JPH0281456A - 保護フィルムの剥離方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明はカセットから取出した、例えば集積回路形成
用半導体ウェハの上面に貼付した粘着フィルムからなる
保護フィルムを自動的に剥離して、ふたたびカセットに
戻す保護フィルムの剥離方法に関するものである。

〔従来の技術〕

このようなウェハの場合、表面に保護フィルムを貼付し
て保護したのち、フィルムを貼付していない側を水流を
併用して研磨するなどの作業を行ない、その後不用にな
った保護フィルムを剥離しなければならない。

上記のような保護フィルムの剥離方法としては、上面に
保護フィルムを貼付したウェハをテーブル上に真空吸引
により固定し、この固定したウェハ上の保護フィルムの
上面に剥離用粘着テープを貼着して、剥離用粘着テープ
により保護フィルムを剥離する方法が行われている。

上記のような従来の保護フィルムのＴＩ離方法は保護テ
ープヱ１ｊ離部の後方に設けたカセットから取出したウ
ェハを搬送ベルトにより保護フィルム剥離部へ搬送し、
この保護フィルムｆｆ１ｌｌ離部で保護フィルムを剥離
したウェハは何等かの搬送手段で前方の搬送ヘルドへ送
り出して、この搬送ヘルドから取出したウェハへ収納す
るという工程からなっている。

〔発明が解決しようとする課題〕

従来の保護フィルム、２４１Ｍ方法は、上記のように、
きわめて複雑な工程からなっている。

従ってこの方法を実施する装置もきわめて複雑で大型の
ものとなり、高価であるとともに取扱いも面倒であるな
どの問題があった。

〔課題を解決するための手段〕

上記の問題点を解決するために、この発明は昇降自在の
縦向きの旋回軸上に横向きのアームを固定し、このアー
ムに半径方向に自在に進退するよう装着した進退部材の
先端に薄板状の真空吸着仮を固定した搬送手段と、この
搬送手段の周囲に配置したウェハ収納カセット支持台お
よび保護フィルム剥離部からなり、上記搬送手段の旋回
軸の＃降運動と、アームに装着した進退部材の進退運動
により、カセット内の保護フィルム貼着ずみウェハを前
記真空吸着板により吸着して取出し、この取出したウェ
ハを保護フィルム剥離部まで移動させて、この保護フィ
ルム剥離部の吸引テーブル上にウェハを正しくセットし
たのち、真空吸着仮によるウェハの吸着を解いて退避し
、ウェハを吸弓テーブルにて固定したのち、ウェハの表
面に貼り付けられた保護フィルムを剥離し、保護フィル
ム剥離後のウェハを再び真空吸着板で吸着して所定のカ
セットに収納したのち真空吸着を解除してカセットから
退避させることを特徴とする保護フィルムのＩＩ　ＫＭ
方法を提供するものである。

また、上記カセット支持台と保護フィルム剥離部の間に
ウェハのアライメント部を設けて、搬送手段によりカセ
ットから取出したウェハをアライメント部によりセンタ
リングおよびアライメントを行ったのち保護フィルム剥
離部に供給する場合もある。

〔実施例］ 第１図はこの発明方法を実施する装置の全体を示す平面
図で、Ａは搬送手段、Ｂはウェハ収納カセット支持台で
、図では２個配置しである。

また、Ｃはアライメント部、Ｄは保護フィルム剥離部で
ある。

第２図は搬送手段Ａの側面図である。この図で１は機箱
で、その中央に垂直の旋回軸２が設けである。

この旋回軸２は機′ＨＪ１に設けた駆動手段および制御
手段により任意の位置への昇降および３６０　。

の範囲の任意の角度への旋回ができるものである。

上記旋回軸２の上端には水平のアーム３を固定する。こ
の水平のアーム３上にはガイド溝があり、このガイド溝
に沿って進退する進退部材４を有し、アーム３内に進退
部材４の駆動手段を設ける。

また、上記進退部材４の先端には真空吸着板５をネジ止
めなどの手段で着脱自在に固定しである。

上記吸着板５は第１図のように２叉状で、その上面また
は下面などの必要部分に複数の吸着孔を設け、吸着板５
内に設けた細い連通孔を進退部材４に連結した真空吸引
ホース６に連通させ、このホース６を自動制御弁を介し
て真空吸引装置に連結しである。

上記搬送手段Ａはエンコーダおよび各部に配置した各種
センサによる動作チエツク機能をもち、ティーチング機
能を内蔵した制御装置を有するもので、この制御装置に
よりあらかじめ設定されたプログラムに従って旋回軸２
の昇降と旋回、進退部材４の進退、真空吸着ｖｉ５の吸
着作用および吸着解除を行う。

第３図ないし第４図はアライメント部Ｃを示すもので、
第３図の１１は旋回手段である。

この旋回手段は軸受１２に回動自在に取付けた吸着台１
４と、この台１４を旋回させるステンビングモータ１３
と、軸受１２をモータ１３とともに固定した固定フレー
ム１８からなっている。

吸着台１４は第４図のようにその上面に吸着用溝１６が
あり、この溝１６が図示省略しである真空吸引装置に通
じる第３図の連通孔１７に連通している。

２１は検出手段で、前記軸受１２の上端に固定したブラ
ケット・２２に複数の検出器２３を固定するが、この検
出器２３は吸着台１４の中心を通る延長線上に適当間隔
で配置し、かつ吸着台１４の上面より低い位置とする。

前記検出器２３が光電素子の場合、ブラケット２２の外
端には覆い板２６の外端を取付け、この仮２６の下面に
は各検出器２３に向けて光線を送る複数の投光器２７を
固定する。

３１はセンタリング装置で、取付台３２上にガイドレー
ル３３を設け、このガイドレール３３に摺動自在または
揺動自在に取付けた一対の上向きの腕３４にセンタリン
グ！、！ｉｉ、３５をネジ止めなどで着脱自在に取付け
たもので、センタリング板３５には、第４図のように対
向する円弧状の凹部３６が形成されている。

凹部３６はウェハ７の円周に一致するもので、前記各腕
３４は図示省略しであるリンク機構などにより開閉する
もので、閉じたとき両凹部３６でウェハ７の外周に一致
する円が吸着台１４と同芯に形成されるようにしである
。

上記の検出器２３および投光器２７が複数あるのは径の
異なるウェハに対応するためで、センタリング板３５も
同じ理由で着脱自在とする。

第２図は、各支持台Ｂ上に、保護フィルム９を上面に貼
付した複数枚のウェハ７を収容したカセット１０を載せ
た状態を示している。

いま、搬送手段Ａの吸着板５が、第１図、第２図のよう
にカセット１０内の所定のウェハ７の下側に挿入され、
ついで真空吸引によりウェハ７の下面を喋着すると、進
退部材４が後退して、吸着したウェハ７をカセット１０
から取り出す。

ついで、旋回軸２が回転してアーム３を旋回させ、その
先端のウェハ７をアライメント部Ｃに向けて停止する。

つぎに、進退部材４が７ライメント部Ｃに向けて前進す
る。

このとき、アライメント部Ｃのセンタリング板３５は第
４図の実線のように広く開いているから、ウェハ７は、
Ｆｉ３５に接触せずに吸着台１４上に移動する。

上記のように吸着台１４の上方に供給されたウェハ７の
中心がセンタリング板３５により吸着台１４の旋回中心
とほぼ一致したことを何らかの検知手段が検知すると、
旋回軸２が少し下降し、ウェハ７を吸着台１４上に載せ
、吸着を解除する。

各センタリング板３５が閉じ始め、両板３５の凹所３６
がウェハ７の外周に一致するとウェハ７の中心と吸着台
１４の旋回中心が一致する。

この状態となると同時に吸着台１４の真空吸引が始まり
、ウェハ７が吸着台１４上に固定されると同時に両腕３
４が開き、両センタリング板３５がウェハ７から離れる
。

図示例のようにウェハ７が最小径の場合は最も内寄りの
投光器２７から最も内側の検出器２３に向けて光線が送
られる。同時にモータ制御用のパルスジェネレータから
のパルス信号によりステンビングモータ１３が起動し、
吸着台１４を第４図の矢印方向に回し始める。

第４図のようにウェハ７により検出器２３が覆われてい
るときは検出器２３からは信号は出ないが、ウェハ７の
直線状のオリエンテーションフラットすなわちオリフラ
８が第５図■のように検出器２゜３の位置にくると、投
光器２７からの光線が検出器２３に当り、この検出器２
３からの信号でモータ１３の回転速度を低下させて停止
精度を向上させる。

こうして低速となったモータ１３により同方向に回転さ
れるウェハ７のオリフラ８が第５図Ｈのように再度検出
器２３と出合うと、投光器２７からの光線が遮断され、
同検出器２３からの信号で、モータ１３は停止する。モ
ータ１３が停止したのち、制御回路からモータ１３へ逆
転指令が出されると同時にパルスモータの回転を指令す
るパルスジェネレータが発するパルスを積算するカウン
タ回路が作動を開始する。

上記のようにモータ１３が逆転して第５図■のように再
びオリフラ８が検出器２３で検出されると、パルスジェ
ネレータの発進は停止し、モータ１３は停止する。

従ってカウンタ回路で積算したパルス数αは、モータ１
３がオリフラ８の一端から他端まで回転した角度を示す
。また、１パルスに対するモータ１３の回転角は定まっ
ているから、パルス数αはオリフラ８と検出器２３とが
出合った２個所の点し、その値のパルスをモーター３に
与えてその角度だけ、第５図■の位置からモーター３を
逆転させて停止させる。

上記のαは任意の数で例えばαを０とすると、第３図■
のように検出器２３の位置とオリフラ８の中心点が合致
する。

また、αをＯ以外の任意の整数にすれば、検出器２３の
位置をオリフラ８の中心点以外の任意の位置にできる。

上記のようにしてウェハ７の位置決めを行なったのち、
アーム３上の進退部材４がふたたびアライメント部Ｃへ
向けて前進し、吸着板５をウェハ７の外周下面に挿入し
たのち、旋回軸２が若干上昇して吸着板５をウェハ７の
下面に接触させ、ついでウェハ７を吸着する。

上記のように吸着板５がウェハ７の下面を吸着すると同
時に、吸着台１４はウェハ７の吸着を解除し、そののち
、旋回軸２が若干上昇し、ついで進退部材４が後退して
アライメント部Ｃからウェハ７を取り出す。

上記のようにアライメント部Ｃから取出されたウェハ７
は旋回軸２の旋回と進退部材４の前進により保護フィル
ム！ｉＪＩ　８部りへ送り出される。

第６図は保護フィルム剥離部である。この第６図におい
て、４１は真空吸引式テーブルで、その後方にフレーム
４２がある。

上記フレーム４２の正面には、制動装置を有する巻軸４
３と駆動装置により矢印方向に駆動される巻取軸４４を
それぞれ取付けて、巻軸４３には剥離用の粘着テープ４
５を巻き、前記ウェハ７から剥離した保護フィルムＳが
付着した粘着テープ４５は巻取軸４４に巻取るようにに
する。

第６図の４６は図示省略しである適宜の駆動手段により
前後方向（第６図に向って左を前、右を後とする）に移
動する貼付ユニットで、このユニット４６にはゴムなど
の柔軟な材料からなる貼付ローラ４８とガイドローラ４
９を設ける。また、この貼付ユニット４６はエアシリン
ダなどにより上下２段に変位するようになっている。

４７は上記貼付ユニット４６とは別の駆動手段により前
後方向に移動する剥離ユニットで、上下一対のローラ５
０の下部にピーリングローラ５１を設けたものである。

前記貼付ローラ４８は狭い巾のもの、ピーリングローラ
５１は広巾である。

また、フレーム４２の正面にはガイドローラ５２．５３
を設ける。

いま、前記のアライメント部Ｃによりアライメントずみ
のウェハ７を吸着した吸着板５がアーム３の旋回と進退
部材４の前進によりテーブル４１上の正しい位置に供給
され、旋回軸２が若干下降してテーブル４１上にウェハ
７を載せる。

上記のようにウェハ７がテーブル上に載ると、真空吸引
手段が働き、テーブル４１上の真空吸引口がウェハ７を
吸着してテーブル４１上に固定する。

上記のようにウェハ７がテーブル４１上に吸着されると
吸着板５はウェハ７の吸着を解き、進退部材４とともに
後退する。

ついで、貼付ユニット４６が前方へ移動し始めると粘着
テープ４５がウェハ７の後端上面に接触してその下面の
粘着面によりウェハ７上の保護フィルム９の後端上面に
接着する。

つぎに貼付ユニット４６が貼付ローラ４８とともに若干
上昇して前方へ前進していくと、貼付ローラ４８による
粘着テープ４５の押圧は解かれ、同粘着テープ４５は保
護フィルムＳから離れるか、または自重で下って軽く接
触する状態となって保護フィルムＳ上に展開される。

つぎに＠’１１ユニット４７が前方へ移動を始めるとピ
ーリングローラ５１によってテープ４５が保護フィルム
９とともに剥離される。

上記の作用により保護フィルム９が完全に剥離されたウ
ェハ７がテーブル４１上にあり、貼付ユニット４６と剥
離ユニット４７がテーブル４１上にない状態において、
ふたたび吸着板５が接近し、保護フィルムを剥離したウ
ェハ７を吸着する。

同時にテーブル４１はウェハ７の吸着を解き、吸着板５
は進退部材４とともに後退して旋回軸２とともに旋回し
、元のカセット１０にウェハ７を向けて進退部材４を前
進させ、カセット１０内にウェハ７を戻して吸着板５は
元に戻る。

上記の保護フィルム剥離部りにおけるフィルムの剥離中
において、搬送手段Ａを働かせ、カセット１０内からつ
ぎのウェハ７を取り出してアライメント部Ｃに供給する
ことができる。

第１図のようにカセット支持台Ｂを２個所に配置した場
合、カセット１０から取り出して保護フィルムを剥離し
たウェハは原則として同じカセット１０の元の位置に戻
す。

こうして、保護フィルムを剥離したウェハ７のみとなっ
たカセット１０は、保護フィルムを貼付したウェハ７を
収納したカセット１０と取り替える。この間に他方の支
持台Ｂ上のカセット１０から取出したウェハ７の保護フ
ィルムの剥離作業を行っていることは勿論である。

なお、アライメントが不用な場合はアライメント部Ｃを
省略する。

また、ウェハ７上に貼付しである保護フィルム９として
、最初は接着力が強く、紫外線を照射すると、三次元網
状化して接着力が低下するという性質の接着剤層を有す
るフィルムを用いた場合には保護フィルム剥離部の手前
に紫外線照射装置を設けて、ウェハ７上に紫外線を照射
すると剥離が確実となる。

〔発明の効果〕

この発明は上記のように、昇降自在の縦向き旋回軸上に
横向きアームを固定し、このアームに半径方向に自在に
進退するよう装置した進退部材の先端に薄板状の真空吸
着板を固定した搬送手段を用い、その周囲にはウェハ収
納カセットおよびウェハのアライメント部（不要な場合
もある）ならびにウェハ上の保護フィルム剥離部を配置
したものであるから、従来の装置のような搬送ベルトが
不要となる。

また、ウェハの搬送は全て搬送手段のアームを支持する
旋回軸の昇降運動と、旋回運動ならびに進退部材の進退
運動と真空吸着板の吸着作用と吸着解除の組合せによっ
て行うので、アライメント部や保護フィルム剥離部にお
いて、ウェハの吸着台や吸着用テーブルを昇降させる必
要はない。

また、カセット支持台やアライメント部、保護フィルム
剥離部などは搬送手段を中心としてその周囲に配置した
ものであるから、各部を一列に並べて搬送ベルトでウェ
ハを搬送する従来の装置に比較して小型化でき、駆動手
段も簡単となるなどの効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明を実施する装置の平面図、第２図は同
上の搬送手段とカセット支持台の拡大側面図、第３図は
アライメント部の拡大縦断正面図、第４図は同上の拡大
平面図、第５図ｉ〜■は同上の作用を説明する行程側平
面図、第６図は保護フィルム剥離部の正面図である。 Ａ、・・・・・搬送手段、　　Ｂ・・・・・・カセット
支持台、Ｃ・・・・・・アライメント部、 Ｄ・・・・・・保護フィルム剥離部、 ２・・・・・・旋回軸、　　　３・・・・・・アーム、
４・・・・・・進退部材、　　５・・・・・・吸着板、
？・・・・・・ウェハ、　　　　８・・・・・・オリフ
ラ、９・・・・・・保護フィルム、１０・・・・・・カ
セット、１１・・・・・・旋回手段、　１４・・・・・
・吸着台、２１・・・・・・検出手段、　３１・・・・
・・センタリング装置、４１・・・・・・真空吸引テー
ブル、 ４５・・・・・・粘着テープ、４６・・・・・・貼付ユ
ニット、４７・・・・・・剥離ユニット、 ４８・・・・・・貼付ローラ、 ５１・・・・・・ビーリングローラ。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）昇降自在の縦向きの旋回軸上に横向きのアームを
   固定し、このアームに半径方向に自在に進退するよう装
   着した進退部材の先端に薄板状の真空吸着板を固定した
   搬送手段と、この搬送手段の周囲に配置したウェハ収納
   カセット支持台および保護フィルム剥離部からなり、上
   記搬送手段の旋回軸の昇降運動と、アームに装着した進
   退部材の進退運動により、カセット内の保護フィルム貼
   着ずみウェハを前記真空吸着板により吸着して取出し、
   この取出したウェハを保護フィルム剥離部まで移動させ
   て、この保護フィルム剥離部の吸引テーブル上にウェハ
   を正しくセットしたのち、真空吸着板によるウェハの吸
   着を解いて退避し、ウェハを吸引テーブルにて固定した
   のち、ウェハの表面に貼り付けられた保護フィルムを剥
   離し、保護フィルム剥離後のウェハを再び真空吸着板で
   吸着して所定のカセットに収納したのち真空吸着を解除
   してカセットから退避させることを特徴とする保護フィ
   ルムの剥離方法。
2. （２）上記カセット支持台と保護フィルム剥離部の間に
   ウェハのアライメント部を設けて、搬送手段によりカセ
   ットから取出したウェハをアライメント部によりセンタ
   リングおよびアライメントを行ったのち保護フィルム剥
   離部に供給する請求項１記載の保護フィルムの、剥離方
   法。