JP5147425B2 - ウェーハ用テーブル、表面保護フィルム剥離装置および表面保護フィルム剥離方法 - Google Patents

Description

本発明は、ウェーハに貼付けられた表面保護フィルムを剥離するのに用いられるウェーハ用テーブルに関する。さらに、本発明はそのようなウェーハ用テーブルを利用する表面保護フィルム剥離装置および表面保護フィルム剥離方法に関する。

半導体製造分野においてはウェーハが年々大型化する傾向にあり、また、実装密度を高めるためにウェーハの薄膜化が進んでいる。通常は、半導体素子を保護する表面保護テープをウェーハ表面に貼付けた後で、半導体ウェーハの裏面を研削するバックグラインドを行い、それにより、ウェーハを薄膜化している。

バックグラインドが終了すると、図１７に示されるように、ウェーハ２０の裏面２２にはダイシングフィルム３が貼付けられ、それにより、ウェーハ２０とリング型のマウントフレーム３６とが一体化される。

次いで、図１８に示されるように、表面保護フィルム１１が上方に位置するようにウェーハ２０をテーブル１３１上に吸着させる。このとき、マウントフレーム３６とウェーハ２０との間にはダイシングフィルム３の粘着面３ａが環状に露出している。そして、貼付部材１４６に剥離テープ４を繰出して、その貼付部材１４６を表面保護フィルム１１に押付けることにより、剥離テープ４を表面保護フィルム１１に貼付ける。次いで、ウェーハ２０を支持するテーブル１３１を水平方向に移動させることにより、剥離テープ４が貼り付けられた場所が剥離開始箇所として機能し、表面保護フィルム１１を剥離開始箇所から連続的にウェーハ２０より剥離できる。

図１８に示されるように、貼付部材１４６の先端は水平面に対して斜め下向きに位置決めされて表面保護フィルム１１に押付けられる。ところが、剥離テープ４を繰出すときに貼付部材１４６の先端１４６ａに在る剥離テープ４がループ４'を形成するように弛んで粘着面３ａに接着する事態が生じうる（実際にはウェーハ２０および表面保護フィルム１１の厚さは貼付部材１４６に比べてかなり小さいことに留意されたい）。

しかも、剥離テープ４の粘着面とダイシングフィルム３の粘着面とが貼付くことになる。このため、これらフィルム３とテープ４とが接着した場合には、ウェーハ２０を破損させることなしに、これらフィルム３とテープ４とを引剥がすのは極めて困難である。なお、貼付部材１４６の断面形状が三角形でない場合、例えば断面が円形である場合にも同様な問題が生じうる。

特許文献１においては、ウェーハの外周部に沿って剥離テープの幅を越えて延びる溝がテーブルに形成されている。この溝は吸着機能を備えていない領域に形成されている。

そして、そのようなテーブル上にウェーハを載置してウェーハを吸着させると、ダイシングフィルムとテーブルとの間の隙間を通じて溝内の空気も吸引される。ダイシングフィルムによって溝の上方が閉塞されつつ、溝の上方に位置する隙間を通じて溝内の空気が吸引される。これにより、溝の内部が負圧になって、ダイシングフィルムが溝内に入込むように陥没する。このような場合には、剥離テープがループを形成したとしても、ループはダイシングフィルムまで到達せず、従って、剥離テープ４がダイシングフィルムに貼付くのが防止されることが記載されている。
特開２００５−３１１１７６号公報

しかしながら、特許文献１においては、溝が吸着機能を備えていないので、ウェーハの吸着時にダイシングフィルムが溝内に必ずしも陥没するとは限らず、陥没が不十分である事態も生じうる。そのような場合には、剥離テープのループがダイシングフィルムに貼付く可能性がある。

また、特許文献１においてウェーハの吸着を解除すると、空気がダイシングフィルム３とテーブルとの間の隙間を通って溝内に流入する。しかしながら、ダイシングフィルム３は比較的柔軟な材料から形成されているので、ウェーハの吸着を解除した後であっても、溝部の負圧が確実に解除されたという保証はなく、溝部の負圧がマウントフレームの取出に抵抗することも考えられる。また、ダイシングフィルムが変形して、元位置まで戻らない可能性もある。そのような場合には、後工程においてウェーハのハンドリング性が低下する。

さらに、特許文献１においては溝の側面はテーブルの表面に対して概ね垂直に形成されている。従って、ダイシングフィルム３が溝内に陥没するときには、ダイシングフィルム３は比較的大幅に変形することになる。ダイシングフィルム３が元位置まで回復しない可能性もある。さらに、ウェーハは裏面研削によりかなり薄くされているので、ダイシングフィルム３が陥没する際にウェーハ２０が引張られて破損する危険性がある。

また、近年では、ダイシング時にウェーハ２０と一緒に分割されるダイアタッチフィルム（図示しない）がダイシングフィルム３上に貼付けられている場合がある。この場合には、ダイシングフィルム３の接着力が増すので、剥離テープ４がダイシングフィルム３に貼付く可能性はさらに高くなる。

本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、ダイシングフィルムを溝内に確実に陥没させられると共に、ダイシングフィルムを元位置まで回復させられるようにした、ウェーハ用のテーブルならびにそのようなウェーハ用テーブルを利用する表面保護フィルム剥離装置および表面保護フィルム剥離方法を提供することを目的とする。

前述した目的を達成するために１番目の発明によれば、ダイシングフィルムを介してマウントフレームに裏面が支持されると共に表面に表面保護フィルムが貼付けられているウェーハを吸着するウェーハ用テーブルにおいて、前記ウェーハを前記テーブルの表面に吸着させる吸着手段と、前記ウェーハの外周の少なくとも一部に対応する前記テーブルの領域に形成された溝と、前記溝内の空気を吸引する吸引手段とを具備し、前記溝は、前記表面保護フィルムを剥離するために前記表面保護フィルムに貼付けられる剥離テープの幅方向における該剥離テープの一方の縁部を含む領域に形成される第一の溝と、前記剥離テープの他方の縁部を含む領域に形成される第二の溝とを含む、ウェーハ用テーブルが提供される。

すなわち１番目の発明においては、吸引手段が溝に関連づけられているので、ダイシングフィルムを溝内に確実に陥没させられる。これにより、剥離テープにループが形成された場合であっても、剥離テープのループはダイシングフィルムに貼付かない。さらに、第一の溝と第二の溝との間の領域においては、ダイシングフィルムは溝内に陥没しないので、ダイシングフィルムの変形量を抑えることができる。これにより、ダイシングフィルムが伸びることにより、ウェーハが引張られて破損することを防止できる。

２番目の発明によれば、１番目の発明において、前記吸着手段によって前記ウェーハが保持されるときに、前記ウェーハに形成された回路パターンの角部の二等分線が前記第一の溝および前記第二の溝の中間点と前記ウェーハの中心とを結ぶ線分に対して平行になるように、前記溝が形成されている。
すなわち２番目の発明においては、表面保護フィルムの接着剤が、角部を構成する二つのパターン溝に残るのを防止できる。従って、表面保護フィルムを容易に剥離できる。

３番目の発明によれば、１番目または２番目の発明において、前記溝の断面における該溝の側面は前記テーブルの表面に対して鋭角に形成されている。
すなわち３番目の発明においては、ダイシングフィルムの変形量が抑えられるので、ダイシングフィルムを元位置まで容易に回復させられると共に、ダイシングフィルムにウェーハが引張られて破損することも防止できる。

４番目の発明によれば、１番目から３番目のいずれかの発明において、前記吸引手段は、前記溝から前記吸着手段まで延びる少なくとも一つの導通孔を含む。
すなわち４番目の発明においては、テーブルの吸着部材に溝を形成するのが不可能な場合であっても、溝内の空気を吸引することができる。

５番目の発明によれば、１番目の発明において、前記溝の内方側部は前記ウェーハの外周の少なくとも一部に対応した円弧状であり、前記溝の外方側部は直線状である。
すなわち５番目の発明においては、溝を容易に形成することができる。

６番目の発明によれば、ウェーハの表面に貼付けられている表面保護フィルムを剥離する表面保護フィルム剥離装置において、前記ウェーハの前記表面が上方を向くように前記ウェーハを吸着する１番目から５番目のいずれかの発明のウェーハ用テーブルと、前記ウェーハの前記表面に貼付けられた前記表面保護フィルム上に剥離テープを供給する剥離テープ供給手段と、前記剥離テープの一部分のみを前記ウェーハの前記表面保護フィルムに対して押圧する押圧手段とを具備し、それにより、前記剥離テープの前記一部分において該剥離テープと前記表面保護フィルムとの間の接着力を高めるようにし、さらに、接着力の高められた前記剥離テープの前記一部分を剥離開始箇所として、前記剥離テープによって前記ウェーハの前記表面から前記表面保護フィルムを剥離する剥離手段を具備する表面保護フィルム剥離装置が提供される。
すなわち６番目の発明においては、剥離テープのループがダイシングフィルムに貼付くことなしに、表面保護フィルムをウェーハから剥離することができる。

７番目の発明によれば、６番目の発明において、前記押圧手段が前記剥離テープの略横断方向に移動する押圧ローラを具備し、前記押圧ローラが前記剥離テープの前記一部分上を移動することにより前記剥離テープの前記一部分が押圧されるようにした。
すなわち７番目の発明においては、押圧ローラを用いているので押圧ローラを転がすことにより、剥離テープの所望の一部分のみを容易に押圧することができる。また、押圧ローラを所望位置で数回にわたり往復運動させれば、剥離テープと表面保護フィルムとの間の接着力をさらに高めることも可能となる。

８番目の発明によれば、７番目の発明において、前記押圧手段が回動可能ディスクを具備し、前記押圧ローラの回転軸線が前記回動可能ディスクの半径上に位置するように、前記押圧ローラが前記回動可能ディスクの下面に取付られており、前記回動可能ディスクの回動時に前記押圧ローラが前記剥離テープ上において円弧に沿って回転移動するようにした。
すなわち８番目の発明においては、単に回動可能ディスクを回動させることのみにより、極めて容易に剥離テープの所望の一部分のみを押圧することが可能となり、これにより剥離テープと表面保護フィルムとの間の接着力を確実に高めることが可能となる。

９番目の発明によれば、８番目の発明において、さらに、前記回動可能ディスクの前記下面には補助ローラが取り付けられており、該補助ローラは前記剥離テープ以外の場所に位置する前記ウェーハの前記表面保護フィルムを押圧する。
回動可能ディスクの下面に設けられた単一の押圧ローラを使用する場合には、この押圧ローラに片持ち梁状に荷重が掛かって当該押圧ローラが破損する可能性があるが、９番目の態様においては、補助ローラによって荷重が分散されるので、押圧ローラのみに荷重が掛かる恐れがなく、従って、極めて安定した状態で剥離テープと表面保護フィルムとの間の接着力を高めることが可能となる。

１０番目の発明によれば、９番目の発明において、前記回動可能ディスクの前記下面において、前記押圧ローラおよび前記補助ローラの位置を半径方向に調節できる。
すなわち１０番目の発明においては、寸法の異なるウェーハの表面保護フィルムを剥離する場合であっても、押圧ローラまたは補助ローラの位置を調節することにより、このウェーハに適用することができる。

１１番目の発明によれば、ウェーハの表面に貼付けられている表面保護フィルムを剥離する表面保護フィルム剥離方法において、前記ウェーハの前記表面が上方を向くように、１番目から５番目のいずれかの発明のウェーハ用テーブル上に前記ウェーハを配置し、前記ウェーハの前記表面に貼付けられた前記表面保護フィルム上に剥離テープを繰出し、押圧手段により前記剥離テープの一部分を前記ウェーハの前記表面保護フィルムに対して押圧し、それにより、前記剥離テープの前記一部分において該剥離テープとの前記表面保護フィルムとの間の接着力を高めるようにし、さらに、接着力の高められた前記剥離テープの前記一部分を剥離開始箇所として、前記剥離テープによって前記ウェーハの前記表面から前記表面保護フィルムを剥離する表面保護フィルム剥離方法が提供される。
すなわち１１番目の発明においては、剥離テープのループがダイシングフィルムに貼付くことなしに、表面保護フィルムをウェーハから剥離することができる。

以下、添付図面を参照して本発明の実施形態を説明する。以下の図面において同様の部材には同様の参照符号が付けられている。理解を容易にするために、これら図面は縮尺を適宜変更している。

図１は本発明に基づくウェーハ用テーブルが配置される表面保護フィルム剥離装置の略図である。表面保護フィルム剥離装置１０に供給されるウェーハ２０は、バックグラインドによりその裏面が表面側の面取部２６まで研削されており、ウェーハ２０の厚さは例えば１００マイクロメートル以下であるものとする。また、公知であるように、ウェーハ２０の表面には、回路パターンを保護する表面保護フィルム１１が既に貼付けられているものとする。さらに、図１７を参照して説明したように、ウェーハ２０の研削面２２にはダイシングフィルム３が貼付けられており、ウェーハ２０はダイシングフィルム３によってマウントフレーム３６と一体化されているものとする。

図１に示される表面保護フィルム剥離装置１０は、ウェーハ２０の表面保護フィルム１１に貼付けられる剥離テープ４を供給する供給部４２と、供給部４２からの剥離テープ４を巻取る巻取部４３とを含んでいる。以下の説明において使用される剥離テープ４は圧力を加えられると粘着作用を呈するいわゆる感圧テープ、または熱を加えることにより粘着作用を呈する感熱テープである。

図１に示されるように、供給部４２の下流には、剥離テープ４を案内すると共に剥離テープ４に所定の張力を掛けるガイドロール４７、４５が設けられている。剥離テープ４は表面保護フィルム剥離装置１０の貼付部材４６（押付部材）を通って巻取部４３に導かれている。図示されるように貼付部材４６の先端の断面は矩形または三角形であり、ウェーハ２０とわずかな面積で接触するような向きに配置されている。さらに、貼付部材４６と巻取部４３との間には、ガイドロール５６、ダンサロール５５、一対のピンチロール５０および他のダンサロール５９が設けられている。これらダンサロール５５、５９は剥離テープ４の繰出量に応じて運動し、巻上げ時のテープの弛みを防止する。

表面保護フィルム剥離装置１０はカバーガイド部５３に挿入されたシャフト５２を有している。また、カバーガイド部５３の上方にはモータ５１が取付けられている。図示されるように、貼付部材４６はシャフト５２の底端部に設けられており、貼付部材４６に関連するガイドロール５６、４５はシャフト５２の所定の場所に設けられている。従って、モータ５１によってシャフト５２がカバーガイド部５３に沿って昇降運動すると、これら貼付部材４６およびガイドロール５６、４５も一体的に昇降する。なお、エアシリンダを採用してシャフト５２が昇降する構成であってもよい。

さらに、貼付部材４６の下方には、ウェーハ２０およびマウントフレーム３６を保持するテーブル３１が設けられている。このテーブル３１は水平方向、つまり図１の左右方向に移動できる。さらに、このテーブル３１は鉛直方向にも昇降可能である。

図２は本発明の第一の実施形態に基づくウェーハ用テーブルの頂面図であり、図３は図２の線Ａ−Ａに沿ってみたウェーハ用テーブルの側断面図である。これら図面に示されるように、テーブル３１のテーブル本体３２は概ねマウントフレーム３６に対応した外形を有している。

テーブル本体３２の中心には、凹部３２ａが形成されている。そして、多孔質材料からなる円板型の吸着部材３３がこの凹部３２ａに嵌込まれている。図３から分かるように、吸着部材３３の上面はテーブル本体３２の上面と同一平面になっている。さらに、図２および図３に示される実施形態においては、吸着部材３３の外形はウェーハ２０の外形よりも大きい。また、図３に示されるように、吸着部材３３の下面には通気路３５が接続されており、この通気路３５は図示しない真空源まで延びている。

図２および図３から分かるように、本発明においては吸着部材３３の縁部に沿って溝６０が形成されている。図示されるように、溝６０は、テーブル３１に吸着されるべきウェーハ２０の縁部よりも半径方向外側に隣接している。言い換えれば、溝６０は、ウェーハ２０の外周に対応するテーブル３１の領域に形成されている。厳密にいえば、溝６０の内方の傾斜面６１がウェーハ２０の外周の一部分に対応している。

図３に示されるように、この溝６０はテーブル３１の上面に対して鋭角、例えば４５°をなす傾斜面６１、６２と底面６５とから構成されている。そして、溝６０の底面６５は、テーブル本体３２と吸着部材３３との間の境界線上に位置している。すなわち、第一の実施形態においては、底面６５の一部と傾斜面６１とは吸着部材３３の一部分である。

また、図２から分かるように、この溝６０の長さは剥離テープ４のテープ幅よりも大きい。なお、溝６０は円弧形状である必要はなく、溝６０の長さが剥離テープ４の幅よりも大きければ、溝６０は他の形状であってもよい。そのような他の形状においては、例えば図１３（ａ）に示されるように、溝６０の外方側部６３がウェーハ２０の接線方向に対して平行に延びる直線状である。この場合には、外方側部６３は傾斜面である必要はなくテーブル本体３２の表面に対して垂直であってもよい。このような溝６０はその形状が単純であるので、溝６０の形成が容易になる。

図４はウェーハ用テーブルの他の側断面図であり、図５（ａ）および図５（ｂ）はそれぞれ表面保護フィルムの剥離作用を示す第一および第二の図である。以下、図３〜図５（ｂ）を参照して、本発明の第一の実施形態における表面保護フィルム１１の剥離作用を説明する。

はじめに、図３に示されるように、ダイシングフィルム３によりマウントフレーム３６と一体的にされたウェーハ２０をテーブル３１上に配置する（図３を参照されたい）。次いで、図示しない真空源を起動すると、通気路３５および吸着部材３３を通じて吸引作用が働き、それにより、ウェーハ２０がテーブル３１の吸着部材３３に吸着されて保持されるようになる。

吸着部材３３は多孔質材料から形成されているので、吸着部材３３を起動させると、吸着部材３３の吸引作用は溝６０の底面６５の一部および内側の傾斜面６１にも作用する。従って、図４に示されるように、ダイシングフィルム３は溝６０内に入込むように陥没する。すなわち、本発明においては、溝６０が吸引機能を備えているので、ダイシングフィルム３を溝６０内に確実に陥没させられる。

次いで、図１に示されるモータ５１を駆動して、図５（ａ）の矢印で示されるようにシャフト５２を下降させる。これにより、シャフト５２の底端部に設けられた貼付部材４６が剥離テープ４をウェーハ２０の縁部において表面保護フィルム１１に押付けるようになる。従って、剥離テープ４はウェーハ２０の一端２８付近に位置する表面保護フィルム１１に貼付けられる。

その後、図５（ｂ）の矢印で示されるようにテーブル３１をウェーハの他端２９から一端２８に向かう方向に水平移動させる。これと同時に、供給部４２から剥離テープ４を繰出すと共に巻取部４３により剥離テープ４を巻取る。これにより、剥離テープ４が貼付けられた場所が剥離開始箇所として機能し、表面保護フィルム１１がウェーハ２０の一端２８における剥離開始箇所から徐々に剥離される。

表面保護フィルム１１の剥離作用が完了すると、吸着部材３３の吸引作用を解除する。このとき、溝の部分も同時に吸引が解除されるので、マウントフレーム３６をテーブル３１から極めて容易に取出すことが可能となる。また、ダイシングフィルム３の材質等によっては、ダイシングフィルムの自己融着性等によりダイシングフィルム３がテーブル表面および溝部に密着している場合もある。そのような場合には、ダイシングフィルム３が元位置まで戻るのが遅い可能性もある。そのような場合には、圧力制御された空気等を通気路３５および吸着部材３３に通してテーブルの吸着面および溝６０に供給すればよい。これにより、ダイシングフィルム３の密着を解除し、溝部において変形したダイシングフィルム３を元位置まで迅速に回復させられる。

ところで、図６に示されるように、供給部４２および巻取部４３を駆動する際には、貼付部材４６の先端４６ａにおける剥離テープ４が弛むことによりループ４'が形成される場合がある。しかしながら、本発明においては、ダイシングフィルム３が溝６０内に陥没しているので、剥離テープ４のループ４ａはダイシングフィルム３まで到達しない。従って、本発明においては、剥離テープ４がダイシングフィルム３の露出面３ａに貼付くのが防止される。

特に、剥離テープ４のループ４'が形成された場合には、剥離テープ４の縁部４ａ、４ｂがダイシングフィルム３の露出面３ａに貼付く可能性が高い。しかしながら、本発明においては、溝６０の長さは剥離テープ４の幅よりも大きいので、剥離テープ４の両縁部４ａ、４ｂに対応するダイシングフィルム３の一部分は溝６０内に確実に陥没される。従って、剥離テープ４の両縁部４ａ、４ｂがダイシングフィルム３に貼付くのを回避することが可能となる。

また、図３を参照して説明したように、本発明においては、溝６０の側面は鋭角の傾斜面６１、６２として形成されている。従って、吸着時におけるダイシングフィルム３の伸びはこれら傾斜面６１、６２によって制限される。このため、ダイシングフィルム３の伸びに伴ってウェーハ２０が引張られることも抑えられる。その結果、ウェーハ２０がダイシングフィルム３に引張られて破損することを防止することが可能となる。

なお、図面には示さないものの、傾斜面６１、６２および底面６５全体に吸引作用が働くように溝６０を形成するようにしてもよい。そのような場合であっても、本発明の範囲に含まれる。

図７は本発明の第二の実施形態に基づくウェーハ用テーブルの頂面図であり、図８は図７に示されるウェーハ用テーブルの部分拡大頂面図である。第二の実施形態においては、溝６０は、第一溝６０Ａおよび第二溝６０Ｂから構成されている。図示されるように、これら第一溝６０Ａおよび第二溝６０Ｂは吸着部材３３の縁部に沿って形成されている。また、これら第一溝６０Ａおよび第二溝６０Ｂの間に位置する中間部６６（図８を参照されたい）は、吸着部材３３の一部分であって吸着部材３３と同一平面に在る。

図８から分かるように、これら第一溝６０Ａおよび第二溝６０Ｂは、剥離テープ４の一方の縁部４ａが第一溝６０Ａ内に位置すると共に他方の縁部４ｂが第二溝６０Ｂ内に位置するように、形成されている。このような構成であるので、前述したのと同様に、剥離テープ４の両縁部４ａ、４ｂがダイシングフィルム３に貼付くのを回避することが可能となる。

さらに、第二の実施形態においては、中間部６６が存在しているので、中間部６６に対応するダイシングフィルム３の一部分は第一溝６０Ａおよび第二溝６０Ｂ内に陥没しない。従って、ダイシングフィルム３を陥没させるときのダイシングフィルム３の伸びは部分的に抑えられる。それゆえ、前述したのと同様に、ウェーハ２０がダイシングフィルム３に引張られて破損するのを防止することも可能である。

さらに、第二の実施形態においては、ダイシングフィルム３の伸びが少なくて済むので、吸着部材３３の吸引作用を解除した後においても、ダイシングフィルム３は元位置まで容易に回復する。従って、ダイシングフィルム３が伸びたままとなることはなく、後工程においてマウントフレーム３６と一体化されたウェーハ２０のハンドリング性が低下するのを防止できる。

図９は本発明の第三の実施形態に基づくウェーハ用テーブルの頂面図である。第三の実施形態においては、第一溝６０Ａおよび第二溝６０Ｂからなる溝の組６０に加えて、第三溝６０Ｃおよび第四溝６０Ｄからなる溝の組６０'ならびに第五溝６０Ｅおよび第六溝６０Ｆからなる溝の組６０''が吸着部材３３の縁部に沿って形成されている。

図９から分かるように、ウェーハ２０の中心Ｏおよび組６０を結ぶ線分Ｘ１と、中心Ｏおよび組６０'とを結ぶ線分Ｘ２とがなす角度は４５度である。さらに、中心Ｏおよび組６０''とを結ぶ線分Ｘ３と線分Ｘ１とがなす角度は４５度である。

ウェーハ２０の表面に形成された回路パターンＣが正方形である場合には、ウェーハ２０を所定位置に配置すると、線分Ｘ２、Ｘ３が回路パターンＣの角部の二等分線に対して平行に位置するようになる。ウェーハの部分拡大頂面図である図１０および図９を参照して、線分Ｘ２に対して平行に剥離テープ４を貼付け、次いで、表面保護フィルム１１を線分Ｘ２に沿って剥離する場合を考える。

そのように剥離を行う場合には、図１０に示される一つの回路パターンＣの角部を構成する二つのパターン溝ｇａ、ｇｂに掛かる力は互いに等しくなる。従って、表面保護フィルム１１を剥離するときに、表面保護フィルム１１の接着剤がパターン溝ｇａ、ｇｂのいずれか一方にのみ多量に残る事態は発生しない。つまり、表面保護フィルム１１の接着剤はパターン溝ｇａ、ｇｂに沿って回路パターンの角部から均等に離脱し、それにより、接着剤がパターン溝ｇａ、ｇｂに残渣として残ることを抑制することが可能となる。言い換えれば、第三の実施形態においては、表面保護フィルム１１を容易に剥離することが可能となる。

ところで、第一から第三の実施形態においては吸着部材３３はウェーハ２０よりも一回り大きく、その結果、ウェーハ２０と重畳することなしに溝６０を形成することができた。一方、吸着部材３３の寸法がウェーハ２０の寸法にほぼ等しい場合には、溝を吸着部材３３の外側に形成し、それにより、溝がウェーハ２０と重畳しないようにする必要がある。しかしながら、そのような場合に形成される溝は吸着部材３３から離間しているので吸引機能を備えることができない。以下、本発明の第四の実施形態に基づくウェーハ用テーブルの部分拡大頂面図および側断面図である図１１および図１２を参照しつつ、吸着部材３３の寸法がウェーハ２０の寸法にほぼ等しい場合について説明する。

これら図１１および図１２においては、二つの溝６０Ｇ、６０Ｈが吸着部材３３に隣接したテーブル本体３２の表面に形成されている。そして、これら図面から分かるように、溝６０Ｇ、６０Ｈの内側傾斜面６１には、吸着部材３３まで延びる複数の導通孔７０が形成されている。

このような場合に、吸着部材３３を起動させると、吸着部材３３の吸引作用は導通孔７０を通じて溝６０Ｇ、６０Ｈにも働く。これにより、ダイシングフィルム３は溝６０Ｇ、６０Ｈ内に同様に陥没して、溝の内面に吸着するようになる。それゆえ、第四の実施形態においても、前述したのと同様な効果が得られるのが分かるであろう。

なお、吸着部材３３に連通する導通孔７０を使用する代わりに、または導通孔７０と併用して、他の真空源（図示しない）に接続される他の通路７０'を吸着部材３３に形成してもよい。図１２においては、そのような他の通路７０'は底面６５から下方に延びている。この場合には、吸着部材３３を用いたウェーハ２０の吸着作用と連動することなしに、溝６０Ｇ、６０Ｈによるダイシングフィルム３の吸引が行われる。

このような構成は、吸着部材３３からの吸引作用だけでは、ダイシングフィルム３を十分に吸引できない場合、ダイシングフィルム３の吸引およびその解除を迅速に行うことが望まれる場合、およびダイシングフィルム３の吸引およびその解除を別の制御機器にて別個に制御する場合などに有利である。

ところで、図１３（ａ）は本発明の他の表面保護フィルム剥離装置の略側面図であり、図１３（ｂ）は図１３（ａ）に示される表面保護フィルム剥離装置に配置されるウェーハ用テーブルの頂面図である。これら図面に示される貼付部材４６’は、円筒状のロールである。ロール型貼付部材４６’を使用する場合であっても、剥離テープ４のループ４’がダイシングフィルム３の露出面に貼付くのが防止される。

また、図１４（ａ）は本発明のさらに他の表面保護フィルム剥離装置の略側面図であり、図１４（ｂ）は図１４（ａ）に示される表面保護フィルム剥離装置に配置されるウェーハ用テーブルの頂面図である。図１４（ａ）に示される貼付部材４６ａは、シリンダ７９を具備し、このシリンダ７９内には上下方向に移動するロッド７２が挿入されている。このロッド７２は図示しないアクチュエータの動作に応じて昇降すると共に、所望の位置で回転するようになっている。

さらに、図１４（ａ）から分かるように、ディスク７４が連結部７３によりロッド７２の先端付近に連結されている。ディスク７４の直径はウェーハ２０の直径にほぼ等しいか、またはこれよりも大きい。このディスク７４は、ロッド７２と共にまたはロッド７２とは別個に回転することができる。また、ディスク７４の下面には、少なくとも一つ、例えば三つの押圧部材７５が設けられている。これら三つの押圧部材のうちの図示される押圧部材７５ａ、７５ｂは延長部７８ａ、７８ｂと延長部７８ａ、７８ｂの各先端に取り付けられた押圧ローラ７６ａ、７６ｂとをそれぞれ含んでいる。図１４（ａ）には示さない残りの押圧部材７５ｃについても同様である。

図１５は回動可能ディスクの底面図である。図１５に示されるディスク７４には三つの押圧部材７５ａ、７５ｂ、７５ｃが設けられている。これら押圧部材７５ａ、７５ｂ、７５ｃは、ディスク７４の下面において半径方向に延びる三つの案内溝７１ａ、７１ｂ、７１ｃのそれぞれの先端付近に設けられている。これら押圧部材７５ａ、７５ｂ、７５ｃの各延長部７８ａ、７８ｂ、７８ｃの基端には案内溝７１ａ、７１ｂ、７１ｃにそれぞれ係合する係合部（図示しない）が設けられており、これら係合部を各案内溝７１ａ、７１ｂ、７１ｃにそれぞれ係合させることにより、押圧部材７５ａ、７５ｂ、７５ｃを案内溝７１ａ、７１ｂ、７１ｃのそれぞれに取付けることができる。また、各延長部７８ａ、７８ｂ、７８ｃの係合部は案内溝７１ａ、７１ｂ、７１ｃを摺動することができ、それにより、押圧部材７５ａ、７５ｂ、７５ｃを各案内溝７１ａ、７１ｂ、７１ｃの所望の位置に位置決めできるようになる。従って、寸法の異なるウェーハ２０'の表面保護フィルム１１を剥離する場合であっても、押圧部材７５ａ、７５ｂ、７５ｃの位置を調節し、本発明の表面保護フィルム剥離装置１０を寸法の異なるウェーハ２０'に対して容易に適用できるようになる。

また、図１５から分かるように、案内溝７１ａ、７１ｂ、７１ｃは互いに約１２０°の角度をなすように形成されているので、図１５においては、三つの押圧部材７５ａ、７５ｂ、７５ｃはディスク７４の下面においてほぼ等間隔で設けられることになる。なお、三つの押圧部材７５ａ、７５ｂ、７５ｃのうち隣接する二つの押圧部材の間の距離のうちの少なくとも一つは、剥離テープ４の幅よりも大きいものとする。また、押圧部材７５の押圧ローラ７６は、押圧ローラ７６の回転軸部７７がディスク７４の半径方向を向くようにそれぞれ取付けられている。

図１４（ａ）に示されるように、剥離テープ４は溝６０の上方に配置されたロール４９と押圧ローラ７６ａとに掛けられる。貼付部材４６ａを下降させると、押圧ローラ７６ａ、７６ｂ、７６ｃがウェーハ２０を押圧するようになる。押圧ローラ７６ａは剥離テープ４を介してウェーハ２０を押圧し、残りの押圧ローラ７６ｂ、７６ｃ（補助ローラ）はウェーハ２０を直接的に押圧する。

図１４（ｂ）に示されるように、押圧ローラ７６ａ、７６ｂ、７６ｃによって押圧箇所８５ａ、８５ｂ、８５ｃがそれぞれ形成されるようになる。図示されるように、押圧箇所８５ａは剥離テープ４上においてウェーハ２０の縁部近傍に形成される。この押圧箇所８５ａにおいては剥離テープ４と表面保護フィルム１１との間の接着力が増大している。従って、押圧箇所８５ａは剥離開始箇所として機能しうる。それゆえ、前述したように剥離テープ４およびテーブル３１を移動させることにより、表面保護フィルム１１をウェーハ２０の表面から剥離することができる。

なお、押圧ローラ７６ａ、７６ｂ、７６ｃがウェーハ２０に接触した後で、ディスク７４をわずかながら回転させることにより、押圧ローラ７６ａを剥離テープ４の領域内で往復運動させるのが好ましい（図１４（ｂ）の矢印を参照されたい）。この場合には、押圧ローラ７６ａによる押圧箇所８５ａの接着力を容易かつ確実に高めることが可能となる。

また、図１４（ｂ）に示される押圧箇所８５ｂ、８５ｃの位置には剥離テープ４が存在していないので、押圧箇所８５ｂ、８５ｃに対応する押圧ローラ７６ａ、７６ｂは剥離テープ４と表面保護フィルム１１との間の接着力に影響を与えない。このため、押圧ローラ７６ａ、７６ｂを排除してもよい。

しかしながら、このような場合には、押圧時に単一の押圧部材７５ａが片持ち梁式に支持されるようになるので、押圧部材７５ａの係合部などに集中的に荷重が掛かり、押圧部材７５ａが破損する可能性がある。このため、剥離テープ４を押圧することのない補助ローラとしての役目を果たす押圧部材７５ｂ、７５ｃを設け、それにより、押圧時の荷重を分散させるのが好ましい。これにより、単一の押圧部材７５ａが破損するのを回避できると共に、極めて安定した状態で剥離テープとフィルムとの間の接着力を高めることができる。

図１６（ａ）は本発明の別の表面保護フィルム剥離装置の略側面図であり、図１６（ｂ）は図１６（ａ）に示される表面保護フィルム剥離装置に配置されるウェーハ用テーブルの頂面図である。単一の押圧部材７５ａのみを備える場合には、図示されるロール型貼付部材４６ｂのように、ロッド７２の先端に押圧部材７５ａを備えるだけで足りる。この場合には、剥離テープ４は溝６０の上方に配置されたロール４９と貼付部材４６ｂの押圧ローラ７６ａとに掛けられる。

図１６（ａ）および図１６（ｂ）に示される構成においては、押圧部材７５ａの押圧ローラ７６ａがウェーハ２０の縁部において剥離テープ４を表面保護フィルム１１に押付ける。これにより形成される押圧箇所８５’は、剥離開始箇所として機能する。従って、前述したように剥離テープ４およびテーブル３１を移動させることにより、表面保護フィルム１１をウェーハ２０の表面から剥離することが可能である。

また、図１６（ａ）に示される実施形態においては、押圧ローラ７６ａを剥離テープ４の幅方向に単に転がすことにより、押圧箇所８５’を容易に押圧できる。これにより、押圧箇所８５’における剥離テープ４と表面保護フィルム１１との間の接着力をさらに高めることが可能である。

なお、図１３、図１４および図１６においては、テーブル３１の溝６０の外方側部６３が直線状であるように示されている。しかしながら、これら図１３、図１４および図１６に示されるテーブル３１においても、図２に示したのと同様な溝６０が形成されていてもよい。そのような場合であっても、本発明の範囲に含まれるのは明らかであろう。

本発明に基づくウェーハ用テーブルが配置される表面保護フィルム剥離装置の略図である。 本発明の第一の実施形態に基づくウェーハ用テーブルの頂面図である。 図２の線Ａ−Ａに沿ってみたウェーハ用テーブルの側断面図である。 ウェーハ用テーブルの他の側断面図である。 （ａ）表面保護フィルムの剥離作用を示す第一の図である。（ｂ）表面保護フィルムの剥離作用を示す第二の図である。 ウェーハ用テーブルの他の側面図である。 本発明の第二の実施形態に基づくウェーハ用テーブルの頂面図である。 図７に示されるウェーハ用テーブルの部分拡大頂面図である。 本発明の第三の実施形態に基づくウェーハ用テーブルの頂面図である。 ウェーハの部分拡大頂面図である。 本発明の第四の実施形態に基づくウェーハ用テーブルの部分拡大頂面図である。 図１１に示されるウェーハ用テーブルの側断面図である。 （ａ）本発明の他の表面保護フィルム剥離装置の略側面図である。（ｂ）図１３（ａ）に示される表面保護フィルム剥離装置に配置されるウェーハ用テーブルの頂面図である。 （ａ）本発明のさらに他の表面保護フィルム剥離装置の略側面図である。（ｂ）図１４（ａ）に示される表面保護フィルム剥離装置に配置されるウェーハ用テーブルの頂面図である。 回動可能ディスクの底面図である。 （ａ）本発明の別の表面保護フィルム剥離装置の略側面図である。（ｂ）図１６（ａ）に示される表面保護フィルム剥離装置に配置されるウェーハ用テーブルの頂面図である。 マウントフレームと一体化されたウェーハの頂面図である。 従来技術における表面保護フィルムの剥離作用を示す側面図である。

符号の説明

３ ダイシングフィルム
３ａ 露出面
４ 剥離テープ
４' ループ
４ａ、４ｂ 縁部
１０ 表面保護フィルム剥離装置
１１ 表面保護フィルム
２０ ウェーハ
２２ 裏面
３１ 支持テーブル
３２ テーブル本体
３２ａ 凹部
３３ 吸着部材
３５ 通気路
３６ マウントフレーム
４２ 供給部
４３ 巻取部
４６、４６’、４６ａ、４６ｂ 貼付部材
５１ モータ
５２ シャフト
５３ カバーガイド部
６０、６０Ａ〜６０Ｈ 溝
６１、６２ 傾斜面
６５ 底面
６６ 中間部
７０ 導通孔
７０' 通路
７２ ロッド
７４ ディスク
７５ａ、７５ｂ、７５ｃ 押圧部材
７６ａ、７６ｂ、７６ｃ 押圧ローラ
７７ａ、７７ｂ、７７ｃ 回転軸部
７８ａ、７８ｂ、７８ｃ 延長部
７１ａ、７１ｂ、７１ｃ 案内溝
７９ シリンダ
８５ａ、８５ｂ、８５ｃ 押圧箇所

Claims (11)

1. ダイシングフィルムを介してマウントフレームに裏面が支持されると共に表面に表面保護フィルムが貼付けられているウェーハを吸着するウェーハ用テーブルにおいて、
   前記ウェーハを前記テーブルの表面に吸着させる吸着手段と、
   前記ウェーハの外周の少なくとも一部に対応する前記テーブルの領域に形成された溝と、
   前記溝内の空気を吸引する吸引手段とを具備し、
   前記溝は、前記表面保護フィルムを剥離するために前記表面保護フィルムに貼付けられる剥離テープの幅方向における該剥離テープの一方の縁部を含む領域に形成される第一の溝と、前記剥離テープの他方の縁部を含む領域に形成される第二の溝とを含む、ウェーハ用テーブル。
2. 前記吸着手段によって前記ウェーハが保持されるときに、前記ウェーハに形成された回路パターンの角部の二等分線が前記第一の溝および前記第二の溝の中間点と前記ウェーハの中心とを結ぶ線分に対して平行になるように、前記溝が形成されている請求項１に記載のウェーハ用テーブル。
3. 前記溝の断面における該溝の側面は前記テーブルの表面に対して鋭角に形成されている請求項１または２に記載のウェーハ用テーブル。
4. 前記吸引手段は、前記溝から前記吸着手段まで延びる少なくとも一つの導通孔を含む請求項１から３のいずれか一項に記載のウェーハ用テーブル。
5. 前記溝の内方側部は前記ウェーハの外周の少なくとも一部に対応した円弧状であり、前記溝の外方側部はマウントフレームの内側において直線状を含む任意の形状である請求項１に記載のウェーハ用テーブル。
6. ダイシングフィルムを介してマウントフレームに裏面が支持されると共に表面に表面保護フィルムが貼付けられているウェーハの前記表面保護フィルムを剥離する表面保護フィルム剥離装置において、
   前記ウェーハの前記表面が上方を向くように前記ウェーハを吸着する請求項１から５のいずれかに記載のウェーハ用テーブルと、
   前記ウェーハの前記表面に貼付けられた前記表面保護フィルム上に剥離テープを供給する剥離テープ供給手段と、
   前記剥離テープの一部分のみを前記ウェーハの前記表面保護フィルムに対して押圧する押圧手段とを具備し、それにより、前記剥離テープの前記一部分において該剥離テープと前記表面保護フィルムとの間の接着力を高めるようにし、
   さらに、
   接着力の高められた前記剥離テープの前記一部分を剥離開始箇所として、前記剥離テープによって前記ウェーハの前記表面から前記表面保護フィルムを剥離する剥離手段を具備する表面保護フィルム剥離装置。
7. 前記押圧手段が前記剥離テープの横断方向に移動する押圧ローラを具備し、前記押圧ローラが前記剥離テープの前記一部分上を移動することにより前記剥離テープの前記一部分が押圧されるようにした請求項６に記載の表面保護フィルム剥離装置。
8. 前記押圧手段が回動可能ディスクを具備し、前記押圧ローラの回転軸線が前記回動可能ディスクの半径上に位置するように、前記押圧ローラが前記回動可能ディスクの下面に取付られており、前記回動可能ディスクの回動時に前記押圧ローラが前記剥離テープ上において円弧に沿って回転移動するようにした請求項７に記載の表面保護フィルム剥離装置。
9. さらに、前記回動可能ディスクの前記下面には補助ローラが取り付けられており、該補助ローラは前記剥離テープ以外の場所に位置する前記ウェーハの前記表面保護フィルムを押圧する請求項８に記載の表面保護フィルム剥離装置。
10. 前記回動可能ディスクの前記下面において、前記押圧ローラおよび前記補助ローラの位置を半径方向に調節できる請求項９に記載の表面保護フィルム剥離装置。
11. ダイシングフィルムを介してマウントフレームに裏面が支持されると共に表面に表面保護フィルムが貼付けられているウェーハの前記表面保護フィルムを剥離する表面保護フィルム剥離装置において、
    前記ウェーハの前記表面が上方を向くように、請求項１から５のいずれか１項に記載のウェーハ用テーブル上に前記ウェーハを配置し、
    前記ウェーハの前記表面に貼付けられた前記表面保護フィルム上に剥離テープを繰出し、
    押圧手段により前記剥離テープの一部分を前記ウェーハの前記表面保護フィルムに対して押圧し、それにより、前記剥離テープの前記一部分において該剥離テープとの前記表面保護フィルムとの間の接着力を高めるようにし、
    さらに、
    接着力の高められた前記剥離テープの前記一部分を剥離開始箇所として、前記剥離テープによって前記ウェーハの前記表面から前記表面保護フィルムを剥離する表面保護フィルム剥離方法。

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