JP2004327587A - 電子部品製造方法および電子部品の集合体の製造方法ならびに電子部品の集合体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体ウェハ3を分割することにより個片の半導体チップを製造する電子部品製造方法において、半導体ウェハ3を界面力を有するシート1に貼付けて界面力によって保持させ、この半導体ウェハ3の分割線に沿ってレーザ光を照射して半導体ウェハ3の厚み内部に多光子吸収の熱歪みによって周囲よりも機械的強度が弱い脆弱部を形成し、この後シート1を引き延ばして半導体ウェハ3を脆弱部に沿って個片の半導体ウェハに分割する。これにより、薄型ウェハにも適応可能で且つ経済性に優れた電子部品製造方法を実現できる。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、複数の電子部品が作り込まれた半導体ウェハを分割することにより個片の電子部品を製造する電子部品製造方法および電子部品の集合体の製造方法ならびに電子部品の集合体に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
半導体チップなどの電子部品は、多数の個片部品が作り込まれた半導体ウェハを分割することによって製造される。この半導体ウェハの分割は、従来は表面に粘着層を有するダイシング用シートに半導体ウェハを貼着した状態で、ブレードダイサを用いて切断することによって行われていた。半導体ウェハから切り出された半導体チップは、ピックアップヘッドによってダイシング用シートから取り出されるが、このピックアップ動作において半導体チップをダイシング用シートから確実に剥がして取り出すために、半導体チップをダイシング用シートの下面側からプッシュロッドによって突き上げる方法が用いられていた(例えば特許文献1参照)。
【0003】
【特許文献1】
特開昭53−100765号公報(第1頁、第1図乃至第3図)
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
近年半導体チップは薄型化が進み、電子部品の製造過程においては、従来と比較して極めて薄い半導体ウェハを対象として上述のダイシングを行う必要がある。しかしながら上記従来の方法では、ダイシング用シートに半導体ウェハを粘着層によって保持させていたため、ブレードダイサによる切断の安定性と、ピックアップヘッドによる取り出しの容易性とを両立させることが困難であった。
【0005】
また取り出し時に前述のプッシュロッドによって突き上げる方法を用い、ダイシング用シートには穴が多数開けられるため、一度使用したダイシング用シートを再利用することができなかった。このためダイシング用シートを大量に消費することとなり、経済性に優れた電子部品製造方法の実現が困難であった。
【0006】
そこで本発明は、薄型ウェハにも適応可能で且つ経済性に優れた電子部品製造方法および電子部品の集合体の製造方法ならびに電子部品の集合体を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
請求項1記載の電子部品製造方法は、複数の電子部品が作り込まれた半導体ウェハを分割することにより個片の電子部品を製造する電子部品製造方法であって、界面力を有するシートに前記半導体ウェハを貼付けて前記界面力によって保持させるウェハ保持工程と、前記シートに保持された半導体ウェハの分割線に沿ってレーザ光を照射することにより前記分割線近傍に周囲よりも機械的強度が弱い脆弱部を形成する脆弱部形成工程と、この脆弱部形成工程後の前記シートを引き延ばすことにより前記半導体ウェハを前記脆弱部に沿って個片の電子部品に分割するウェハ分割工程と、前記分割された電子部品を個片ごとに前記シートから取り出す部品取り出し工程とを含む。
【0008】
請求項2記載の電子部品の集合体の製造方法は、複数の電子部品が作り込まれた半導体ウェハを分割した個片の電子部品をピックアップ用シートに貼付けて集合させた電子部品の集合体の製造方法であって、界面力を有するシートに前記半導体ウェハを貼付けて前記界面力によって保持させるウェハ保持工程と、前記シートに保持された半導体ウェハの分割線に沿ってレーザ光を照射することにより前記分割線近傍に周囲よりも機械的強度が弱い脆弱部を形成する脆弱部形成工程と、この脆弱部形成工程後の前記シートを引き延ばすことにより前記半導体ウェハを前記脆弱部に沿って個片の電子部品に分割するウェハ分割工程とを含む。
【0009】
請求項3記載の電子部品の集合体は、複数の電子部品が作り込まれた未分割の半導体ウェハを保持体に保持されたシートに界面力により貼付けて成る電子部品の集合体であって、前記半導体ウェハには、半導体ウェハを個片に分割するための分割線に沿ってレーザ光を照射することによりこの分割線近傍に周囲よりも機械的強度が弱い脆弱部が形成されている。
【0010】
本発明によれば、半導体ウェハを界面力を有するシートに貼付けて界面力によって保持させ、この半導体ウェハの分割線に沿ってレーザ光を照射してこの分割線近傍に周囲よりも機械的強度が弱い脆弱部を形成し、この後シートを引き延ばして半導体ウェハを脆弱部に沿って個片の電子部品に分割することにより、薄型ウェハにも適応し且つ経済性に優れた電子部品製造方法を実現できる。
【0011】
【発明の実施の形態】
次に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図1、図2は本発明の一実施の形態の電子部品製造方法の工程説明図、図3は本発明の一実施の形態の電子部品の保持治具の斜視図、図4は本発明の一実施の形態の電子部品供給装置の部分斜視図、図5は本発明の一実施の形態の電子部品供給装置のシート剥離治具の斜視図、図6は本発明の一実施の形態の電子部品供給方法におけるシート剥離動作の説明図である。
【0012】
まず図1,図2を参照して、電子部品製造方法について説明する。この電子部品製造方法は、複数の電子部品が作り込まれた半導体ウェハを分割することにより、個片の電子部品を製造するものである。図1(a)において、シート1は、シリコーンゴム、シリコーンゲル、ブチルゴムなどの高分子化合物を主体とする材質を、表面に平滑面を有する膜状に形成したものである。シート1の平滑面は、平坦な面を有する物体を貼着して保持する界面力を有しており、ここでは、この界面力によって半導体チップを貼着保持する保持シートとして用いられ、円環状のウェハリング2(保持体)に保持された形態で使用される(図3参照)。
【0013】
まずシート1には、複数の半導体チップが作り込まれた半導体ウェハ3が貼付けられ、図1(b)に示すように、半導体ウェハ3はシート1に界面力によって保持される(ウェハ保持工程)。次いで、シート1に保持された半導体ウェハ3はレーザ照射装置に送られ、ここで図1(c)に示すように、分割の前準備のためのレーザ照射が行われる。すなわち、図2(a)に示すように、半導体ウェハ3の分割線(個片の半導体チップ6に分離するための分割位置を示す格子線)に沿って、レーザ照射装置4によってレーザ光を照射する。
【0014】
このレーザ光照射においては、多光子吸収が生じる条件で、半導体ウェハ3の厚み方向の内部に集光点を合わせてレーザ光を照射する。これにより、図1(c)に示すように、半導体ウェハ3の内部には、多光子吸収の際の熱歪みによる微小なクラックが内包された改質領域3aが形成される。このとき半導体ウェハ3の表面にはレーザ光の熱エネルギが及ばないため、表面溶融や変形が生じない。そしてこの改質領域3aが形成されることにより、分割線5近傍には、周囲よりも引張強度等の機械的強度が弱い脆弱部が形成される(脆弱部形成工程)。この脆弱部は、周囲よりも特に引張強度が弱くなっている。
【0015】
この脆弱部形成により、複数の電子部品としての半導体チップ6(以下、単に「チップ6」という)が作り込まれた未分割の半導体ウェハ3を、ウェハリング2(保持体)に保持されたシートに界面力により貼付けて成る電子部品の集合体が製造される。そしてこの状態の半導体ウェハ3には、半導体ウェハ3を個片に分割するための分割線5に沿ってレーザ光を照射することにより、この分割線近傍に周囲よりも機械的強度が弱い脆弱部が形成されている。半導体ウェハ3を未分割の状態で取り扱うことにより、個片分割状態の半導体ウェハを取り扱う際に発生しやすい半導体チップの破損を防止することができ、取り扱いが容易になる。
【0016】
脆弱部形成工程後の半導体ウェハ3は、ウェハリング2に保持された状態で分割装置に送られる。分割に際しては図2(b)に示すように、シート1の下面側にリング部材7を当接させて上方に押し上げる。これにより、シート1は膜方向に引き延ばされる。そしてシート1が引き延ばされることにより、シート1に貼着された半導体ウェハ3には引張り方向の力が作用し、これにより半導体ウェハ3は、図2(c)に示すように、分割線6に沿って形成された脆弱部に沿って個片の半導体チップ6に分割される(ウェハ分割工程)。
【0017】
このウェハ分割に際しては、従来の分割方法において用いられていたダイシングツールのような機械的切断方法を用いずに、単にシート1を膜方向に引き延ばすのみであることから、割れや欠けなどの不具合が発生せず、薄型の半導体ウェハに対しても安定したウェハ分割を行うことができる。
【0018】
次に、チップ6の取り出しについて説明する。図4に示すように、シート1を保持したウェハリング2は、電子部品実装装置11の部品供給部14に装着される。ウェハリング2の下方には、シート剥離機構15が配設されている。図5に示すように、シート剥離機構15から上方に延出して設けられた支持筒部15aには吸着剥離ツール16が装着されており、吸着剥離ツール16の上面は、シート1に当接して真空吸引する吸着面16aとなっている。吸着面16aには、複数の直線状の吸引溝17が形成されており、各吸引溝17の底部に設けられた吸引孔17aは、支持筒部15aの内部を通じて真空吸引源と接続されている。吸引孔17aから真空吸引することにより、後述するようにシート1はチップ6から剥離される。シート1が剥離されたチップ6は吸着ノズル18aによってピックアップされ(部品取り出し工程)、搭載ヘッド18が移動することにより、基板保持テーブル12に載置された基板13上に実装される。
【0019】
ここで、上記部品取り出し工程におけるシート1の吸着剥離動作について図6を参照して説明する。まず吸着剥離ツール16の吸着面16aをシート1の下面に当接させる。そして真空吸引源を駆動して、図6(a)に示すように、吸引孔17aから真空吸引し、シート1に貼着されたチップ6を、吸引溝17内に凹入する形状に撓み変形させる。この撓み変形において、チップ6の端面でシート1とチップ6との貼着界面が口開きを生じることにより、チップ6とシート1との剥離が開始される。
【0020】
この後、さらにシート1のチップ6からの剥離が進展し、図6(b)に示すように粘着シート5が吸引溝17内の吸引孔17aに吸着された状態では、チップ6は弾性復元力により撓みが消失して平面状態に復帰する。そして図6(c)に示すように、このチップ6に対して吸着ノズル18aを上下動させて取り出すことにより、チップ6のピックアップが完了する。
【0021】
このようにして、1つのシート1から全てのチップ6がピックアップされた後には、シート1はウェハリング2とともに回収され、再び後続して実行されるシート貼付け工程において再使用される。すなわち、上述の部品取り出し工程においてチップ6からシート1を剥離する際には、単にシート1の下面を吸着するのみで、従来の剥離動作において行われていたエジェクタピンによる突き上げを必要としないため、シート1にはダメージが発生せず、再使用が可能となっている。
【0022】
【発明の効果】
本発明によれば、半導体ウェハを界面力を有するシートに貼付けて界面力によって保持させ、この半導体ウェハの分割線に沿ってレーザ光を照射してこの分割線近傍に周囲よりも機械的強度が弱い脆弱部を形成し、この後シートを引き延ばすして半導体ウェハを脆弱部に沿って個片の電子部品に分割するようにしたので、割れや欠けなどのない安定した品質の電子部品を効率よく生産することができるとともにシートを繰り返し再利用することができ、薄型ウェハにも適応可能で且つ経済性に優れた電子部品製造方法を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態の電子部品製造方法の工程説明図
【図2】本発明の一実施の形態の電子部品製造方法の工程説明図
【図3】本発明の一実施の形態の電子部品の保持治具の斜視図
【図4】本発明の一実施の形態の電子部品供給装置の部分斜視図
【図5】本発明の一実施の形態の電子部品供給装置のシート剥離治具の斜視図
【図6】本発明の一実施の形態の電子部品供給方法におけるシート剥離動作の説明図
【符号の説明】
1 シート
2 ウェハリング
3 半導体ウェハ
3a 改質領域
4 レーザ照射装置
5 分割線
6 半導体チップ(チップ)
Claims (3)
- 複数の電子部品が作り込まれた半導体ウェハを分割することにより個片の電子部品を製造する電子部品製造方法であって、界面力を有するシートに前記半導体ウェハを貼付けて前記界面力によって保持させるウェハ保持工程と、前記シートに保持された半導体ウェハの分割線に沿ってレーザ光を照射することにより前記分割線近傍に周囲よりも機械的強度が弱い脆弱部を形成する脆弱部形成工程と、この脆弱部形成工程後の前記シートを引き延ばすことにより前記半導体ウェハを前記脆弱部に沿って個片の電子部品に分割するウェハ分割工程と、前記分割された電子部品を個片ごとに前記シートから取り出す部品取り出し工程とを含むことを特徴とする電子部品製造方法。
- 複数の電子部品が作り込まれた半導体ウェハを分割した個片の電子部品をピックアップ用シートに貼付けて集合させた電子部品の集合体の製造方法であって、界面力を有するシートに前記半導体ウェハを貼付けて前記界面力によって保持させるウェハ保持工程と、前記シートに保持された半導体ウェハの分割線に沿ってレーザ光を照射することにより前記分割線近傍に周囲よりも機械的強度が弱い脆弱部を形成する脆弱部形成工程と、この脆弱部形成工程後の前記シートを引き延ばすことにより前記半導体ウェハを前記脆弱部に沿って個片の電子部品に分割するウェハ分割工程とを含むことを特徴とする電子部品の集合体の製造方法。
- 複数の電子部品が作り込まれた未分割の半導体ウェハを保持体に保持されたシートに界面力により貼付けて成る電子部品の集合体であって、前記半導体ウェハには、半導体ウェハを個片に分割するための分割線に沿ってレーザ光を照射することによりこの分割線近傍に周囲よりも機械的強度が弱い脆弱部が形成されていることを特徴とする電子部品の集合体。
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JP2003118275A JP2004327587A (ja) | 2003-04-23 | 2003-04-23 | 電子部品製造方法および電子部品の集合体の製造方法ならびに電子部品の集合体 |
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009022495A1 (ja) * | 2007-08-14 | 2009-02-19 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | ウェーハ用テーブル、表面保護フィルム剥離装置および表面保護フィルム剥離方法 |
US8182632B2 (en) | 2007-08-14 | 2012-05-22 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Wafer table, surface protective film peeling apparatus and surface protective film peeling method |
JP2013105823A (ja) * | 2011-11-11 | 2013-05-30 | Disco Abrasive Syst Ltd | 板状物の分割方法 |
JP2016525799A (ja) * | 2013-07-19 | 2016-08-25 | コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェKoninklijke Philips N.V. | 基板キャリアを有さず光学素子を有するpcled |
-
2003
- 2003-04-23 JP JP2003118275A patent/JP2004327587A/ja active Pending
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WO2009022495A1 (ja) * | 2007-08-14 | 2009-02-19 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | ウェーハ用テーブル、表面保護フィルム剥離装置および表面保護フィルム剥離方法 |
US8182632B2 (en) | 2007-08-14 | 2012-05-22 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Wafer table, surface protective film peeling apparatus and surface protective film peeling method |
JP2013105823A (ja) * | 2011-11-11 | 2013-05-30 | Disco Abrasive Syst Ltd | 板状物の分割方法 |
JP2016525799A (ja) * | 2013-07-19 | 2016-08-25 | コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェKoninklijke Philips N.V. | 基板キャリアを有さず光学素子を有するpcled |
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