WO2009022495A1

WO2009022495A1 - ウェーハ用テーブル、表面保護フィルム剥離装置および表面保護フィルム剥離方法

Info

Publication number: WO2009022495A1
Application number: PCT/JP2008/061378
Authority: WO
Inventors: Hideo Kino; Minoru Amatani
Original assignee: Tokyo Seimitsu Co., Ltd.
Priority date: 2007-08-14
Filing date: 2008-06-17
Publication date: 2009-02-19

Abstract

ダイシングフィルム（３）を介してマウントフレーム（３６）に裏面が支持されると共に表面に表面保護フィルム（１１）が貼付けられているウェーハ（２０）を吸着するウェーハ用テーブル（３１）において、ウェーハの外周の少なくとも一部に対応する前記テーブルの領域に溝（６０）が形成されている。さらに、テーブルは、ウェーハを前記テーブルの表面に吸着させる吸着手段（３３）と、前記溝内の空気を吸引する吸引手段とを含むこれにより、ダイシングフィルムを溝内に確実に陥没させると共に、ダイシングフィルムを元位置まで回復させられる。

Description

明細書ゥェ一八用テーブル、表面保護フィルム剥離装置および表面保護フイルム剥離方法

技術分野

本発明は、ゥ八に貼付けられた表面保護フィルムを剥離するのに用いられるゥエーハ用テーブルに関する。さらに、本発明はそのようなゥエーハ用テーブルを利用する表面保護フィルム剥離装置および表面保護フイルム剥離方法に関する。

背景技術

半導体製造分野においてはゥェ一八が年々大型化する傾向にあり

、よ密度を高めるためにゥ八の薄膜化が進んでいる。通常は、半導体素子を保護する表面保護テープをゥェ一ハ表面に貼付けた後で、半導体ゥエーハの裏面を研削するバックグラインドを行い、それによ Ό 、ゥエーハを薄膜化している。

ヽ

ノックグラィノドが終了すると、図 1 7 に示されるように、ゥェ一八 2 0の裏面 2 2にはダイシングフィルム 3が貼付けられ、それにより、ゥェ ―八 2 0 とリング型のマウントフレーム 3 6 とがー体化される。

次いで、図 1 8に示されるように、表面保護フィルム 1 1が上方に位置するようにゥエーハ 2 0をテーブル 1 3 1上に吸着させる。このとき、マウントフレーム 3 6 とゥエーハ 2 0 との間にはダイシングフィルム 3の粘着面 3 aが環状に露出している。そして、貼付部材 1 4 6に剥離テープ 4を繰出して、その貼付部材 1 4 6を表面保護フィルム 1 1 に押付けることにより、剥離テープ 4を表面保護フィルム 1 1 に貼付ける。次いで、ゥエーハ 2 0を支持するテープル 1 3 1 を水平方向に移動させることにより、剥離テープ 4が貼り付けられた場所が剥離開始箇所として機能し、表面保護フィルム 1 1 を剥離開始箇所から連続的にゥエーハ 2 0より剥離できる。

図 1 8に示されるように、貼付部材 1 4 6の先端は水平面に対して斜め下向きに位置決めされて表面保護フィルム 1 1 に押付けられる。ところが、剥離テープ 4を繰出すときに貼付部材 1 4 6の先端 1 4 6 aに在る剥離テープ 4がループ 4 'を形成するように弛んで粘着面 3 aに接着する事態が生じうる（実際にはゥエーハ 2 0および表面保護フイルム 1 1 の厚さは貼付部材 1 4 6に比べてかなり小さいことに留意されたい）。

しかも、剥離テープ 4の粘着面とダイシングフィルム 3の粘着面とが貼付くことになる。このため、これらフィルム 3 とテープ 4とが接着した場合には、ゥェ一ハ 2 0を破損させることなしに、これらフィルム 3 とテープ 4とを引剥がすのは極めて困難である。なお、貼付部材 1 4 6の断面形状が三角形でない場合、例えば断面が円形である場合にも同様な問題が生じうる。

特開 2 0 0 5 — 3 1 1 1 7 6号公報においては、ゥエー八の外周部に沿つて剥離テープの幅を越えて延びる溝がテ一ブルに形成されている。この溝は吸着機能を備えていない領域に形成されている。そして、そのようなテーブル上にゥエーハを載置してゥエーハを吸着させると、ダイシングフィルムとテーブルとの間の隙間を通じて溝内の空気も吸引される。ダイシンダフイルムによって溝の上方が閉塞されつつ、溝の上方に位置する隙間を通じて溝内の空気が吸引される。これにより、溝の内部が負圧になって、ダイシングフィルムが溝内に入込むように陥没する。このような場合には、剥離テープがループを形成したとしても、ループはダイシングフィルムまで到達せず、従って、剥離テープ 4がダイシンダフイルムに貼付くのが防止されることが記載されている。

しかしながら、特開 2 0 0 5 - 3 1 1 1 7 6号公報においては、溝が吸着機能を備えていないので、ゥエー八の吸着時にダイシングフィルムが溝内に必ずしも陥没するとは限らず、陥没が不十分である事態も生じうる。そのような場合には、剥離テ一プのル一プがダイシングフィルムに貼付く可能性がある。

また、特開 2 0 0 5— 3 1 1 1 7 6号公報においてゥェ一八の吸着を解除すると、空気がダイシングフィルム 3 とテ一ブルとの間の隙間を通って溝内に流入する。しかしながら、ダィシングフイリレム

3 は比較的柔軟な材料から形成されているので、ヴェ一八の吸着を解除した後であっても、溝部の負圧が確実に解除されたという保証はなく、溝部の負圧がマウントフレームの取出に抵抗することも考えられる。また、ダイシングフイルムが変形して、元位置まで戻らない可能性もある。そのような場合には、後ェ程においてゥエーハのハンドリング性が低下する。

さらに、特開 2 0 0 5— 3 1 1 1 7 6号公報においては溝の側面はテーブルの表面に対して概ね垂直に形成されている。従つて、ダイシングフィルム 3が溝内に陥没するときには、ダィシングフィルム 3 は比較的大幅に変形することになる。ダイシンダフィルム 3が元位置まで回復しない可能性もある。さらに、クェ一八は裏面研削によりかなり薄くされているので、ダイシングフィルム 3が陥没する際にゥェ一ハ 2 0が引張られて破損する危険性がある。

また、近年では、ダイシング時にゥエーハ 2 0 と一緒に分割されるダイアタッチフィルム（図示しない）がダイシングフィルム 3上に貼付けられている場合がある。この場合には、ダイシングフィルム 3の接着力が増すので、剥離テープ 4がダイシングフィルム 3 に貼付く可能性はさらに咼くなる。

ヽ本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、ダィシノグフィルムを溝内に確実に陥没させられると共に、ダイシングフィ

Jレムを元位置まで回復させられるようにした、ゥエーハ用のテ一ブルならびにそのようなゥエーハ用テーブルを利用する表面保護フィルム剥離装置および表面保護フィルム剥離方法を提供することを巨的とする。

発明の開示

前述した目的を達成するために 1番目の態様によれば、ダイシングフィルムを介してマウントフレームに裏面が支持されると共に表面に表面保護フィルムが貼付けられているゥエーハを吸着するゥェ一ハ用テ一ブルにおいて、前記ゥエーハを前記テーブルの表面に吸着させる吸着手段と、前記ゥェ一八の外周の少なくとも一部に対応する i記テ一ブルの領域に形成された溝と、前記溝内の空気を吸引する吸引手段とを具備する、ゥエーハ用テーブルが提供される。すなわち 1番目の態様においては、吸引手段が溝に関連づけられているので、ダイシングフィルムを溝内に確実に陥没させられる。これにより、剥離テープにループが形成された場合であっても、剥離テ一プのループはダイシングフイルムに貼付かない。

2番目の態様によれば、 1番目の態様において、前記溝は、前記表面保護フイルムを剥離するために前記表面保護フィルムに貼付けられる剥離テープの幅全体を含む領域に形成される。

剥離テ―プの使用時には、剥離テープの両縁部がダイシングフィルムに貼付く可能性が高い。 2番目の態様においては、剥離テープの両縁部に対応するダイシンダフイルムの一部分を溝内に確実に陥没させているので、剥離テープの両縁部がダイシンダフイルムに貼付くのを防止できる。

3番目の態様によれば、 1番目の態様において、前記溝は、前記表面保護フィルムを剥離するために前記表面保護フィルムに貼付けられる剥離テープの幅方向における該剥離テープの一方の縁部を含む領域に形成される第一の溝と、前記剥離テープの他方の縁部を含む領域に形成される第二の溝とを含む

すなわち 3番目の態様においては、第一の溝と第二の溝との間の領域においては、ダイシングフィルムは溝内に陥没しないので、ダィシンダフイルムの変形量を抑えることができる。これにより、ダィシングフイルムが伸びることにより、クェ —八が引張られて破損することを防止できる。

4番目の態様によれば、 1番目の態様において、前記吸着手段に

、

よつて前記ゥエー八が保持されるときに、刖記ゥェ一八に形成された回路パターンの角部の二等分線が前記溝の中心と前記ゥエー八の中心とを結ぶ線分に対して平行になるように、前記溝が形成されてい

すなわち 4番目の態様においては、表面保護フィルムの接着剤が

、角部を構成する二つのパターン溝に残るのを防止できる。従って

、表面保護フィルムを容易に剥離できる

5番目の態様によれば、 1番目から 4番目のいずれかの態様において、前記溝の断面における該溝の側面は前記テーブルの表面に対して鋭角に形成されている。

すなわち 5番目の態様においては、ダイシンダフイルムの変形量が抑えられるので、ダイシングフィルムを元位置まで容易に回復させられると共に、ダイシングフィルムにゥェ一八が引張られて破損することも防止できる。

6番目の態様によれば、 1番目から 5番目のいずれかの態様において、前記吸引手段は、 ir記溝から前記吸着手段まで延びる少なくとも一つの導通孔を含む。

すなわち 6番目の態様においては、テーブルの吸着部材に溝を形成するのが不可能な場合であつても、溝内の空気を吸引することができる。

7番目の態様によれば、 1番目の態様において、前記溝の内方側部は前記ゥエー八の外周の少なくとも一部に対応した円弧状であり、前記溝の外方側部は直線状である

すなわち 7番目の態様においては、溝を容易に形成することができる。

8番目の態様によれば、ゥエーハの表面に貼付けられている表面保護フィルムを剥離する表面保護フイルム剥離装置において、前記ゥエー八の前記表面が上方を向くように前記ゥェ一ハを吸着する 1 番目から 7番目のいずれかの態様のゥェ一ハ用テーブルと、前記ゥエー八の前記表面に貼付けられた前記表面保護フィルム上に剥離テ

ュム

ープを供給する剥離テープ供給手段と、刖記剥離テープの一部分のみを前記ゥエー八の前記表面保護フィルムに対して押圧する押圧手段とを具備し、それにより、前記剥離テ一プの前記一部分において該剥離テープと前記表面保護フィルムとの間の接着力を高めるようにし、さらに、接着力の高められた前 d 離テープの前記一部分を剥離開始箇所として、前記剥離テープによつて前記ゥェ一ハの前記表面から前記表面保護フィルムを剥離する剥離手段を具備する表面保護フィルム剥離装置が提供される。

すなわち 8番目の態様においては、剥離テ ―プのループがダイシングフィルムに貼付くことなしに、表面保護フイルムをゥエー八から剥離することができる。

9番目の態様によれば、 8番目の態様において、前記押圧手段が前記剥離テープの略横断方向に移動する押圧ローラを具備し、前記押圧ローラが前記剥離テープの前記一部分上を移動することにより前記剥離テープの前記一部分が押圧されるようにした。

すなわち 9番目の態様においては、押圧ローラを用いているので押圧ローラを転がすことにより、剥離テープの所望の一部分のみを容易に押圧することができる。また、押圧ローラを所望位置で数回にわたり往復運動させれば、剥離テープと表面保護フィルムとの間の接着力をさらに高めることも可能となる。

1 0番目の態様によれば、 9番目の態様において、前記押圧手段が回動可能ディスクを具備し、前記押圧ローラの回転軸線が前記回動可能ディスクの半径上に位置するように、前記押圧ローラが前記回動可能ディスクの下面に取付られており、前記回動可能ディスクの回動時に前記押圧ローラが前記剥離テープ上において円弧に沿つて回転移動するようにした。

すなわち 1 0番目の態様においては、単に回動可能ディスクを回動させることのみにより、極めて容易に剥離テープの所望の一部分のみを押圧することが可能となり、これにより剥離テープと表面保護フィルムとの間の接着力を確実に高めることが可能となる。

1 1番目の態様によれば、 1 0番目の態様において、さらに、前記回動可能ディスクの前記下面には補助ローラが取り付けられており、該補助ローラは前記剥離テープ以外の場所に位置する前記ゥェ一八の前記表面保護フィルムを押圧する。

回動可能ディスクの下面に設けられた単一の押圧ローラを使用する場合には、この押圧ローラに片持ち梁状に荷重が掛かって当該押圧ローラが破損する可能性があるが、 1 1番目の態様においては、補助ローラによって荷重が分散されるので、押圧ローラのみに荷重が掛かる恐れがなく、従って、極めて安定した状態で剥離テープと表面保護フィルムとの間の接着力を高めることが可能となる。

1 2番目の態様によれば、 1 1番目の態様において、前記回動可能ディスクの前記下面において、前記押圧ローラおよび前記補助口ーラの位置を半径方向に調節できる。

すなわち 1 2番目の態様においては、寸法の異なるゥェ一八の表面保護フィルムを剥離する場合であっても、押圧ローラまたは補助ローラの位置を調節することにより、このゥエー八に適用することができる。

1 3番目の態様によれば、ゥエー八の表面に貼付けられている表面保護フィルムを剥離する表面保護フィルム剥離方法において、前記ゥエー八の前記表面が上方を向くように、 1番目から 7番目のいずれかの態様のゥェ一ハ用テーブル上に前記ゥエーハを配置し、前記ゥエー八の前記表面に貼付けられた前記表面保護フィルム上に剥離テープを繰出し、押圧手段により前記剥離テープの一部分を前記ゥエー八の前記表面保護フィルムに対して押圧し、それにより、前記剥離テープの前記一部分において該剥離テープとの前記表面保護フィルムとの間の接着力を高めるようにし、さらに、接着力の高められた前記剥離テープの前記一部分を剥離開始箇所として、前記剥離テープによって前記ゥエー八の前記表面から前記表面保護フィルムを剥離する表面保護フィルム剥離方法が提供される。

すなわち 1 3番目の態様においては、剥離テープのループがダイシンダフイルムに貼付くことなしに、表面保護フィルムをゥェ一ハから剥離することができる。

添付図面に示される本発明の典型的な実施形態の詳細な説明から、本発明のこれら目的、特徴および利点ならびに他の目的、特徴および利点がさらに明解になるであろう。図面の簡単な説明

図 1 は、本発明に基づくゥエーハ用テーブルが配置される表面保護フィルム剥離装置の略図である。

図 2は、本発明の第一の実施形態に基づくゥエーハ用テーブルの頂面図である。

図 3は、図 2の線 A— Aに沿ってみたゥェ一ハ用テ一ブルの側断面図である。

図 4は、ゥエーハ用テーブルの他の側断面図である。

図 5 aは、表面保護フィルムの剥離作用を示す第一の図である。図 5 bは、表面保護フィルムの剥離作用を示す第二の図である。図 6は、 .ゥエーハ用テーブルの他の側面図である。

図 7は、本発明の第二の実施形態に基づくゥエーハ用テーブルの頂面図である。

図 8は、図 7 に示されるゥエーハ用テ一ブルの部分拡大頂面図である。

図 9は、本発明の第三の実施形態に基づくゥエーハ用テーブルの頂面図である。

図 1 0は、ゥエー八の部分拡大頂面図である。

図 1 1は、本発明の第四の実施形態に基づくゥエーハ用テーブルの部分拡大頂面図である。

図 1 2は、図 1 1 に示されるゥエーハ用テーブルの側断面図である。

図 1 3 aは、本発明の他の表面保護フィルム剥離装置の略側面図である。

図 1 3 bは、図 1 3 aに示される表面保護フィルム剥離装置に配置されるゥェ一八用テーブルの頂面図である。

図 1 4 aは、本発明のさらに他の表面保護フィルム剥離装置の略側面図である。

図 1 4 bは、図 1 4 aに示される表面保護フィルム剥離装置に配置されるゥエーハ用テーブルの頂面図である。

図 1 5は、回動可能ディスクの底面図である。

図 1 6 aは、本発明の別の表面保護フィルム剥離装置の略側面図である。

図 1 6 bは、図 1 6 aに示される表面保護フィルム剥離装置に配置されるゥエー八用テーブルの頂面図である。

図 1 7は、マウントフレームと一体化されたゥェ一八の頂面図である。

図 1 8は、従来技術における表面保護フィルムの剥離作用を示す側面図である。発明を実施するための最良の形態

以下、添付図面を参照して本発明の実施形態を説明する。以下の図面において同様の部材には同様の参照符号が付けられている。理解を容易にするために、これら図面は縮尺を適宜変更している。

図 1 は本発明に基づくゥエーハ用テ一ブルが配置される表面保護フィルム剥離装置の略図である。表面保護フィルム剥離装置 1 0に供給されるゥェ一ハ 2 0は、ノ'ックグラインドによりその裏面が表面側の面取部 2 6まで研削されており、ゥエー八 2 0の厚さは例えば 1 0 0マイクロメ一トル以下であるものとする。また、公知であるように、ゥェ一ハ 2 0の表面には、回路パターンを保護する表面保護フィルム 1 1が既に貼付けられているものとする。さらに、図 1 7 を参照して説明したように、ゥエーハ 2 0 の研削面 2 2にはダイシングフィルム 3が貼付けられており、ゥエーハ 2 0はダイシングフィルム 3によってマウントフレーム 3 6 と一体化されているものとする。

図 1 に示される表面保護フィルム剥離装置 1 0 は、ゥエーハ 2 0 の表面保護フィルム 1 1 に貼付けられる剥離テープ 4を供給する供給部 4 2 と、供給部 4 2からの剥離テープ 4 を巻取る卷取部 4 3 とを含んでいる。以下の説明において使用される剥離テープ 4は圧力を加えられると粘着作用を呈するいわゆる感圧テープ、または熱を加えることにより粘着作用を呈する感熱テープである。

図 1 に示されるように、供給部 4 2の下流には、剥離テープ 4 を案内すると共に剥離テープ 4に所定の張力を掛けるガイドロール 4

7 、 4 5が設けられている。剥離テープ 4は表面保護フィルム剥離装置 1 0の貼付部材 4 6 (押付部材）を通って卷取部 4 3 に導かれている。図示されるように貼付部材 4 6の先端の断面は矩形または三角形であり、ゥエーハ 2 0 とわずかな面積で接触するような向きに配置されている。さらに、貼付部材 4 6 と巻取部 4 3 との間には、ガイドロール 5 6、ダンサロール 5 5、一対のピンチロール 5 0 および他のダンサロール 5 9が設けられている。これらダンサロール 5 5 、 5 9は剥離テープ 4の繰出量に応じて運動し、巻上げ時のテープの弛みを防止する。

表面保護フィルム剥離装置 1 0 はカバーガイド部 5 3 に挿入されたシャフト 5 2 を有している。また、カバーガイド部 5 3の上方にはモー夕 5 1 が取付けられている。図示されるように、貼付部材 4

6 はシャフト 5 2の底端部に設けられており、貼付部材 4 6 に関連するガイドロール 5 6 、 4 5はシャフト 5 2の所定の場所に設けられている。従って、モー夕 5 1 によってシャフト 5 2がカバーガイド部 5 3 に沿って昇降運動すると、これら貼付部材 4 6およびガイドロール 5 6 、 4 5 も一体的に昇降する。なお、エアシリンダを採用してシャフト 5 2が昇降する構成であってもよい。さらに、貼付部材 4 6の下方には、ゥェ一ハ 2 0およびマウントフレーム 3 6 を保持するテーブル 3 1が設けられている。このテーブル 3 1 は水平方向、つまり図 1 の左右方向に移動できる。さらに、このテーブル 3 1 は鉛直方向にも昇降可能である。

図 2は本発明の第一の実施形態に基づくゥエーハ用テーブルの頂面図であり、図 3は図 2の線 A— Aに沿ってみたゥエーハ用テープルの側断面図である。これら図面に示されるように、テーブル 3 1 のテーブル本体 3 2は概ねマウントフレーム 3 6 に対応した外形を有している。

テーブル本体 3 2 の中心には、凹部 3 2 aが形成されている。そして、多孔質材料からなる円板型の吸着部材 3 3がこの凹部 3 2 a に嵌込まれている。図 3から分かるように、吸着部材 3 3の上面はテーブル本体 3 2の上面と同一平面になっている。さらに、図 2および図 3に示される実施形態においては、吸着部材 3 3 の外形はゥェ一ハ 2 0 の外形よりも大きい。また、図 3に示されるように、吸着部材 3 3の下面には通気路 3 5が接続されており、この通気路 3 5は図示しない真空源まで延びている。

図 2および図 3から分かるように、本発明においては吸着部材 3 3の縁部に沿って溝 6 0が形成されている。図示されるように、溝 6 0は、テーブル 3 1 に吸着されるべきゥェ一ハ 2 0の縁部よりも半径方向外側に隣接している。言い換えれば、溝 6 0は、ゥェ一ハ 2 0の外周に対応するテーブル 3 1の領域に形成されている。厳密にいえば、溝 6 0の内方の傾斜面 6 1がゥェ一ハ 2 0の外周の一部分に対応している。

図 3に示されるように、この溝 6 0はテーブル 3 1 の上面に対して鋭角、例えば 4 5 ° をなす傾斜面 6 1 、 6 2 と底面 6 5 とから構成されている。そして、溝 6 0の底面 6 5は、テーブル本体 3 2 と吸着部材 3 3 との間の境界線上に位置している。すなわち、第一の実施形態においては、底面 6 5の一部と傾斜面 6 1 とは吸着部材 3 3の一部分である。

また、図 2から分かるように、この溝 6 0の長さは剥離テープ 4 のテープ幅よりも大きい。なお、溝 6 0は円弧形状である必要はなく、溝 6 0の長さが剥離テープ 4の幅よりも大きければ、溝 6 0は他の形状であってもよい。そのような他の形状においては、例えば図 1 3 aに示されるように、溝 6 0の外方側部 6 3がゥエーハ 2 0 の接線方向に対して平行に延びる直線状である。この場合には、外方側部 6 3は傾斜面である必要はなくテーブル本体 3 2 の表面に対して垂直であってもよい。このような溝 6 0はその形状が単純であるので、溝 6 0の形成が容易になる。

図 4はゥェ一八用テーブルの他の側断面図であり、図 5 aおよび図 5 bはそれぞれ表面保護フィルムの剥離作用を示す第一および第二の図である。以下、図 3〜図 5 bを参照して、本発明の第一の実施形態における表面保護フィルム 1 1の剥離作用を説明する。

はじめに、図 3に示されるように、ダイシングフィルム 3 によりマウントフレーム 3 6 と一体的にされたゥエーハ 2 0 をテーブル 3 1上に配置する（図 3 を参照されたい）。次いで、図示しない真空源を起動すると、通気路 3 5および吸着部材 3 3を通じて吸引作用が働き、それにより、ゥエーハ 2 0がテーブル 3 1の吸着部材 3 3 に吸着されて保持されるようになる。

吸着部材 3 3は多孔質材料から形成されているので、吸着部材 3 3を起動させると、吸着部材 3 3の吸引作用は溝 6 0の底面 6 5の一部および内側の傾斜面 6 1 にも作用する。従って、図 4に示されるように、ダイシングフィルム 3は溝 6 0内に入込むように陥没する。すなわち、本発明においては、溝 6 0が吸引機能を備えているので、ダイシングフィルム 3 を溝 6 0内に確実に陥没させられる。次いで、図 1 に示されるモー夕 5 1 を駆動して、図 5 aの矢印で示されるようにシャフト 5 2を下降させる。これにより、シャフト 5 2の底端部に設けられた貼付部材 4 6が剥離テープ 4をゥエー八 2 0の縁部において表面保護フィルム 1 1 に押付けるようになる。従って、剥離テープ 4はゥエーハ 2 0 の一端 2 8付近に位置する表面保護フィルム 1 1 に貼付けられる。

その後、図 5 bの矢印で示されるようにテーブル 3 1 をゥエーハの他端 2 9から一端 2 8に向かう方向に水平移動させる。これと同時に、供給部 4 2から剥離テープ 4を繰出すと共に巻取部 4 3 により剥離テープ 4を巻取る。これにより、剥離テープ 4が貼付けられた場所が剥離開始箇所として機能し、表面保護フィルム 1 1がゥェ —ハ 2 0の一端 2 8における剥離開始箇所から徐々に剥離される。表面保護フィルム 1 1の剥離作用が完了すると、吸着部材 3 3の吸引作用を解除する。このとき、溝の部分も同時に吸引が解除されるので、マウントフレーム 3 6をテーブル 3 1から極めて容易に取出すことが可能となる。また、ダイシングフィルム 3の材質等によつては、ダイシンダフイルムの自己融着性等によりダイシングフィルム 3がテーブル表面および溝部に密着している場合もある。そのような場合には、ダイシングフィルム 3が元位置まで戻るのが遅い可能性もある。そのような場合には、圧力制御された空気等を通気路 3 5および吸着部材 3 3に通してテーブルの吸着面および溝 6 0 に供給すればよい。これにより、ダイシングフィルム 3の密着を解除し、溝部において変形したダイシングフィルム 3 を元位置まで迅速に回復させられる。

ところで、図 6に示されるように、供給部 4 2および巻取部 4 3 を駆動する際には、貼付部材 4 6の先端 4 6 aにおける剥離テープ 4が弛むことによりループ 4 'が形成される場合がある。しかしながら、本発明においては、ダイシングフィルム 3が溝 6 0内に陥没しているので、剥離テープ 4のループ 4 aはダイシングフィルム 3 まで到達しない。従って、本発明においては、剥離テープ 4がダイシングフィルム 3の露出面 3 aに貼付くのが防止される。

特に、剥離テープ 4のループ 4 'が形成された場合には、剥離テープ 4の縁部 4 a、 4 bがダイシングフィルム 3の露出面 3 aに貼付く可能性が高い。しかしながら、本発明においては、溝 6 0の長さは剥離テープ 4の幅よりも大きいので、剥離テープ 4の両縁部 4 a、 4 bに対応するダイシングフィルム 3の一部分は溝 6 0内に確実に陥没される。従って、剥離テープ 4の両縁部 4 a 、 4 bがダイシングフィルム 3に貼付くのを回避することが可能となる。

また、図 3 を参照して説明したように、本発明においては、溝 6 0の側面は鋭角の傾斜面 6 1 、 6 2 として形成されている。従って、吸着時におけるダイシングフィルム 3の伸びはこれら傾斜面 6 1 、 6 2 によって制限される。このため、ダイシングフィルム 3の伸びに伴ってゥェ一ハ 2 0が引張られることも抑えられる。その結果、ゥェ一ハ 2 0がダイシングフィルム 3に引張られて破損することを防止することが可能となる。

なお、図面には示さないものの、傾斜面 6 1 、 6 2および底面 6 5全体に吸引作用が働くように溝 6 0を形成するようにしてもよい。そのような場合であっても、本発明の範囲に含まれる。

図 7は本発明の第二の実施形態に基づくゥェ一ハ用テーブルの頂面図であり、図 8は図 7 に示されるゥエーハ用テ一ブルの部分拡大頂面図である。第二の実施形態においては、溝 6 0は、第一溝 6 0 Aおよび第二溝 6 0 Bから構成されている。図示されるように、これら第一溝 6 O Aおよび第二溝 6 0 Bは吸着部材 3 3 の縁部に沿つて形成されている。また、これら第一溝 6 0 Aおよび第二溝 6 0 B の間に位置する中間部 6 6 (図 8を参照されたい）は、吸着部材 3 3の一部分であって吸着部材 3 3 と同一平面に在る。

図 8から分かるように、これら第一溝 6 O Aおよび第二溝 6 0 B は、剥離テープ 4の一方の縁部 4 aが第一溝 6 O A内に位置すると共に他方の縁部 4 bが第二溝 6 0 B内に位置するように、形成されている。このような構成であるので、前述したのと同様に、剥離テ —プ 4の両縁部 4 a、 4 bがダイシングフィルム 3に貼付くのを回避することが可能となる。

さらに、第二の実施形態においては、中間部 6 6が存在しているので、中間部 6 6に対応するダイシングフィルム 3の一部分は第一溝 6 0 Aおよび第二溝 6 0 B内に陥没しない。従って、ダイシングフィルム 3 を陥没させるときのダイシングフィルム 3の伸びは部分的に抑えられる。それゆえ、前述したのと同様に、ゥエー八 2 0がダイシングフィルム 3に引張られて破損するのを防止することも可能である。

さらに、第二の実施形態においては、ダイシングフィルム 3の伸びが少なくて済むので、吸着部材 3 3の吸引作用を解除した後においても、ダイシングフィルム 3は元位置まで容易に回復する。従つて、ダイシングフィルム 3が伸びたままとなることはなく、後工程においてマウントフレーム 3 6 と一体化されたゥエーハ 2 0のハンドリング性が低下するのを防止できる。

図 9は本発明の第三の実施形態に基づくゥェ一ハ用テ一ブルの頂面図である。第三の実施形態においては、第一溝 6 O Aおよび第二溝 6 0 Bからなる溝の組 6 0 に加えて、第三溝 6 0 Cおよび第四溝 6 0 Dからなる溝の組 6 0 'ならびに第五溝 6 0 Eおよび第六溝 6 0 Fからなる溝の組 6 0 ' 'が吸着部材 3 3の縁部に沿って形成されている。

図 9から分かるように、ゥエーハ 2 0 の中心〇および組 6 0を結ぶ線分 X 1 と、中心 Oおよび組 6 0 'とを結ぶ線分 X 2 とがなす角度は 4 5度である。さらに、中心 Oおよび袓 6 0 ' 'とを結ぶ線分 X 3 と線分 X I とがなす角度は 4 5度である。

ゥェ一ハ 2 0の表面に形成された回路パターン Cが正方形である場合には、ゥエーハ 2 0 を所定位置に配置すると、線分 X 2 、 X 3 が回路パターン Cの角部の二等分線に対して平行に位置するようになる。ゥエー八の部分拡大頂面図である図 1 0および図 9 を参照して、線分 X 2に対して平行に剥離テープ 4を貼付け、次いで、表面保護フィルム 1 1 を線分 X 2に沿って剥離する場合を考える。

そのように剥離を行う場合には、図 1 0に示される一つの回路パターン Cの角部を構成する二つのパターン溝 g a 、 g bに掛かる力は互いに等しくなる。従って、表面保護フィルム 1 1 を剥離するときに、表面保護フィルム 1 1 の接着剤がパターン溝 g a 、 g bのいずれか一方にのみ多量に残る事態は発生しない。つまり、表面保護フィルム 1 1の接着剤はパターン溝 g a 、 g bに沿って回路パ夕一ンの角部から均等に離脱し、それにより、接着剤がパターン溝 g a 、 g bに残渣として残ることを抑制することが可能となる。言い換えれば、第三の実施形態においては、表面保護フィルム 1 1 を容易に剥離することが可能となる。

ところで、第一から第三の実施形態においては吸着部材 3 3はゥェ一ハ 2 0よりも一回り大きく、その結果、ゥエーハ 2 0 と重畳することなしに溝 6 0を形成することができた。一方、吸着部材 3 3 の寸法がゥエーハ 2 0の寸法にほぼ等しい場合には、溝を吸着部材 3 3の外側に形成し、それにより、溝がゥェ一ハ 2 0 と重畳しないようにする必要がある。しかしながら、そのような場合に形成される溝は吸着部材 3 3から離間しているので吸引機能を備えることができない。以下、本発明の第四の実施形態に基づくゥエーハ用テ一ブルの部分拡大頂面図および側断面図である図 1 1および図 1 2 を参照しつつ、吸着部材 3 3の寸法がゥエーハ 2 0の寸法にほぼ等しい場合について説明する。

これら図 1 1および図 1 2においては、二つの溝 6 0 G、 6 O H が吸着部材 3 3に隣接したテーブル本体 3 2の表面に形成されている。そして、これら図面から分かるように、溝 6 0 G、 6 O Hの内側傾斜面 6 1 には、吸着部材 3 3まで延びる複数の導通孔 7 0が形成されている。

このような場合に、吸着部材 3 3を起動させると、吸着部材 3 3 の吸引作用は導通孔 7 0 を通じて溝 6 0 G、 6 O Hにも働く。これにより、ダイシングフィルム 3は溝 6 0 G、 6 0 H内に同様に陥没して、溝の内面に吸着するようになる。それゆえ、第四の実施形態においても、前述したのと同様な効果が得られるのが分かるであろ Ό 。

なお、吸着部材 3 3に連通する導通孔 7 0 を使用する代わりに、または導通孔 7 0 と併用して、他の真空源（図示しない）に接続される他の通路 7 0 'を吸着部材 3 3に形成してもよい。図 1 2においては、そのような他の通路 7 0 'は底面 6 5から下方に延びている。この場合には、吸着部材 3 3 を用いたゥエーハ 2 0の吸着作用と連動することなしに、溝 6 0 G、 6 O Hによるダイシングフィルム 3の吸引が行われる。

このような構成は、吸着部材 3 3からの吸引作用だけでは、ダイシングフィルム 3を十分に吸引できない場合、ダイシンダフイルム 3の吸引およびその解除を迅速に行うことが望まれる場合、およびダイシングフィルム 3の吸引およびその解除を別の制御機器にて別個に制御する場合などに有利である。

ところで、図 1 3 aは本発明の他の表面保護フィルム剥離装置の略側面図であり、図 1 3 bは図 1 3 aに示される表面保護フィルム剥離装置に配置されるゥエーハ用テーブルの頂面図である。これら図面に示される貼付部材 4 6 'は、円筒状のロールである。ロール型貼付部材 4 6 'を使用する場合であっても、剥離テープ 4のループ 4 'がダイシングフィルム 3の露出面に貼付くのが防止される。また、図 1 4 aは本発明のさらに他の表面保護フィルム剥離装置の略側面図であり、図 1 4 bは図 1 4 aに示される表面保護フィルム剥離装置に配置されるゥェ一ハ用テ一ブルの頂面図である。図 1 4 aに示される貼付部材 4 6 aは、シリンダ 7 9 を具備し、このシリンダ 7 9内には上下方向に移動するロッド 7 2が挿入されている。このロッド 7 2は図示しないァクチユエ一夕の動作に応じて昇降すると共に、所望の位置で回転するようになっている。

さらに、図 1 4 aから分かるように、ディスク 7 4が連結部 7 3 によりロッド 7 2の先端付近に連結されている。ディスク 7 4の直径はゥェ一ハ 2 0の直径にほぼ等しいか、またはこれよりも大きい。このディスク 7 4は、ロッド 7 2 と共にまたはロッド 7 2 とは別個に回転することができる。また、ディスク 7 4の下面には、少なくとも一つ、例えば三つの押圧部材 7 5が設けられている。これら三つの押圧部材のうちの図示される押圧部材 7 5 a , 7 5 bは延長部 7 8 a、 7 8 bと延長部 7 8 a、 7 8 bの各先端に取り付けられた押圧ローラ 7 6 a、 7 6 bとをそれぞれ含んでいる。図 1 4 aには示さない残りの押圧部材 7 5 c についても同様である。

図 1 5は回動可能ディスクの底面図である。図 1 5に示されるデイスク 7 4には三つの押圧部材 7 5 a、 7 5 b、 7 5 cが設けられている。これら押圧部材 7 5 a、 7 5 b、 7 5 cは、ディスク 7 4 の下面において半径方向に延びる三つの案内溝 7 1 a、 7 1 b、 7 1 cのそれぞれの先端付近に設けられている。これら押圧部材 7 5 a、 7 5 b、 7 5 cの各延長部 7 8 a、 7 8 b、 7 8 cの基端には案内溝 7 1 a、 7 1 b、 7 1 c にそれぞれ係合する係合部（図示しない）が設けられており、これら係合部を各案内溝 7 1 a、 7 1 b 、 7 1 cにそれぞれ係合させることにより、押圧部材 7 5 a、 7 5 b、 7 5 cを案内溝 7 1 a、 7 1 b、 7 1 cのそれぞれに取付けることができる。また、各延長部 7 8 a、 7 8 b、 7 8 cの係合部は案内溝 7 1 a、 7 1 b , 7 1 c を摺動することができ、それにより、押圧部材 7 5 a、 7 5 b、 7 5 c を各案内溝 7 1 a、 7 1 b、 7 1 cの所望の位置に位置決めできるようになる。従って、寸法の異なるゥェ一ハ 2 0 'の表面保護フィルム 1 1 を剥離する場合であつても、押圧部材 7 5 a、 7 5 b、 7 5 cの位置を調節し、本発明の表面保護フィルム剥離装置 1 0を寸法の異なるゥェ一ハ 2 0 'に対して容易に適用できるようになる。

また、図 1 5から分かるように、案内溝 7 1 a、 7 1 b、 7 1 c は互いに約 1 2 0 ° の角度をなすように形成されているので、図 1 5においては、三つの押圧部材 7 5 a、 7 5 b、 7 5 cはディスク 7 4の下面においてほぼ等間隔で設けられることになる。なお、三つの押圧部材 7 5 a、 7 5 b、 7 5 cのうち隣接する二つの押圧部材の間の距離のうちの少なくとも一つは、剥離テープ 4の幅よりも大きいものとする。また、押圧部材 7 5の押圧ローラ 7 6は、押圧ローラ 7 6の回転軸部 7 7がディスク 7 4の半径方向を向くようにそれぞれ取付けられている。

図 1 4 aに示されるように、剥離テープ 4は溝 6 0の上方に配置されたロール 4 9 と押圧ローラ 7 6 aとに掛けられる。貼付部材 4 6 aを下降させると、押圧ローラ 7 6 a、 7 6 b、 7 6 cがゥェ一ハ 2 0 を押圧するようになる。押圧ローラ 7 6 aは剥離テープ 4を介してゥェ一ハ 2 0を押圧し、残りの押圧ローラ 7 6 b、 7 6 c ( 補助ローラ）はゥエーハ 2 0 を直接的に押圧する。

図 1 4 bに示されるように、押圧ローラ 7 6 a、 7 6 b、 7 6 c によって押圧箇所 8 5 a、 8 5 b、 8 5 cがそれぞれ形成されるようになる。図示されるように、押圧箇所 8 5 aは剥離テープ 4上においてゥエーハ 2 0の縁部近傍に形成される。この押圧箇所 8 5 a においては剥離テープ 4と表面保護フィルム 1 1 との間の接着力が増大している。従って、押圧箇所 8 5 aは剥離開始箇所として機能しうる。それゆえ、前述したように剥離テープ 4およびテーブル 3 1 を移動させることにより、表面保護フィルム 1 1 をゥエーハ 2 0 の表面から剥離することができる。

なお、押圧ローラ 7 6 a、 7 6 b、 7 6 cがゥェ一ノヽ 2 0に接触した後で、ディスク 7 4をわずかながら回転させることにより、押圧ローラ 7 6 aを剥離テープ 4の領域内で往復運動させるのが好ましい（図 1 4 bの矢印を参照されたい）。この場合には、押圧ローラ 7 6 aによる押圧箇所 8 5 aの接着力を容易かつ確実に高めることが可能となる。

また、図 1 4 bに示される押圧箇所 8 5 b、 8 5 cの位置には剥離テープ 4が存在していないので、押圧箇所 8 5 b、 8 5 c に対応する押圧ローラ 7 6 a、 7 6 bは剥離テープ 4と表面保護フィルム 1 1 との間の接着力に影響を与えない。このため、押圧ローラ 7 6 a、 7 6 bを排除してもよい。

しかしながら、このような場合には、押圧時に単一の押圧部材 7 5 aが片持ち梁式に支持されるようになるので、押圧部材 7 5 aの係合部などに集中的に荷重が掛かり、押圧部材 7 5 aが破損する可能性がある。このため、剥離テープ 4を押圧することのない補助口ーラとしての役目を果たす押圧部材 7 5 b 、 7 5 c を設け、それにより、押圧時の荷重を分散させるのが好ましい。これにより、単一の押圧部材 7 5 aが破損するのを回避できると共に、極めて安定した状態で剥離テープとフィルムとの間の接着力を高めることができる。

図 1 6 aは本発明の別の表面保護フィルム剥離装置の略側面図であり、図 1 6 bは図 1 6 aに示される表面保護フィルム剥離装置に配置されるゥエーハ用テーブルの頂面図である。単一の押圧部材 7 5 aのみを備える場合には、図示されるロール型貼付部材 4 6 bのように、ロッド 7 2の先端に押圧部材 7 5 aを備えるだけで足りる。この場合には、剥離テープ 4は溝 6 0の上方に配置されたロール

4 9 と貼付部材 4 6 bの押圧ローラ 7 6 aとに掛けられる。

図 1 6 aおよび図 1 6 bに示される構成においては、押圧部材 7

5 aの押圧ローラ 7 6 aがゥェ一ハ 2 0の縁部において剥離テープ 4を表面保護フィルム 1 1 に押付ける。これにより形成される押圧箇所 8 5 'は、剥離開始箇所として機能する。従って、前述したように剥離テープ 4およびテーブル 3 1 を移動させることにより、表面保護フィルム 1 1 をゥエー八 2 0の表面から剥離することが可能である。

また、図 1 6 aに示される実施形態においては、押圧ローラ 7 6 aを剥離テープ 4の幅方向に単に転がすことにより、押圧箇所 8 5 'を容易に押圧できる。これにより、押圧箇所 8 5 'における剥離テープ 4と表面保護フィルム 1 1 との間の接着力をさらに高めることが可能である。

なお、図 1 3、図 1 4および図 1 6 においては、テーブル 3 1の溝 6 0の外方側部 6 3が直線状であるように示されている。しかしながら、これら図 1 3、図 1 4および図 1 6に示されるテーブル 3 1 においても、図 2に示したのと同様な溝 6 0が形成されていてもよい。そのような場合であっても、本発明の範囲に含まれるのは明らかであろう。

典型的な実施形態を用いて本発明を説明したが、当業者であれば、本発明の範囲から逸脱することなしに、前述した変更および種々の他の変更、省略、追加を行うことができるのを理解できるであろ

Ό。

Claims

1 . ダイシングフィルムを介してマウントフレームに裏面が支持されると共に表面に表面保護フィルムが貼付けられているゥエー八を吸着するゥエーハ用テーブルにおいて、

前記ゥエーハを前記テーブルの表面に吸着させる吸着手段と、請

前記ゥエー八の外周の少なくとも一部に対応する前記テーブルの領域に形成された溝と、

前記溝内の空気を吸引する吸引の手段とを具備する、ゥエーハ用テ一ブル。範

2 . 前記溝は、前記表面保護フィルムを囲剥離するために前記表面保護フィルムに貼付けられる剥離テープの幅全体を含む領域に形成される請求項 1 に記載のゥエーハ用テーブル。

3 . 前記溝は、前記表面保護フィルムを剥離するために前記保護フィルムに貼付けられる剥離テープの幅方向における該剥離ープの一方の縁部を含む領域に形成される第一の溝と、前記剥離ープの他方の縁部を含む領域に形成される第二の溝とを含む求

1 に記載のゥェ一ハ用テーブル。

4 . 前記吸着手段によって前記ゥエー八が保持されるときに、記ゥエー八に形成された回路パターンの角部の二等分線が前記溝中心と前記ゥエー八の中心とを結ぶ線分に対して平行になるよう

、 fu記溝が形成されている請求項 1 に記載のゥェ一ハ用テ一ブル

5 . 前記溝の断面における該溝の側面は前記テーブルの表面にして鋭角に形成されている請求項 1から 4のいずれか一項に記ゥエーハ用テーブル。

6 . 前記吸引手段は、前記溝から前記吸着手段まで延びる少なくとも一つの導通孔を含む請求項 1から 5のいずれか一項に記載のゥエーハ用テーブル。

7 . 前記溝の内方側部は前記ゥエー八の外周の少なくとも一部に対応した円弧状であり、前記溝の外方側部はマウントフレームの内側において直線状を含む任意の形状である請求項 1 に記載のゥエーハ用テーブル。

8 . ダイシングフィルムを介してマウントフレームに裏面が支持されると共に表面に表面保護フィルムが貼付けられているゥエー八の前記表面保護フィルムを剥離する表面保護フィルム剥離装置において、

前記ゥエー八の前記表面が上方を向くように前記ゥエーハを吸着する請求項 1から 7のいずれかに記載のゥエーハ用テ一ブルと、前記ゥエー八の前記表面に貼付けられた前記表面保護フィルム上に剥離テープを供給する剥離テープ供給手段と、

前記剥離テープの一部分のみを前記ゥエー八の前記表面保護フィルムに対して押圧する押圧手段とを具備し、それにより、前記剥離テープの前記一部分において該剥離テープと前記表面保護フィルムとの間の接着力を高めるようにし、

さらに、

接着力の高められた前記剥離テープの前記一部分を剥離開始箇所として、前記剥離テープによって前記ゥェ一八の前記表面から前記表面保護フィルムを剥離する剥離手段を具備する表面保護フィルム剥離装置。

9 . 前記押圧手段が前記剥離テープの略横断方向に移動する押圧ローラを具備し、前記押圧ローラが前記剥離テープの前記一部分上を移動することにより前記剥離テープの前記一部分が押圧されるようにした請求項 8に記載の表面保護フィルム剥離装置。

1 0 . 前記押圧手段が回動可能ディスクを具備し、前記押圧口一ラの回転軸線が前記回動可能ディスクの半径上に位置するように、前記押圧ローラが前記回動可能ディスクの下面に取付られており、前記回動可能ディスクの回動時に前記押圧ローラが前記剥離テープ上において円弧に沿って回転移動するようにした請求項 9 に記載の表面保護フィルム剥離装置。

1 1 . さらに、前記回動可能ディスクの前記下面には補助ローラが取り付けられており、該補助ローラは前記剥離テープ以外の場所に位置する前記ゥエー八の前記表面保護フィルムを押圧する請求項 1 0 に記載の表面保護フィルム剥離装置。

1 2 . 前記回動可能ディスクの前記下面において、前記押圧ローラおよび前記補助ローラの位置を半径方向に調節できる請求項 1 1 に記載の表面保護フィルム剥離装置。

1 3 . ダイシングフィルムを介してマウントフレームに裏面が支持されると共に表面に表面保護フィルムが貼付けられているゥェ一八の前記表面保護フィルムを剥離する表面保護フィルム剥離装置において、

m sclゥ一八の前記表面が上方を向くように、請求項 1 から 7のいずれかに記載のゥエーハ用テ一ブル上に前記ゥェ一ハを配置し、前記ゥェ一八の前記表面に貼付けられた前記表面保護フィルム上に剥離テ一プを繰出し、

、一押圧手段により前記剥離テープの一部分を前記ゥェ一八の刖 S己表面保護フィルムに対して押圧し、それにより、前記剥離テ ―プの前記一部分において該剥離テープとの前記表面保護フィルムとの間の接着力を高めるようにし、

さらに、

接着力の高められた前記剥離テープの前記一部分を剥離開始箇所として、前記剥離テープによって前記ゥエー八の前記表面から前記表面保護フィルムを剥離する表面保護フィルム剥離方法。