JP5468382B2 - シート剥離装置及び剥離方法 - Google Patents
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また、図5(A)に示されるように、リングフレームRFにマウント用テープTを介して一体化されたウエハWから接着シートSを剥離する場合、通常ウエハWはリングフレームRFの厚みよりも薄く研削されているため、接着シートSの上面位置はリングフレームRFの上面位置よりも低い位置となっている。従って、ウエハWの直径D以上の幅D1を備えたエッジ部材P1を用いて図5(A)中A点からB点に向かって剥離を行う場合、A地点近傍の剥離開始領域や、B地点近傍の剥離終了領域では、エッジ部材P1の先端がリングフレームRFに乗り上がってしまい、図5(B)に示されるように、エッジ部材P1の先端と接着シートSとの間に隙間Gが生じることとなる。そのため、エッジ部材P1の先端で剥離される直前の接着シートS領域をウエハW側に押圧しつつ当該接着シートSを折り返して剥離することができなくなり、ウエハWが接着シートSと共に持ち上げられて破損してしまう。ここで、リングフレームRFの内側に入り込みが可能な幅D2を備えたエッジ部材P2を用いて上記同様の剥離を行う場合、接着シートSの剥離が進むに連れて、エッジ部材P2の先端で押圧されることのないウエハW部分と接着シートS部分(領域D3)が出現し、この領域D3のウエハW部分が接着シートSと共に持ち上げられて破損してしまう、とう不都合を招来する。
本発明の目的は、被着体から剥離される直前の接着シート領域の幅が変化しても、その幅変化に対応した押圧を確実に行って接着シートを剥離することができるシート剥離装置及び剥離方法を提供することにある。
ら剥離される直前の接着シート領域を確実に被着体側に押圧することができるとともに、
この剥離によって生じる剥離縁の幅に合わせて線材部分の幅を変更して接着シートを剥離
することができるので、被着体が接着シートと共に持ち上げられて破損してしまうような
不都合を解消することができる。
特に、リングフレームに一体化されたウエハを対象とし、当該ウエハから接着シートを
剥離する構成に適用した場合には、接着シートの上面がリングフレームの上面よりも低い
位置にあっても、当該リングフレームの上面にプレート部材の先端が乗り上がってしまう
ような不都合はない。すなわち、剥離開始領域から接着シートの中心を通過するまで次第
にプレート部材の先端幅を拡大させ、中心を過ぎた位置から剥離終了領域にかけて次第に
プレート部材の先端幅を縮小させることで、プレート部材の先端で剥離される直前の接着
シート領域をウエハ側に押圧しつつ、当該接着シートを折り返して剥離縁を形成し、当該
接着シートをウエハから剥離することができ、ウエハの破損や割れを確実に防止すること
ができる。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
更に、前記特許文献1と同様に、押圧手段を貼付けローラで構成し、剥離用テープを接着シートの径方向に亘って貼付した後、上記実施形態と同様に、接着シートを被着体側に押圧しつつ当該接着シートを折り返して被着体から剥離するようにしてもよい。
13 繰出手段
14 押圧手段
15 張力付与手段
16 剥離姿勢形成手段
17 駆動手段
51 線材
51A 線材部分
57 幅変更用プーリ
58 補強プーリ(補強部材)
PT 剥離用テープ
S 接着シート
W 半導体ウエハ(被着体)
PE 剥離縁
Claims (2)
- 被着体に貼付された接着シートを、剥離用テープを介して当該被着体から剥離するシート剥離装置において、
前記剥離用テープを繰り出す繰出手段と、
前記繰出手段から繰り出された剥離用テープを接着シートに押圧して貼付する押圧手段と、
前記接着シートに貼付された剥離用テープに張力を加えることで前記被着体から接着シートを剥離する張力付与手段と、
前記張力付与手段によって前記被着体から剥離される直前の接着シート領域を被着体側に押圧して当該接着シートを折り返すことで剥離縁を形成可能な線材を有し、前記剥離縁を形成する線材部分の幅が変更可能に設けられた剥離姿勢形成手段とを備えていることを特徴とするシート剥離装置。 - 被着体に貼付された接着シートを、剥離用テープを介して当該被着体から剥離するシート剥離方法において、
前記剥離用テープを繰り出す工程と、
前記繰り出された剥離用テープを接着シートに押圧して貼付する工程と、
前記接着シートに貼付された剥離用テープに張力を加えることで前記被着体から接着シートを剥離する工程とを含み、
前記被着体から剥離される直前の接着シート領域を剥離姿勢形成手段の線材で被着体側に押圧して当該接着シートを折り返すことで剥離縁を形成する工程と、
前記剥離姿勢形成手段の線材部分の幅を変更させて前記被着体から接着シートを剥離する工程と、を備えたことを特徴とするシート剥離方法。
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JP2009297818A JP5468382B2 (ja) | 2009-12-28 | 2009-12-28 | シート剥離装置及び剥離方法 |
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JP2009297818A JP5468382B2 (ja) | 2009-12-28 | 2009-12-28 | シート剥離装置及び剥離方法 |
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JP2011138918A JP2011138918A (ja) | 2011-07-14 |
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JP2006100728A (ja) * | 2004-09-30 | 2006-04-13 | Nitto Denko Corp | 保護テープ剥離方法およびこれを用いた装置 |
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2009
- 2009-12-28 JP JP2009297818A patent/JP5468382B2/ja active Active
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