JP2019129265A - シート貼付装置およびシート貼付方法 - Google Patents

Abstract

【課題】汎用性を向上させることができるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供すること。【解決手段】接着シートＡＳを引き出し可能に支持する接着シート支持手段１０と、接着シートＡＳの貼付先端部ＡＳ１を保持するシート先端部保持手段２０と、接着シートＡＳを被着体ＷＫに押圧して貼付する押圧手段３０と、各手段を制御する制御手段５０とを備え、制御手段５０は、被着体ＷＫの被着面ＷＫ１に対向するように、シート先端部保持手段２０で接着シートＡＳを接着シート支持手段１０から引き出した後、押圧手段３０で接着シートＡＳを被着体ＷＫに押圧して貼付する第１貼付モードと、被着体ＷＫを接着シート支持手段１０と相対移動させる被着体支持手段６０に、シート先端部保持手段２０で接着シートＡＳを支持させ、当該接着シートＡＳを接着シート支持手段１０から引き出しつつ、押圧手段３０で接着シートＡＳを被着体ＷＫに押圧して貼付する第２貼付モードとを含む複数の貼付モードから、第１貼付モードまたは第２貼付モードを特定して実行する。【選択図】図１

Description

本発明は、シート貼付装置およびシート貼付方法に関する。

従来、接着シートを被着体に貼付するシート貼付装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

特開平１０−３３００２２号公報

しかしながら、特許文献１に記載された従来の半導体ウェハ保護フィルムの貼付装置（シート貼付装置）では、ウェハＷ（被着体）の被着面に対向するように、チャック１３５（シート先端部保持手段）で保護フィルム１０９（接着シート）を供給リール１０１（支持手段）から引き出した後、プレスローラ１０７（押圧手段）で接着シートを被着体に押圧して貼付する１パターンのみなので、例えば、接着シートの貼付条件や、接着シートや被着体等の特性や組成等を考慮した上で、それら条件、特性または組成等に適した貼付を行うことができず、汎用性に劣るという不都合が発生する。

本発明の目的は、汎用性を向上させることができるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供することにある。

本発明は、請求項に記載した構成を採用した。

本発明によれば、制御手段が複数の貼付モードから１つの貼付モードを特定して実行するので、汎用性を向上させることができる。

本発明の実施形態に係るシート貼付装置の説明図。

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１中手前方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。また、図１（Ａ）以外において、方向を示す矢印を記載していない図は、全て図１（Ａ）と同じ方向から観た図とする。

本発明のシート貼付装置ＥＡは、接着シートＡＳを引き出し可能に支持する接着シート支持手段１０と、接着シートＡＳの貼付先端部ＡＳ１を保持するシート先端部保持手段２０と、接着シートＡＳを被着体ＷＫに押圧して貼付する押圧手段３０と、接着シートＡＳを切断する切断手段４０と、各手段を制御する制御手段５０とを備え、被着体ＷＫを接着シート支持手段１０と相対移動させる被着体支持手段６０の上方に配置されている。

接着シート支持手段１０は、帯状の剥離シートＲＬ上に帯状の接着シートＡＳが仮着された原反ＲＳを支持する支持ローラ１１と、駆動機器としての回動モータ１２Ａの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ１２Ｂとで原反ＲＳを挟み込む駆動ローラ１２と、駆動機器としてのリニアモータ１３Ａのスライダ１３Ｂに回転自在に支持された移動ローラ１３と、原反ＲＳを案内するガイドローラ１４と、剥離シートＲＬを折り返して当該剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離手段としての剥離ローラ１５と、駆動機器としての回動モータ１６Ａの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ１６Ｂとで剥離シートＲＬを挟み込む駆動ローラ１６と、図示しない駆動機器の出力軸に支持され、ピンチローラ１６Ｂとの間に存在する剥離シートＲＬに常に所定の張力を付与して回収する回収ローラ１７と、剥離ローラ１５で接着シートＡＳから剥離された剥離シートＲＬを案内するガイドローラ１８とを備えている。

シート先端部保持手段２０は、駆動機器としてのリニアモータ２１と、そのスライダ２１Ａに支持された駆動機器としての直動モータ２２と、その出力軸２２Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な基材側支持面２３Ａを有する基材側支持部材２３とを備えている。

押圧手段３０は、シート先端部保持手段２０と共有するリニアモータ２１と、そのスライダ２１Ａに支持された駆動機器としての直動モータ３１と、その出力軸３１Ａに回転可能に支持された押圧部材としての押圧ローラ３２とを備えている。

切断手段４０は、基材側支持部材２３に支持された駆動機器としてのエアシリンダ４１と、その出力軸４１Ａに支持された切断部材としての切断刃４２とを備えている。

制御手段５０は、シーケンサやパーソナルコンピュータ等の制御機器５１を備え、電気や電波等の通信媒体によって、当該シート貼付装置ＥＡを構成する各手段や被着体支持手段６０等に接続され、それらの動作を制御可能に設けられている。
このような構成により、制御手段５０は、被着体ＷＫの被着面ＷＫ１に対向するように、シート先端部保持手段２０で接着シートＡＳを接着シート支持手段１０から引き出した後、押圧手段３０で接着シートＡＳを被着体ＷＫに押圧して貼付する第１貼付モードと、被着体支持手段６０にシート先端部保持手段２０で接着シートＡＳを支持させ、当該接着シートＡＳを接着シート支持手段１０から引き出しつつ、押圧手段３０で接着シートＡＳを被着体ＷＫに押圧して貼付する第２貼付モードとを含む複数の貼付モードから、第１貼付モードまたは第２貼付モードを特定して実行するようになっている。

被着体支持手段６０は、駆動機器としてのリニアモータ６１と、そのスライダ６１Ａに支持された支持テーブル６２を備えている。なお、支持テーブル６２には、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって、被着体ＷＫを支持可能な被着体支持面６２Ａと、当該被着体支持面６２Ａを囲み、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって、接着シートＡＳの接着面側を支持可能な接着面側支持面６２Ｂとが形成され、当該接着面側支持面６２Ｂには、接着シートＡＳが接着しない不接着処理が施されている。

以上のシート貼付装置ＥＡの動作を説明する。
先ず、図１中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置ＥＡに対し、シート貼付装置ＥＡの使用者（以下、単に「使用者」という）が同図のように原反ＲＳをセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して第１貼付モードを選択し、自動運転開始の信号を制御手段５０に入力すると、当該シート貼付装置ＥＡは、制御手段５０によって以下の第１貼付モードによる被着体ＷＫへの接着シートＡＳの貼付動作を行う。
すなわち、第１貼付モードでは、シート先端部保持手段２０が図示しない減圧手段を駆動し、基材側支持面２３Ａでの接着シートＡＳの貼付先端部ＡＳ１の吸着保持を開始する。次いで、使用者または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、図１（Ａ）に示すように、被着体ＷＫを支持テーブル６２上に載置すると、被着体支持手段６０が図示しない減圧手段を駆動し、被着体支持面６２Ａでの被着体ＷＫの吸着保持を開始する。

その後、被着体支持手段６０がリニアモータ６１を駆動し、支持テーブル６２を左方へ移動させ、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、接着面側支持面６２Ｂの左方が基材側支持面２３Ａの直下に到達すると、リニアモータ６１の駆動を停止した後、シート先端部保持手段２０が直動モータ２２を駆動し、基材側支持部材２３を下降させ、基材側支持面２３Ａと接着面側支持面６２Ｂの左方とで接着シートＡＳの貼付先端部ＡＳ１を挟み込む。次に、接着シート支持手段１０、シート先端部保持手段２０および被着体支持手段６０が回動モータ１２Ａ、１６Ａ、リニアモータ２１、６１を駆動し、支持テーブル６２を左方へ移動させる速度に合わせてスライダ２１Ａを左方へ移動させつつ、支持ローラ１１から原反ＲＳを繰り出す。これにより、剥離ローラ１５で剥離シートＲＬが剥離された接着シートＡＳが引き出され、図１（Ｂ）［Ｂ−１］中実線で示すように、接着シートＡＳの接着面が被着面ＷＫ１に対向配置されると、接着シート支持手段１０、シート先端部保持手段２０および被着体支持手段６０が回動モータ１２Ａ、１６Ａ、リニアモータ２１、６１の駆動を停止する。

そして、押圧手段３０が直動モータ３１を駆動し、図１（Ｂ）［Ｂ−１］中実線で示すように、押圧ローラ３２を下降させて接着シートＡＳを接着面側支持面６２Ｂの左方に押圧した後、シート先端部保持手段２０が図示しない減圧手段の駆動を停止して直動モータ２２を駆動し、基材側支持部材２３を上昇させる。次いで、接着シート支持手段１０が回動モータ１２Ａの駆動をロックした状態で、押圧手段３０がリニアモータ２１を駆動し、図１（Ｂ）［Ｂ−１］中二点鎖線で示すように、スライダ２１Ａを初期位置に復帰させ、被着体ＷＫの被着面ＷＫ１に接着シートＡＳを押圧して貼付する。このとき、接着シート支持手段１０がリニアモータ１３Ａを駆動し、被着体ＷＫに貼付される接着シートＡＳに所定の張力が付与されるように移動ローラ１３を左右に移動させる。

その後、シート先端部保持手段２０が直動モータ２２を駆動し、基材側支持部材２３を下降させ、基材側支持面２３Ａを接着シートＡＳに当接させた後、図示しない減圧手段を駆動し、基材側支持面２３Ａでの接着シートＡＳの吸着保持を開始する。次に、切断手段４０がエアシリンダ４１を駆動し、図１（Ｃ）中実線で示すように、切断刃４２を昇降させて接着シートＡＳを切断した後、シート先端部保持手段２０および押圧手段３０が直動モータ２２、３１を駆動し、基材側支持面２３Ａで接着シートＡＳの新たな貼付先端部ＡＳ１を吸着保持した基材側支持部材２３および押圧ローラ３２を初期位置に復帰させる。

そして、被着体支持手段６０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、被着体支持面６２Ａでの被着体ＷＫの吸着保持を解除した後、使用者または図示しない搬送手段が、接着シートＡＳが貼付された被着体ＷＫを次の工程に搬送する。次いで、被着体支持手段６０がリニアモータ６１を駆動し、支持テーブル６２を初期位置に復帰させ、以降上記同様の第１貼付モードによる被着体ＷＫへの接着シートＡＳの貼付動作が繰り返される。
以上の第１貼付モードでは、接着シートＡＳに極力張力を付与することなく貼付したり、当該接着シートＡＳに均等な張力を付与して貼付したりする場合等に効果的であり、例えば、張力が付与されて接着シートＡＳが貼付された極薄の被着体ＷＫが、当該接着シートＡＳの内部応力によって反り返ってしまうといった不都合を防止することができる。

一方、使用者が図示しない操作手段を介して第２貼付モードを選択し、自動運転開始の信号を制御手段５０に入力すると、当該シート貼付装置ＥＡは、制御手段５０によって以下の第２貼付モードによる被着体ＷＫへの接着シートＡＳの貼付動作を行う。
すなわち、第２貼付モードでは、第１貼付モードと同様の動作を行い図１中二点鎖線で示すように、基材側支持面２３Ａと接着面側支持面６２Ｂの左方とで接着シートＡＳの貼付先端部ＡＳ１を挟み込む。その後、押圧手段３０が直動モータ３１を駆動し、押圧ローラ３２を下降させて接着シートＡＳを接着面側支持面６２Ｂ左方に押圧した後、シート先端部保持手段２０が図示しない減圧手段の駆動を停止して直動モータ２２を駆動し、基材側支持部材２３を初期位置に復帰させる。

次に、接着シート支持手段１０および被着体支持手段６０が回動モータ１２Ａ、１６Ａおよびリニアモータ６１を駆動し、支持テーブル６２を左方へ移動させる速度に合わせて支持ローラ１１から原反ＲＳを繰り出す。これにより、剥離ローラ１５で剥離シートＲＬが剥離された接着シートＡＳが引き出されつつ、図１（Ｂ）［Ｂ−２］中実線で示すように、押圧ローラ３２で押圧されて被着体ＷＫの被着面ＷＫ１に貼付される。このときも第１貼付モードと同様に、接着シート支持手段１０がリニアモータ１３Ａを駆動し、被着体ＷＫに貼付される接着シートＡＳに所定の張力が付与されるように移動ローラ１３を左右に移動させる。

そして、接着面側支持面６２Ｂの右方が基材側支持面２３Ａの直下に到達すると、接着シート支持手段１０および被着体支持手段６０が回動モータ１２Ａ、１６Ａおよびリニアモータ６１の駆動を停止した後、シート先端部保持手段２０が直動モータ２２を駆動し、基材側支持部材２３を下降させ、基材側支持面２３Ａを接着シートＡＳに当接させる。次いで、シート先端部保持手段２０が図示しない減圧手段を駆動し、基材側支持面２３Ａでの接着シートＡＳの吸着保持を開始した後、切断手段４０がエアシリンダ４１を駆動し、図１（Ｃ）中実線で示すように、切断刃４２を昇降させて接着シートＡＳを切断する。その後、シート先端部保持手段２０および押圧手段３０が直動モータ２２、３１を駆動し、基材側支持面２３Ａで接着シートＡＳの新たな貼付先端部ＡＳ１を吸着保持した基材側支持部材２３および押圧ローラ３２を初期位置に復帰させた後、被着体支持手段６０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、被着体支持面６２Ａでの被着体ＷＫの吸着保持を解除する。次いで、使用者または図示しない搬送手段が、接着シートＡＳが貼付された被着体ＷＫを次の工程に搬送した後、被着体支持手段６０がリニアモータ６１を駆動し、支持テーブル６２を初期位置に復帰させ、以降上記同様の第２貼付モードによる被着体ＷＫへの接着シートＡＳの貼付動作が繰り返される。
以上の第２貼付モードでは、被着体ＷＫに素早く接着シートＡＳを貼付したり、接着シートＡＳと被着体ＷＫとの間に気泡や塵埃を混入させずに貼付したりする場合等に効果的であり、例えば、単位時間あたりに接着シートＡＳを被着体ＷＫに数多く貼付したい場合、その要望に応じた接着シートＡＳの貼付を行うことができる。

以上のような実施形態によれば、制御手段５０が複数の貼付モードから１つの貼付モードを特定して実行するので、汎用性を向上させることができる。

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、接着シート支持手段は、接着シートを引き出し可能に支持可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない。

接着シート支持手段１０は、巻回された原反ＲＳではなく、ファンフォールド折りにされた原反ＲＳを下方から支え持って繰り出し可能に支持し、剥離シートＲＬに仮着されていない接着シートＡＳを引き出し可能に支持してもよいし、回動モータ１２Ａやリニアモータ１３Ａがなくてもよい。

シート先端部保持手段２０は、第１貼付モードにおいて、接着シートＡＳの貼付先端部ＡＳ１を保持した基材側支持部材２３のみを移動させたり、基材側支持部材２３で接着シートＡＳの貼付先端部ＡＳ１を保持した支持テーブル６２のみを移動させたりすることで、接着シートＡＳの接着面を被着面ＷＫ１に対向配置させてもよい。

押圧手段３０は、リニアモータ２１をシート先端部保持手段２０と共有せず、当該シート先端部保持手段２０から独立した駆動機器を採用して押圧ローラ３２を左右方向に移動させてもよいし、第１貼付モードや第２貼付モードで接着シートＡＳの貼付先端部ＡＳ１を支持テーブル６２とで挟み込む際、押圧ローラ３２で挟み込んでもよく、このような構成の場合、シート先端部保持手段２０は、直動モータ２２や基材側支持部材２３を採用することなく、当該押圧手段３０をシート先端部保持手段として兼用することができる。

切断手段４０は、シート先端部保持手段２０に支持されていなくてもよいし、切断刃４２移動させずにまたは移動させつつ、接着シートＡＳを移動させて当該接着シートＡＳを切断してもよいし、被着体ＷＫの外縁に沿って接着シートＡＳを切断してもよいし、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていなくてもよい。

制御手段５０は、例えば、被着面ＷＫ１の途中まで第１貼付モードで貼付した後、第２貼付モードで貼付したり、被着面ＷＫ１の途中まで第２貼付モードで貼付した後、第１貼付モードで貼付したりする他の貼付モードを特定して実行してもよいし、シート先端部保持手段２０や押圧手段３０で接着シートＡＳを被着面ＷＫ１に点付けするような他の貼付モードを特定して実行してもよく、第１、第２貼付モード以外にどのような貼付モードがあってもよい。

被着体支持手段６０は、被着体ＷＫを移動させずにまたは移動させつつ、他のものを移動させて被着体ＷＫに接着シートＡＳを貼付してもよいし、本発明のシート貼付装置ＥＡの構成部材として備わっていてもよいし、他の装置で被着体ＷＫを接着シート支持手段１０と相対移動させる場合、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていなくてもよい。

シート貼付装置ＥＡは、前記実施形態では、使用者が第１貼付モードと第２貼付モードとを含む複数の貼付モードから、第１貼付モードまたは第２貼付モードを選択し、制御手段５０が選択された貼付モードを特定して実行する例を示したが、例えば、カメラや投影機等の撮像手段や、光学センサ、超音波センサ、温度センサ、圧力センサ、測長センサ、ウエイトセンサ、照度センサ、音センサ等の各種センサ等の図示しない検知手段が、接着シートＡＳや被着体ＷＫの特性、特質、性質、材質、組成、構成、形状、寸法および重量や、雰囲気の条件等を検出し、当該検出結果に応じて制御手段５０が、第１貼付モードと第２貼付モードとを含む複数の貼付モードから、第１貼付モードまたは第２貼付モードを選択し、当該制御手段５０が選択された貼付モードを特定して実行してもよい。
シート貼付装置ＥＡは、天地反転して配置したり横向きに配置したりして、接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付してもよい。

本発明における接着シートＡＳおよび被着体ＷＫの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートＡＳが採用された場合は、当該接着シートＡＳを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層との間に中間層を有するもの、基材の上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材を接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体ＷＫとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。

前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等の部材を採用したり、大気やガス等の気体の吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材を支持または保持するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよい。

ＥＡ…シート貼付装置
１０…接着シート支持手段
２０…シート先端部保持手段
３０…押圧手段
５０…制御手段
６０…被着体支持手段
ＡＳ…接着シート
ＷＫ…被着体
ＷＫ１…被着面

Claims (2)

1. 接着シートを引き出し可能に支持する接着シート支持手段と、
   前記接着シートの貼付先端部を保持するシート先端部保持手段と、
   前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段と、
   前記各手段を制御する制御手段とを備え、
   前記制御手段は、前記被着体の被着面に対向するように、前記シート先端部保持手段で前記接着シートを前記接着シート支持手段から引き出した後、前記押圧手段で前記接着シートを前記被着体に押圧して貼付する第１貼付モードと、前記被着体を前記接着シート支持手段と相対移動させる被着体支持手段に、前記シート先端部保持手段で前記接着シートを支持させ、当該接着シートを前記接着シート支持手段から引き出しつつ、前記押圧手段で前記接着シートを前記被着体に押圧して貼付する第２貼付モードとを含む複数の貼付モードから、前記第１貼付モードまたは第２貼付モードを特定して実行することを特徴とするシート貼付装置。
2. 被着体の被着面に対向するように接着シートを引き出した後、当該接着シートを前記被着体に押圧して貼付する第１貼付モードと、前記接着シートを支持する接着シート支持手段に対して前記被着体を相対移動させる被着体支持手段に前記接着シートを支持させ、当該接着シートを引き出しつつ、当該接着シートを前記被着体に押圧して貼付する第２貼付モードとを含む複数の貼付モードから、前記第１貼付モードまたは第２貼付モードを特定して実行するシート貼付方法。