KR102640590B1 - 테이프 접착 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 상이한 품종의 점착 테이프의 전환을 가능하게 하여 점착 테이프를 유효하게 이용할 수 있도록 하는 것을 과제로 한다.
테이프 접착 장치(1)는, 테이프 세트(3, 3A)를 테이블(10)까지 유도하는 제1 롤러 유닛(30)과, 테이프 세트(3, 3A)로부터 점착 테이프(4)를 박리하여 링 프레임(F)과 웨이퍼(W)에 접착시키는 접착 수단(50)과, 보호 필름(5)을 권취하여 폐기하는 폐기 수단(60)과, 보호 필름(5)을 폐기 수단(60)까지 유도하는 제2 롤러 유닛(70)과, 롤 테이프(2, 2A) 중 어느 하나를 선택해서 테이프 세트(3, 3A)를 인출하여 테이블(10)에 위치 부여하는 위치 부여 수단(40)과, 테이프 세트(3, 3A)의 단부를 협지하여 폐기 수단(60)까지 유도하는 테이프 세트 유도 수단(80)과, 보호 필름(5)을 절단하는 절단 수단(90)을 구비하기 때문에, 연결용 테이프를 이용하지 않고 상이한 품종의 테이프 세트(3, 3A)로 용이하게 전환할 수 있고, 점착 테이프(4)를 유효하게 이용할 수 있다.

Description

테이프 접착 장치{APPARATUS FOR ATTACHING TAPE}
본 발명은 웨이퍼에 점착성 테이프를 접착하는 테이프 접착 장치에 관한 것이다.
웨이퍼 등의 피가공물을 분할하는 경우는, 예컨대 테이프 접착 장치(테이프 마운터)에 있어서, 개구부를 갖는 링 프레임에 점착 테이프를 접착하고, 이 개구부로부터 노출된 점착 테이프에 웨이퍼를 점착함으로써, 링 프레임과 웨이퍼를 일체화시켜, 웨이퍼 분할시의 칩의 분산을 방지하고 있다. 테이프 접착 장치에서는, 웨이퍼를 분할하는 가공 조건에 따라 상이한 품종의 점착 테이프를 사용하는 경우가 있다.
통상, 점착 테이프는, 기재와 점착제층의 2층 구조로 되어 있다. 점착 테이프의 재질로는, 예컨대, 딱딱한 기재를 갖는 테이프, 탄력성이 있는 기재를 갖는 테이프, 열수축성 기재를 갖는 테이프 등 기재가 상이한 경우 외에, 예컨대, 자외선으로 경화하는 점착제층을 갖는 테이프, 점착제층이 두꺼운 테이프 등 점착제층이 상이한 경우가 있다. 또한, 점착 테이프는, 점착제층에 먼지가 부착되는 것을 방지하기 위해 점착제층에 보호 필름이 부착되어 있고, 통심에 롤형상으로 감겨 롤 테이프의 형태로 되어 있다. 예컨대, 롤 테이프의 통심 내에 지지봉을 진입시켜 롤 테이프를 회전 가능하게 지지한 테이프 접착 장치가 있다(예컨대 하기의 특허문헌 1 및 2를 참조). 이 테이프 접착 장치에서는, 롤 테이프의 외측으로부터 보호 필름과 함께 점착 테이프를 인출하여 복수의 롤러를 통과시키고, 보호 필름으로부터 점착 테이프를 박리하여 링 프레임과 웨이퍼에 점착 테이프를 접착할 수 있다.
일본 특허 공개 제2014-27171호 공보 일본 특허 공개 제2016-008104호 공보
상기와 같은 테이프 접착 장치에 있어서, 점착 테이프의 품종을 전환할 때에는, 다른 품종의 점착 테이프를 복수의 롤러에 통과시켜야 하므로, 테이프의 품종을 전환하기 전의 점착 테이프의 말단과, 전환할 새로운 점착 테이프의 선단을 연결하기 위한 연결용 테이프를 필요로 한다.
본 발명의 목적은, 테이프 접착 장치에 있어서, 연결용 테이프를 사용하지 않고 상이한 품종의 점착 테이프의 전환을 가능하게 하여 점착 테이프를 유효하게 이용할 수 있도록 하는 것이다.
본 발명은, 개구를 갖는 링 프레임을 지지하고, 상기 개구에 위치 부여된 웨이퍼를 지지하는 테이블을 구비하고, 상기 테이블에 지지된 링 프레임과 웨이퍼에 점착 테이프를 접착하여 일체화시키는 테이프 접착 장치로서, 미리 상기 링 프레임에 대응하여 성형된 복수의 상기 점착 테이프가 간격을 두고 띠형상의 보호 필름에 배치된 테이프 세트를 롤형상으로 한 롤 테이프를 회전 가능하게 지지하는 롤 테이프 지지부와, 상기 롤 테이프 지지부가 2개 이상 배치된 롤 테이프 지지 수단과, 상기 롤 테이프로부터 인출한 상기 테이프 세트를 상기 롤 테이프 지지 수단으로부터 상기 테이블까지 유도하는 제1 롤러 유닛과, 상기 테이블까지 유도된 상기 테이프 세트로부터 상기 점착 테이프를 박리하여 상기 테이블이 지지하는 상기 링 프레임과 웨이퍼에 상기 점착 테이프를 접착시키는 접착 수단과, 상기 점착 테이프가 박리된 상기 보호 필름을 권취하여 폐기하는 폐기 수단과, 상기 점착 테이프가 박리된 상기 보호 필름을 상기 테이블로부터 상기 폐기 수단까지 유도하는 제2 롤러 유닛과, 상기 롤 테이프 지지 수단과 상기 제1 롤러 유닛 사이에 배치되고, 2개 이상의 상기 롤 테이프 지지부에 지지된 상기 롤 테이프 중 어느 하나를 선택해서 상기 테이프 세트의 단부를 파지(把持)해 인출하여 상기 테이블에 위치 부여하는 위치 부여 수단과, 상기 위치 부여 수단이 위치 부여한 상기 테이프 세트의 단부를 파지해 상기 제2 롤러 유닛을 통과시켜 상기 폐기 수단까지 유도하는 테이프 세트 유도 수단과, 상기 테이블과 상기 폐기 수단 사이에 배치되어 상기 점착 테이프가 박리된 상기 보호 필름을 절단하는 절단 수단을 적어도 구비하고, 새롭게 선택된 상기 테이프 세트를 상기 위치 부여 수단에 의해 상기 롤 테이프 지지 수단으로부터 인출할 때에, 상기 절단 수단에 의해 현재 사용되고 있는 상기 테이프 세트의 상기 보호 필름을 절단해서 상기 폐기 수단이 권취하여 폐기하고, 현재 사용하고 있는 상기 롤 테이프 지지부를 작동시켜 상기 테이프 세트를 권취할 수 있다.
본 발명에 관한 테이프 접착 장치는, 테이프 세트를 롤형상으로 한 롤 테이프를 회전 가능하게 지지하는 롤 테이프 지지부와, 롤 테이프 지지부를 2개 이상 배치한 롤 테이프 지지 수단과, 롤 테이프로부터 인출한 테이프 세트를 롤 테이프 지지 수단으로부터 테이블까지 유도하는 제1 롤러 유닛과, 테이블까지 유도된 테이프 세트로부터 점착 테이프를 박리하여 테이블이 지지하는 링 프레임과 웨이퍼에 점착 테이프를 접착시키는 접착 수단과, 점착 테이프가 박리된 보호 필름을 권취하여 폐기하는 폐기 수단과, 점착 테이프가 박리된 보호 필름을 테이블로부터 폐기 수단까지 유도하는 제2 롤러 유닛과, 롤 테이프 중 어느 하나를 선택해서 테이프 세트의 단부를 파지해 인출하여 테이블에 위치 부여하는 위치 부여 수단과, 위치 부여 수단이 위치 부여한 테이프 세트의 단부를 파지해 제2 롤러 유닛을 통과시켜 폐기 수단까지 유도하는 테이프 세트 유도 수단과, 테이블과 폐기 수단 사이에 배치되어 점착 테이프가 박리된 보호 필름을 절단하는 절단 수단을 적어도 구비하고, 새롭게 선택된 테이프 세트를 위치 부여 수단에 의해 롤 테이프 지지 수단으로부터 인출할 때에는, 절단 수단에 의해 현재 사용되고 있는 테이프 세트의 보호 필름을 절단해서 폐기 수단이 권취하여 폐기하고, 현재 사용하고 있는 롤 테이프 지지부를 작동시켜 테이프 세트를 권취하도록 구성하기 때문에, 위치 부여 수단에 의해 인출하는 테이프 세트를 상이한 품종의 테이프 세트로 용이하게 전환할 수 있어, 연결용 테이프로 사용중인 테이프 세트의 커팅 단부와 새롭게 사용하고자 하는 테이프 세트의 선단을 연결할 필요가 없다. 따라서, 연결용 테이프를 사용하지 않고서, 원하는 테이프 세트를 선택하여 링 프레임과 웨이퍼에 점착 테이프를 접착할 수 있다.
또한, 본 발명에 의하면, 절단된 나머지 테이프 세트를 롤 테이프 지지부에서 권취하기 때문에, 테이프 세트를 허비하지 않고 유효하게 이용할 수 있다.
도 1은 테이프 접착 장치의 구성을 도시하는 단면도이다.
도 2는 롤 테이프 지지부에 롤형상으로 권취된 테이프 세트의 구성을 도시하는 사시도이다.
도 3은 위치 부여 수단이 테이프 세트의 단부를 협지한 채로 제1 롤러 유닛측까지 슬라이드 이동한 상태를 도시하는 단면도이다.
도 4는 테이프 세트의 단부를 협지한 위치 부여 수단이 개방 위치에 위치 부여된 상태를 도시하는 단면도이다.
도 5는 테이프 세트 유도 수단이 개방 위치에서 테이프 세트의 단부를 협지하는 상태를 도시하는 단면도이다.
도 6은 테이프 세트 유도 수단이 테이프 세트의 단부를 협지한 채로 폐기 수단까지 슬라이드 이동한 상태를 도시하는 단면도이다.
도 7은 제1 롤러 유닛 및 제2 롤러 유닛 사이에 테이프 세트를 끼운 상태를 도시하는 단면도이다.
도 8은 필 플레이트에 의해 보호 필름으로부터 점착 테이프를 박리하고, 접착 롤러에 의해 점착 테이프를 링 프레임 및 웨이퍼에 접착하는 상태를 도시하는 단면도이다.
도 9는 링 프레임 및 웨이퍼에 점착 테이프가 접착된 상태를 도시하고, 폐기 수단에 의해 보호 필름을 권취하는 상태를 도시하는 단면도이다.
도 10은 절단 수단에 의해 점착 테이프가 박리된 보호 필름을 절단하는 상태를 도시하는 단면도이다.
도 11은 새롭게 선택된 테이프 세트를 위치 부여 수단으로 협지하여 인출할 때에, 절단된 보호 필름을 폐기 수단으로 권취하여 폐기하고, 현재 사용하고 있는 테이프 세트를 롤 테이프 지지부로 권취하는 상태를 도시하는 단면도이다.
도 1에 도시하는 테이프 접착 장치(1)는, 개구를 갖는 링 프레임(F)과 피가공물의 일례인 웨이퍼(W)에 점착 테이프를 접착하여 일체화시키는 테이프 접착 장치이다. 테이프 접착 장치(1)는, 링 프레임(F)을 지지하고, 개구에 위치 부여된 웨이퍼(W)를 지지하는 테이블(10)과, 테이블(10)을 수평 방향(X축 방향)으로 이동시키는 테이블 이동 수단(13)을 구비하고 있다.
테이블(10)의 주위에는, 링 프레임(F)을 지지하는 프레임 지지부(11)가 배치되어 있다. 테이블(10) 및 프레임 지지부(11)는, 지지대(12)에 의해 하측으로부터 지지되어 있다. 테이블 이동 수단(13)은, X축 방향으로 연장된 베이스(14)와, 베이스(14)를 따라서 X축 방향으로 이동 가능한 이동 베이스(15)를 구비하고 있다. 이동 베이스(15)에는 지지대(12)가 배치되어 있고, 이동 베이스(15)가 X축 방향으로 이동함으로써, 지지대(12)를 통해 테이블(10) 및 프레임 지지부(11)를 X축 방향으로 이동시킬 수 있다.
테이프 접착 장치(1)는, 테이프 세트(3, 3A)를 롤형상으로 한 롤 테이프(2, 2A)를 회전 가능하게 지지하는 롤 테이프 지지부(20, 20A)와, 롤 테이프 지지부(20, 20A)가 2개 이상 배치된 롤 테이프 지지 수단(21, 21A)과, 롤 테이프(2, 2A)로부터 인출한 테이프 세트(3, 3A)를 롤 테이프 지지 수단(21, 21A)으로부터 테이블(10)까지 유도하는 제1 롤러 유닛(30)과, 테이블(10)까지 유도된 테이프 세트(3, 3A)로부터 도 2에 도시하는 점착 테이프(4)를 박리하여 테이블(10)이 지지하는 링 프레임(F)과 웨이퍼(W)에 점착 테이프(4)를 접착시키는 접착 수단(50)과, 점착 테이프(4)가 박리된 보호 필름(5)을 권취하여 폐기하는 폐기 수단(60)과, 점착 테이프(4)가 박리된 보호 필름(5)을 테이블(10)로부터 폐기 수단(60)까지 유도하는 제2 롤러 유닛(70)과, 롤 테이프 지지 수단(21, 21A)과 제1 롤러 유닛(30) 사이에 배치되고, 롤 테이프 지지부(20, 20A)에 지지된 롤 테이프(2, 2A) 중 어느 하나를 선택해서 테이프 세트(3, 3A)의 단부를 파지해 인출하여 테이블(10)에 위치 부여하는 위치 부여 수단(40)과, 위치 부여 수단(40)이 위치 부여한 테이프 세트(3, 3A)의 단부를 파지해 제2 롤러 유닛(70)을 통과시켜 폐기 수단(60)까지 유도하는 테이프 세트 유도 수단(80)과, 테이블(10)과 폐기 수단(60) 사이에 배치되어 점착 테이프(4)를 박리한 보호 필름(5)을 절단하는 절단 수단(90)을 적어도 구비하고 있다.
도 2에 도시한 바와 같이, 테이프 세트(3)는, 띠형상의 점착 테이프(4)와, 띠형상의 보호 필름(5)이 접합된 구조로 되어 있다. 점착 테이프(4)는, 기재(4a)와 점착제층(4b)으로 이루어지고, 점착제층(4b)측에 보호 필름(5)이 접착되어 있다. 본 실시형태에 나타내는 테이프 세트(3)는, 미리 도 1에 도시한 링 프레임(F)에 대응하여 성형된 복수의 점착 테이프(4)가 간격을 두고 보호 필름(5)에 배치된 구성으로 되어 있다. 도시한 예의 점착 테이프(4)는, 접착 대상이 되는 링 프레임(F)의 직경에 따라서 원형으로 프리커트되어 있고, 보호 필름(5)에 프리커트된 점착 테이프(4)가 예컨대 등간격으로 복수 개 배치되어 있다. 점착 테이프(4) 및 보호 필름(5)은, 특별히 재질 등이 한정되지 않는다. 본 실시형태에 나타내는 테이프 세트(3A)에 관해서는, 테이프 세트(3)와 상이한 품종인 것으로 한다. 즉, 테이프 세트(3A)는, 테이프 세트(3)의 점착 테이프(4)와는 재료나 두께가 상이한 점착 테이프에 보호 필름(5)이 접착된 것이다.
롤 테이프 지지부(20)는, 예컨대 통심으로 구성되어 있다. 이 롤 테이프 지지부(20)에 테이프 세트(3)가 롤형상으로 감겨 롤 테이프(2)로 되어 있다. 롤 테이프 지지부(20)의 통심 내에는, 도시하지 않은 이 롤 테이프 지지부(20)를 회전 가능하게 지지하는 지지봉이 삽입되어 있다. 지지봉에는, 롤 테이프 지지부(20)를 정회전ㆍ역회전시키는 도 1에 도시하는 회전 수단(22)이 접속되어 있다. 회전 수단(22)은, 예컨대 서보 모터로 구성되어 있다. 롤 테이프 지지부(20A)에 관해서도 롤 테이프 지지부(20)와 동일한 구성이며, 롤 테이프 지지부(20A)에 테이프 세트(3A)가 롤형상으로 감겨 롤 테이프(2A)로 되어 있다. 위치 부여 수단(40)에 의해 테이프 세트(3, 3A)를 롤 테이프(2, 2A)로부터 인출할 때에는, 회전 수단(22)에 의해 롤 테이프 지지부(20, 20A)를 정회전 방향(예컨대 시계 방향)으로 회전시킨다. 한편, 절단 수단(90)에 의해 보호 필름(5)을 절단한 후, 나머지 테이프 세트(3, 3A)를 롤 테이프 지지부(20, 20A)로 권취할 때에는, 회전 수단(22)에 의해 롤 테이프 지지부(20, 20A)를 역회전 방향(예컨대 반시계 방향)으로 회전시킨다.
롤 테이프 지지 수단(21)은, 롤 테이프(2)가 수용되는 프레임(210)을 갖고 있다. 프레임(210)의 바닥벽에는, 테이프 세트(3)를 통과시키기 위한 개구(211)가 형성되어 있다. 개구(211)의 단부에는, 테이프 세트(3)의 선단을 검출하는 선단 검출부(24)가 배치되어 있다. 개구(211)의 바로 아래에는, 한쌍의 가이드 롤러(25)가 배치되어 있고, 테이프 세트(3)를 하측으로 가이드할 수 있다. 롤 테이프 지지 수단(21A)에 관해서도 롤 테이프 지지 수단(21)과 동일한 구성이다. 도시한 예에서는, 롤 테이프 지지 수단(21A)측의 가이드 롤러(25)의 근방에 제1 롤러 유닛(30)을 향해 테이프 세트(3, 3A)를 가이드하는 가이드 롤러(26)가 배치되어 있다. 또, 프레임(210)의 전방(Y축 방향 전방)에는, 개폐 가능한 덮개가 배치되어 있다.
롤 테이프 지지부(20)에는, 사용하는 테이프 세트(3)의 품종 정보를 코드화한 2차원 코드(23)를 구비하고 있다. 2차원 코드(23)와 대향하는 위치에서 상기 덮개의 배면(롤 테이프 지지부(20)측의 면)에 2차원 코드(23)를 판독하는 카메라를 구비하고 있다. 롤 테이프 지지부(20)로 롤 테이프(2)를 지지시켜 덮개를 폐쇄하면, 카메라에 의해 2차원 코드(23)를 판독하여, 롤 테이프 지지부(20)에 지지된 테이프 세트(3)의 품종을 식별할 수 있다. 롤 테이프 지지부(20A)에 관해서도 테이프 세트(3A)의 품종 정보를 코드화한 2차원 코드(23A)를 구비하고 있다. 또, 2차원 코드(23, 23A)의 배치 위치는, 본 실시형태에 도시한 위치에 한정되지 않고 임의적이다.
위치 부여 수단(40)은, 지지 부재(41)의 일단에 지지된 제1 협지부(42)와, 지지 부재(41)의 타단에 접속된 회전 기구(43)와, 제1 협지부(42)를 수평 방향(X축 방향)으로 이동시키는 슬라이드 기구(44)를 구비하고 있다. 제1 협지부(42)에서는, 테이프 세트(3, 3A)의 단부의 양끝을 협지하는 것이 가능하게 되어 있다.
회전 기구(43)는, 시계 방향 및 반시계 방향으로 회전 가능하게 되어 있고, 롤 테이프(2)로부터 인출된 테이프 세트(3)를 협지하는 제1 협지 위치(P1)와, 롤 테이프(2A)로부터 인출된 테이프 세트(3A)를 협지하는 제2 협지 위치(P2)와, 제1 협지부(42)가 테이프 세트(3, 3A)를 개방하는 개방 위치(P3)(도 4를 참조)에 위치할 수 있다. 제1 협지 위치(P1) 및 제2 협지 위치(P2)는, 제1 협지부(42)가, 롤 테이프(2, 2A)로부터 인출되어 한쌍의 가이드 롤러(25)에 의해 가이드된 테이프 세트(3, 3A)를 협지할 수 있는 위치를 가리킨다. 개방 위치(P3)는, 제1 협지부(42)에 의해 협지된 테이프 세트(3, 3A)를 테이프 세트 유도 수단(80)으로 인도할 수 있는 위치를 가리킨다.
슬라이드 기구(44)는, X축 방향으로 연장된 베이스(45)와, 베이스(45)에서 X축 방향으로 슬라이드 이동 가능한 슬라이더(46)로 구성되어 있다. 슬라이더(46)는, 회전 기구(43)를 통해 제1 협지부(42)를 지지하고 있다. 그리고, 슬라이더(46)가 베이스(45)에서 X축 방향으로 슬라이드 이동함으로써, 회전 기구(43)와 함께 제1 협지부(42)를 X축 방향으로 슬라이드 이동시킬 수 있다.
제1 롤러 유닛(30)은, 적어도 구동 롤러(31)와, 2개의 종동 롤러(32)와, 구동 롤러(31)와 종동 롤러(32)를 상대적으로 접근 및 이격시키는 이동 기구(33)로 구성되어 있다. 이동 기구(33)는, X축 방향으로 연장된 가이드 레일(34)과, 가이드 레일(34)에서 수평으로 이동 가능한 이동부(35)로 구성되어 있다. 이동부(35)는, 그 선단부에서 2개의 종동 롤러(32)를 지지하고 있다. 이동부(35)가 가이드 레일(34)을 따라서 이동함으로써, 구동 롤러(31)와 종동 롤러(32)를 상대적으로 접근 및 이격시킬 수 있다.
접착 수단(50)은, 링 프레임(F) 및 웨이퍼(W)에 대하여 도 2에 도시하는 점착 테이프(4)를 압박하여 접착하는 접착 롤러(51)와, 제1 롤러 유닛(30)을 통과하여 송출된 보호 필름(5)으로부터 점착 테이프(4)를 박리하는 필 플레이트(53)를 구비하고 있다. 접착 롤러(51)는, 테이블(10)의 상측에 배치되고 축부를 중심으로 하여 회전 가능하게 되어 있다. 접착 롤러(51)에는, 접착 롤러 압박 수단(52)이 접속되고, 접착 롤러 압박 수단(52)에 의해 테이블(10)에 접근 및 이격되는 Z축 방향으로 승강 가능하게 되어 있다. 접착 롤러(51)는, 필 플레이트(53)에 의해 보호 필름(5)으로부터 박리된 점착 테이프(4)를, 테이블(10)에 유지되는 웨이퍼(W)와 프레임 지지부(11)에 지지되는 링 프레임(F)에 대하여 압박하여 접착할 수 있다.
필 플레이트(53)는, 접착 롤러(51)를 향해 선단측을 기울인 아암부(54)와, 아암부(54)의 선단에 접속된 압박부(55)로 구성되어 있다. 압박부(55)는, 아암부(54)를 따라서 왕복 이동 가능하게 되어 있고, 압박부(55)로 테이프 세트(3) 중 보호 필름(5)을 압박하여 예각으로 형성함으로써, 보호 필름(5)으로부터 점착 테이프(4)를 박리할 수 있다.
폐기 수단(60)은, 보호 필름(5)의 단부의 양끝을 협지하고, 롤형상으로 권취하는 권취부(61)와, 권취부(61)를 회전시키는 모터(62)와, 권취부(61)의 하측에 배치되어 롤형상으로 감긴 보호 필름(5)을 폐기하기 위한 폐기 박스(63)를 구비하고 있다.
제2 롤러 유닛(70)은, 테이프 세트 유도 수단(80)의 이동 경로(X축 방향) 상에 배치되어 있고, 제1 롤러 유닛(30)과 동일한 구성으로 되어 있다. 즉, 제2 롤러 유닛(70)은, 적어도 구동 롤러(71)와, 2개의 종동 롤러(72)와, 구동 롤러(71)와 종동 롤러(72)를 상대적으로 접근 및 이격시키는 이동 기구(73)로 구성되어 있다. 이동 기구(73)는, Z축 방향으로 연장된 가이드 레일(74)과, 가이드 레일(74)에서 수평으로 이동 가능한 이동부(75)로 구성되어 있다. 이동부(75)는, 그 선단부에서 2개의 종동 롤러(72)를 지지하고 있다. 이동부(75)가 가이드 레일(74)을 따라서 이동함으로써, 구동 롤러(71)와 종동 롤러(72)를 상대적으로 접근 및 이격시킬 수 있다.
테이프 세트 유도 수단(80)은, 지지 부재(81)의 일단에 지지된 제2 협지부(82)와, 지지 부재(81)의 타단에 접속되어 제2 협지부(82)를 수평 방향(X축 방향)으로 슬라이드 이동시키는 슬라이드 기구(85)를 구비하고 있다. 제2 협지부(82)의 상단에는, 제2 롤러 유닛(70)에 의해 가이드된 보호 필름(5)이 배치되는 배치대(83)가 장착되어 있다. 배치대(83)에는, 테이프 커터의 날끝을 놓기 위한 여유홈(84)이 형성되어 있다. 제2 협지부(82)는, 제1 협지부(42)가 협지하는 테이프 세트(3)의 단부의 양끝을 이어받아 협지할 수 있다.
슬라이드 기구(85)는, X축 방향으로 연장된 베이스(86)와, 베이스(86)에서 X축 방향으로 이동 가능한 슬라이더(87)로 구성되어 있다. 슬라이더(87)에는 제2 협지부(82)가 접속되어 있다. 슬라이더(87)가, 베이스(86)에서 X축 방향으로 일직선으로 수평으로 슬라이드 이동함으로써, 지지 부재(81) 및 제2 협지부(82)를 동일한 방향으로 슬라이드 이동시킬 수 있다.
절단 수단(90)은, 제2 협지부(82)의 배치대(83)에 배치된 보호 필름(5)을 절단하는 테이프 커터(91)와, 테이프 커터(91)를 Z축 방향으로 승강시키는 승강 기구(92)와, 배치대(83)에 배치된 보호 필름(5)을 누르는 누름부(93)를 구비하고 있다. 도시하지 않지만, 테이프 접착 장치(1)는, 테이프 접착 장치(1)의 각종 기구를 제어하는 제어부를 구비하고 있다. 제어부는, 예컨대 롤 테이프(2, 2A) 중 어느 하나를 선택하여 테이프 세트(3) 또는 테이프 세트(3A)를 인출하도록 위치 부여 수단(40)을 제어할 수 있다.
다음으로, 테이프 접착 장치(1)의 동작예에 관해 설명한다. 웨이퍼(W)는, 원형 판형의 피가공물의 일례이며, 특별히 재질이나 크기가 한정되는 것이 아니다. 웨이퍼(W)를 테이블(10)에 배치하고, 링 프레임(F)을 프레임 지지부(11)에 배치한다. 계속해서, 도시하지 않은 흡인원이 작동하여, 테이블(10)의 유지면에 의해 웨이퍼(W)를 흡인 유지한다.
위치 부여 수단(40)은, 예컨대, 롤 테이프 지지부(20)에 지지된 롤 테이프(2)를 선택하여, 롤 테이프(2)로부터 테이프 세트(3)를 인출한다. 구체적으로는, 회전 수단(22)에 의해, 롤 테이프 지지부(20)를 정회전 방향(예컨대 시계 방향)으로 회전시키면서, 롤 테이프(2)로부터 테이프 세트(3)를 한쌍의 가이드 롤러(25) 사이에 통과시키고, 가이드 롤러(25)에 의해 하측으로 송출한다. 통상, 롤 테이프(2)의 가장 외주에 위치하는 테이프 세트(3)의 단부측은, 보호 필름(5)만이 노출되어 있다. 그 때문에, 롤 테이프(2)로부터 테이프 세트(3)를 인출하는 경우, 회전 기구(43)에 의해 제1 협지 위치(P1)에 제1 협지부(42)를 위치 부여하고, 가이드 롤러(25)에 의해 송출되어 오는 테이프 세트(3)의 단부, 즉, 보호 필름(5)의 단부의 양끝을 제1 협지부(42)에 의해 협지한다.
도 3에 도시한 바와 같이, 슬라이드 기구(44)에 의해, 슬라이더(46)와 함께 제1 협지부(42)를 베이스(45)의 단부(도시한 예에서는 우측 단부)에 이를 때까지 예컨대 +X 방향으로 슬라이드 이동시킨다. 이와 함께, 보호 필름(5)을 협지한 제1 협지부(42)에 의해 롤 테이프(2)로부터 테이프 세트(3)를 인출하고, 제1 협지부(42)를 제1 롤러 유닛(30)측에 위치 부여한다.
도 4에 도시한 바와 같이, 회전 기구(43)가 예컨대 시계 방향으로 회전함으로써, 제1 협지부(42)로 협지하고 있는 보호 필름(5)을 가이드 롤러(26)에 걸고 구동 롤러(31)와 종동 롤러(32) 사이를 통과시켜 구동 롤러(31)에 걸어, 제1 협지부(42)를 개방 위치(P3)로 이동시킨다.
이어서, 도 5에 도시한 바와 같이, 테이프 세트 유도 수단(80)은 개방 위치(P3)에서 보호 필름(5)을 협지한다. 구체적으로는, 슬라이드 기구(85)에 의해, 슬라이더(87)를 베이스(86)를 따라서 예컨대 +X 방향으로 슬라이드 이동시키고, 제2 협지부(82)를 개방 위치(P3)로 이동시킨다. 제1 협지부(42)가 개방 위치(P3)에서 보호 필름(5)을 개방하면, 제2 협지부(82)에 의해 보호 필름(5)의 단부의 양끝을 이어받아 협지한다.
도 6에 도시한 바와 같이, 슬라이드 기구(85)에 의해, 슬라이더(87)를 베이스(86)를 따라서 예컨대 -X 방향으로 슬라이드 이동시킨다. 이에 따라, 제2 협지부(82)로 협지하고 있는 보호 필름(5)을 동일한 방향으로 인장하고, 제2 롤러 유닛(70)의 구동 롤러(71)와 종동 롤러(72) 사이를 통과시켜, 보호 필름(5)을 폐기 수단(60)까지 유도한다. 그리고, 폐기 수단(60)의 권취부(61)가 보호 필름(5)의 단부의 양끝을 협지한다.
도 7에 도시한 바와 같이, 제1 롤러 유닛(30)의 이동 기구(33)가 작동함으로써, 이동부(35)가 가이드 레일(34)을 따라서 예컨대 -X 방향으로 이동하고, 2개의 종동 롤러(32)를 구동 롤러(31)에 접근시키고, 2개의 종동 롤러(32)를 테이프 세트(3)에 접촉시켜 구동 롤러(31)와 2개의 종동 롤러(32) 사이에 테이프 세트(3)를 끼운다. 또한, 제2 롤러 유닛(70)의 이동 기구(73)가 작동함으로써, 이동부(75)가 가이드 레일(74)을 따라서 예컨대 +Z 방향으로 이동하고, 2개의 종동 롤러(72)를 구동 롤러(71)에 접근시키고, 2개의 종동 롤러(72)를 보호 필름(5)에 접촉시켜 구동 롤러(71)와 2개의 종동 롤러(72) 사이에 보호 필름(5)을 끼운다.
이어서, 도 8에 도시한 바와 같이, 필 플레이트(53)는, 테이프 세트(3) 중 보호 필름(5)을 압박부(55)로 하측을 향해 압박하여 보호 필름(5)을 예각으로 형성한다. 그렇게 하면 보호 필름(5)으로부터 점착 테이프(4)가 박리되고, 접착 롤러(51)의 하측으로 점착 테이프(4)가 보내진다. 이 때, 웨이퍼(W)를 유지한 테이블(10) 및 링 프레임(F)을 지지한 프레임 지지부(11)를 테이프 세트(3)의 하측으로 미리 이동시켜 놓는다.
접착 롤러(51)를 소정의 회전 속도로 회전시키면서, 접착 롤러 압박 수단(52)에 의해 예컨대 -Z 방향으로 접착 롤러(51)를 하강시킴으로써, 프레임 지지부(11)에 지지된 링 프레임(F)의 한쪽 측으로부터 점착 테이프(4)를 압박한다. 테이블 이동 수단(13)에 의해 테이블(10) 및 프레임 지지부(11)를 예컨대 +X 방향으로 송출해 가고, 회전하는 접착 롤러(51)로 웨이퍼(W) 및 링 프레임(F)에 대하여 점착 테이프(4)를 압박한다. 이 때, 제1 롤러 유닛(30)은, 구동 롤러(31)를 소정의 회전 속도로 회전시키면서, 2개의 종동 롤러(32)도 구동 롤러(31)의 회전에 따라 회전시켜, 테이프 세트(3)를 테이블(10)를 향해 하측으로 유도한다. 또한, 제2 롤러 유닛(70)은, 구동 롤러(71)를 소정의 회전 속도로 회전시키면서, 2개의 종동 롤러(72)도 구동 롤러(71)의 구동에 따라 회전시켜, 필 플레이트(53)에 의해 점착 테이프(4)가 박리된 보호 필름(5)을 테이블(10)로부터 폐기 수단(60)까지 유도한다.
접착 롤러(51)로 점착 테이프(4)를 압박하면서, 도 9에 도시한 바와 같이, 테이블(10) 및 프레임 지지부(11)를 소정의 위치에 이를 때까지 +X 방향으로 이동시키면, 웨이퍼(W)와 링 프레임(F)에 점착 테이프(4)를 접착할 수 있다. 점착 테이프(4)가 박리된 보호 필름(5)은, 모터(62)에 의해 회전하는 권취부(61)의 외주에서 롤형상으로 권취되어 가고, 보호 필름 롤(5A)로서 형성된다. 점착 테이프(4)를 통해 링 프레임(F)과 일체가 된 웨이퍼(W)는, 도시하지 않은 반송 수단에 의해 예컨대 다이싱 장치 등으로 이송되어 다이싱 등이 행해진다. 이와 같이 하여 1장의 웨이퍼(W)에 대한 점착 테이프(4)의 접착 동작이 완료하면, 순차적으로 새로운 웨이퍼(W)를 테이블(10)에 반송함과 더불어 링 프레임(F)을 프레임 지지부(11)에 반송하여, 상기와 같이, 점착 테이프(4)의 접착 동작과, 점착 테이프(4)로부터 박리된 보호 필름(5)의 권취 동작을 반복하여 행한다.
롤 테이프(2)로부터 테이프 세트(3)를 계속하여 인출하는 것에 의해, 도 10에 도시한 바와 같이, 롤 테이프 지지 수단(21)에 지지되어 있는 롤 테이프(2)의 직경이 축소되어 간다. 여기서, 테이프 접착 장치(1)에서는, 예컨대 테이프 세트(3)의 품종을 변경하는 경우, 제어 수단이 위치 부여 수단(40)을 제어함으로써 새로운 테이프 세트(3A)를 선택하여, 롤 테이프 지지 수단(21A)으로부터 인출한다. 이 때에는, 절단 수단(90)에 의해 현재 사용하고 있는 테이프 세트(3)의 보호 필름(5)을 절단함과 더불어, 절단된 보호 필름(5)을 폐기 수단(60)으로 권취하여 폐기한다. 테이프 세트(3)로부터 테이프 세트(3A)로 전환하여 인출하는 경우, 절단 수단(90)의 하측에, 테이프 세트 유도 수단(80)의 배치대(83)를 미리 위치 부여해 놓는다.
절단 수단(90)은, 승강 기구(92)에 의해 누름부(93) 및 테이프 커터(91)를 예컨대 -Z 방향으로 하강시켜, 누름부(93)로 배치대(83)를 향해 보호 필름(5)을 상측으로부터 누름과 더불어, 테이프 커터(91)의 날끝을 여유홈(84)에 이를 때까지 넣어 보호 필름(5)을 완전히 절단한다. 절단된 보호 필름(5)은, 권취부(61)에 의해 더욱 권취되어 보호 필름 롤(5A)이 대직경화되어 간다.
그 후, 도 11에 도시한 바와 같이, 절단 수단(90)이 +Z 방향으로 상승하여, 배치대(83)로부터 이반(離反)되는 방향으로 후퇴하고, 폐기 박스(63)에 보호 필름 롤(5A)이 폐기된다. 이 때, 회전 수단(22)이, 현재 사용하고 있는 롤 테이프 지지부(20)를 역회전 방향(예컨대 반시계 방향)으로 회전시키는 것에 의해, 절단된 나머지 테이프 세트(3)를 롤 테이프 지지부(20)에 권취시킨다. 즉, 테이블(10)측으로 인출되어 있던 테이프 세트(3)는, 제1 롤러 유닛(30), 한쌍의 가이드 롤러(25) 및 프레임(210)의 개구(211)를 통과하여 롤 테이프 지지부(20)에 권취되어 간다. 그리고, 선단 검출부(24)에서 보호 필름(5)을 검출하면, 롤 테이프 지지부(20)의 회전을 정지시키면 된다.
위치 부여 수단(40)에 의해 롤 테이프(2A)로부터 테이프 세트(3A)를 인출하는 동작에 관해서는, 상기 롤 테이프(2)로부터 테이프 세트(3)를 인출하는 동작과 동일하다. 즉, 회전 기구(43)에 의해 제2 협지 위치(P2)에 제1 협지부(42)를 위치 부여하고, 가이드 롤러(25)에 의해 송출되어 오는 테이프 세트(3A)의 단부, 즉, 보호 필름(5)의 단부의 양끝을 제1 협지부(42)에 의해 협지하여, 상기와 동일하게 인출하면 된다. 그리고, 새롭게 인출된 테이프 세트(3A)에 관해서도, 점착 테이프(4)의 접착 동작과 점착 테이프(4)로부터 박리된 보호 필름(5)의 권취 동작을 반복하여 행한다.
이상과 같이, 본 발명에 관한 테이프 접착 장치(1)는, 테이프 세트(3, 3A)를 롤형상으로 한 롤 테이프(2, 2A)를 회전 가능하게 지지하는 롤 테이프 지지부(20, 20A)와, 롤 테이프 지지부(20, 20A)가 2개 이상 배치된 롤 테이프 지지 수단(21, 21A)과, 롤 테이프(2, 2A)로부터 인출한 테이프 세트(3, 3A)를 롤 테이프 지지 수단(21, 21A)으로부터 테이블(10)까지 유도하는 제1 롤러 유닛(30)과, 테이블(10)까지 유도된 테이프 세트(3, 3A)로부터 점착 테이프(4)를 박리하여 테이블(10)이 지지하는 링 프레임(F)과 웨이퍼(W)에 점착 테이프(4)를 접착시키는 접착 수단(50)과, 점착 테이프(4)가 박리된 보호 필름(5)을 권취하여 폐기하는 폐기 수단(60)과, 점착 테이프(4)가 박리된 보호 필름(5)을 테이블(10)로부터 폐기 수단(60)까지 유도하는 제2 롤러 유닛(70)과, 롤 테이프(2, 2A) 중 어느 하나를 선택해서 테이프 세트(3, 3A)의 단부를 파지해 인출하여 테이블(10)에 위치 부여하는 위치 부여 수단(40)과, 위치 부여 수단(40)이 위치 부여한 테이프 세트(3, 3A)의 단부를 파지해 제2 롤러 유닛(70)을 통해서 폐기 수단(60)까지 유도하는 테이프 세트 유도 수단(80)과, 테이블(10)과 폐기 수단(60) 사이에 배치되어 점착 테이프(4)가 박리된 보호 필름(5)을 절단하는 절단 수단(90)을 적어도 구비하고, 새롭게 선택된 테이프 세트(3, 3A)를 위치 부여 수단(40)에 의해 롤 테이프 지지 수단(21, 21A)으로부터 인출할 때에는, 절단 수단(90)에 의해 현재 사용되고 있는 테이프 세트(3, 3A)의 보호 필름(5)을 절단해서 폐기 수단(60)이 권취하여 폐기하고, 현재 사용하고 있는 롤 테이프 지지부(20, 20A)를 작동시켜 테이프 세트(3, 3A)를 권취하도록 구성하기 때문에, 위치 부여 수단(40)에 의해 인출하는 테이프 세트를, 예컨대 테이프 세트(3)로부터 상이한 품종의 테이프 세트(3A)로 용이하게 전환할 수 있고, 연결용 테이프로 테이프 세트(3)의 커팅 단부와 테이프 세트(3A)의 선단을 연결할 필요가 없다. 따라서, 연결용 테이프를 사용하지 않고, 원하는 테이프 세트(3, 3A)를 선택하여 링 프레임(F)과 웨이퍼(W)에 점착 테이프(4)를 접착할 수 있다.
또한, 본 발명에 의하면, 절단된 나머지 테이프 세트(3, 3A)를 롤 테이프 지지부(20, 20A)로 권취하기 때문에, 테이프 세트(3, 3A)를 허비하지 않고 유효하게 이용할 수 있다.
1 : 테이프 접착 장치 2, 2A : 롤 테이프 3, 3A : 테이프 세트
4 : 점착 테이프 4a : 기재 4b : 점착제층 5 : 보호 필름
10 : 테이블 11 : 프레임 지지부 12 : 지지대 13 : 테이블 이동 수단
14 : 베이스 15 : 이동 베이스
20, 20A : 롤 테이프 지지부 21, 21A : 롤 테이프 지지 수단
210 : 프레임 211 : 개구 22 : 회전 수단 23 : 2차원 코드
24 : 선단 검출부 25 : 가이드 롤러 26 : 가이드 롤러
30 : 제1 롤러 유닛 31 : 구동 롤러 32 : 종동 롤러 33 : 이동 기구
34 : 가이드 레일 35 : 이동부
40 : 위치 부여 수단 41 : 지지 부재 42 : 제1 협지부 43 : 회전 기구
44 : 슬라이드 기구 45 : 베이스 46 : 슬라이더
50 : 접착 수단 51 : 접착 롤러 52 : 접착 롤러 압박 수단
53 : 필 플레이트 54 : 아암부 55 : 압박부
60 : 폐기 수단 61 : 권취부 62 : 모터 63 : 폐기 박스
70 : 제2 롤러 유닛 71 : 구동 롤러 72 : 종동 롤러 73 : 이동 기구
74 : 가이드 레일 75 : 이동부
80 : 테이프 세트 유도 수단 81 : 지지 부재 82 : 제2 협지부
83 : 배치대 84 : 여유홈 85 : 슬라이드 기구 86 : 베이스 87 : 슬라이더
90 : 절단 수단 91 : 테이프 커터 92 : 승강 기구 93 : 누름부

Claims (1)

  1. 개구를 갖는 링 프레임을 지지하고, 상기 개구에 위치 부여된 웨이퍼를 지지하는 테이블을 구비하고, 상기 테이블에 지지된 링 프레임과 웨이퍼에 점착 테이프를 접착하여 일체화시키는 테이프 접착 장치에 있어서,
    미리 상기 링 프레임에 대응하여 성형된 복수의 상기 점착 테이프가 간격을 두고 띠형상의 보호 필름에 배치된 테이프 세트를 롤형상으로 한 롤 테이프를 회전 가능하게 지지하는 롤 테이프 지지부와,
    상기 롤 테이프 지지부가 2개 이상 배치된 롤 테이프 지지 수단과,
    상기 롤 테이프로부터 인출한 상기 테이프 세트를 상기 롤 테이프 지지 수단으로부터 상기 테이블까지 유도하는 제1 롤러 유닛과,
    상기 테이블까지 유도된 상기 테이프 세트로부터 상기 점착 테이프를 박리하여 상기 테이블이 지지하는 상기 링 프레임과 웨이퍼에 상기 점착 테이프를 접착시키는 접착 수단과,
    상기 점착 테이프가 박리된 상기 보호 필름을 권취하여 폐기하는 폐기 수단과,
    상기 점착 테이프가 박리된 상기 보호 필름을 상기 테이블로부터 상기 폐기 수단까지 유도하는 제2 롤러 유닛과,
    상기 롤 테이프 지지 수단과 상기 제1 롤러 유닛 사이에 배치되고, 2개 이상 의 상기 롤 테이프 지지부에 지지된 상기 롤 테이프 중 어느 하나를 선택해서 상기 테이프 세트의 단부를 파지(把持)해 인출하여 상기 테이블에 위치 부여하는 위치 부여 수단과,
    상기 위치 부여 수단이 위치 부여한 상기 테이프 세트의 단부를 파지해 상기 제2 롤러 유닛을 통과시켜 상기 폐기 수단까지 유도하는 테이프 세트 유도 수단과,
    상기 테이블과 상기 폐기 수단 사이에 배치되어 상기 점착 테이프가 박리된 상기 보호 필름을 절단하는 절단 수단
    을 적어도 구비하고,
    상기 롤 테이프 지지 수단은, 상기 테이프 세트의 선단을 검출하는 선단 검출부를 구비하고,
    새롭게 선택된 상기 테이프 세트를 상기 위치 부여 수단에 의해 상기 롤 테이프 지지 수단으로부터 인출할 때에, 상기 절단 수단에 의해 현재 사용되고 있는 상기 테이프 세트의 상기 보호 필름을 절단해서 상기 폐기 수단이 권취하여 폐기하고, 현재 사용하고 있는 상기 롤 테이프 지지부를 작동시켜 상기 테이프 세트를 권취하고, 상기 선단 검출부가 상기 보호 필름을 검출하면, 상기 롤 테이프 지지부의 회전을 정지시키는, 테이프 접착 장치.
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