拉出之膠帶的 長度不小於待貼著物件之直徑。 件’根據第五態樣，有可能確保貼著至整個待貼著物 件所需之膠帶的量。 有初 根據第六態樣，如在第一至第五態樣中之一者中，— .帶黏附裝置淮_牛a人_ ’―膠 的驅動宁甘筒旋轉以拉出膠帶 止。動滚同’其令該驅動滚筒使朦帶滚筒在貼著躍帶時停 I20663.doc 1330127 亦即’在第六態樣中，當驅動滾筒停 ▲ 地防止抽拉滾筒產生張力。 ·有可能確實 根據第七態樣，如在苐二態樣中，膠 應於待貼著物件之表面的形狀 二、有-大體上對 之縱向方向上以預定間隔姑著，耀帶 基帶 -用於偵測膠帶之尾端的傾裝置進-步包含 如下夕士斗-一 千其中該偵測構件偁 如下之方式定位··在該仙m 苒件係以 於貼著滚筒配置膝；4之尾料可鄰近 方即，在第七態樣中，可將滕德& 於-鄰近於貼著滾筒之位置;二=端部分準確地配置 -厚度感測器。或者，一照相機;㈣測構件為 由一電腦處㈣照相機所獲 料且可 第八態樣提供—種膠帶貼著方法，其包 牛：、。 一膠帶滾筒拉出膠帶；/驟.自 件來制動膠〜動行進中之膠帶之制動構 牛來⑽h之已自膠帶滾筒拉出之 構 與膠帶滾筒之間自膠帶f Θ 動構件 歸知山 膠帶康请進-步將已由制動構件制動之 =:=量;鬆動或解除由制動構件對膠帶丄= :::為’—動構件—著至-待:： 態樣1’可預先將膠帶（例如’切割膠帶）拉出- 時，不必使膠帶滚::轉气。因此’在實際貼著該膠帶 滾筒不產生張力。因此* Η該勝帶 就此而論，該待貼著物株能防止折敏形成於膠帶上。 、物件可為晶圓或晶圓及安裝框架二 120663.doc 根據第九態樣，如在第 支撐△古於 在弟八態樣中，該待貼著物件係由一 ^ #在㈣帶ιέ著至該待貼著物件時，藉由按1 膠帶將膠帶貼著至該接β *由按屋 μ ^寺貼者物件之邊緣部分，且接著在水 千方向上移動該支撐台。 你Λ :Ρ纟第九態樣中’在已將膠帶貼著至 邊緣部分後，在水平方向上移動該支…以此方：件; 將膠帶貼著至整個待貼著物件。 方式了 :據：十態# ’如在第八或第九態樣中，在將膠帶貼著 i貼著物件之邊緣部分後，使該支撐台升高。 亦即，根據第十態樣’使貼著滾筒的用於將膠帶按壓至 待貼著物件之移動量變得相對較小。藉此，可防止夥帶在 貼著時擺動。 根據如由圖示所說明之本發明之示範性實施例的詳細描 述’本發明之此等及其他目標、特徵及優勢將更明顯。 【實施方式】 參看附圖’將在下文中解釋本發明之—實施例。在附圖 中，相同的參考數字用於指示相同的部分。為了促進理 解，適當地改變此等圖示中所用之標度。 圖1為展示根據本發明之—膠帶貼著裝置的示意性說 明。藉由背面磨肖，J方法來磨肖,j供應至膠帶貼著裝置10之晶 圓20之者面。舉例而言，晶圓2〇之厚度不大於⑽微米。 如所热知的，一用於保護一半導體元件之表面保護膜 11 (未圖示）已貼著至晶圓20之表面。 120663.doc 1330127 在晶圓20之背面22朝上的條件下 置10之可移動台31支標。如圖所示 形安裝框架36由一與可移動台31同 3 7支撐。藉由一熟知構件來在水平 動此等可移動台31、37。 請示之膠帶貼著裝置1〇包括：_膠帶滾㈣，其用 於拉出-待貼著至-圓形石夕晶圓2〇及一安裝框架⑽

朦帶3;及-捲繞滾筒43,其用於捲繞自膠帶滾_拉出 ^膠帶的可撕離部分㈣ease)，其”帶滚筒似捲繞滾 =43配置於-外殼15中。如圖所示，複數個腳輪職停止 又之底面上。可使用腳輪18將膠帶貼著穿 置1〇移動至地板U之一預定位置。另外，可藉由停止器 19將膠帶貼著裝置1〇固定於此位置。

’晶圓2 0由膠帶貼著裝 ’ 一稍大於晶圓20之環 心配置之環形可移動台 及垂直方向上整體地移 =帶貼著裝置1G之下部中，配置有門17。當打開此等 7時，-操作員有可能可以使用一配置於膠帶貼著裝置 之膠IT:的控制部分90 ’例如’一數位電腦。稍後描述 ，男者裝置1G之每—組件連接至控制裝㈣。因此， 控制部分9G控制膠帶貼著裝置！ G之每—組件的操作。 如圓！之左邊所示，膠帶貼著裝置1〇包括—切割機單元 。刀割機單元65可在垂直方向上往復運動。此切割機單 :切Si:能夠旋轉之切割機64。在已貼著切割膠帶後， Η I早^ 65移動至晶圓2〇，且接著使切割機64沿著安 =架之圓周邊緣旋轉。藉此，可將已貼著至晶圓2。及 女裝框架36之切割膠帶3切斷。 120663.doc 圖2為膠帶貼著聲 大圖。如圖2所示：在膠：二經放大展示的苐-部分放 示之馬達驅動的驅動L “R42下游’提供有一由未圖 轉，使得可自” ^：1二_滾筒45使膠帶滾筒42旋 ▼展同42拉出切割膠帶3。 於=:45下游，提供有-—一。鄰接 /、刀招帶3嚙合之制動 量測滾筒41。量制、吞社 Τ之者配置有 戶。 '則滾湾41偵測切割膠帶3的已行進之長 ’人 错由—第一介名人 n 4, ^ 二氣缸51將另一制動滾筒47按壓至一制動 很向46。|^此，你 一制動滾筒46嚙合之切割膠帶3保持於 刺動滾筒46 ' 47夕閂 m , 之間。因此，切割膠帶3可臨時固定於該 下2 °在制動滾筒47對制動滾筒46之按遷力減小之情況 下’有可能制動切割取德 割膠帶3。 】膠帶3’亦即’可將-制動力施予切 3 1動滾筒47下游’提供有一導引滾筒48及尖端部分 引畜/為刀狀邊緣的一導引部件35。在切割夥帶3已在導 :件35之尖端部分35&處折回之後切割膠帶3朝著捲繞 艰同4 3延伸。 在切割膠帶3之黏著面上，預先貼著一可撕離部分6(基 °在膠帶滚筒42與導引部件35之間，與可撕離部分⑼ :地拉出切割膠帶3。在切割膠帶3在導引部件35之尖端部 —处折回如稍後所描述’纟自可撕離部分6剝離且貼 ，至女裝框架及其他物件。如圖所示’已自切割膠帶3剝 +之可撕離部分6係經由複數個導引滾筒53、54 ' 57而導 弓1至捲繞滚筒43。此時’驅動配置於導引滾筒54與57之間 120663.doc 15 (s) 的驅動滾筒55、56 ^因此，可撕離部分 4m “a 雕丨刀6移動至捲繞滾筒 V '，驅動滚筒55、56連接至未圖示之馬達。 :圖”’鄰接於導引部件35之尖端部分…來配置貼著 “49。貼者滾筒49藉由第二空氣虹52來提昇及降低。貼 者滚筒鄕已自可撕離部分6剝離之切割膠帶3按麗至 框架36或晶圓20之表面上。 、 本發明之膠帶貼著袈置職—步包括—提供於驅動滾筒 45與制動滾筒46之間的跳動滾筒以。跳動滚㈣在大體垂 直方向上配置之軌條61上滑動。如圖所示，切割膠帶3在 驅動滚筒45與制動滚筒46之間在大體水平方向上延伸。因 此三當跳動滾筒62在軌條61上滑動時，切割夥帶3與跳動 滚筒62嚙合且被進一步拉出。 代替切割膠帶3連續地貼著至整個可撕離部分6，可在可 撕離部分6之縱向方向上以預定間隔來貼著形狀大體上對 應於安裝框架36之外形的複數個切割膠帶3。在使用此结 構時’可排除在貼著切割膠帶後使用之切割機單元“, 在使用幵^/狀大體上對應於安裝框架36之外形的切割膠帶 3之If况下’使用配置於制動滾筒46與導引滾筒w之間的 複數個感測器，例如，兩個感測器71、72。此等感測器 71、72為用於㈣切割膠帶3及可撕離部分6之總厚度的厚 度感測斋。或者’此等感測器71、72為用於横測切割膠帶 3之顏色改變的感測器。 此等感測器71、72用於將切割膠帶3貼著至具有不同大 λ!的b曰圓20及/或安裝框架36。舉例而言，在將切割膠帶3 I20663.doc 著至直技為（例如）約300 mm(12英吋）之晶圓20時使用 感彳器71。在蔣切割膠帶3貼著至直徑為（例如）約200 mix (8:喲之晶圓20時，使用另-感測器72。 感則器71、72偵測到制動滾筒46與導引滾筒48之間的 切割膠帶3之總厚度改變及/或切割膠帶3之顏色改變時， 、lJ j形狀大體上對應於安裝框架36之外形的切割膠帶3 之上游，上的尾端之一位置。此等感測器71、72係預先以 』、态71 72>f貞測到切割膠帶3之尾端時在切割膠帶3之 彳上之頭鳊正好配置於黏附滾筒的下方的方式來定 位換5之，感測器與貼著滚筒49之間沿著切割膠帶3的 距離對應於切割膠帶3待貼著之長度。 n b而㈣纟未圖不之另-實施例中’-連接至控制部 ^之照相機可用作❹⑻m此種情況下，當由 ^相機獲得之影像經電腦處理時，有可能區分一存在切 割膠帶3之部分盥一僅存為 八古存在可撕離部分6之部分。根據此區 刀’有可能偵測到切割膠帶3之尾端或頭端之位置。 圖3為本發明之膠帶貼著| F置之β 時序圖。圖4為膠帶貼著 裝置之—部分經放大展示的第二部分放大圖。 4,將在下文解釋本發明之膠帶貼著裝㈣ 而論，在驅動膠帶貼著裝置1〇 、 就此 .c 則 亚未知作驅動..梦筒 45'制動滚筒47及貼著滾筒49中之任 動“ 位於其上位置處。 且跳動滾筒62 首先，在圖3之時間斗起動驅動滚筒 帶滾筒42拉出切割膠帶3。在 侍自膠 在將形狀對應於安裂框架36之 120663.doc 1330127 形狀的複數個切割膠帶3貼著至可撕離部分6之情況下，由 感測器71(或感測器72H貞測切割膠帶3之尾端。在圖3中， 在圖t4㈣測到切割膠帶3之尾端L1tl時，驅動第一 空氣缸5 I以驅動制動滾筒4 7。 藉此，如圖4所示，切割膠帶3保持於制動滾筒46、47之 間且臨時經固定。亦即，此時，制動滚筒47將切割膠帶3 7動於固疋住切割膠帶3之固定位置處。在固定住切割 膠帶3的同時，跳動滾筒62沿著軌條61向下移動。藉此， 跳動滾筒62與切割膠帶3嚙合且沿著軌條61來牽拉切割膠 帶3。由於驅動滾筒45即使在跳動滾筒“移動時仍得以連 續地驅動，所以自膠帶滾筒42連續地拉出切割膠帶3。 如自圖3可看出，在時間12至t3期間，驅動第一空氣缸 51使得可減小制動力且使制動滾筒47進入制動狀態。在 制動滾筒47處於制動狀態時，雖然將一預定制動力施加至 切割膠帶3，但仍可稍微地發出切割膠帶3。 如圖所示，在時間t2至時間t3期間，當制動滾筒47處於 制動狀態時，移動驅動滾筒55、56,使得可稍微地拉出可 撕離。卩分6。如可移動台附近經放大展示的圖5a所示，藉 由此抽拉操作而使切割膠帶3之尖端部分正好位於貼著滾 ^ 下方。在進行此微調後，使制動滾筒4 7進入切割夥帶 3為固定的固定狀態’且使驅動滾筒55、56停止。關於此 問題，參看圖3。. 當如圊4所示跳動滾筒62到達一預定降低位置時，在時 ]t4時，使驅動滾筒45停止，使得不可再自膠帶滾筒42拉 120663.doc 出切割勝帶3。因此，在相繼的貼著步驟中，不將由自膠 帶滚筒42牽拉切割膠帶3而產生的張力施予切割膠帶3。 就此而論，藉由使跳動滾筒62降低而拉出之切割膠帶3 的長度與待貼著至安裝框架36及晶圓20的切割膠帶3的長 度大體上相同。換言之，跳動滾筒62之降低距離由待貼著 至待使用之安裝框架36及晶圓20的切割膠帶3之長度判 疋。因此’在使用直徑為約3〇〇 mm( 12英吋）之晶圓2〇的情 況下跳動滾筒62之降低距離不同於在使用直徑為約2〇〇 (8英叫·）之晶圓20的情況下跳動滾筒62之降低距離。 接下來，在時間t4時，驅動第一空氣缸5丨以使另—制動 滾筒47進入制動狀態。在此等滾筒46、47彼此完全分離之 情況下，無張力施加至切割膠帶3且折皺形成。因此，使 制動滾筒47進入一制動狀態，其中施加至切割膠帶之張力 維持於一預定水準，同時所固定之切割膠帶3得以解除。 如自圖3可看出，在制動切割膠帶3的同時，驅動第二空氣 缸52以使貼著滾筒49降低。 圖5a及5b為可移動台附近經放大展示的第一及第二放大 圖。如圖5a所不，當貼著滾筒49降低時，貼著滾筒的將切

。藉此，切割膠帶3得 架36之外圓周位於稍

120663.doc 1330127 49之降低量減少。因此，可防止切割膠帶3在黏附滾筒的 與安裝框架36之間擺動。結果，可更穩定地貼著切割 3 〇 ^ 接下來，如圖3及圖5b所示，在已貼著切割膠帶3後之時 間t5時’將可移動台31、37水平地移動至左邊。藉此，與 T移動台31、37之水平移動同步’跳動滾筒以沿著轨條“ 升高。關於此問題，參看圖3及圖4。 • #可移動台31、37之相對側上之末端部分通過貼著、·衰筒 例’切割膠帶3貼著至安裝框架36及晶圓2〇之整個面： 結果’晶圓20可與安裝框架36整合為一體。因此，在下一 步驟中，可容易地處理晶圓20及安裝框架36。 ,如自圖3可看出的’當切割膠帶3之貼著已完成時，驅動 第二空氣紅52，且使貼著滾筒衫升高至原始位置。秋而， 2如圖4及圖5a所示藉由使可移動台31升高而貼著切割膝 f 3之情況下，使可銘叙么q丨政μ 史了移動D 3 1降低以在貼著滾筒49與可 瞻動台3 1之間產生—pq ρφ j.,,. 礴隙。就此而為，可藉由使用貼著滾筒 49及可移動台31兩者决 考笊貼者切割膠▼3 ^當切割膠帶3之 附已完成時，在操作膠帶 停止於原始位置處。者裝置1〇之月”使跳動滚筒62 在將切割膠帶3漣蜻沾& & κ / ^ 運續地貼者至整個可撕離部分6之情況 ’已貼著切割膠帶3後，驅動^所示之切割機單元 。亦即’使切割機單元65之切割機64沿 外圓周旋轉，估锃叮+此 布文蒗I罙36之 31 '仍使传可切斷切割膝帶3。其後，使可移動台 口至其原始位置且重複上述貼著操作。 120663.doc -20· c s) 1330127 如上所述，根據本發明，以跳動滾筒62來預先拉出必須 長度的切割膠帶3。將以此方式預先拉出之切割膠帶3貼著 至安裝框架36及晶圓20。因此，在貼著切割膠帶3時，不 必藉由驅動滾筒45來使膠帶滾筒42旋轉。 另外，根據本發明，在貼著切割膠帶3時，僅消耗由跳 動滾同62拉出之切割膠帶3。因此，有可能在未自膠帶滾 筒42拉出新膠帶之情況下進行貼著操作。因此，可在貼著 切。!膠時使用於驅動膠帶滾筒42之驅動滾筒停止。 因此，在本發明中，有可能防止折皺形成於位於切割膠帶 3貼著至丨裝框架36或日白日圓2G的部分之上游處的切割膠帶3 上。 另外，在本發明中，如前所述，在貼著切割膠帶3時， 使驅動滾筒45停止。因此’在貼著切割膠帶3時，膠帶滾 筒42幾乎不產生張力。因此’正好在載人膠帶滾筒做產 生的張力與正好在替換膠帶滾筒42前產生的張力大體上相 ^。因此’在本發明中，無關於膠帶滾筒之膠帶的剩餘 «，可藉由均勻的力（張力）而穩定地貼著切割膠帶3 ^ 做出上述解釋，其中將切割膠帶3貼著至晶圓2〇之背 面’使得晶HI 2G與安裝框架36可彼此整合。然而，將清楚 地理解下述内容。在將另一膠帶貼著至晶圓2〇之情況下， 例如，在將一表面保護臈貼著至晶圓Μ之表面之情況下， 可應用本發明之膠帶貼著裝置1〇。 雖然已藉由本發明之示範性實施例來展示及描述本發 明，但熟習此項技術者應理解，在不脫離本發明之範疇之 120663 .doc UJU127 情況下，可對其做出前述 , m改變、省略及婵如。 【圖式簡單_】 w及〜加 圓i為展示根據本發明之膠帶貼著裝 ^ Λ Λ 令衣直的截面不意圖； 圖2為該膠帶貼著裝置 放大圖； …^紅放大展示的第一部分 圖3為本發明之膠帶貼著裝置之時序圖. 圖4為該勝帶貼著裝置之一部分經放大展 放大圖； 圖5a為一可移動台附近經放大展示的第—放大圖； 圖5b為該可移動台附近經放大展示的第二放大圖； 士圖6為展示先前技術中開始將一膠帶貼著至—安裝框架 %的—晶圓的俯視圖；及 圖7為展示一普通膠帶滾筒之視圖。 【主要元件符號說明】 3 3' 3a 3b 3c 6 10 15 17 切割膠帶 假想線 貼著部分 末端部分 末端部分 可撕離部分（基帶） 膠帶貼著裝置 外殼 門 18 腳輪 120663.doc •22· 1330127

19 停止器 20 晶圓 22 背面 31 可移動台 35 導引部件 35a 尖端部分 36 安裝框架 37 可移動台 41 量測滾筒 42 膠帶滾筒/抽拉滾筒 43 捲繞滾筒 45 驅動滾筒 46 制動滾筒 47 制動滾筒 48 導引滾筒 49 貼著滾筒/黏附滾筒 51 第一空氣缸 52 第二空氣缸 53 導引滚筒 54 導引滾筒 55 驅動滚筒 56 驅動滾筒 57 導引滾筒 61 軌條 120663.doc -23 - 1330127

62 64 65 71 72 90 99

L 跳動滾筒 切割機 切割機單元 感測器 感測器 控制部分 折皺 膠帶滾筒 地板

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Claims (1)

1. 十、申請專利範圍： L 一種膠帶貼著裝置，其包含： -膠帶滚筒，其用於拉出一膠帶； 订進中之膠帶之—制動構件，其用 自該膠帶滾筒拉出之一部分； '、;1動該膠帶4 -膠帶抽拉構件，其用：在該制動構 之間自該膠帶滾芮抽Ψ /、该踢帶滾筒 诗拉出已由該制動構件制動之 預定量；及 膠帶的— -膠帶貼著構件，其用於在鬆動或解 對該膠帶之制動之彳么彼 〃制動構件 帶貼著Γ: 將位於該制動構件下游之” 帶貼者至一待貼著物件上。 <»亥骖 Θ求項1之膠帶貼著裝置，其中該料貼 用於將該膠帶按壓及贴篓構件包括 的HP 者至料貼著物件之—邊緣部分 、者滚同，且亦包括能夠在水平方向上移動、用於 支撐該待貼著物件的一支撐台。 ； 3.如請求項2之膠帶貼英讲w V貼者裝置，其中在將該膠帶貼著至兮 待貼著物件時將該支撐台升高。 ^ ★"月求項1至3中 >(壬-項之膠帶貼著裝置，其中該谬帶抽 拉構件為一跳動滾筒。 5·如請求項！之膠帶貼著裝置，其中由該膠帶抽拉構件在 該制動構件與該夥帶貼著構件之間纟出的言亥膠帶之—長 度不小於該待貼著物件之一直徑。 6. 求項1之膠帶貼著裝置，其進一步包含一用於使該 膠可滾筒旋轉以拉出該膠帶的驅動滾筒，其中該驅動滾 120663.doc 1^30127 筒使該膠帶滾筒在貼著該膠帶時停止。 7.如請求項2之膠帶貼著裝置，其中： 該膠帶具有一大體上對應於該待 形此 〇百切1干之一表面的 形狀，且複數個該膠帶係在一基帶 間隔貼著， 《縱向方向上以預定 。亥夥帶貼者裝置進—步包含一用於该測該膠帶之 端的偵測構件，其中： 尾 忒偵測構件係以如下之方式定位：在該偵測構件 8該膠帶之該尾料可鄰近於該貼著滾筒配㈣膠帶/ •種料貼著方法，其包含下述步驟： 自一膠帶滾筒拉出一膠帶； :::行進中之膠帶之―制動構件來制動該膠帶之 该膠帶滾筒拉出之一部分； 在該制動構件與該膠帶滾筒之間自該料滾筒進— f已由該制動構件制動之該膠帶拉出一預定量； 鬆動或解除由該制動構件對該膠帶進行之一制動 為，及 件將位於该制動構件下游之該膠帶貼著至一待貼著 9·如請求項8之膠帶貼著方法，其中由 貼著物件， 又和4- ^轉讀者至該待貼著物件時，藉由按壓該膠 二夕帶貼著至該待貼著物件之一邊緣部分，且接著 水平方向上移動該支撐台。 120663.doc 1330127 10.如請求項9之膠帶貼著方法，其中當將該膠帶貼著至該 待貼著物件之該邊緣部分時，使該支撐台升高。

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