JPH0137850B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、例えば集積回路形成用の基板とな
るシリコンウエハと、このウエハのキヤリヤ治具
となる円形環状などのリングを１枚の粘着フイル
ムに貼着する装置、特にそのウエハリングの吸着
部の構成に関するものである。

〔従来の技術〕

従来ではウエハとリングの粘着テープによる貼
着は一般に手作業で行なつていた。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記のような従来の手作業による貼着方法は、
きわめて手数がかかり、かつ皺ができないように
張ることは困難で、熟練を要するなどの問題があ
る。しかウエハとリングを粘着テープにより貼合
せる場合、貼合せ部へのウエハやリングの自動供
給は比較的容易であるが、ウエハとリングを粘着
テープで貼合せる部分においてウエハを破損させ
ないように、かつ粘着テープにシワが生じないよ
うにすることなどの問題を解決することが困難で
あつた。

〔問題点を解決するための手段〕

上記の問題点を解決するために、この発明はウ
エハとリングの自動貼合せ装置において、そのウ
エハ吸着台は、リングをを吸着、保持するテープ
貼付台とは別個に昇降自在に取付けるとともに、
パネにより押上げ、ウエハとリングの厚みが異な
るとき、ウエハ吸着台の上限位置を調整でき、ま
た、加工誤差を吸収できる構造とし、前記テープ
貼付台は、貼付ロールにより粘着フイルムを貼付
するとき、リング内周部に粘着フイルムのシワが
生ずるのを防ぐため、リングの載置部は、その外
周の部分より、リング厚み分だけ低くなるように
段差を設け、前記ウエハ吸着台には、ウエハの素
子形成面が吸着台に直接触れることを防止する保
護フイルム供給手段を設けて、この保護フイルム
を介してウエハ吸着台上に吸着されているウエハ
と、テープ貼付台上のリングとに粘着テープを貼
付するようにしたものである。

〔作用〕

この発明は上記の構成であり、多数のリングを
積載台上に積載しておく。最下部から１枚づつ取
出したリングは積載台の前方のガイド台上へ移動
し、その上の左右の位置決めピンとリングの左右
の切欠の係合により位置決めされる。

こうして位置決めされたリングは移載手段に吸
着されてテープ貼付台上の一段低いリング載置部
に載せられる。

一方、多数のウエハを収納したカセツトから素
子形成面を上にして１枚づつ取出されたウエハは
ウエハアライメント手段により正確な向きに位置
決めされたのち、ウエハ反転手段により素子形成
面が下になるように反転されて前記テープ貼付台
の中央に設けたウエハ吸着台上へ移載されるが、
このウエハ吸着台にはウエハの素子形成面が吸着
台に直接触れることを防止する保護フイルム供給
手段を設けてあるから、ウエハは保護フイルムを
介して吸着台上に載る。こうしてテープ貼付台上
のリング載置部にリングが載り、ウエハ吸着台上
にウエハが載つて、真空の吸引された条件で、貼
付ユニツトが作動して粘着面を下にした粘着テー
プを貼付ロールによりウエハとリング上に貼付し
ていく。

上記のようにリングとウエハ上に粘着テープが
貼付されるさい、ウエハ吸着台がバネを圧接しつ
つ上下に浮動してウエハに加わる圧力を緩和する
ことによりウエハの破損を防止する。

ついで、リング貼付台の上方のある切断ユニツ
トが下降て粘着テープをリング上で円形に切り抜
いて上昇する。

切断ユニツトが上昇したのち、剥離ユニツトが
動き始め、切り抜かれた円板状の部分以外の残り
の粘着テープを剥離する。

その後、貼付ユニツトと剥離ユニツトが元の位
置に戻るが、このとき円板状に切抜かれた粘着テ
ープで一体に接着されたウエハとリングは剥離ユ
ニツトに設けた移送手段によりつぎの反転手段へ
と移送され、切抜き後の粘着テープに巻取リール
で巻取られ、切抜き前の新しい粘着テープがテー
プ貼付台上に引き出される。

上記のように反転手段上に移送されたリングは
この反転手段により反転されてウエハとリングが
粘着テープ上となり、ステージ上に載せられて必
要に応じて粘着テープの加熱収縮処理、ウエハNo.
の読み取り、ウエハNo.を書き込んだラベルの貼付
などが行われたのち、カセツトへと送り出され
る。

〔実施例〕

第１図において、１は金属リング２の積載台
で、左右一対からなり図示例の場合、後部寄りに
４本の丸棒状ガイドピン３を立て、この各ピン３
内に復数のリング２を積重ねる。また、積載台１
に前部には第１図、第３図にように支持枠４を固
定し、この枠４にリング２のフラツト部５を接触
させる当て板６を設け、この当て板６の下縁と台
１の上面間に第３図のように１枚のリング２の通
過を許容する隙間を設け、当て板６側の左右のガ
イドピン３の下端の相対する側にも最下部のリン
グ２の両側の通過を許容する切欠を設ける。ま
た、左右の積載台１はそのまま前方へ延長して左
右一対のガイド台７とする。

８は左右の積載台１間に設けた進退板であつ
て、その上面は第３図のように台１の上面と同じ
高さであり、上面にリング２の厚みより僅かに低
い左右一対の押出部材９が前後方向に平行に設け
られ、この進退板８を第３図に示すように固定フ
レーム１０上に設けたエアシリンダ１１により１
往復させると、台１上の最下部のリング２が当て
板６の下を通つてその前半をガイド台７上に進出
させて第１図の鎖線ａの位置へと押出され、進退
板８が第１図の実線の位置を戻ると角リング２が
１枚分下降する。

第３図の１５はフレーム１０上のガイドレール
１６に沿つてエアシリンダ１４により進退する進
退台で、この台１５に設けたブラケツト上に揺動
片１７を軸１８により取付け、この揺動片１７上
に前記リング２の内側を押す一対のピン１９を設
ける。

また、進退台１５上には電磁石またはエアシリ
ンダのようなアクチユエータ２１を設けてこれに
より揺動片１７を押上げるとピン１９がガイド台
７上に上に、アクチユエータ２１が下つていると
ピン１９がガイド台７の上面より引込むようにし
てある。

従つて、前記のようにリング２が押出部材９で
押出されているときは進退台１５は第３図の位置
にあり、ピン１９は下つているから、リング２は
ピン１９上を前進して前記のようにａの位置とな
る。

リング２が第１図ａの位置となり進退板８が後
遅した条件でアクチユエータ２１が揺動片１７を
押上げてピン１９をリング２内に入れ、ついでエ
アシリンダ１４により進退台１５が前進を始め、
ピン１９がリング２の内側を押して第１図、第３
図のｂの位置まで押していくとこの部分のガイド
台７上に固定した左右の位置決めピン２２にリン
グ２の外周前部の左右一対の切欠２３が当り、リ
ング２の左右のフラツト部がガイド台７上の左右
のガイドレール２４に接して正確に位置決めされ
る。

その後アクチユエータ２１によりピン１９が下
り、エアシリンダ１４により進退台１５は元の位
置に戻る。

こうして位置決めされたリングは移載手段２０
により第１図のテープ貼付台２７上へ移される。

移載手段２０は第２図、第３図のように垂直の
固定フレーム１２に設けたガイドレール１３に沿
つて移動する移動台２６に昇降自在に取付けた昇
降台４４から突出した支持棒２５に固定した左右
一対の腕２９の先端に真空吸着具３５を設けたも
ので、台２６，４４などはエアシリンダや電磁石
などのアクチユエータで駆動する。

その作用は、上昇位置にある左右の吸着具３５
を昇降台４４とともに第３図の鎖線のように下降
させて第３図のｂの位置にあるリング２を真空吸
着したのち、第１図、第３図の実線のようにリン
グ２とともに上昇し、ついで移動台２６が移動し
てリング２をテープ貼付台２７上に位置させて停
止したのち下降し、このリング２をテープ貼付台
２７上に載せ、吸着具３５によるリング２の吸着
を解いて第３図の元の位置に戻る。

テープ貼付台２７は第２図のようにフレーム２
８上に固定され、真空吸引装置に通じる複数の真
空吸引孔によりリング２を吸着固定する。また、
この貼付台２７の中央の開口３１にウエハに吸着
台３２が遊嵌している。また、テープ貼付台２７
の開口３１の周位のリング載置部４６は第１０図
のように台２７の他の面よりリング２の厚み分だ
け低く段差をつけてある。

第２図のように吸着台３２の下部の筒体３０の
外側には複数の縦向きガイド片３３を設け、支持
台３６上に設けた筒壁４９の内面はガイド溝５０
と前記ガイド片３３を摺動自在に係合させて吸着
台３２の回止めとする。エアシリンダ３４で昇降
する支持台３６に昇降自在にはめた昇降軸３７の
上端に前記吸着台３２を固定し、昇降軸３７をバ
ネ３８で支承し、かつ昇降軸３７にねじ込んだ調
整ナツト４８により台３２の上限位置を調整し得
るようにし、その上面がテープ貼付台２７の上面
より僅かに高くなるように支持してリング２とウ
エハ５３の厚みが異なる場合や加工誤差を吸収し
得るようになつている。

第２図の４０は多孔質プラスチツクからなるウ
エハ保護フイルムで、繰出リール４１から繰り出
され、フレーム２８に設けたガイドロール４２と
吸着台３２上を通り、巻取リール４３に巻取られ
るが、吸着台３２が下がつたとき巻取リール４３
が矢印方向へ回転しフイルム４０を巻き取る。巻
取るフイルム４０の長さは巻取リール４３の外側
に巻かれているフイルム４０に圧着している検出
ロール４５と連動するパルス発振器（図示省略）
から発振されるパルス数をカウントして検出し、
その値が設定値に達するとリール４３を停止せし
める。この設定値は調整可能である。

また、上記のように保護フイルム４０を引出し
たリール４３が停止したのち、リール４３が逆転
してリール４１，４３間のフイルム４０を弛め、
吸着台３２が上昇したとき保護フイルム４０に不
必要な張力を加えないようにする。また、図示省
略してあるが、繰出ロール４１が巻かれた保護フ
イルム４０の外周にもパルス発振器に連動するロ
ールを接触させてフイルム４０の残量を検出する
検出装置を設け、さらに、繰出リール４１のオー
バランを防止するブレーキやフイルム４０の静電
気を除去するイオン発生器を設ける。

第１図の５１はウエハを入れたカセツトを載せ
る左右一対の台である。第７図、第８図のように
左右の台５１上にカセツト５２には多数のウエハ
５３が素子形成面を下にして適当間隔で積上げら
れ、無端搬出ベルト５４，５５によりカセツト５
２内の最下位のウエハ５３をウエハアライメント
手段５７の吸着パツド５６上に引出し、ウエハ５
３がパツド５６上に達するとベルト５４，５５は
止る。

各台５１は図示省略してある昇降手段により昇
降するもので、ウエハ５３が１枚取出される毎に
カセツト５２を下げてつぎのウエハ５３をベルト
５５上に載せる。

左右に台５１を設けたのは一方の台５１上のカ
セツト５２が空になると、他方のカセツト５２内
のウエハ５３が取出して運転を続行し、この間に
空のカセツト５２をウエハ５３の入つたカセツト
５２と交換するためである。

吸着パツド５６は第４図のように昇降枠５８上
に回動自在に取付け、このパツド５６を施回させ
るステツピングモータ６１と、昇降枠５８をモー
タ６１とともに昇降させる昇降用エアシリンダ６
２を設けるが、このシリンダ６２は固定フレーム
６０に取付けられている。

吸着パツド５６の上面に吸着用溝６３があり、
この溝６３が図示省略してある真空吸引装置に通
じる第４図の連通孔６４を連通している。

６５は検出手段で、前記昇降枠５８の上端に固
定したブラケツト６６に検出器６８を固定する
が、この検出器６８はパツド５６の中心を通る延
長線上に配置し、かつ下降位置のパツド５６の上
面より低い位置とする。

前記検出器６８が光電素子の場合、ブラケツト
６６の外端にはピン６９により起伏自在のセンサ
取付部材７０を取付け、このセンサ取付部材７０
の下面には検出器６８に向けて光線を送る投光器
６７を固定し、前記センサ取付部材７０はエアシ
リンダ７１で起伏させる。

第１図、第７図の７２は左右一対のセンタリン
グ部材で、軸７３を中心に揺動または水平移動す
るアーム７４の上端に固定してある。この両アー
ム７４を図示省略してあるリンク機構などにより
連動させ、エアシリンダなどによつて前記部材７
２を開閉する。

上記センタリング部材７２には第１図のように
対向する円弧状の凹部７６が形成されている。こ
の凹部７６はウエハ５３の円周に一致するもの
で、両部材７２が閉じたとき両凹部７６でウエハ
５３の外周は一致する円がパツト５６と同芯に形
成されるようにしてある。

上記のウエハアライメント手段５７の作用を説
明すれば、第４図のようにベルト５４，５５でパ
ツド５６上にウエハ５３が搬入され、ベルト５
４，５５が停止するとシリンダ６２が作用して鎖
線のようにパツド５６が上昇する。ついで、左右
のセンタリング部材７２が第１図、第７図のよう
にウエハ５３を狭み、中心位置を出したのち、パ
ツド５６がウエハ５３を吸着し、センタリング部
材７２が開いてウエハ５３から離れ、ステツピン
グモータ６１が回転を始める。

上記のようにモータ６１によりパツド５６とと
もにウエハ５３が回転を始めると同時に投光器６
７から検出器６８に向けて光線が送られる。ウエ
ハ５３の円周部により検出器６８が覆われている
ときは検出器６８からは信号は出ないが、ウエハ
５３の一部のオリフラ８０が検出器６８の位置に
くると、投光器６７からの光線が検出器６８に当
たり、これによりモータ６１が減速され、ひきつ
づき、同方向に回転するウエハ５３のオリフラ８
０が再度投光器６７の光線を遮断すると、同検出
器６８からの信号で、モータ６１は停止する。つ
いで、モータ６１が逆転を始め、同時にパルスモ
ータの回転を指令するパルスジエネレータが発す
るパルスを積算するカウンタ回路が開始する。

上記のようにモータ６１が逆転して再びオリフ
ラ８０が検出器６８で検出されると、パルスジエ
ネレータの発信は停止し、モータ６１は停止す
る。

従つてカウンタ回路で積算したパルス数ｄは、
モータ６１がオリフラ８０の一端から他端まで回
転した角度を示す。また、１パルスに対するモー
タ６１の回転角は定まつているから、パルス数ｄ
はオリフラ８０と検出器６８とが出合つた２個所
の点ａ，ｂの長さを示すものである。

従つて制御回路によりd/2＋α＝ｐを演算し、
その値のパルスをモータ６１に与えてその角度だ
け、モータ６１を逆転させて停止させる。

上記のαは任意の数で例えばαを０とすると、
検出器６８の位置とオリフラ８０の中心点が合致
する。

また、αを零以外の認意の整数にすれば、検出
器６８の位置をオリフラ８０の中心点以外の任意
の位置にできる。例えば90゜方向、180゜方向、270゜
方向などの位置決めができる。また、プリアライ
メントの後に、カメラなどを用いたフアインアラ
イメント（ウエハ表面のパターンマツチングによ
る位置合せ）を行なえばより精度よく位置決めが
できる。

上記のようにしてウエハ５３の位置決めを行な
つたのち、吸着パツド５６による吸着を解き、エ
アシリンダ７１によりセンサ取付部材７０を上方
へ回転し、ついでエアシリンダ６２によりパツド
５６などを下降させる。

第１図、第４図の８１はウエハの反転手段であ
る。この手段８１は第４図のように固定フレーム
８２上のガイドレール８３に沿つて前後に進退す
る摺動台８５上に高さを調節できるように取付け
たブラケツト８６に後端の上向片を軸８７により
揺動自在に取付けたアーム８４に２又は吸着部９
０を設けたものである。アーム８４は図示省略し
てある駆動手段により吸着パツド５６の方向へ向
いた状態から上方反対方向へ回動し、また、摺動
台８５はエアシリンダ８８により進退する。

また、前記吸着部９０のウエハ吸着側には複数
の吸着孔を設けてこれをアーム８４に設けた連通
孔などで真空吸引装置に連通させている。

上記ウエハ反転手段８１の作用は説明すれば、
前記のウエハアライメント手段５７において、吸
着パツド５６の回転によりオリフラ検出中におい
て、水平状態のアーム８４の吸着部９０は第４図
の鎖線のようにシリンダ８８により吸着パツド５
６の方に進行して、上昇しているウエハ５３の下
部に待機している。

オリフラの検出が終りパッド５６によるウエハ
５３の吸着が解除されてパッド５６が下降する
と、第５図のようにウエハ５３が吸着部９０上に
残る。

ついで、吸着部９０の吸引孔が真空吸引を介し
てウエハ５３を吸着部９０に吸着したのち、アー
ム８４が軸８７を中心に第５図の鎖線のように回
転し、この状態でシリンダ８８が働いて摺動台８
５を第４図の実線の位置に戻し、更に、アーム８
４を下方へ回転して第６図のようにウエハ５３を
前記ウエハ吸着台３２上の保護フイルム４０上へ
水平に載せる。その後、吸着部９０によるウエハ
５３の吸着を解き、ウエハ５３は吸着台３２に吸
着される。また、ウエハ５３を離したアーム８４
は軸８７を中心に逆転して第４図の実線の位置に
戻る。

上記のようにテープ貼付台２７上にリング２が
載せられ、その中央のウエハ吸着台３２の保護フ
イルム４０上にウエハ５３が載せられて真空吸引
された条件で、テープの貼付および切断剥離が行
なわれる。

この貼付と剥離の装置は第２図のようにガイド
レール９５に沿つて移動する貼付ユニツト９６と
剥離ユニツト９７からなつている。貼付ユニツト
９６の本体９３にはゴムからなる貼付ロール９８
とその上部に位置する上下のロール９９，１００
とがあり、剥離ユニツト９７の本体９４にはテー
プ剥離ロール１０１と複数のガイドロール１０２
とを設ける。

第２図の１０４は粘着テープ１０５の繰出リー
ル、１０６は同巻取リールで、リール１０４から
繰り出されたテープ１０５はガイドロール１０７
を経て粘着面を下にした状態で貼付ユニツト９６
の上下のロール９９，１００間を通り、貼付ロー
ル９８の下から剥離ロール１０１の下を通り、ガ
イドロール１０２およびガイドロール１０８に導
かれて巻取リール１０６に巻取られる。上記の各
ユニツト９６，９７はエアシリンダなどの駆動手
段により駆動される。

１１０は切断ユニツトで第９図のようなもので
ある。

すなわち、固定フレーム１２に取付けた垂直の
エアシリンダ１１１のピストン杆に固定した昇降
枠１１２にブラケツト１１３を設けて、このブラ
ケツト１１３に固定したギヤモータ１１４で駆動
される旋回枠１１５の先端の取付部材１１７に自
由回転の円板状カツタ１１９を取付けたもので、
この取付部材１１７はバネにより押下されてい
る。

また、旋回枠１１５の中心に固定した垂直の軸
１１６の下端には円板状の押え板１１８を回動自
在に取付け、この押え板１１８の下面外周にリン
グ状のゴム１２０を固定する。

前記剥離ユニツト９７には移送手段１２１を設
ける。この手段１２１は第２図、第１１図のよう
にユニツト９７の本体９４に昇降自在の取付けた
枠１２３の下部に、リング２の四隅の上面に吸着
する真空吸着具１２４を設け、これらを真空吸引
装置に連結し、枠１２３をエアシリンダなどのア
クチユエータ１２５で昇降させるものである。

上記の各ユニツト９６，９７，１１０の作用を
説明すれば、テープ貼付台２７とウエハ吸着台３
２上にリング２とウエハ５３が載つて吸着固定さ
れている条件において、繰出リール１０４と巻取
リール１０６が制動され、剥離ユニツト９７の本
体９４が固定された状態で貼付ユニツト９６が第
２図に向つて右左へ移動すると、第１０図のよう
にロール９８，１０１間の粘着テープ１０５が展
張される。このようにロール９８がテープ１０５
を展張しつつ移動するさい、ゴム製のロール９８
がテープ１０５をリング２とウエハ５３上に押し
付けていくことによりテープ１０５はリング２と
ウエハ５３に貼付される。

こうしてロール９８，１０１間にテープ１０５
が張られた状態となつた条件で第９図の切断ユニ
ツト１１０のシリンダ１１１が働き、上昇位置に
ある昇降枠１１２を旋回枠１１５とともに下降さ
せ、押え板１１８の下側のゴム１２０がリング２
上のテープ１０５をリング２とともにテープ貼付
台２７上に押し付けて停止する。また、シリンダ
１１１が起動すると同時に、ギヤモータ１１４も
起動し、カツタ１１９の外周の刃がリング２上の
テープ１０５をカツトしつつ軸１１６を中心に回
転するが、この間、軸１１６は回るが押え板１１
８は回らない。こうしてテープ１０５を完全に切
るため、カツタ１１９が２回転すると、ギヤモー
タ１４４は止り、シリンダ１１１が働いて昇降枠
１１２が上昇し、カツタ１１９はリング２上から
離れる。

上記のように、リング２上にテープ１０５が貼
着され、テープ１０５がカツタ１１９により切抜
かれたのち、剥離ユニツト９７が貼付ユニツト９
６の方へ移動し始める。このとき、リール１０
４，１０６は制動状態のままであるから、切抜き
後のテープはリング２上から離れる。第１１図の
ように剥離ユニツト９７が貼付ユニツト９６に接
近して停止したとき、移送手段１２１の各吸着具
１２４がリング２の四隅上となる。この条件でア
クチユエータ１２５が働いて枠１２３が下降し、
各吸着具１２４がリング上に接触すると同時に各
吸着具１２４によるリング２の真空吸引が始ま
る。一方、貼付台２７、吸着台３２のリング２と
ウエハ５３の吸着が解かれ、ついでアクチユエー
タ１２５の作用で枠１２３が上昇する。

そののち、移送手段１２１は切り抜かれたテー
プ１０５を貼付したリング２と同じくテープ１０
５に貼付されたウエハ５３とともに吸着して剥離
ユニツト９７とともに第２図に元の位置に戻る。
また、これと同期してテープ貼付ユニツト９６も
第２図の位置に戻る。

上記の各ユニツト９６，９７の戻りのさいは、
リール１０４，１０６の制動を解き、リール１０
４は自由回転とし、リール１０６をテープ巻取り
方向に駆動することにより切抜き後のテープ１０
５はリール１０６に巻取られ、リール１０４から
は新しいテープ１０５が引出されて第２図の状態
となる。

第１図、第２図の１２９は反転手段で１３０は
リング２の端部を挾むチヤツクであり適宜の駆動
手段により開閉される一対の爪１３１をチヤツク
本体１３２に取付けたものである。

第１図の１３３はエアシリンダで、このシリン
ダ１３３のピストンロツド１３５にアーム１３６
を固定する。アーム１３６の先端には第２図のよ
うにモータ１３７を固定し、このモータ１３７の
垂直の軸１３８上に固定したブラケツト１３９に
水平の軸を有するロータリアクチユエータ１４０
を固定し、このアクチユエータ１４０の回転軸に
前記チヤツク本体１３２を固定する。

上記反転手段１２９の作用は最初、第２図の鎖
線のようにチヤツク本体１３２が上昇位置にあつ
て、爪１３１を剥離ユニツト９７の方へ向け、か
つ開いた状態で待機している。この状態で前記の
ようにウエハ貼付後のリング２を吸着した移送手
段１２１が戻つてくると、そのリング２の一部が
開いている爪１３１間に入る。

ついで、爪１３１が閉じてリング２を挾むと同
時に移送手段１２１の各吸着具１２４によるリン
グ２の吸着が解除され、ついでアクチユエータ１
２５が作動して枠１２３を上昇させる。

一方、チヤツク本体１３２はリング２を挾んだ
ままモータ１３７により水平に180゜旋回してリン
グ２を第１図、第２図にステージ１４５上へ移動
して停止する。ついで、ロータリアクチユエータ
１４０によりチヤツク１３０を水平軸の回りに
180゜回転させてリング２とウエハ５３をテープ１
０５の上にする。

ステージ１４５は皿状で、前記のチヤツク１３
０側には上端から所定の深さの凹部１４６が形成
してあるから、上記のようにステージ１４５上で
リング２を停止したチヤツク１３０がシリンダ１
３３の作用で下降するとチヤツク本体１３２が凹
部１４６内に入り、リング２はステージ１４５上
に載る。

ついで、爪１３１が開き、モータ１３７により
リング２を残してチヤツク１３０が180゜水平に回
り第１図の元の位置に戻り待機状態となる。

前記、ステージ１４５は熱源を内蔵しており、
テープ１０５が熱収縮性フイルムの場合は加熱板
として使用する。また、このステージ１４５をウ
エハ識別のための文字読み取り、ラベルの貼付や
刻印を打つ場合として利用することもできる。

ステージ１４５上で必要な作業を終了したリン
グ２はシリンダ１４８によりつぎの移動台１４７
上へ移される。すなわち、第１図のようにシリン
ダ１４８のピストンロツド１４９にはプツシヤ１
５０を設けて、これによりリング２を移動台１４
７上へ押出す。移動台１４７には左右一対の搬送
ベルト１５１があり、移動台１４７上へ押出され
たリング２はこのベルト１５１から中継用無端搬
送ベルト１５２によりつぎのカセツト載せ台１５
３上のカセツト１５４内に送り込まれる。

カセツト載せ台１５３はカセツト１５４内にリ
ング２が１枚送り込まれる毎に下降していく公知
のもので左右に２台設けられ、第１図の右側の台
１５３上のカセツト１５４が一ぱいになると、左
側の台１５３上のカセツト１５４へリング２を送
り込み、その間に右側の台１５３上のカセツト１
５４を空のカセツト１５４と取替える。

従つて移動台１４７は第１図のようにシリンダ
１５５で右方の載せ台１５３の位置に移動できる
ようにしてある。また、移動台１４７に回転機構
を組み込むことにより、ウエハおよびリングの向
きによつて右または左方向に90゜回転させて、第
１図の鎖線のようにつぎのコンベヤ１６０上へ送
り出すことが可能となり、製品単体でのライン化
も構成することができる。

〔効果〕

この発明は前記のように積載台、ガイド台を経
て一定位置となつたリングと、カセツトから１枚
づつ取出してウエハアライメント手段により一定
の向きに位置決めされたウエハをテープ貼付台
と、その中央のウエハ吸着台上に載せ、粘着テー
プをこのリングとウエハ上に貼付し、ついで、テ
ープをリング上で円形に切り抜く操作や切り抜い
たのちの孔のあいた粘着テープを剥離して巻取る
操作を全自動的に行なうものにおいて、上記のウ
エハ吸着台はリングを吸着、保持するテープ貼付
台とは別個に昇降自在に取付けるとともに、バネ
により押上げ、ウエハとリングの厚みが異なると
き、ウエハ吸着台の上限位置を調整でき、また、
加工誤差を吸収できる構造としたから、粘着テー
プの貼着にさいしてウエハに下向きの力が加わる
と、ウエハ吸着台がバネを圧接して下降して、ウ
エハに加わる力を緩和し、ウエハの破損を防止す
る効果がある。

また、上記のテープ貼付台には、そのリングの
載置部と他の部分とに、リング厚み分だけの段差
を設けて、貼付台の外周部の上面とリングの上面
とがほぼ同一平面となるようにしてあるから、リ
ング内周部に粘着テープのシワが生じないという
効果がある。

さらに、上記のウエハ吸着台にはウエハ保護テ
ープが張られていて一回の粘着テープ貼付毎に保
護テープを移動させて保護テープの新しい面を出
すようにしてあるので下になつた素子形成面がシ
リコンくずなどの異物で傷つけられるおそれがな
いなどの効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明装置の一実施例の一部を省略
した平面図、第２図は同上の一部を縦断した拡大
正面図、第３図はリング積載台やガイド台の拡大
縦断側面図、第４図はウエハアライメント手段と
ウエハ反転手段の拡大縦断側面図、第５図、第６
図は同上の作動を示す一部切欠側面図、第７図は
ウエハアライメント手段附近の一部を縦断した拡
大正面図、第８図は同上の一部横断平面図、第９
図は切断ユニツトの拡大側面図、第１０図、第１
１図は粘着テープ貼付および剥離ユニツトの作動
を示す一部縦断拡大正面図である。 １……積載台、２……金属リング、７……ガイ
ド台、２０……移載手段、２２……リングの位置
決めピン、２３……リンクに設けた切欠、２７…
…テープ貼付台、３２……ウエハ吸着台、３９…
…保護フイルム供給手段、４０……ウエハ保護フ
イルム、５２……カセツト、５３……ウエハ、５
７……ウエハアライメント手段、８１……ウエハ
反転手段、９６……貼付ユニツト、９７……剥離
ユニツト、９８……貼付ロール、１０５……粘着
テープ、１１０……切断ユニツト、１１９……円
板状カツタ、１２１……移送手段、１２９……ウ
エハ貼付ずみリングの反転手段。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ リングの載置台上から１枚づつ引出したリン
   グの位置決めを行なうガイド台の側方に、リング
   を吸着してテープ貼付台上へ移載する移載手段を
   設け、テープ貼付台の前方には素子形成面を上に
   したウエハの位置決めを行うウエハアライメント
   手段と、位置決め後のウエハを反転させて素子形
   成面を下にした状態で前記テープ貼付台の中央に
   設けたウエハ吸着台へ移載するウエハ反転手段を
   設け、前記テープ貼付台上には、テープ貼付台上
   のリングと、ウエハ吸着台上に素子形成面を下に
   して吸着されているウエハとに、粘着テープを貼
   付しつつ移動する貼付ユニツトと、貼付した粘着
   テープをリング上で切断する切断ユニツトと、切
   断後の粘着テープとリング上から剥離して巻取る
   剥離ユニツトを設け、さらにこの剥離ユニツトに
   は粘着テープを剥離したのちの粘着テープと、ウ
   エハを貼着したリングを吸着してつぎのウエハ貼
   付ずみリング反転手段に移送する移送手段を設
   け、この移送手段からリングを受け取つた反転手
   段はウエハとリングが粘着テープの上となるよう
   に反転させる機構を有するウエハとリングの自動
   貼合せ装置において、ウエハ吸着台は、リングを
   吸着、保持するテープ貼付台とは別個に昇降自在
   に取付けるとともに、バネにより押上げ、ウエハ
   とリングの厚みが異なるとき、ウエハ吸着台の上
   限位置を調整でき、また、加工誤差を吸収できる
   構造とし、前記テープ貼付台は、貼付ロールによ
   り粘着フイルムを貼付するとき、リング内周部に
   粘着フイルムのシワが生ずるのを防ぐため、リン
   グの載置部は、その外周の部分より、リング厚み
   分だけ低くなるように段差を設け、前記ウエハ吸
   着台には、ウエハの素子形成面が吸着台に直接触
   れることを防止する保護フイルム供給手段を設け
   て、この保護フイルムを介してウエハ吸着台上に
   吸着されているウエハと、テープ貼付台上のリン
   グとに粘着テープを貼付するようにしたことをと
   するウエハとリングの自動貼合せ装置。