JPH0291959A - 粘着テープの貼付方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明はカセットから取出した、例えば集積回路形成
用半導体ウェハの外側にリングを配置し、その上面に粘
着テープを自動的に貼付して、カットしたのち、この粘
着テープを貼付したリングとウェハをカセットに収納す
る粘着テープの貼付方法に関するものである。

〔従来の技術〕

このようなウェハの場合、ウェハの裏面にテープを貼着
した状態でシリコンウェハのストリートを水流を利用し
てカントし、チップを分割するなどの作業を行う。

上記のような粘着テープの貼付方法としては、上面に粘
着テープを貼付する前のウェハとリングを貼付台上に真
空吸引により固定し、この固定したウェハとリング上に
粘着テープを貼着し、つぎにカット手段により粘着テー
プをリング上でカットしたのち、カット後の粘着テープ
を巻取って除去する方法が行われている。

上記のような従来の粘着テープの貼付方法は貼付部の後
方や側方に設けたカセットから取出したウェハを搬送ベ
ルトにより貼付部へ搬送し、二の貼付部で粘着テープを
貼付したのち、リングを貼り合わせて粘着テープをカッ
トし、カットされた粘着テープ貼付ずみのリングとウェ
ハを何等かの搬送手段で前方の搬送ベルトへ送り出して
、この搬送ベルトにより搬送したリングとウェハをカセ
ットに収納するという工程からなつている。

〔発明が解決しようとする！！題〕

従来の粘着テープ貼付方法は、上記のように、きわめて
複雑な工程からなっている。

従ってこの方法を実施する装置もきわめて複雑で大型の
ものとなり、高価であるとともに取扱いも面倒であるな
どの問題があった。

（ＬｍＢを解決するための手段〕 上記の問題点を解決するために、この発明は昇降自在の
縦向きの旋回軸上に横向きのアームを固定し、このアー
ムに半径方向に自在に進退するよう装着した進退部材の
先端に薄板状の真空吸着板を固定した搬送手段と、この
搬送手段の周囲に配置したウェハカセット支持台とリン
グカセット支持台および粘着テープ貼付部からなり、上
記搬送手段の旋回軸の昇降運動と、アームに装着した進
退部材の進退運動により、ウニ八カセット内のウェハを
前記真空吸着板により吸着して取出し、この取出したウ
ェハを粘着テープ貼付部まで移動させ、吸着部材を反転
することにより、ウニへの表裏を反転させて、ウェハの
裏面を上にして、この粘着テープ貼付部にウェハを正し
くセットし、同じく搬送手段により、リングカセット内
のリングを真空吸着板により吸着して取出し、前記粘着
テープ貼付部まで移動させてウェハの外側に正しくセッ
トしたのち真空吸着板を退避させ、ついでウェハとリン
グ上に粘着テープを貼付し、そののち、リング上におい
て、カット手段により粘着テープをカットし、カットし
た粘着テープはリングとウェハ上に貼付した部分を残し
て巻取り、粘着テープを貼付したリングとウェハは貼付
台の真空吸引を解除すると同時に前記真空吸着板で吸着
して再度反転し、ウェハの表面を上にして所定のカセッ
トに収納したのち真空吸着を解除してカセットから退避
させることを特徴とする粘着テープの貼付方法を提供す
るものである。

また、上記カセット支持台と粘着テープ貼付部の間にウ
ェハのアライメント部を設けて、搬送手段によりカセッ
トから取出したウェハをアライメント部によりセンタリ
ングおよびアライメントを行ったのち粘着テープ貼付部
に供給する場合もある。

〔実施例〕

第１図はこの発明方法を実施する装置の全体を示す平面
図で、Ａは搬送手段、Ｂはウェハカセット支持台、Ｃは
リングカセット支持台である。

また、Ｄはアライメント部、Ｅは粘着テープ貼付部、Ｆ
は粘着テープ貼付後のリングとウェハの収納用カセット
支持台である。

第３図は搬送手段Ａの側面図である。この図で１は機箱
で、その中央に垂直の旋回軸２が設けである。

この旋回軸２は機箱１内に設けた駆動手段および制御手
段により任意の位置への昇降および３６０゜の範囲の任
意の角度への旋回ができるものである。

上記旋回軸２の上端には水平のアーム３を固定する。こ
の水平のアーム３上にはガイド溝があり、このガイド溝
に沿って進退する進退部材４を有し、アーム３内には進
退部材４の駆動手段を設ける。

また、上記進退部材４の両端には２叉状の真空吸着板５
．６をネジ止めなどの手段で着脱自在に固定しである。

上記吸着板５．６はその前端部上面または下面などの必
要部分に複数の吸着孔を設け、吸着板５．６内に設けた
細い連通孔を進退部材４に連結した真空吸引ホース７に
連通させ、このホース７を自動制御弁を介して真空吸引
装置に連結しである。

上記搬送手段Ａはエンコーダおよび各部に配置した各種
センサによる動作チエツク機能をもち、ティーチング機
能を内蔵した制御装置を有するもので、この制御装置に
よりあらかじめ設定されたプログラムに従って旋回軸２
の昇降と旋回、進退部材４の進退、真空吸着板５．６の
吸着作用および吸着解除を行う。

また、上記吸着板５．６は工程の関係上、小型モータな
どの駆動手段による反転機能をもたせて表裏反転ができ
るようにして斡り。

第４図ないし第５図はアライメント部りを示すもので、
第４図の１１は旋回手段である。

この旋回手段は軸受１２に回動自在に取付けた吸着台１
４と、この台１４を旋回させるステッピングモータ１３
と、軸受１２をモータ１３とともに固定した固定フレー
ム１８からなっている。

吸着台１４は第５図のようにその上面に吸着用溝１６が
あり、この満１６が図示省略しである真空吸引装置に通
じる第４図の連通孔１７に連通している。

２１は検出手段で、前記軸受１２の上端に固定したブラ
ケット２２に複数の検出器２３を固定するが、この検出
器２３は吸着台１４の中心を通る延長線上に適当間隔で
配置し、かつ吸着台１４の上面より低い位置とする。

前記検出器２３が光電素子の場合、ブラケット２２の外
端には覆い板２６を取付け、この板２６の下面には各検
出器２３に向けて光線を送る複数の投光器２７を固定す
る。

３１はセンタリング装置で、取付台３２上にガイドレー
ル３３を設け、このガイドレール３３に摺動自在または
揺動自在に取付けた一対の上向きの腕３４にセンタリン
グ板３５をネジ止めなどで着脱自在に取付けたもので、
センタリング板３５には、第５図のように対向する円弧
状の凹部３６が形成されている。

凹部３６はウェハ８の円周に一致するもので、前記各部
３４は図示省略しであるリンク機構などにより開閉する
もので、閉じたとき両凹部３６でウェハ８の外周に一致
する円が吸着台１４と回忌に形成されるものである。

上記の検出器２３および投光器２７が複数あるのは径の
異なるウェハに対応するためで、センタリング板３５も
同じ理由で着脱自在とする。

第３図は、支持台Ｂ上に、複数枚のウェハ８を収容した
カセット１０を載せた状態を示している。

いま、搬送手段Ａのウニ八吸着用の吸着板５が、第３図
のようにカセット１０内の所定のウェハ８の下側に挿入
され、ついで真空吸引によりウェハ８の下面を吸着する
と、進退部材４が後退して、吸着したウェハ８をウェハ
カセット１０から取り出す。

ついで、旋回軸２が回転してアーム３を旋回させ、その
先端のウェハ８をアライメント部りに向けて停止する。

つぎに、進退部材４がアライメント部りに向けて前進す
る。

このとき、アライメント部りのセンタリング板３５は開
いているため、ウェハ８は板３５．２６に接触せずに吸
着台１４上に載せられる。

上記のように吸着台１４に供給されたウェハ８の中心が
吸着台１４の旋回中心とほぼ一致したことを何らかの検
知手段が検知すると、旋回軸２が少し下降し、ウェハ８
を東着台１４上に載せ、吸着を解除する。

各センタリング板３５が水平になると同時にこの両板３
５が閉じ始め、両板３５の凹所３６がウェハ８の外周に
一致するとウェハ８の中心と吸着台１４の旋回中心が一
致する。

この状態となると同時に吸着台１４の真空吸引が始まり
、ウェハ８が吸着台１４上に固定されると同時に両腕３
４が開き、両センタリング板３５がウェハ８から離れる
。

図示例のようにウェハ８が最小径の場合は最も内寄りの
投光器２７から最も内側の検出器２３に向けて光線が送
られる。同時にモータ＠御用のパルスジェネレータから
のパルス信号によりステンピングモータ１３が起動し、
吸着台１４を第５図の矢印方向に回し始める。

第５図のようにウェハ８により検出器２３が覆われてい
るときは検出器２３からは信号は出ないが、ウェハ８の
直線状のオリエンチーシランフラットすなわちオリフラ
９が第６図！のように検出器２３の位置にくると、投光
器２７からの光線が検出器２３に当り、この検出器２３
からの信号でモータ１３の回転速度を低下させて停止精
度を向上させる。

こうして低速となワたモータ１３により同方向に回転さ
れるウェハ８のオリフラ９が第６図Ｈのように再度検出
器２３と出合うと、投光器２７がらの光線が遮断され、
同検出器２３からの信号で、モータ１３は停止する。モ
ータ１３が停止したのち、制御回路からモータ１３へ逆
転指令が出されると同時にパルスモータの回転を指令す
るパルスジェネレータが発するパルスを積算するカウン
タ回路が作動を開始する。

上記のようにモータ１３が逆転して第６図ｍのように再
びオリフラ９が検出器２３で検出されると、パルスジェ
ネレータの発信は停止し、モータ１３は停止する。

従ってカウンタ回路で積算したパルス数αは、モータ１
３がオリフラ９の一端から他端まで回転した角度を示す
、また、ｌパルスに対するモータ１３の回転角は定まっ
ているから、パルス数αはオリフラ９と検出器２３とが
出合った２個所の点し、その値のパルスをモーター３に
与えてその角度だけ、第５図ｍの位置からモータ１３を
逆転させて停止させる。

上記のαは任意の数で例えばαをＯとすると、第６図■
のように検出器２３の位置とオリフラ９の中心点が合致
する。

また、αを０以外の任意の整数にすれば、検出器２３の
位置をオリフラ９の中心点以外の任意の位置にできる。

上記のようにしてウェハ８の位置決めを行なったのち、
アーム３上の進退部材４がふたたびアライメント部りへ
向けて前進し、吸着板５をウェハ８の外周下面に挿入し
たのち、旋回軸２が若干上昇して吸着板５をウェハ８の
下面に接触させ、ついでウェハ８を吸着する。

上記のように吸着板５がウェハ８の下面を吸着すると同
時に、吸着台１４はウェハ８の吸着を解除し、そののち
、旋回軸２が若干上昇し、ついで進退部材４が後退して
アライメント部りからウェハ８を取り出し、吸着板５を
反転させてウェハ８の裏面を上にした状態で待機する。

上記のようにアライメント部りから取出されて裏面を上
にしたウェハ８は旋回軸２の旋回と進退部材４の前進に
よりつぎの粘着テープ貼付部Ｅへ送り出される。

一方、前記リングカセット支持台Ｃ上のリングカセット
１５内のリング１９も搬送手段Ａの旋回軸２と進退部材
４の作動と、リング吸着用の吸着板６の作用により吸着
されて粘着テープ貼付部Ｅへ送り出される。

第７図ないし第９図は粘着テープ貼付部Ｅの詳細を示す
もので、４１は粘着テープ貼付台である。

上記貼付台４１は第７図のようにフレーム４２上に固定
され、真空吸引装置に通じる複数の真空吸引孔によりリ
ング１９を吸着固定する。また、この貼付台４１の中央
の開口４３にウェハの吸着台４４が遊嵌している。また
、貼付台４１の開口４３の周囲のリングｓ！置部４５は
第１０図のように台４１の他の面よりリング１９の厚み
分だけ低く段差をつけである。

第７図のように吸着台４４の下部の筒体４６の外側には
複数の縦向きガイド片４７を設け、支持台４８上に設け
た筒壁４９の内面のガイド溝５０と前記ガイド片４７を
摺動自在に係合させて吸着台４４の回止めとする。

エアシリンダ５１で昇降する支持台４８に昇降自在には
めた昇降軸５２の上端に前記吸着台４４を固定し、昇降
軸５２をバネ５３で支承し、かつ昇降軸５２にねじ込ん
だ調整ナツト５４により台４４の上限位置を１１整し得
るようにし、その上面が貼付台４１の上面より僅かに高
くなるように支持してリング１９とウェハ８の厚みが異
なる場合や加工誤差を吸収し得るようになっている。

第７図の５７は多孔質プラスチックからなるウェハ保護
フィルムで、繰出リール５８から繰り出され、フレーム
４２に設けたガイドロール５Ｓと吸着台４４上を通り、
巻取リール６０に巻取られるが、吸着台４４が下ったと
き巻取リール６０が矢印方向へ回転しフィルム５７を巻
き取る。＠取るフィルム５７の長さは巻取リール６０の
外側に巻かれているフィルム５７に圧着している検出ロ
ール６１と連動するパルス発振器（図示省略）から発振
されるパルス数をカウン°トして検出し、その値が設定
値に達するとリール６０を停止せしめる。この設定値は
調整可能である。

また、上記のように保護フィルム５７を引出したリール
６０が停止したのち、同リール６０が逆転してリール５
８．６０間のフィルム５７を弛め、吸着台４４が上昇し
たとき保護フィルム５７に不必要な張力を加えないよう
にする。また、図示省略しであるが、繰出リール５８に
巻かれた保護フィルム５７の外周にもパルス発振器に連
動するロールを接触させてフィルム５７の残量を検出す
る検出装置を設け、さらに、操出リール５８のオーバラ
ンを防止するブレーキやフィルム５７の静電気を除去す
るイオン発生器を設ける。

貼付台４１上にリング１９が載せられ、その中央のウェ
ハ吸着台４４の保護フィルム５７上にウェハ８が載せら
れて真空吸引された条件で、粘着テープの貼付および切
断剥離が行なわれる。

この貼付と剥離の装置は第７図のようにガイドレール６
５に沿って移動する貼付ユニット６６と剥離ユニット６
７からなっている。貼付ユニット６６の本体６８にはゴ
ムからなる貼付ロール６９とその上部に位置する上下の
ロール７０．７１とがあり、剥離ユニット６７の本体７
２にはビーリングロール７３と複数のガイドロール７４
とを設ける。

第７図の７５は粘着テープ７６の繰出リール、７７は同
巻取リールで、リール７５から操り出されたテープ７６
はガイドロール７８を経て粘着面を下にした状態で貼付
ユニット６６の上下のロール７０．７１間を通り、貼付
ロール６９の下からピーリングロール７３の下を通り、
ガイドロール７４およびガイドロール７Ｓに導かれて巻
取り−ル７７に巻取られる。上記の各ユニット６６．６
７はエアシリンダなどの駆動手段により駆動される。

８０はカット手段で第９図のようなものである。

すなわち、固定フレーム８１に取付けた垂直のエアシリ
ンダ８２のピストンロンドに固定した昇降枠８３にブラ
ケット８４を設けて、このブラケット８４に固定したギ
ヤモータ８５で駆動される旋回枠８６の先端の取付部材
８７に自由回転の円板状カンタ８８を取付けたもので、
この取付部材８７はバネにより押下されている。

また、旋回枠８６の中心に固定した垂直の軸８９の下端
には円板状の押え！７ｉｉ９０を回動自在に取付け、こ
の押え仮９０の下面外周にリング状のゴム９１を固定す
る。

と記の各ユニット６６．６７およびカット手段８０の作
用を説明すれば、テープ貼付台４１とウェハ吸着台４４
上にリング１９とウェハ８が載って吸着固定されている
条件において、繰出リール７５と巻取リール７７が制動
され、剥離ユニット６７の本体７２が固定された状態で
貼付ユニット６６が第７図の位置から同図に向って右方
へ移動すると、第１０図のようにロール６９．７３間に
粘着テープ７６が展張される。このようにロール６９が
テープ７６を展張しつつ移動するさい、ゴム製の貼付ロ
ール６９がテープ７６をリング１９とウェハ８上に押し
付けていくことによりテープ７６はリング１９とウェハ
８に貼付される。

こうしてロール６９．７３間にテープ７６が張られた状
態となった条件で第９図のカット手段８０のシリンダ８
２が働き、上昇位置にある昇降枠８３を旋回枠８６とと
もに下降させ、押え仮９０の下側のゴム９１がリング１
９上のテープ７６をリング１９とともにテープ貼付台４
１上に押し付けて停止する。また、シリンダ８２が起動
すると同時に、ギヤモータ８５も起動し、カッタ８８の
外周の刃がリング１９上のテープ７６をカットしつつ軸
８９を中心に回転するが、この間、軸８９は回るが押え
仮９０は回らない、こうしてテープ７６を完全に切るた
め、カッタ８８が２回転すると、ギヤモータ８５は止り
、シリンダ８２が働いて昇降枠８３が上昇し、カッタ８
８はリング１９上から離れる。

上記のように、シリンダ１９上にテープ７６が貼着され
、このテープ７６がカッタ８８により切抜かれたのち、
剥離ユニット６７が貼付ユニット６６の方へ移動し始め
る。このとき、リール７５．７７は制動状態のままであ
るか”ら、切抜き後の孔のあいたテープはリング１９上
から離れる。第１１図のように剥離ユニット６７が貼付
ユニット６６に接近して停止したとき、搬送手段Ａの吸
着板６が貼付台４１上のリング１９の方に移動してくる
。

ついで、搬送手段Ａの旋回軸２が若干下降して吸着板６
でテープ７６を貼付したウェハ８とリング１９を吸着す
る。

同時にウェハ吸着台４４、リング載置部４５はウェハ８
とリング１９の吸着を解き、吸着板６は進退部材４とと
もに後退して旋回軸２とともに旋回し、カセット支持台
Ｆ上のカセット３０にウェハ８およびリング１９を向け
て進退部材４を前進させ、反転してウェハ８の表面を上
にしたのちカセット３０内にテープを貼付したリング１
９とウェハ８を挿入して吸着板６は元に戻る。

上記の粘着テープ貼付部Ｅにおけるテープ７６の貼付中
において、搬送手段Ａを働かせ、カセット１０内からつ
ぎのウェハ８を取り出してアライメント部りに供給する
ことができる。

上記のように、粘着テープを貼付したリング１９とウェ
ハ８を収納して満杯になったカセット３０は、空のカセ
ット３０と取り替える。

第２図に示す実施例の場合）よ搬送手段へを２台配置し
て、一方、すなわち、第２図の右側の搬送手段Ａはウェ
ハ用の真空吸着［５のみを有し、左側の搬送手段Ａはリ
ング用の真空吸着板６を有するものとする。

また、再搬送手段Ａの間に粘着テープ貼付部Ｅを設け、
右側の搬送手段Ａの周囲には２台のウェハカセット支持
台Ｂと１台のアライメント部りを配置し、左側の搬送手
段Ａの周囲には１台のリングカセット支持台Ｃと、２台
のリングとウェハの収納カセット支持台Ｆを配置する。

上記のように配置した場合も各部の作用は同じであるが
、右側の一方の支持台Ｂ上のカセット１０内のウェハ８
がなくなると、直ちに他方の支持台Ｂ上のカセット１０
内のウェハ８の使用を開始し、その間に空のカセット１
０をウェハ８の入つたカセット１０と取替える。

また、左側においては、最初１よ２台の支持台Ｆ上にそ
れぞれ空のカセット３０を載せておき、方のカセット３
０がテープ貼付ずみのリング１Ｓとウェハ８で満杯にな
ると、他方のカセット３０にリング１９とウェハ８を入
れはじめるがこの間に一方の支持台Ｆ上のカセット３０
を空のものに載せかえる。

実施例では左側のリングカセット支持台Ｃが１台である
が、これを２台にして一方の支持台Ｃ上のカセット１５
が空になると他のカセット１５からリング１９を取り出
し、その間に空のカセット１５とリング１９の入ったカ
セット１５を取替えるようにするとよい。

なお、アライメントが不用な場合はアライメント部りを
省略する。

（発明の効果〕 この発明は上記のように、昇降自在の縦向き旋回軸上に
横向きアームを固定し、このアームに半径方間に自在に
進退するよう装着した進退部材の先端に薄板状の真空吸
着板を固定した搬送手段を用い、その周囲にはウェハカ
セット支持台とリングカセット支持台およびウェハのア
ライメント部（不要な場合もある）ならびにウェハとリ
ング上に粘着テープを貼付する貼付部を配置したもので
あるから、従来の装置のような搬送ベルトが不要となる
。

また、ウェハとリングおよび粘着テープに貼付したリン
グとウェハの搬送は全て搬送手段のアームを支持する旋
回軸の昇降運動と、旋回運動ならびに進退部材の進退運
動と真空吸着板の吸着作用と吸着解除の組合せによって
行うので、カセット支持台を昇降させることなく、ウェ
ハやリングを所望の位置から取出したり、粘着テープで
貼着したリングとウェハを所望の位置に収納したりでき
る。

また、各カセット支持台や７５４１７１部、粘着テープ
貼付部などは搬送手段を中心としてその周囲に配置した
ものであるから、各部を一列に並べて搬送ベルトでウェ
ハやリングを搬送する従来の装置に比較して小型化でき
、駆動手段も簡単となるなどの効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図、第２図はこの発明方法を実施する装置の各別を
示す平面図、第３図は同上の搬送手段とカセット支持台
の拡大側面図、第４図はアライメント部の拡大縦断正面
図、第５図は同上の拡大平面図、第６図！〜■は同上の
作用を説明する行程側平面図、第７図は粘着テープ貼付
部の正面図、第８図は同上一部の平面図、第９図はカッ
ト手段の一例を示す拡大側面図、第１０図、第１１図は
粘着テープ貼付部および剥離ユニットの作用を示す一部
縦断拡大正面図である。 Ａ・・・・・・搬送手段、 Ｂ・・・・・・ウェハカセット支持台、Ｃ・・・・・・
リングカセット支持台、Ｄ・・・・・・アライメント部
、 Ｅ・・・・・・粘着テープ貼付部、 Ｆ・・・・・・リングとウェハの収納用カセット支持台
、２・・・・・・旋回軸、　　　３・・・・・・アーム
、４・・・・・・進退部材、　　５．６・・・・・・吸
着板、８・・・・・・ウェハ、　　　　９・・・・・・
オリフラ、１０．１５．３０・・・・・・カセット、１
１・・・・・・旋回手段、　１４・・・・・・吸着台、
１９・・・・・・リング、　　２１・・・・・・検出手
段、３１・・・・・・センタリング装置、 ４１・・・・・・貼付台、　　６６・・・・・・貼付ユ
ニット、６７・・・・・・Ｉｊ１１ｊ！ｉｌユニット、
６９・・・・・・貼付ロール、７３・・・・・・ビーリ
ングロール、７６・・・・・・粘着テープ、８０・・・
・・・カット手段。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）昇降自在の縦向きの旋回軸上に横向きのアームを
   固定し、このアームに半径方向に自在に進退するよう装
   着した進退部材の先端に薄板状の真空吸着板を固定した
   搬送手段と、この搬送手段の周囲に配置したウェハカセ
   ット支持台とリングカセット支持台および粘着テープ貼
   付部からなり、上記搬送手段の旋回軸の昇降運動と、ア
   ームに装着した進退部材の進退運動により、ウェハカセ
   ット内のウェハを前記真空吸着板により吸着して取出し
   、この取出したウェハを粘着テープ貼付部まで移動させ
   、吸着部材を反転することにより、ウェハの表裏を反転
   させて、ウェハの裏面を上にして、この粘着テープ貼付
   部にウェハを正しくセットし、同じく搬送手段により、
   リングカセット内のリングを真空吸着板により吸着して
   取出し、前記粘着テープ貼付部まで移動させてウェハの
   外側に正しくセットしたのち真空吸着板を退避させ、つ
   いでウェハとリング上に粘着テープを貼付し、そののち
   、リング上において、カット手段により粘着テープをカ
   ットし、カットした粘着テープはリングとウェハ上に貼
   付した部分を残して巻取り、粘着テープを貼付したリン
   グとウェハは貼付台の真空吸引を解除すると同時に前記
   真空吸着板で吸着して再度反転し、ウェハの表面を上に
   して所定のカセットに収納したのち真空吸着を解除して
   カセットから退避させることを特徴とする粘着テープの
   貼付方法。
2. （２）上記カセット支持台と粘着テープ貼付部の間にウ
   ェハのアライメント部を設けて、搬送手段によりカセッ
   トから取出したウェハをアライメント部によりセンタリ
   ングおよびアライメントを行ったのち保護フィルム貼付
   部に供給する請求項（１）記載の保護フィルムの貼付方
   法。