JP7033310B2 - 端材除去機構並びに端材除去方法 - Google Patents

端材除去機構並びに端材除去方法 Download PDF

Info

Publication number
JP7033310B2
JP7033310B2 JP2018086932A JP2018086932A JP7033310B2 JP 7033310 B2 JP7033310 B2 JP 7033310B2 JP 2018086932 A JP2018086932 A JP 2018086932A JP 2018086932 A JP2018086932 A JP 2018086932A JP 7033310 B2 JP7033310 B2 JP 7033310B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
scrap
pulley
tape
scraps
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2018086932A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2019188571A (ja
Inventor
仁孝 西尾
生芳 高松
勉 上野
敏行 酒井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd
Original Assignee
Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd filed Critical Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd
Priority to JP2018086932A priority Critical patent/JP7033310B2/ja
Priority to TW108108194A priority patent/TWI794443B/zh
Priority to KR1020190036689A priority patent/KR102663971B1/ko
Priority to CN201910265593.7A priority patent/CN110406241B/zh
Publication of JP2019188571A publication Critical patent/JP2019188571A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7033310B2 publication Critical patent/JP7033310B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67132Apparatus for placing on an insulating substrate, e.g. tape
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B38/00Ancillary operations in connection with laminating processes
    • B32B38/10Removing layers, or parts of layers, mechanically or chemically
    • B32B38/105Removing layers, or parts of layers, mechanically or chemically on edges
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67017Apparatus for fluid treatment
    • H01L21/67028Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706Mechanical details, e.g. roller, belt

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
  • Folding Of Thin Sheet-Like Materials, Special Discharging Devices, And Others (AREA)
  • Perforating, Stamping-Out Or Severing By Means Other Than Cutting (AREA)
  • Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Description

本発明は、複数の基板を積層させたマザー基板を複数の単位基板に分断するとともに、単位基板の周辺に外部接続用の端子領域を形成するようにした基板加工装置において、端子領域を形成するために基板の周辺部でスクライブライン(スクライブ溝)により区分けされた端材を除去する端材除去機構並びに端材除去方法に関する。
特に本発明は、微細な電子回路を一面に形成したPI樹脂(ポリイミド)基板の表裏両面にPET樹脂(ポリエチレンテレフタレート)基板を貼り合わせたPET-PI-PET積層マザー基板を複数の単位基板に分断するとともに、単位基板の周辺に外部接続用の端子領域を形成するようにした基板加工装置において、端子領域を形成するために基板の周辺部でスクライブライン(スクライブ溝)により区分けされた端材を除去する端材除去機構並びに端材除去方法に関する。
一般に、マザー基板から単位基板を切り出す工程では、カッターホイールやレーザ光を用いた分断方法が利用される。この場合、図6(a)に示すように、まず、マザー基板Wの分断予定位置にカッターホイールやレーザ光でY方向のスクライブライン(切り込み線)S1を刻み、次いでX方向のスクライブラインS2を刻む。この後、X方向のスクライブラインS2に沿って分断し、図6(b)に示すような短冊状基板W1を切り出し、次いでY方向のスクライブラインS1に沿って分断して単位基板W2を切り出す。
切り出された単位基板W2は、PI基板の電子回路を外部機器に接続するために、PI基板の一端部分を端子領域として露出させる必要がある。そのため、マザー基板WにX方向のスクライブラインを刻む際に、PET基板に端子領域形成用のスクライブラインS3をX方向に沿って加工しておき、短冊状基板W1に分断した後、あるいは単位基板W2に分断した後、図7に示すように、スクライブラインS3によって区分けされた部分を端材Eとして除去してPI基板の端子領域Tを露出させている(なお、図7ではPI基板の裏面側のPET基板を省略してある)。
端材Eを除去する手段として、従来は、例えば特許文献1や2に示すようなロボットアームを用いたものや、特許文献3に示すようなエアによる吸引パッドを用いたものが知られている。
特開2014-214054号公報 特開2016-095179号公報 国際公開WO2002/057192号公報
しかし、上記のロボットアームや吸引パッドを用いた手段では、その機構や構成が複雑であってコスト高になるとともに、端材除去に要する時間も多くなって作業効率が悪いといった課題があった。そこで、粘着テープをローラで端材表面に押し付けて端材をピーリング(引き剥がし)しながら巻き取っていくといった手段もあるが、この方法では、端材を剥ぎ取る際に基板の本体側も引きずられて持ち上がることがあり、連続したピーリング作業に支障が生じるとともに、基板が引きずられて上方に折れ曲がることにより微細な電子回路部分に損傷が生じるといった大きな問題点がある。
本発明は、このような従来課題の解決を図り、粘着テープを利用した簡単な機構でありながら、確実に端材部分のみを剥ぎ取ることのできる端材除去機構並びに端材除去方法を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために本発明では次のような技術的手段を講じた。すなわち、本発明では、基板に形成された端子露出用の端材部分を剥ぎ取る端材除去機構であって、テープ供給プーリからテープ巻き取りプーリに送られる粘着テープの中間部分を端材の表面に押し付けながら移動して、前記端材を前記粘着テープに接着させて剥ぎ取るピーリングローラと、前記ピーリングローラに隣接して平行に配置され、前記基板の本体側の表面を押し付けながら移動する押さえベルトと、前記ピーリングローラ並びに前記押さえベルトを保持する走行体とからなり、前記押さえベルトは、進行方向に沿って延長して形成されている構成とした。
また本発明は、基板に形成された端子露出用の端材部分を剥ぎ取る端材除去方法であって、テープ供給プーリからテープ巻き取りプーリに送られる粘着テープの中間部分を、走行体に取り付けたピーリングローラで端材の表面に押し付けながら移動させて前記端材を前記粘着テープで剥ぎ取りながら、前記端材に隣接する前記基板の本体側の表面を前記走行体に取り付けた押さえベルトで押さえながら移動して前記端材を除去するようにした端材除去方法も特徴とする。
本発明は上記の構成としたので、端材をピーリングローラで剥ぎ取る際に、端材に隣接する基板本体側が押さえベルトによって押さえられているので、端材とともに引きずられたり、浮き上がったりすることを阻止することができ、これにより基板本体を傷付けることなく端材のみを確実に除去することができる。
また、押さえベルトが進行方向に沿って延長して形成されているので、端材が剥ぎ取られる間、押さえベルトの長さの範囲内で基板本体を押さえ続けることができ、これにより基板本体が端材と一緒に引きずられることをより確実に防止することができるといった効果がある。
本発明において、前記押さえベルトが断面円形の紐ベルトで形成され、かつ、スプリングを介して弾力的に押し付け方向に付勢されている構成とするのがよい。
これにより、押さえベルトの弾性押圧力が基板本体に対して線接触で集中荷重させることができ、軽い力で効果的に押さえることができる。
また、本発明において、前記テープ供給プーリ並びに前記テープ巻き取りプーリが前記走行体に取り付けられている構成とするのがよい。
これにより、粘着テープの供給機能並びに巻き取り機能を併せ持った端材除去機能を1つのユニットとしてコンパクトに形成することができるとともに、基板加工装置への組み込みも簡単に行うことができる。
本発明の端材除去機構を示す側面図。 図1に示す端材除去機構の要部の斜視図。 図1に示す端材除去機構の要部の側面図。 図1に示す端材除去機構の動作状態を示す一部断面正面図。 図1に示す端材除去機構における押さえベルト部分の説明図。 基板の分断工程を説明するための説明図。 端材を除去して端子領域を露出させる工程を説明するための断面図。
以下において、本発明に係る端材除去機構の詳細を図1~5で示した実施例に基づき説明する。
本発明の端材除去機構は、走行体1を有し、この走行体1に、粘着テープMを繰り出すテープ供給プーリ2と、繰り出されたテープMを巻き取るテープ巻き取りプーリ3が取り付けられている。テープ巻き取りプーリ3はサーボモータ(図示外)により駆動するようにしてある。
また、走行体1の下端には、テープ供給プーリ2からテープ巻き取りプーリ3に送られる粘着テープMの中間部分の接着面を、基板W1、W2に形成された端材Eの表面に押し付けながら移動して端材Eを粘着テープMに接着させて剥ぎ取るピーリングローラ4と、このピーリングローラ4と平行に隣接して基板W1、W2本体側の表面を押し付けながら移動する押さえベルト5が設けられている。
ピーリングローラ4は、支持プレート6に回動自在に保持され、支持プレート6は、走行体1に上下位置調整可能に取り付けられている。
押さえベルト5は、ホルダ7に保持され、ホルダ7は、スプリング8によって枢軸9aを支点として図3の反時計方向に弾性力が付勢されたアーム9の先端に保持されており、枢軸9aは支持プレート6に固定されている。これにより、押さえベルト5が常時下方に向かって弾力的に押し付けられている。
また、押さえベルト5は、断面円形の紐ベルトで形成されており、かつ、ベルトの進行方向に沿って長く延長して形成されている。図5に示すように、その長さL2は、単位基板W2から剥ぎ取られる個々の端材Eのベルト進行方向に沿った長さL1と略同じ寸法で形成するのが好ましい。
なお、粘着テープMは、テープ供給プーリ2からピーリングローラ4を経てテープ巻き取りプーリ3に至るまでの間で、複数の緊張ローラ10a、10b、10c、10d、10e、10f、10g、10hにより緊張状態が保持されている。
上記の端材除去機構の走行体1は、マザー基板Wを複数の単位基板W2に分断するとともに外部接続用の端子領域T(図7参照)を加工する基板加工装置に取り付けて使用される。基板加工装置への組み付け手段は限定されないが、例えば図1に示すように、基板加工装置の吸着テーブル11の上方に配置されたビーム(横梁)12のガイド13に移動可能に取り付け、駆動機構(図示外)によりガイド13に沿って移動できるように形成するのがよい。
次に、上記の端材除去機構を用いた本発明の端材除去方法について説明する。
まず、吸着テーブル11上に、端材Eが上向きになるようにして短冊状基板W1を載置する。この際、スクライブラインS3(図6参照)の向きを走行体1の走行方向と一致させるようにする。そして、図4、5に示すように、端材E上にピーリングローラ4が位置し、短冊状基板W1の本体側上面に押さえベルト5が位置するようにして、粘着テープMをピーリングローラ4に供給しながら走行体1を走行させる。これにより、短冊状基板W1の端材Eを粘着テープMで順次剥ぎ取ってテープ巻き取りプーリ3に巻き取ることができる。
この際、短冊状基板W1の本体側は押さえベルト5によって弾力的に押し付けられているので、端材Eが剥ぎ取られる際に短冊状基板W1本体が引きずられて持ち上がることはない。また、押さえベルト5が進行方向に沿って延長して形成されているので、端材Eが剥ぎ取られる間、押さえベルト5の長さL2の範囲内で短冊状基板W1本体を押さえ続けることができ、これにより基板本体側が端材と一緒に引きずられることをより確実に防止することができる。
さらに、押さえベルト5を断面円形の紐ベルトで形成したので、押さえベルト5の基板本体側への弾性押圧力を線接触で集中荷重させることができ、軽い力で効果的に押さえることができる。
また、本実施例では、テープ供給プーリ2並びにテープ巻き取りプーリ3の両方を、走行体1に取り付けて粘着テープMの供給機能並びに巻き取り機能を併せ持った構成としたので、端材除去機構をコンパクトに形成することができるとともに、基板加工装置への組み込みも容易に行うことができる。
以上本発明の代表的な実施例について説明したが、本発明は必ずしも上記の実施形態に特定されるものではない。例えば、テープ供給プーリ2並びにテープ巻き取りプーリ3のいずれか一方、またはその両方を走行体1とは別の部材、例えば基板加工装置に形成した支持部材に取り付けて形成することも可能である。また、押さえベルト5も、紐ベルトに代えて平ベルトとしてもよい。その他本発明では、その目的を達成し、請求の範囲を逸脱しない範囲内で適宜修正、変更することが可能である。
本発明は、複数の基板を積層させたマザー基板を複数の単位基板に分断するとともに、単位基板の周辺に外部接続用の端子領域を加工する基板加工装置に利用することができる。
E 端材
M 粘着テープ
W マザー基板
W1 短冊状基板
W2 単位基板
1 走行体
2 テープ供給プーリ
3 テープ巻き取りプーリ
4 ピーリングローラ
5 押さえベルト
8 スプリング

Claims (4)

  1. 基板に形成された端子露出用の端材部分を剥ぎ取る端材除去機構であって、
    テープ供給プーリからテープ巻き取りプーリに送られる粘着テープの中間部分を端材の表面に押し付けながら移動して、前記端材を前記粘着テープに接着させて剥ぎ取るピーリングローラと、
    前記ピーリングローラに隣接して平行に配置され、前記基板の本体側の表面を押し付けながら移動する押さえベルトと、
    前記ピーリングローラ並びに前記押さえベルトを保持する走行体とからなり、
    前記押さえベルトは、進行方向に沿って延長して形成されている端材除去機構。
  2. 前記押さえベルトが断面円形の紐ベルトで形成され、かつ、スプリングを介して弾力的に押し付け方向に付勢されている請求項1に記載の端材除去機構。
  3. 前記テープ供給プーリ並びに前記テープ巻き取りプーリが前記走行体に取り付けられている請求項1または2に記載の端材除去機構。
  4. 基板に形成された端子露出用の端材部分を剥ぎ取る端材除去方法であって、
    テープ供給プーリからテープ巻き取りプーリに送られる粘着テープの中間部分を、走行体に取り付けたピーリングローラで端材の表面に押し付けながら移動させて前記端材を前記粘着テープで剥ぎ取りながら、前記端材に隣接する前記基板の本体側の表面を前記走行体に取り付けた押さえベルトで押さえながら移動して前記端材を除去するようにした端材除去方法。
JP2018086932A 2018-04-27 2018-04-27 端材除去機構並びに端材除去方法 Active JP7033310B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018086932A JP7033310B2 (ja) 2018-04-27 2018-04-27 端材除去機構並びに端材除去方法
TW108108194A TWI794443B (zh) 2018-04-27 2019-03-12 邊材除去機構以及邊材除去方法
KR1020190036689A KR102663971B1 (ko) 2018-04-27 2019-03-29 단재 제거 기구 그리고 단재 제거 방법
CN201910265593.7A CN110406241B (zh) 2018-04-27 2019-04-03 边料除去机构以及边料除去方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018086932A JP7033310B2 (ja) 2018-04-27 2018-04-27 端材除去機構並びに端材除去方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2019188571A JP2019188571A (ja) 2019-10-31
JP7033310B2 true JP7033310B2 (ja) 2022-03-10

Family

ID=68357587

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2018086932A Active JP7033310B2 (ja) 2018-04-27 2018-04-27 端材除去機構並びに端材除去方法

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP7033310B2 (ja)
KR (1) KR102663971B1 (ja)
CN (1) CN110406241B (ja)
TW (1) TWI794443B (ja)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006227105A (ja) 2005-02-15 2006-08-31 St Lcd Kk 表示パネルの不要部除去方法及び不要部除去装置
JP5111900B2 (ja) 2006-03-13 2013-01-09 三星電子株式会社 ポイント補間によるレンダリング方法及び装置
JP2014214054A (ja) 2013-04-25 2014-11-17 三星ダイヤモンド工業株式会社 貼り合わせ基板の加工装置
JP2014214055A (ja) 2013-04-25 2014-11-17 三星ダイヤモンド工業株式会社 基板加工システムおよび基板加工方法

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3151630B2 (ja) * 1991-10-22 2001-04-03 ローム株式会社 基板の分割装置
JPH10296700A (ja) * 1997-04-22 1998-11-10 Rohm Co Ltd セラミックス基板のブレーク装置
CN1486285B (zh) 2001-01-17 2013-01-16 三星宝石工业株式会社 划线分断设备及其系统
JP4494753B2 (ja) * 2003-10-27 2010-06-30 リンテック株式会社 シート剥離装置及び剥離方法
JP4906518B2 (ja) * 2007-01-15 2012-03-28 日東電工株式会社 粘着テープ貼付け方法およびこれを用いた粘着テープ貼付け装置
US9434644B2 (en) * 2010-09-30 2016-09-06 Avanstrate Inc. Cover glass and method for producing cover glass
KR20140011217A (ko) * 2012-07-18 2014-01-28 삼성디스플레이 주식회사 필름 박리 장치
CN102894063A (zh) * 2012-10-24 2013-01-30 湛江市正大食品机械有限公司 全自动剥鱼皮机
JP6047439B2 (ja) * 2013-03-26 2016-12-21 株式会社Screenホールディングス 剥離装置および剥離方法
JP2016095179A (ja) 2014-11-13 2016-05-26 三星ダイヤモンド工業株式会社 検査装置
CN205240901U (zh) * 2015-11-12 2016-05-18 微科智能自动化(深圳)有限公司 一种手机辅料自动剥离装置
CN205283945U (zh) * 2015-12-01 2016-06-01 阳程科技股份有限公司 撕膜装置
JP2017177452A (ja) * 2016-03-29 2017-10-05 三星ダイヤモンド工業株式会社 端材除去装置及び端材除去方法
CN205736327U (zh) * 2016-05-30 2016-11-30 东莞市沃德精密机械有限公司 自动剥料装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006227105A (ja) 2005-02-15 2006-08-31 St Lcd Kk 表示パネルの不要部除去方法及び不要部除去装置
JP5111900B2 (ja) 2006-03-13 2013-01-09 三星電子株式会社 ポイント補間によるレンダリング方法及び装置
JP2014214054A (ja) 2013-04-25 2014-11-17 三星ダイヤモンド工業株式会社 貼り合わせ基板の加工装置
JP2014214055A (ja) 2013-04-25 2014-11-17 三星ダイヤモンド工業株式会社 基板加工システムおよび基板加工方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN110406241A (zh) 2019-11-05
CN110406241B (zh) 2022-09-09
KR102663971B1 (ko) 2024-05-07
KR20190125167A (ko) 2019-11-06
TW201945305A (zh) 2019-12-01
JP2019188571A (ja) 2019-10-31
TWI794443B (zh) 2023-03-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5623791B2 (ja) サファイア基板の加工方法
JP6007253B2 (ja) 部品供給装置及び電子部品装着装置
JP2007305790A (ja) 粘着性テープの貼着装置
TW201738164A (zh) 基板轉印方法及基板轉印裝置
JP2007294826A (ja) 部品の熱圧着装置及び熱圧着方法
JP7033310B2 (ja) 端材除去機構並びに端材除去方法
KR101148766B1 (ko) 필름제거 장치
JP4116509B2 (ja) テープ部材の貼着装置
JP5071412B2 (ja) マスキングテープ貼付製造装置およびマスキングテープの貼付方法
JP4818008B2 (ja) 異方導電性テープの貼着装置および電気機器の製造方法
JP2008303028A (ja) 粘着テープの貼着装置及び貼着方法
KR101663006B1 (ko) Acf 본딩 장치의 acf 리젝트 장치
JP4134850B2 (ja) 樹脂テープ貼付方法
JP2008004884A (ja) 粘着性テープの貼着装置及び貼着方法
JP2007047286A (ja) 異方導電膜貼付装置及び方法
JP5339981B2 (ja) 粘着テープの貼着装置及び貼着方法
JP2011048062A (ja) 粘着テープの貼着装置及び貼着方法
JP5623798B2 (ja) サファイア基板の加工方法
JP6818576B2 (ja) シート貼付装置および貼付方法
JP2005246843A (ja) 基板へのフィルム貼付装置
JP2006168929A (ja) 剥離装置及び粘着テープの貼着装置
JP2006167554A (ja) 基板の清掃装置及び清掃方法
JP4031661B2 (ja) 接続部材貼付装置
JP2012069862A (ja) 異方性導電膜貼付装置
JP4405877B2 (ja) 部品供給装置及び収納テープ

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20210318

TRDD Decision of grant or rejection written
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20220127

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20220201

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20220218

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7033310

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150