JP2017177452A - 端材除去装置及び端材除去方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】製品に損傷を与えることなく、製品を基板から切り出す。【解決手段】端材除去装置1は、スクライブラインSが形成された基板Mから端材Maを分割除去することで製品Pを切り出す装置である。端材除去装置1は、チャック部材13と、外方移動部23とを備えている。チャック部材13は、端材Maを把持する。外方移動部23は、端材Maを把持したチャック部材13を外方に移動させながら傾けることで、端材Maを製品Pから切り離す。【選択図】図7
Description
本発明は、端材除去装置及び端材除去方法に関し、特に、基板から端材を分割除去することで製品を切り出す端材除去装置及び端材除去方法に関する。
従来、脆性材料基板から製品を切り出す際、不要な部分である端材を基板から除去する装置が知られている(例えば、特許文献1を参照)。
上記の装置では、最初に基板にスクライブラインを形成し、その後スクライブラインに沿って基板に曲げモーメントを加えてブレイクする。スクライブラインが全て直線からなる場合には、当該直線形状の押さえ部材が用いられる。一方、スクライブラインが異型の場合には、当該異型の押さえ部材が用いられる。
上記の装置では、最初に基板にスクライブラインを形成し、その後スクライブラインに沿って基板に曲げモーメントを加えてブレイクする。スクライブラインが全て直線からなる場合には、当該直線形状の押さえ部材が用いられる。一方、スクライブラインが異型の場合には、当該異型の押さえ部材が用いられる。
スクライブラインが直線の場合は、曲げモーメントをスクライブラインに均等に加えることは、比較的容易である。
しかし、取り出すべき製品が異型の場合には、当該形状を有する押圧部材を用意したとしても、スクライブラインに曲げモーメントを均等に加えることが難しい。したがって、スクライブラインの分割精度が低下して、そのため製品の分割面に破損が生じることがあった。
なお、異型とは、縁形状が少なくとも部分的に直線以外の形状(例えば、曲線、複雑な折れ曲がり部)を含んだ形状をいう。
しかし、取り出すべき製品が異型の場合には、当該形状を有する押圧部材を用意したとしても、スクライブラインに曲げモーメントを均等に加えることが難しい。したがって、スクライブラインの分割精度が低下して、そのため製品の分割面に破損が生じることがあった。
なお、異型とは、縁形状が少なくとも部分的に直線以外の形状(例えば、曲線、複雑な折れ曲がり部)を含んだ形状をいう。
本発明の目的は、製品に損傷を与えることなく、基板から製品を切り出すことにある。
本発明の一見地に係る端材除去装置は、スクライブラインが形成された基板から端材を分割除去することで製品を切り出す装置である。端材除去装置は、把持部と、外方移動部とを備えている。なお、製品とは、基板において、端材が切り離された後に残る部分を意味する。
把持部は、端材を把持する。
外方移動部は、端材を把持した把持部を外方に移動させながら傾けることで、端材を製品から切り離す。
この装置では、外方移動部が把持部を外方に移動させながら傾けることで、それによって製品と端材との間の亀裂が進展し、亀裂進展が完了した瞬間に端材が製品から引き剥がされる。この場合、曲げモーメントが従来に比べてより均等にスクライブラインに加わるので、その結果、製品に損傷が生じにくい。
把持部は、端材を把持する。
外方移動部は、端材を把持した把持部を外方に移動させながら傾けることで、端材を製品から切り離す。
この装置では、外方移動部が把持部を外方に移動させながら傾けることで、それによって製品と端材との間の亀裂が進展し、亀裂進展が完了した瞬間に端材が製品から引き剥がされる。この場合、曲げモーメントが従来に比べてより均等にスクライブラインに加わるので、その結果、製品に損傷が生じにくい。
端材除去装置は、製品を吸着固定する吸着台をさらに備えていてもよい。
吸着台は、製品の輪郭に対応した輪郭を有していてもよい。
本発明の他の見地に係る端材除去方法は、スクライブラインが形成された基板から端材を分割除去することで製品を切り出す方法である。端材除去方法は、下記のステップを備えている。
◎端材を把持するステップ
◎端材を把持した状態で当該端材を外方へ引っ張るステップ
◎端材を引っ張った状態で傾けるステップ
この方法では、端材を外方に引っ張った状態で傾けることで、それにより製品と端材との間の亀裂が進展し、亀裂進展が完了した瞬間に端材が製品から引き剥がされる。この場合、従曲げモーメントが来に比べてより均等にスクライブラインに加わるので、製品に損傷が生じにくい。
◎端材を把持するステップ
◎端材を把持した状態で当該端材を外方へ引っ張るステップ
◎端材を引っ張った状態で傾けるステップ
この方法では、端材を外方に引っ張った状態で傾けることで、それにより製品と端材との間の亀裂が進展し、亀裂進展が完了した瞬間に端材が製品から引き剥がされる。この場合、従曲げモーメントが来に比べてより均等にスクライブラインに加わるので、製品に損傷が生じにくい。
端材除去方法は、基板の製品を吸着固定するステップをさらに備えていてもよい。
製品を吸着固定するステップでは、製品の輪郭に対応した輪郭を有する吸着台によって、製品を吸着固定してもよい。
端材除去方法は、端材を複数に分割するための補助スクライブラインを形成するステップをさらに備えていてもよい。
本発明に係る端材除去装置及び端材除去方法では、製品に損傷を与えることなく、基板から製品を切り出すことができる。
1.第1実施形態
(1)端材除去装置の構成
図1を用いて、端材除去装置1を説明する。図1は、本発明の一実施形態に係る端材除去装置の正面図であり、端材分離除去方法の第1段階を示す正面図である。図1では、左右方向をX方向として、紙面直交方向をY方向とする。
端材除去装置1は、スクライブラインが形成された基板から端材を分割除去することで製品を切り出す装置である。
(1)端材除去装置の構成
図1を用いて、端材除去装置1を説明する。図1は、本発明の一実施形態に係る端材除去装置の正面図であり、端材分離除去方法の第1段階を示す正面図である。図1では、左右方向をX方向として、紙面直交方向をY方向とする。
端材除去装置1は、スクライブラインが形成された基板から端材を分割除去することで製品を切り出す装置である。
端材除去装置1は、保持テーブル3(吸着台の一例)を有している。保持テーブル3は、水平な吸着面3aを有しており、そこには加工対象となるマザー基板Mが載置される。保持テーブル3の吸着面3aには、マザー基板Mを安定保持する多数のエア吸着孔(図示せず)が設けられている。
保持テーブル3は、特に、マザー基板Mの製品Pの部分を吸着固定する吸着台である。保持テーブル3は、製品の輪郭に対応した輪郭を有する。
本実施形態では、マザー基板Mは、2枚の基板M1,M2からなる合わせガラスである。基板M1及び基板M2には、スクライブ装置(図示せず)の上下のカッターホイールによってスクライブラインSが形成されている。
保持テーブル3は、特に、マザー基板Mの製品Pの部分を吸着固定する吸着台である。保持テーブル3は、製品の輪郭に対応した輪郭を有する。
本実施形態では、マザー基板Mは、2枚の基板M1,M2からなる合わせガラスである。基板M1及び基板M2には、スクライブ装置(図示せず)の上下のカッターホイールによってスクライブラインSが形成されている。
端材除去装置1は、チャック機構11を有している。チャック機構11は、保持テーブル3の吸着面3aからはみ出したマザー基板Mの一端を掴むように把持する装置である。
チャック機構11は、チャック部材13(把持部の一例)を有している。チャック部材13は、開閉自在に構成されており、保持テーブル3の上面からはみ出したマザー基板Mの端材Maを掴むように把持する。
チャック機構11は、チャック部材13を駆動するための把持動作機構15(図2)を有している。把持動作機構15は、例えば、圧力シリンダを有している。
チャック機構11は、チャック部材13(把持部の一例)を有している。チャック部材13は、開閉自在に構成されており、保持テーブル3の上面からはみ出したマザー基板Mの端材Maを掴むように把持する。
チャック機構11は、チャック部材13を駆動するための把持動作機構15(図2)を有している。把持動作機構15は、例えば、圧力シリンダを有している。
端材除去装置1は、回動機構17を有している。回動機構17は、チャック部材13がY方向に延びる軸を支点として所定角度だけ回動できるように、チャック部材13を保持している。回動機構17は、例えば、回転モータを有している。
端材除去装置1は、昇降機構19を有している。昇降機構19は、チャック部材13及び回動機構17を昇降させるための装置である。昇降機構19は、例えば、圧力シリンダを有している。
端材除去装置1は、昇降機構19を有している。昇降機構19は、チャック部材13及び回動機構17を昇降させるための装置である。昇降機構19は、例えば、圧力シリンダを有している。
端材除去装置1は、水平方向駆動機構21を有している。水平方向駆動機構21は、昇降機構19を水平方向に移動するための装置である。水平方向駆動機構21は、例えば、圧力シリンダを有している。
上述した回動機構17、昇降機構19及び水平方向駆動機構21は、端材Maを把持したチャック部材13を外方に移動させながら傾けることで、端材Maを製品Pから切り離す外方移動部23を構成している。外方移動部23がチャック部材13を外方に移動させながら傾けることで、それによって製品Pと端材Maとの間の亀裂が進展し、亀裂進展が完了した瞬間に端材Maが製品Pから引き剥がされる。この場合、曲げモーメントが従来に比べてより均等にスクライブラインに加わるので、製品に損傷が生じにくい。
上述した回動機構17、昇降機構19及び水平方向駆動機構21は、端材Maを把持したチャック部材13を外方に移動させながら傾けることで、端材Maを製品Pから切り離す外方移動部23を構成している。外方移動部23がチャック部材13を外方に移動させながら傾けることで、それによって製品Pと端材Maとの間の亀裂が進展し、亀裂進展が完了した瞬間に端材Maが製品Pから引き剥がされる。この場合、曲げモーメントが従来に比べてより均等にスクライブラインに加わるので、製品に損傷が生じにくい。
図2を用いて、端材除去装置1の制御構成を説明する。図2は、端材除去装置の制御構成を示すブロック図である。端材除去装置1は、制御部31を有している。制御部31は、CPU、RAM、ROMを有するコンピュータから構成されている。制御部31は、記憶部に保存されたプログラムを実行することで、各種制御動作を行う。
この実施形態では、制御部31は、把持動作機構15、回動機構17、昇降機構19、水平方向駆動機構21を制御できる。
この実施形態では、制御部31は、把持動作機構15、回動機構17、昇降機構19、水平方向駆動機構21を制御できる。
制御部31には、図示しないが、各種センサ及び入力スイッチが接続されている。
なお、制御部31は、単一のプロセッサで構成されていてもよいが、各制御のために独立した複数のプロセッサから構成されていてもよい。
なお、制御部31は、単一のプロセッサで構成されていてもよいが、各制御のために独立した複数のプロセッサから構成されていてもよい。
(2)端材除去装置の動作
次に、図3〜図8を用いて、端材の除去方法を説明する。図3は、端材除去装置の制御動作を示すフローチャートである。図4及び図5は、端材分離除去方法の各段階を示す正面図である。図6〜図8は、端材分離除去方法の各段階を示す模式的正面図である。
以下に説明する制御動作では、各ステップは必要に応じて省略及び入れ替え可能である。また、複数のステップが同時に実行されたり、一部又は全てが重なって実行されたりしてもよい。
以下の制御動作は、制御部31が把持動作機構15、回動機構17、昇降機構19及び水平方向駆動機構21に制御信号を送信することで実行される。
次に、図3〜図8を用いて、端材の除去方法を説明する。図3は、端材除去装置の制御動作を示すフローチャートである。図4及び図5は、端材分離除去方法の各段階を示す正面図である。図6〜図8は、端材分離除去方法の各段階を示す模式的正面図である。
以下に説明する制御動作では、各ステップは必要に応じて省略及び入れ替え可能である。また、複数のステップが同時に実行されたり、一部又は全てが重なって実行されたりしてもよい。
以下の制御動作は、制御部31が把持動作機構15、回動機構17、昇降機構19及び水平方向駆動機構21に制御信号を送信することで実行される。
マザー基板Mは、保持テーブル3の端縁部分から端材相当部分が突き出た状態で載置される。
図3のステップS1では、図1に示すように、チャック部材13をマザー基板Mに向かって移動させてマザー基板Mの端縁を把持させる(端材を把持するステップの一例)。
図3のステップS1では、図1に示すように、チャック部材13をマザー基板Mに向かって移動させてマザー基板Mの端縁を把持させる(端材を把持するステップの一例)。
ステップS2では、図6に示すように、端材Maを掴んだ状態でチャック部材13を水平方向に移動させる動作を開始する。具体的には、水平方向駆動機構21がチャック部材13を水平方向に移動して張力を作用させる(端材を把持した状態で当該端材を外方へ引っ張るステップの一例)
ステップS3では、図4及び図7に示すように、チャック部材13を斜め下方に傾斜するように回動させる(端材を引っ張った状態で傾けるステップの一例)動作が開始されるつまり、端材Maには、水平方向の力と斜め下方への力が作用する。具体的には、水平方向駆動機構21がチャック部材13を水平方向に移動する状態を維持しつつ、昇降機構19がチャック部材13を回動させ、さらには昇降機構19がチャック部材13を下方に移動させる。
ステップS3では、図4及び図7に示すように、チャック部材13を斜め下方に傾斜するように回動させる(端材を引っ張った状態で傾けるステップの一例)動作が開始されるつまり、端材Maには、水平方向の力と斜め下方への力が作用する。具体的には、水平方向駆動機構21がチャック部材13を水平方向に移動する状態を維持しつつ、昇降機構19がチャック部材13を回動させ、さらには昇降機構19がチャック部材13を下方に移動させる。
ステップS4では、図5及び図8に示すように、端材Maがマザー基板Mから分離されるのを待つ。
ステップS5では、チャック部材13の下方移動及び回動を停止する。
ステップS6では、チャック部材13が端材Maを下方に放棄する。つまり、チャック部材13が斜め下方に傾斜するように回動して、端材Maを下方に放棄する。端材Maは に収容される。
ステップS7では、チャック部材13は初期位置に戻り、次回の端材分離除去のために待機する。
ステップS5では、チャック部材13の下方移動及び回動を停止する。
ステップS6では、チャック部材13が端材Maを下方に放棄する。つまり、チャック部材13が斜め下方に傾斜するように回動して、端材Maを下方に放棄する。端材Maは に収容される。
ステップS7では、チャック部材13は初期位置に戻り、次回の端材分離除去のために待機する。
(3)端材分離除去方法の第1例
図9及び図10を用いて、端材分離除去方法の第1例を説明する。図9及び図10は、端材分離除去方法の第1例を示す概略斜視図である。
図9に示すように、マザー基板Mは、製品Pと、第1端材Ma1と、第2端材Ma2と、第3端材Ma3と、を有している。製品Pと、第1端材Ma1、第2端材Ma2及び第3端材Ma3とは、スクライブラインSによって分割されている。
図9及び図10を用いて、端材分離除去方法の第1例を説明する。図9及び図10は、端材分離除去方法の第1例を示す概略斜視図である。
図9に示すように、マザー基板Mは、製品Pと、第1端材Ma1と、第2端材Ma2と、第3端材Ma3と、を有している。製品Pと、第1端材Ma1、第2端材Ma2及び第3端材Ma3とは、スクライブラインSによって分割されている。
図9に示すように、製品Pは曲線部を有する異型である。より詳細には、製品Pは、3辺の直線部と、その端部から斜めに延びる2辺の直線部と、それらを結ぶ半円形状部とを有している。したがって、スクライブラインSも異型になっている。
図9では、第1端材Ma1と、第2端材Ma2と、第3端材Ma3の各々をチャック部材13が保持している。第1端材Ma1と第2端材Ma2は、製品Pの半円形状部の中心の両側に配置されている。第3端材Ma3は、製品Pの半円形状部と反対側の直線部に配置されている。この状態で、全てのチャック部材13が前述の通りの動作を行うと、図10に示すように、端材の分離除去が行われる。なお、複数の端材の分離除去は全てを同時に行う必要はなく、一つずつ行ってもよい。
図9では、第1端材Ma1と、第2端材Ma2と、第3端材Ma3の各々をチャック部材13が保持している。第1端材Ma1と第2端材Ma2は、製品Pの半円形状部の中心の両側に配置されている。第3端材Ma3は、製品Pの半円形状部と反対側の直線部に配置されている。この状態で、全てのチャック部材13が前述の通りの動作を行うと、図10に示すように、端材の分離除去が行われる。なお、複数の端材の分離除去は全てを同時に行う必要はなく、一つずつ行ってもよい。
さらに、この実施形態では、保持テーブル3の輪郭形状がスクライブラインSに沿った(つまり、一致した)形状になっている。したがって、保持テーブル3の外縁にスクライブラインSが一致するようにマザー基板Mを載せて吸着した状態で端材の分離除去を実行すれば、スクライブラインSにおける亀裂分断が速やかに行われる。
さらにこの実施形態では、端材同士を複数に分割するための補助スクライブラインが形成されている。例えば、第1補助スクライブラインSa1、第2補助スクライブラインSa2、第3補助スクライブラインSa3である。第1補助スクライブラインSa1は、第1端材Ma1と第2端材Ma2との境界である。第2補助スクライブラインSa2は、第1端材Ma1と第3端材Ma3との境界である。第3補助スクライブラインSa3は、第2端材Ma2と第3端材Ma3との境界である。つまり、スクライブラインSを形成する工程では、補助スクライブラインも形成される。
さらにこの実施形態では、端材同士を複数に分割するための補助スクライブラインが形成されている。例えば、第1補助スクライブラインSa1、第2補助スクライブラインSa2、第3補助スクライブラインSa3である。第1補助スクライブラインSa1は、第1端材Ma1と第2端材Ma2との境界である。第2補助スクライブラインSa2は、第1端材Ma1と第3端材Ma3との境界である。第3補助スクライブラインSa3は、第2端材Ma2と第3端材Ma3との境界である。つまり、スクライブラインSを形成する工程では、補助スクライブラインも形成される。
(4)端材分離除去方法の第1例
図11〜図13を用いて、端材分離除去方法の第2例を説明する。図11〜図13は、端材分離除去方法の第2例を示す概略平面図である。
図11に示すように、マザー基板Mは、製品Pと、第1端材Mb1と、第2端材Mb2と、第3端材Mb3と、第4端材Mb4と、第5端材Mb5と、を有している。製品P及び各端材はスクライブラインSによって互いに分割されている。
図11〜図13を用いて、端材分離除去方法の第2例を説明する。図11〜図13は、端材分離除去方法の第2例を示す概略平面図である。
図11に示すように、マザー基板Mは、製品Pと、第1端材Mb1と、第2端材Mb2と、第3端材Mb3と、第4端材Mb4と、第5端材Mb5と、を有している。製品P及び各端材はスクライブラインSによって互いに分割されている。
図11に示すように、製品Pは曲線部を有する異型である。したがって、スクライブラインSも異型になっている。製品Pの形状は前記実施形態と同じである。
この実施形態では、第1例の第1端材Ma1が第1端材Mb1と第4端材Mb4に分割され、さらに、第1例の第2端材Ma2が第2端材Mb2と第5端材Mb5に分割されている。第1端材Mb1と第4端材Mb4との間には、直線状の第1補助スクライブラインSb1が形成されている。第2端材Mb2と第5端材Mb5との間には、直線状の第2補助スクライブラインSb2が形成されている。この場合は、最初に、図12に示すように、最初に第4端材Mb4及び第5端材Mb5が分割除去される。そして、次に、図13に示すように、第1端材Mb1と、第2端材Mb2と、第3端材Mb3とが分割除去される。
この実施形態では、第1例の第1端材Ma1が第1端材Mb1と第4端材Mb4に分割され、さらに、第1例の第2端材Ma2が第2端材Mb2と第5端材Mb5に分割されている。第1端材Mb1と第4端材Mb4との間には、直線状の第1補助スクライブラインSb1が形成されている。第2端材Mb2と第5端材Mb5との間には、直線状の第2補助スクライブラインSb2が形成されている。この場合は、最初に、図12に示すように、最初に第4端材Mb4及び第5端材Mb5が分割除去される。そして、次に、図13に示すように、第1端材Mb1と、第2端材Mb2と、第3端材Mb3とが分割除去される。
第2例では、端材がさらに細かく分割されているので、第1例に比べて、分割除去作業がスムーズに(つまり、損傷を生じさせる可能性が少なく)行われる。
図11では、各端材をチャック部材13が保持している。この状態で、全てのチャック部材13が前述の通りの動作を行うと、端材の分離除去が行われる。なお、複数の端材の分離除去は全てを同時に行う必要はなく、一つずつ行ってもよい。
図11では、各端材をチャック部材13が保持している。この状態で、全てのチャック部材13が前述の通りの動作を行うと、端材の分離除去が行われる。なお、複数の端材の分離除去は全てを同時に行う必要はなく、一つずつ行ってもよい。
さらに、この実施形態では、吸着台(図示せず)の輪郭形状がスクライブラインSに沿った(一致した)形状になっている。したがって、吸着台の外縁にスクライブラインSが一致するようにマザー基板Mを載せて吸着した状態で端材の分離除去を実行すれば、スクライブラインSにおける亀裂分断が速やかに行われる。
さらにこの実施形態では、端材同士を複数に分割するための補助スクライブラインが形成されている。例えば、第1補助スクライブラインSb1、第2補助スクライブラインSb2、第3補助スクライブラインSb3である。つまり、スクライブラインSを形成するときには、補助スクライブラインも形成される。
さらにこの実施形態では、端材同士を複数に分割するための補助スクライブラインが形成されている。例えば、第1補助スクライブラインSb1、第2補助スクライブラインSb2、第3補助スクライブラインSb3である。つまり、スクライブラインSを形成するときには、補助スクライブラインも形成される。
2.他の実施形態
以上、本発明の複数の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。特に、本明細書に書かれた複数の実施形態及び変形例は必要に応じて任意に組み合せ可能である。
以上、本発明の複数の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。特に、本明細書に書かれた複数の実施形態及び変形例は必要に応じて任意に組み合せ可能である。
(1)基板の変形例
2枚の脆性材料基板を貼り合せた貼り合せ脆性材料基板には、ガラス基板を貼り合わせた液晶パネル、プラズマディスプレイパネル、有機ELディスプレイパネル等のフラットディスプレイパネルと、シリコン基板、サファイヤ基板等をガラス基板に貼り合わせた半導体基板とが含まれる。
2枚の脆性材料基板を貼り合せた貼り合せ脆性材料基板には、ガラス基板を貼り合わせた液晶パネル、プラズマディスプレイパネル、有機ELディスプレイパネル等のフラットディスプレイパネルと、シリコン基板、サファイヤ基板等をガラス基板に貼り合わせた半導体基板とが含まれる。
基板の種類は特に限定されない。基板は、単板のガラス、半導体ウエハ、セラミック基板を含んでいる。
スクライブラインの形状は限定されない。前記実施形態では製品の形状は異型であったが、異型を含まない製品(直線からなる単純な形状、例えば、四角形)の切り出しにも本発明を適用できる。
スクライブラインの形状は限定されない。前記実施形態では製品の形状は異型であったが、異型を含まない製品(直線からなる単純な形状、例えば、四角形)の切り出しにも本発明を適用できる。
(2)端材除去装置の変形例
チャック部材を駆動するための駆動機構の構成は前記実施形態に限定されない。
チャック部材を駆動するための駆動機構の構成は前記実施形態に限定されない。
(3)端材除去方法の変形例
前記実施形態では、端材を引っ張った状態で傾けるステップの一例では、水平方向駆動機構21がチャック部材13を水平方向に移動するとともに、回動機構17がチャック部材13を回動させ、さらには昇降機構19がチャック部材13を下方に移動させていた。しかし、端材Maには水平方向の力と斜め下方への力が作用すればよいので、水平方向駆動機構21がチャック部材13を水平方向に移動するとともに、回動機構17がチャック部材13を回動させるだけでもよい。つまり、この場合は、昇降機構19がチャック部材13を下方に移動させない。
前記実施形態ではステップS2で水平方向移動が開始されてステップS3で回動が開始されたが、両ステップは同時に行われてもよいし、回動が先に行われてもよい。
前記実施形態では端材を下方に傾けたが、上方に傾けてもよい。また、上下の傾け動作を順番に1回ずつ又は複数回ずつ行ってもよい。
前記実施形態では、端材を引っ張った状態で傾けるステップの一例では、水平方向駆動機構21がチャック部材13を水平方向に移動するとともに、回動機構17がチャック部材13を回動させ、さらには昇降機構19がチャック部材13を下方に移動させていた。しかし、端材Maには水平方向の力と斜め下方への力が作用すればよいので、水平方向駆動機構21がチャック部材13を水平方向に移動するとともに、回動機構17がチャック部材13を回動させるだけでもよい。つまり、この場合は、昇降機構19がチャック部材13を下方に移動させない。
前記実施形態ではステップS2で水平方向移動が開始されてステップS3で回動が開始されたが、両ステップは同時に行われてもよいし、回動が先に行われてもよい。
前記実施形態では端材を下方に傾けたが、上方に傾けてもよい。また、上下の傾け動作を順番に1回ずつ又は複数回ずつ行ってもよい。
(4)吸着テーブルの変形例
前記実施形態では、保持テーブル3の輪郭が製品の形状に一致している例を説明した。この場合に両者は完全に一致している場合のみならず、概ね同等の対応する形状であっても同等の効果が得られる。
また、吸着テーブルの輪郭が製品の形状に対応していない場合でも、本発明を適用できる。
前記実施形態では、保持テーブル3の輪郭が製品の形状に一致している例を説明した。この場合に両者は完全に一致している場合のみならず、概ね同等の対応する形状であっても同等の効果が得られる。
また、吸着テーブルの輪郭が製品の形状に対応していない場合でも、本発明を適用できる。
本発明は、基板から端材を分割除去することで製品を切り出す端材除去装置及び端材除去方法に広く適用できる。
1 :端材除去装置
3 :保持テーブル
11 :チャック機構
13 :チャック部材
15 :把持動作機構
17 :回動機構
19 :昇降機構
21 :水平方向駆動機構
31 :制御部
M :マザー基板
Ma :端材
P :製品
S :スクライブライン
3 :保持テーブル
11 :チャック機構
13 :チャック部材
15 :把持動作機構
17 :回動機構
19 :昇降機構
21 :水平方向駆動機構
31 :制御部
M :マザー基板
Ma :端材
P :製品
S :スクライブライン
Claims (7)
- スクライブラインが形成された基板から端材を分割除去することで製品を切り出す端材除去装置であって、
前記端材を把持する把持部と、
前記端材を把持した前記把持部を外方に移動させながら傾けることで、前記端材を前記製品から切り離す外方移動部と、
を備えた、端材除去装置。 - 前記製品を吸着固定する吸着台をさらに備えている、請求項1に記載の端材除去装置。
- 前記吸着台は、前記製品の輪郭に対応した輪郭を有する、請求項2に記載の端材除去装置。
- スクライブラインが形成された基板から端材を分割除去することで製品を切り出す端材除去方法であって、
前記端材を把持するステップと、
前記端材を把持した状態で当該端材を外方へ引っ張るステップと、
前記端材を引っ張った状態で傾けるステップと、
を備えた、端材除去方法。 - 前記基板の製品を吸着固定するステップをさらに備える、請求項4に記載の端材除去方法。
- 前記製品を吸着固定するステップでは、前記製品の輪郭に対応した輪郭を有する吸着台によって、前記製品を吸着固定する、請求項5に記載の端材除去方法。
- 前記端材を複数に分割するための補助スクライブラインを形成するステップをさらに備える、請求項4〜6のいずれかに記載の端材除去方法。
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