JP2014075382A - シート貼付装置およびシート貼付方法 - Google Patents
シート貼付装置およびシート貼付方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014075382A JP2014075382A JP2012220454A JP2012220454A JP2014075382A JP 2014075382 A JP2014075382 A JP 2014075382A JP 2012220454 A JP2012220454 A JP 2012220454A JP 2012220454 A JP2012220454 A JP 2012220454A JP 2014075382 A JP2014075382 A JP 2014075382A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sheet
- winding
- adhesive sheet
- unnecessary
- cutting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Abstract
【解決手段】シート貼付装置1は、帯状の原接着シートAS0を供給する供給手段2と、原接着シートAS0を被着体WFに押圧して貼付する押圧手段4と、原接着シートAS0を所定形状に切断する原接着シート切断手段5と、原接着シートAS0から接着シートASが切り抜かれた不要シートAS1を回収する回収手段7とを備え、回収手段7は、不要シートAS1を巻き取る複数の巻取手段70(第1および第2巻取手段70A、70B)と、一の巻取手段70(第1巻取手段70A)で巻き取っている不要シートAS1を切断することで、当該不要シートAS1に先端部と後端部とを形成する不要シート切断手段77と、不要シート切断手段77で切断された先端部を他の巻取手段70(第2巻取手段70B)に巻き付ける巻付手段78とを有している。
【選択図】図1
Description
特許文献1に記載のシート貼付装置は、接着シート供給部でウェハ上に供給した原接着シートを貼付けローラがウェハ及び貼付テーブルに貼付し、カッタ刃が原接着シートをウェハの外形に沿って切断する。そして、剥離ローラが原接着シートの余剰部分(不要シート)を貼付テーブルから剥離し、この不要シートを原接着シート巻取部が巻き取るように構成されている。
なお、以下において、基準となる図を挙げることなく、例えば、上、下、左、右、または、手前、奥といった方向を示した場合は、全て図1を正規の方向(付した番号が適切な向きとなる方向)から観た場合を基準とし、上、下、左、右方向が紙面に平行な方向であり、手前、奥方向が紙面に直交する方向とする。
次に、図示しない搬送手段がウェハWFを内側テーブル35の支持面36上に載置する。その後、支持手段3が直動モータ33を駆動し、内側テーブル35を上昇または下降させ、外側テーブル31の上面37とウェハWFの上面とが同一面上に位置するように調整する。その後、押圧手段4が図1中実線で示す位置で直動モータ43を駆動し、押圧ローラ46を下降させて原接着シートAS0を押圧して外側テーブル31に貼付する。次に、押圧手段4がリニアモータ41を駆動し、押圧ローラ46を左方向に移動させてウェハWFに原接着シートAS0を貼付する。
次に、図示しない搬送手段で接着シートASが貼付されたウェハWFを搬送する。その後、剥離手段6が回動モータ62の駆動を停止したまま、供給手段2、押圧手段4および巻取手段70が回動モータ23、リニアモータ41および第1回動モータ75Aを駆動し、スライダ61を左方向に移動し、第1巻取部材71Aが不要シートAS1を巻き取りつつ、支持ローラ21から原接着シートAS0の未使用部分を引き出す。そして、新しいウェハWFが内側テーブル35に載置され、以後上述の同様の動作が繰り返される。
次に、図2(C)に示すように、第2吹付手段782が図示しない加圧手段を駆動し、先端部AS11を第2巻取部材71Bの上方で第2巻取部材71Bに巻き付けられる不要シートAS1の下方に入り込ませる。これにより、以後の接着シートASの貼付処理において、上述の第1巻取手段70Aを第2巻取手段70Bとして不要シートAS1が第2巻取部材71Bに巻き付けて回収されるようになる。
その後、オペレータや図示しない駆動機器が、不要シートが巻き付けられた第1巻取部材71Aを第1支持軸76Aから取り外し、新たな第1巻取部材71Aを取り付ける。以後、上記同様の動作を繰り返すこととなる。
すなわち、第1、第2巻取手段70A、70Bのうちの一の巻取手段70が巻き取っている不要シートAS1を切断し、この不要シートAS1の先端部AS11を第1、第2巻取手段70A、70Bのうちの他の巻取手段70に巻き付けることによって、巻取手段70での回収を継続しつつ、巻き取った不要シートAS1を取り外すことができるので、シート貼付装置1の稼働を停止する必要がなく、単位時間あたりの処理能力が低下することを防止できる。
さらに、巻取部材71に変えて支持軸76に不要シートAS1を巻き付けてもよく、この場合、支持軸76の外周面にフッ素樹脂コーティングや粗面処理等の不接着処理が施してもよいし、支持軸76を回動モータ75の出力軸に着脱可能に構成してもよい。
また、第2吹付手段782を用いることなく、第1吹付手段781で先端部AS11を巻取部材71に貼付した状態で不要シートAS1を巻き取るようにしてもよい。
2…供給手段
4…押圧手段
5…原接着シート切断手段
7…回収手段
70、70A、70B…巻取手段、第1および第2巻取手段
77…不要シート切断手段
78、79…巻付手段
781、782…第1および第2吹付手段
AS…接着シート
AS0…原接着シート
AS11…先端部
AS12…後端部
WF…ウェハ(被着体)
Claims (3)
- 接着シートを被着体に貼付するシート貼付装置であって、
帯状の原接着シートを供給する供給手段と、
前記原接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段と、
前記原接着シートを所定形状に切断する原接着シート切断手段と、
前記原接着シートから前記接着シートが切り抜かれた不要シートを回収する回収手段とを備え、
前記回収手段は、
前記不要シートを巻き取る複数の巻取手段と、
一の巻取手段で巻き取っている前記不要シートを切断することで、当該不要シートに先端部と後端部とを形成する不要シート切断手段と、
前記不要シート切断手段で切断された前記先端部を他の巻取手段に巻き付ける巻付手段とを有していることを特徴とするシート貼付装置。 - 前記巻付手段は、前記不要シートの先端部に気体を吹き付ける吹付手段を有していることを特徴とする請求項1に記載のシート貼付装置。
- 接着シートを被着体に貼付するシート貼付方法であって、
帯状の原接着シートを供給する工程と、
前記原接着シートを被着体に押圧して貼付する工程と、
前記原接着シートを所定形状に切断する工程と、
前記原接着シートから前記接着シートが切り抜かれた不要シートを回収する工程とを備え、
前記不要シートを回収する工程は、
一の巻取手段で前記不要シートを巻き取る工程と、
前記一の巻取手段で巻き取っている前記不要シートを切断することで、当該不要シートに先端部と後端部とを形成する工程と、
前記先端部を他の巻取手段に巻き付ける工程とを備えていることを特徴とするシート貼付方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012220454A JP6030909B2 (ja) | 2012-10-02 | 2012-10-02 | シート貼付装置およびシート貼付方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012220454A JP6030909B2 (ja) | 2012-10-02 | 2012-10-02 | シート貼付装置およびシート貼付方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014075382A true JP2014075382A (ja) | 2014-04-24 |
JP6030909B2 JP6030909B2 (ja) | 2016-11-24 |
Family
ID=50749357
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012220454A Active JP6030909B2 (ja) | 2012-10-02 | 2012-10-02 | シート貼付装置およびシート貼付方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6030909B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20190073269A (ko) * | 2017-12-18 | 2019-06-26 | 가부시기가이샤 디스코 | 테이프 접착 장치 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61130164A (ja) * | 1984-11-30 | 1986-06-18 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | フイルム等帯状物の自動切断巻取装置 |
JPH07309487A (ja) * | 1994-05-16 | 1995-11-28 | Paper Converting Mach Co Inc | コアレスロールを巻取るための方法と装置 |
JPH0930697A (ja) * | 1995-07-14 | 1997-02-04 | Dainippon Printing Co Ltd | テープレススプライス時の張力制御方法 |
JP2009158879A (ja) * | 2007-12-28 | 2009-07-16 | Takatori Corp | 基板への接着シートの貼付け装置 |
-
2012
- 2012-10-02 JP JP2012220454A patent/JP6030909B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61130164A (ja) * | 1984-11-30 | 1986-06-18 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | フイルム等帯状物の自動切断巻取装置 |
JPH07309487A (ja) * | 1994-05-16 | 1995-11-28 | Paper Converting Mach Co Inc | コアレスロールを巻取るための方法と装置 |
JPH0930697A (ja) * | 1995-07-14 | 1997-02-04 | Dainippon Printing Co Ltd | テープレススプライス時の張力制御方法 |
JP2009158879A (ja) * | 2007-12-28 | 2009-07-16 | Takatori Corp | 基板への接着シートの貼付け装置 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20190073269A (ko) * | 2017-12-18 | 2019-06-26 | 가부시기가이샤 디스코 | 테이프 접착 장치 |
JP2019110189A (ja) * | 2017-12-18 | 2019-07-04 | 株式会社ディスコ | テープ貼着装置 |
CN110010540A (zh) * | 2017-12-18 | 2019-07-12 | 株式会社迪思科 | 带粘贴装置 |
JP7049822B2 (ja) | 2017-12-18 | 2022-04-07 | 株式会社ディスコ | テープ貼着装置 |
TWI779140B (zh) * | 2017-12-18 | 2022-10-01 | 日商迪思科股份有限公司 | 膠帶黏貼裝置 |
CN110010540B (zh) * | 2017-12-18 | 2023-10-03 | 株式会社迪思科 | 带粘贴装置 |
KR102640590B1 (ko) | 2017-12-18 | 2024-02-23 | 가부시기가이샤 디스코 | 테이프 접착 장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6030909B2 (ja) | 2016-11-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5261522B2 (ja) | 貼付装置及び貼付方法 | |
JP2004134020A (ja) | 貼合装置 | |
JP6216584B2 (ja) | シート貼付装置および貼付方法 | |
JP7446071B2 (ja) | シート貼付装置およびシート貼付方法 | |
JP2019009149A (ja) | シート貼付装置および貼付方法 | |
JP6030909B2 (ja) | シート貼付装置およびシート貼付方法 | |
JP2011210854A (ja) | シート貼付装置および貼付方法 | |
JP2010147123A (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP2012059929A (ja) | シート貼付装置及び貼付方法 | |
JP7461175B2 (ja) | 巻取装置および巻取方法 | |
JP6078352B2 (ja) | シート貼付装置およびシート貼付方法 | |
JP6027324B2 (ja) | シート貼付装置およびシート貼付方法 | |
JP6216583B2 (ja) | シート貼付装置および貼付方法 | |
JP2014160769A (ja) | シート貼付装置および貼付方法 | |
JP6069005B2 (ja) | シート貼付装置および貼付方法 | |
WO2011115172A1 (ja) | シート切断方法およびシート切断装置 | |
JP5827524B2 (ja) | シート貼付装置及びシート貼付方法 | |
JP2017108085A (ja) | シート貼付装置および貼付方法 | |
JP3225184U (ja) | 支持装置 | |
JP7346092B2 (ja) | シート回収装置およびシート回収方法 | |
JP3186062U (ja) | シート剥離装置 | |
JP3225039U (ja) | 巻取装置 | |
JP3225183U (ja) | 支持装置 | |
JP2013197117A (ja) | シート貼付装置および貼付方法 | |
JP6145330B2 (ja) | シート貼付装置および貼付方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150521 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160413 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160419 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160615 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160802 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160928 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20161018 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20161021 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6030909 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |