JP5690573B2

JP5690573B2 - シート剥離装置

Info

Publication number: JP5690573B2
Application number: JP2010278256A
Authority: JP
Inventors: 芳昭杉下
Original assignee: Lintec Corp
Current assignee: Lintec Corp
Priority date: 2010-12-14
Filing date: 2010-12-14
Publication date: 2015-03-25
Anticipated expiration: 2030-12-14
Also published as: JP2012126489A

Description

本発明は、シート剥離装置および剥離方法、ならびにシート貼付装置に関する。

従来、剥離シート（台紙）上にラベル等の接着シートが仮着された帯状の原反から接着シートを剥離する剥離装置が利用されている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１に記載の剥離装置は、繰り出された原反から剥離シートを折り曲げる剥離手段（転向ピン）を有し、原反の繰出方向と傾斜した方向に剥離シートを折り曲げることで、接着シートの角隅部から剥離して繰出方向前方に接着シートを送るように構成されている。接着シートの角隅部は、接着領域が小さいため剥離し易いので、剥離を確実にするために接着シートの角隅部から剥離すると剥離不良を解消するのに有利である。

特開２００４−２３１２７４号公報

しかしながら、特許文献１に記載の剥離装置では、原反の繰出方向と傾斜した方向に剥離シートを折り曲げるため、剥離シートを回収するための回収手段が側方に張り出すなど、装置が大型化してしまう。また、側方に張り出さないように回収手段を設けた場合でも、繰出方向と傾斜して折り曲げた剥離シートを回収手段に向かって戻すためのローラ等が必要になるため、装置が複雑化してしまうという問題もある。

本発明の目的は、装置の大型化や複雑化を招くことなく剥離シートから接着シートを確実に剥離することができるシート剥離装置を提供することにある。

前記目的を達成するため、本発明のシート剥離装置は、基材シートの一方の面に接着剤層を有する接着シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反から前記接着シートを剥離するシート剥離装置であって、前記原反を繰り出す繰出手段と、前記繰り出された原反の剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離手段とを備え、前記剥離手段は、前記剥離シートを所定の折曲線に沿って折り曲げる折曲端縁を有して構成され、この折曲端縁には、前記接着シートの平面形状出隅部に対応して前記折曲線よりも繰出方向上流側に後退した後退部が形成され、前記繰出手段は、前記接着シートが剥離された前記剥離シートを所定張力で引っ張って回収する回収手段と、前記剥離シートのうちの前記後退部を通過した部分に前記所定張力よりも大きな張力を付加する張力付加手段とを有して構成されている、という構成を採用している。

以上のような本発明によれば、所定の折曲線に沿って剥離シートを折り曲げる際に、接着シートの平面形状出隅部に対応した位置の剥離シートを折曲線よりも繰出方向上流側にて部分的に折り曲げることで、出隅部から先行して接着シートを確実に剥離することができる。このような接着シートの出隅部に対応した後退部を折曲端縁に形成するだけで、従来のように原反の繰出方向と傾斜した方向に剥離シートを折り曲げる必要がなく、原反の繰出方向と反対向きの同一平面内で剥離シートを回収することができることから、装置の大型化や複雑化を招くことがないとともに、さらに、接着シートの平面形状に応じて後退部の位置が異なる各種の剥離手段を準備しておくだけで、様々な形状の接着シートに容易に対応することができ、装置の汎用性を向上させることができる。さらに、後退部を通過した部分の剥離シートに他の部分よりも大きな張力を付加するようにすれば、剥離シートの弛みを防止することができ、出隅部から確実に接着シートを剥離することができる。

本発明の一実施形態に係るシート貼付装置の側面図。図１のシート貼付装置の部分斜視図。図１のシート貼付装置の動作説明図。本発明の変形例に係るシート貼付装置の部分斜視図。

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
図１において、本実施形態のシート貼付装置１は、基材シートＢＳの一方の面に接着剤層ＡＤを有する接着シートＳを被着体Ｗに貼付する貼付装置であって、接着剤層ＡＤを介して帯状の剥離シートＲＬに仮着された原反Ｒから接着シートＳを剥離するシート剥離装置を含んで構成されている。このシート貼付装置１は、原反Ｒを繰り出す繰出手段２と、繰り出された原反Ｒの剥離シートＲＬから接着シートＳを剥離する剥離手段３と、剥離シートＲＬから剥離した接着シートＳを被着体Ｗに押圧して貼付する押圧手段４とを備え、被着体Ｗを図１中左方向に移動させるベルトコンベア等の搬送手段５の上方に図示しないフレームを介して設けられている。

繰出手段２は、その全体がベースフレーム２０に支持され、このベースフレーム２０には、原反Ｒをロール状に巻回して支持する支持ローラ２１と、原反Ｒを案内する複数のガイドローラ２２，２３と、駆動機器である回動モータ２４によって駆動される駆動ローラ２５と、駆動ローラ２５との間に剥離シートＲＬを挟み込むピンチローラ２６と、図示しない駆動機器によって剥離シートＲＬを回収する回収ローラ２７とが設けられている。そして、駆動ローラ２５および回収ローラ２７によって剥離シートＲＬを所定張力で引っ張って回収する回収手段２８が構成され、この回収手段２８よりも繰出方向上流側（剥離手段３側）には、張力付加手段としての段付きローラ２９がベースフレーム２０に支持されている。

剥離手段３は、ベースフレーム２０によって図１中左方向に片持ち状に延びた姿勢で支持された剥離板３１を備えて構成され、この剥離板３１は、図２に示すように、原反Ｒの繰出方向下流側に位置する折曲端縁３２を有し、ガイドローラ２３から延びる剥離シートＲＬを折曲端縁３２によって段付きローラ２９に向かって折り曲げることで、接着シートＳを剥離シートＲＬから剥離するようになっている。折曲端縁３２は、原反Ｒの繰出方向Ａと直交する直交方向Ｂに沿って延びる折曲線Ｌに概ね沿って剥離シートＲＬを折り曲げるものであって、折曲線Ｌと平行に延びる主折曲端縁３２Ａと、この主折曲端縁３２Ａの両側端に各々連続するとともに折曲線Ｌよりも繰出方向Ａ上流側に後退して傾斜する後退部としての副折曲端縁３２Ｂとを有して屈折形状に構成されている。

押圧手段４は、接着シートＳを基材シートＢＳの他方の面側から支持する支持手段４１と、この支持手段４１を移動させる移動手段４２とを有して構成されている。支持手段４１は、駆動機器である直動モータ４３と、この直動モータ４３の出力軸４３Ａに固定された板状の吸引板４４とを有して構成され、吸引板４４の下面である支持面４４Ａには、基材シートＢＳの他方の面を吸引可能な図示しない吸引手段としての複数の吸引孔が設けられている。移動手段４２は、スライダ４５Ａを介して支持手段４１を移動可能に支持する駆動機器であるリニアモータ４５を備えて構成され、吸引板４４で吸引支持した接着シートＳの繰り出しに同期して支持手段４１を図１中左方に移動させることで、剥離板３１で剥離シートＲＬから剥離した接着シートＳを繰出手段２から受け取りつつ被着体Ｗの上方位置まで移動させる。さらに、押圧手段４は、被着体Ｗの上方位置において、支持手段４１が直動モータ４３を駆動して吸引板４４を下降させることで、接着シートＳを被着体Ｗの被貼付面ＡＳに押圧して貼付するように構成されている。

以上のような本実施形態のシート貼付装置１において、段付きローラ２９は、図２、図３にも示すように、ベースフレーム２０に軸支されて駆動ローラ２５と平行に延びる第１軸部２９Ａと、この第１軸部２９Ａよりも径大に形成された一対の第２軸部２９Ｂとを有して構成されている。一対の第２軸部２９Ｂ間に位置する第１軸部２９Ａは、剥離板３１の主折曲端縁３２Ａに対応して設けられ、剥離シートＲＬのうち主折曲端縁３２Ａを通過した第１剥離シート部分ＲＬ１を案内し、一対の第２軸部２９Ｂは、それぞれ剥離板３１の副折曲端縁３２Ｂに対応して設けられ、剥離シートＲＬのうち副折曲端縁３２Ｂを通過した第２剥離シート部分ＲＬ２を案内するように構成されている。

このような段付きローラ２９は、剥離板３１の折曲線Ｌと駆動ローラ２５とを結ぶ平面よりも図中下側に剥離シートＲＬを押し下げて案内することで、第１軸部２９Ａと第２軸部２９Ｂとの段差によって剥離シートＲＬに段差部ＲＬ３が形成されることとなる。従って、回収される剥離シートＲＬにおいて、主折曲端縁３２Ａから第１軸部２９Ａを通過して駆動ローラ２５に至る第１剥離シート部分ＲＬ１の経路長よりも、副折曲端縁３２Ｂから第２軸部２９Ｂを通過して駆動ローラ２５に至る第２剥離シート部分ＲＬ２の経路長を長く設定することで、第１剥離シート部分ＲＬ１に作用する張力よりも第２剥離シート部分ＲＬ２に作用する張力が大きくなり、すなわち、段付きローラ２９によって張力付加手段が構成されている。

以上のシート貼付装置１で被着体Ｗに接着シートＳを貼付する手順を説明する。ここで、接着シートＳとしては、繰出方向Ａに沿った２辺と直交方向Ｂに沿った２辺とを有した平面矩形状であって、その繰出方向下流側における直交方向Ｂの両側に出隅部Ｓ１を有したものを対象とする（図２参照）。
先ず、図１に示すように、繰出手段２によって原反Ｒを繰り出させ、接着シートＳの先端縁が剥離板３１先端の折曲線Ｌに達した時点で、繰り出し動作を一旦停止させる。この一旦停止状態において、接着シートＳの出隅部Ｓ１の少なくとも一部が剥離シートＲＬから剥離され、剥離板３１の副折曲端縁３２Ｂよりも繰出方向下流側に突出するようになっている。そして、一旦停止状態で押圧手段４が支持手段４１の吸引板４４を下降させ、支持面４４Ａによって接着シートＳを吸引支持する。一方、搬送手段５は、搬送した被着体Ｗを図示しないセンサによって検知し、所定の貼付位置にて被着体Ｗを待機させる。

次に、押圧手段４が吸引板４４で接着シートＳを吸引支持した支持手段４１をリニアモータ４５で図１中左側に移動させ、この移動と同期して繰出手段２が原反Ｒを繰り出して剥離板３１の折曲端縁３２で折り曲げた剥離シートＲＬから接着シートＳを剥離する。次に、剥離シートＲＬから接着シートＳを完全に剥離すると、シート貼付装置１は、原反Ｒの繰り出し動作を停止し、所定位置に待機している被着体Ｗの上方に吸引板４４を位置させてリニアモータ４５を停止する。そして、押圧手段４は、直動モータ４３を駆動して吸引板４４を下降させ、吸引板４４で支持した接着シートＳを被着体Ｗの被貼付面ＡＳに押圧して貼付する。このようにして接着シートＳの被着体Ｗへの貼付が完了すると、押圧手段４は、吸引板４４の吸引を停止し、支持手段４１を初期位置に復帰させてから、次に搬送されてくる被着体Ｗに対して上述の動作を繰り返す。

本実施形態によれば、次のような効果がある。
すなわち、剥離板３１の折曲端縁３２で剥離シートＲＬを折り曲げる際に、接着シートＳの出隅部Ｓ１に対応した位置の剥離シートＲＬを折曲線Ｌよりも繰出方向Ａ上流側に後退した副折曲端縁３２Ｂによって部分的に折り曲げることで、出隅部Ｓ１から先行して接着シートＳを確実に剥離することができる。従って、剥離シートＲＬを繰出方向Ａと傾斜した方向に折り曲げる必要がないことから、装置の大型化や複雑化を招くことがない。また、剥離シートＲＬのうち副折曲端縁３２Ｂを通過した第２剥離シート部分ＲＬ２に作用する張力を段付きローラ２９で増大させることで、剥離シートＲＬの弛みを防止できる上、剥離シートＲＬから出隅部Ｓ１を剥離しやすくすることができ、出隅部Ｓ１から接着シートＳをより確実に剥離することができる。

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は前記記載で開示されているが、本発明はこれに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され且つ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状などの詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は本発明に含まれるものである。

例えば、前記実施形態では、シート剥離装置を含んだシート貼付装置１を例示したが、本発明のシート剥離装置は、シート貼付装置１に組み込まれたものに限られず、少なくとも繰出手段と剥離手段とを有したシート剥離装置が単体で構成されたものでもよいし、このシート剥離装置がシート貼付装置以外の装置に組み込まれたものであってもよい。
また、押圧手段を押圧ローラなどで構成してもよく、この場合には、搬送手段５による被着体Ｗの搬送に同期して繰出手段２が原反Ｒを繰り出し、剥離手段３で剥離した接着シートＳを押圧ローラで被着体Ｗの被貼付面ＡＳに押圧して貼付するように構成すればよい。

また、図４に示すように、平面視菱形状の接着シートＳであって、その繰出方向下流側に１つの出隅部Ｓ２を有したものの場合には、この出隅部Ｓ２に対応した形態の剥離板３１Ａを備えて剥離手段３が構成されていればよい。すなわち、剥離板３１Ａの折曲端縁３２は、折曲線Ｌと平行に延びる主折曲端縁３２Ａと、折曲端縁３２の略中央にて折曲線Ｌよりも繰出方向上流側に後退して凹んだ後退部としての副折曲端縁３２Ｂとを有して構成されている。また、張力付加手段としての段付きローラ２９は、副折曲端縁３２Ｂに対応した幅方向略中央位置に径大な１つの第２軸部２９Ｂを有して構成されている。従って、回収される剥離シートＲＬにおいて、幅方向両側の第１剥離シート部分ＲＬ１の経路長よりも、副折曲端縁３２Ｂを通過した中央部の第２剥離シート部分ＲＬ２の経路長が長く設定され、第１剥離シート部分ＲＬ１に作用する張力よりも第２剥離シート部分ＲＬ２に作用する張力が大きくなるように構成され、剥離シートＲＬから出隅部Ｓ２を剥離しやすくなっている。このような剥離板３１Ａによっても、出隅部Ｓ２に対応した副折曲端縁３２Ｂによって剥離シートＲＬを部分的に折り曲げることで、出隅部Ｓ１から先行して接着シートＳを確実に剥離することができる。
さらに、張力付加手段をローラ以外の例えばガイドシャフトやブラケット等で構成してもよく、出隅部Ｓ２に対応する剥離シート部分に作用する張力が他の領域の剥離シート部分に作用する張力よりも大きくなるように構成されれば足りる。

また、前記実施形態では、被着体Ｗおよび接着シートＳを具体的に例示していないが、本発明における被着体Ｗおよび接着シートＳの種別や材質などは、特に限定されず、例えば、被着体Ｗが適宜な物品（例えば、段ボールケースや樹脂容器等）であって、接着シートＳがラベルであってもよく、被着体Ｗが半導体ウェハであって、接着シートＳが保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルムなどであってもよい。この際、半導体ウェハは、シリコン半導体ウェハや化合物半導体ウェハ等が例示でき、このような半導体ウェハに貼付する接着シートは、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルムに限らず、その他の任意のシート、フィルム、テープ等、任意の用途、形状の接着シート等が適用できる。さらに、被着体Ｗが光ディスクの基板であって、接着シートＳが記録層を構成する樹脂層を有したものであってもよい。以上のように、被着体Ｗとしては、ガラス板、鋼板、樹脂板等や、その他の板状部材のみならず、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。

また、剥離手段３としては、前述したような剥離板３１，３１Ａに限らず、接着シートＳの平面形状つまり出隅部の位置に対応した適宜な位置に後退部（副折曲端縁３２Ｂ）が形成された複数種類の剥離板を準備しておき、対象とする接着シートＳに応じて選択した剥離板に交換可能に構成されていてもよい。
また、前記実施形態では、原反Ｒは、帯状の剥離シートＲＬに枚葉の接着シートＳを適宜な間隔で仮着したものであったが、原反としては、帯状の剥離シートＲＬに帯状の原接着シートが仮着されたものでもよく、この原接着シートを適宜なサイズに切断してからシート剥離装置で剥離するような構成であってもよい。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。

１シート貼付装置
２繰出手段
３剥離手段
４押圧手段
２８回収手段
２９段付きローラ（張力付加手段）
３２折曲端縁
３２Ｂ副折曲端縁（後退部）
ＡＤ接着剤層
ＢＳ基材シート
Ｌ折曲線
Ｒ原反
ＲＬ剥離シート
Ｓ接着シート
Ｓ１，Ｓ２出隅部
Ｗ被着体

Claims

基材シートの一方の面に接着剤層を有する接着シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反から前記接着シートを剥離するシート剥離装置であって、
前記原反を繰り出す繰出手段と、
前記繰り出された原反の剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離手段とを備え、
前記剥離手段は、前記剥離シートを所定の折曲線に沿って折り曲げる折曲端縁を有して構成され、この折曲端縁には、前記接着シートの平面形状出隅部に対応して前記折曲線よりも繰出方向上流側に後退した後退部が形成され、
前記繰出手段は、前記接着シートが剥離された前記剥離シートを所定張力で引っ張って回収する回収手段と、前記剥離シートのうちの前記後退部を通過した部分に前記所定張力よりも大きな張力を付加する張力付加手段とを有して構成されていることを特徴とするシート剥離装置。