JP5275770B2 - シート貼付装置及び貼付方法 - Google Patents
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Description
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、ウエハと接着シートとの間に洗浄水等の異物が混入することを防止でき、製品歩留まりの低下を抑制することができるシート貼付装置及び貼付方法を提供することにある。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
11 保持手段
12 支持手段
13 繰出手段
15 ピールプレート(剥離手段)
16 押圧手段
28 直動モータ(圧力調整手段)
31 凸部
33 センサ(位置決め手段)
35 吸引孔(維持手段)
H 保護シート(第1の接着シート)
M2 モータ(位置決め手段)
R 原反
RL 剥離シート
S 侵入防止シート(第2の接着シート)
W 半導体ウエハ
Claims (2)
- 一方の面に第1の接着シートが貼付された半導体ウエハを保持する保持手段と、帯状の剥離シートに第2の接着シートが仮着された原反を支持する支持手段と、前記原反を繰り出す繰出手段と、前記原反を繰り出す途中で前記第2の接着シートを剥離シートから剥離する剥離手段と、この剥離手段により剥離された前記第2の接着シートを前記半導体ウエハの他方の面と前記第1の接着シートとに押圧して貼付する押圧手段とを備え、
前記第1の接着シートは、前記半導体ウエハの外縁からはみ出る大きさに設けられる一方、前記第2の接着シートは、前記半導体ウエハの外縁に沿う閉ループ形状に形成され、
前記押圧手段は、前記第2のシートの平面形状に対応する形状の凸部を備え、当該凸部で前記第2の接着シートを押圧することにより、前記半導体ウエハの外縁をカバーする位置に前記第2の接着シートを貼付可能に設けられていることを特徴とするシート貼付装置。 - 一方の面に第1の接着シートが貼付された半導体ウエハの他方の面と当該第1の接着シートとに第2の接着シートを貼付するシート貼付方法であって、
前記第1の接着シートは、前記半導体ウエハの外縁からはみ出る大きさに設けられる一方、前記第2の接着シートは、前記半導体ウエハの外縁に沿う閉ループ形状に形成され、
一方の面に前記第1の接着シートが貼付された半導体ウエハを保持する工程と、
帯状の剥離シートに前記第2の接着シートが仮着された原反を繰り出す途中で、第2の接着シートを剥離シートから剥離する工程と、
前記第2のシートの平面形状に対応する形状の凸部によって、剥離された前記第2の接着シートを押圧することにより、前記半導体ウエハの外縁をカバーする位置に前記第2の接着シートを貼付する工程とを行うことを特徴とするシート貼付方法。
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