KR20190125167A - 단재 제거 기구 그리고 단재 제거 방법 - Google Patents

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Abstract

[과제] 점착 테이프를 이용한 간단한 기구이면서, 확실하게 단재 부분만을 벗겨낼 수 있는 단재 제거 기구 그리고 단재 제거 방법을 제공한다.
[해결 수단] 테이프 공급 풀리 (2) 로부터 테이프 권취 풀리 (3) 로 이송되는 점착 테이프 (M) 의 중간 부분을 단재 표면에 가압하면서 이동시켜, 단재를 점착 테이프 (M) 에 접착시켜 벗겨내는 필링 롤러 (4) 와, 이 필링 롤러 (4) 에 인접하여 평행하게 배치되고, 기판 (W1) 의 본체측의 표면을 가압하면서 이동시켜 누름 벨트 (5) 와, 필링 롤러 (4) 그리고 누름 벨트 (5) 를 유지하는 주행체 (1) 로 이루어지고, 누름 벨트 (5) 가 진행 방향을 따라 연장되어 있는 구성으로 한다.

Description

단재 제거 기구 그리고 단재 제거 방법{APPARATUS AND METHOD FOR REMOVING END PORTION}
본 발명은, 복수의 기판을 적층시킨 마더 기판을 복수의 단위 기판으로 분단함과 함께, 단위 기판의 주변에 외부 접속용 단자 영역을 형성하도록 한 기판 가공 장치에 있어서, 단자 영역을 형성하기 위하여 기판의 주변부에서 스크라이브 라인 (스크라이브 홈) 에 의해 구분된 단재 (端材) 를 제거하는 단재 제거 기구 그리고 단재 제거 방법에 관한 것이다.
특히 본 발명은, 미세한 전자 회로를 일면에 형성한 PI 수지 (폴리이미드) 기판의 표리 양면에 PET 수지 (폴리에틸렌테레프탈레이트) 기판을 첩합 (貼合) 시킨 PET-PI-PET 적층 마더 기판을 복수의 단위 기판으로 분단함과 함께, 단위 기판의 주변에 외부 접속용 단자 영역을 형성하도록 한 기판 가공 장치에 있어서, 단자 영역을 형성하기 위하여 기판의 주변부에서 스크라이브 라인 (스크라이브 홈) 에 의해 구분된 단재를 제거하는 단재 제거 기구 그리고 단재 제거 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 마더 기판으로부터 단위 기판을 잘라내는 공정에서는, 커터 휠이나 레이저 광을 사용한 분단 방법이 이용된다. 이 경우, 도 6(a) 에 나타내는 바와 같이, 먼저, 마더 기판 (W) 의 분단 예정 위치에 커터 휠이나 레이저 광으로 Y 방향의 스크라이브 라인 (절입선) (S1) 을 새기고, 이어서 X 방향의 스크라이브 라인 (S2) 을 새긴다. 이 후, X 방향의 스크라이브 라인 (S2) 을 따라 분단하고, 도 6(b) 에 나타내는 바와 같은 단책상 (短冊狀) 형상 기판 (W1) 을 잘라내고, 이어서 Y 방향의 스크라이브 라인 (S1) 을 따라 분단하여 단위 기판 (W2) 을 잘라낸다.
잘라내진 단위 기판 (W2) 은, PI 기판의 전자 회로를 외부 기기에 접속하기 위하여, PI 기판의 일단 부분을 단자 영역으로서 노출시킬 필요가 있다. 그 때문에, 마더 기판 (W) 에 X 방향의 스크라이브 라인을 새길 때에, PET 기판에 단자 영역 형성용 스크라이브 라인 (S3) 을 X 방향을 따라 가공해 두고, 단책상 형상 기판 (W1) 으로 분단한 후, 혹은 단위 기판 (W2) 으로 분단한 후, 도 7 에 나타내는 바와 같이, 스크라이브 라인 (S3) 에 의해 구분된 부분을 단재 (E) 로서 제거하여 PI 기판의 단자 영역 (T) 을 노출시키고 있다 (또한, 도 7 에서는 PI 기판의 이면측의 PET 기판을 생략하고 있다).
단재 (E) 를 제거하는 수단으로서, 종래에는, 예를 들어 특허문헌 1 이나 2 에 나타내는 바와 같은 로봇 아암을 사용한 것이나, 특허문헌 3 에 나타내는 바와 같은 에어에 의한 흡인 패드를 사용한 것이 알려져 있다.
일본 공개특허공보 2014-214054호 일본 공개특허공보 2016-095179호 국제 공개공보 WO2002/057192호
그러나, 상기의 로봇 아암이나 흡인 패드를 사용한 수단에서는, 그 기구나 구성이 복잡하여 비용이 높아짐과 함께, 단재 제거에 요하는 시간도 많아져 작업 효율이 나쁘다는 과제가 있었다. 그래서, 점착 테이프를 롤러로 단재 표면에 가압하여 단재를 필링 (박리) 하면서 권취해 가는 수단도 있지만, 이 방법에서는, 단재를 벗겨낼 때에 기판의 본체측도 끌려 들어올려지는 경우가 있어, 연속적인 필링 작업에 지장이 발생함과 함께, 기판이 끌려 상방으로 절곡됨으로써 미세한 전자 회로 부분에 손상이 발생한다는 큰 문제점이 있다.
본 발명은, 이와 같은 종래 과제의 해결을 도모하고, 점착 테이프를 이용한 간단한 기구이면서, 확실하게 단재 부분만을 벗겨낼 수 있는 단재 제거 기구 그리고 단재 제거 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명에서는 다음과 같은 기술적 수단을 강구하였다. 즉, 본 발명에서는, 기판에 형성된 단자 노출용 단재 부분을 벗겨내는 단재 제거 기구로서, 테이프 공급 풀리로부터 테이프 권취 풀리로 이송되는 점착 테이프의 중간 부분을 단재의 표면에 가압하면서 이동시켜, 상기 단재를 상기 점착 테이프에 접착시켜 벗겨내는 필링 롤러와, 상기 필링 롤러에 인접하여 평행하게 배치되고, 상기 기판의 본체측의 표면을 가압하면서 이동시키는 누름 벨트와, 상기 필링 롤러 그리고 상기 누름 벨트를 유지하는 주행체로 이루어지고, 상기 누름 벨트는, 진행 방향을 따라 연장되어 형성되어 있는 구성으로 하였다.
또 본 발명은, 기판에 형성된 단자 노출용 단재 부분을 벗겨내는 단재 제거 방법으로서, 테이프 공급 풀리로부터 테이프 권취 풀리로 이송되는 점착 테이프의 중간 부분을, 주행체에 장착한 필링 롤러로 단재의 표면에 가압하면서 이동시켜 상기 단재를 상기 점착 테이프로 벗겨내면서, 상기 단재에 인접하는 상기 기판의 본체측의 표면을 상기 주행체에 장착한 누름 벨트로 누르면서 이동시켜 상기 단재를 제거하도록 한 단재 제거 방법도 특징으로 한다.
본 발명은 상기의 구성으로 하였으므로, 단재를 필링 롤러로 벗겨낼 때에, 단재에 인접하는 기판 본체측이 누름 벨트에 의해 눌려져 있으므로, 단재와 함께 끌리거나, 들뜨거나 하는 것을 저지할 수 있고, 이로써 기판 본체를 손상시키지 않고 단재만을 확실하게 제거할 수 있다.
또, 누름 벨트가 진행 방향을 따라 연장되어 형성되어 있기 때문에, 단재가 벗겨내지는 동안, 누름 벨트의 길이의 범위 내에서 기판 본체를 계속 누를 수 있고, 이로써 기판 본체가 단재와 함께 끌리는 것을 보다 확실하게 방지할 수 있다는 효과가 있다.
본 발명에 있어서, 상기 누름 벨트가 단면 (斷面) 원형의 끈 벨트로 형성되고, 또한 스프링을 개재하여 탄력적으로 가압 방향으로 탄성 지지되어 있는 구성으로 하는 것이 좋다.
이로써, 누름 벨트의 탄성 가압력이 기판 본체에 대해 선 접촉으로 집중 하중시킬 수 있어, 가벼운 힘으로 효과적으로 누를 수 있다.
또, 본 발명에 있어서, 상기 테이프 공급 풀리 그리고 상기 테이프 권취 풀리가 상기 주행체에 장착되어 있는 구성으로 하는 것이 좋다.
이로써, 점착 테이프의 공급 기능 그리고 권취 기능을 겸비한 단재 제거 기능을 1 개의 유닛으로 하여 컴팩트하게 형성할 수 있음과 함께, 기판 가공 장치에 대한 장착도 간단하게 실시할 수 있다.
도 1 은 본 발명의 단재 제거 기구를 나타내는 측면도이다.
도 2 는 도 1 에 나타내는 단재 제거 기구의 주요부의 사시도이다.
도 3 은 도 1 에 나타내는 단재 제거 기구의 주요부의 측면도이다.
도 4 는 도 1 에 나타내는 단재 제거 기구의 동작 상태를 나타내는 일부 단면 정면도이다.
도 5 는 도 1 에 나타내는 단재 제거 기구에 있어서의 누름 벨트 부분의 설명도이다.
도 6 은 기판의 분단 공정을 설명하기 위한 설명도이다.
도 7 은 단재를 제거하여 단자 영역을 노출시키는 공정을 설명하기 위한 단면도이다.
이하에 있어서, 본 발명에 관련된 단재 제거 기구의 상세를 도 1 ∼ 5 로 나타낸 실시예에 기초하여 설명한다.
본 발명의 단재 제거 기구는, 주행체 (1) 를 갖고, 이 주행체 (1) 에, 점착 테이프 (M) 를 조출하는 테이프 공급 풀리 (2) 와, 조출된 점착 테이프 (M) 를 권취하는 테이프 권취 풀리 (3) 가 장착되어 있다. 테이프 권취 풀리 (3) 는 서보 모터 (도시하지 않음) 에 의해 구동하도록 되어 있다.
또, 주행체 (1) 의 하단에는, 테이프 공급 풀리 (2) 로부터 테이프 권취 풀리 (3) 로 이송되는 점착 테이프 (M) 의 중간 부분의 접착면을, 기판 (W1, W2) 에 형성된 단재 (E) 의 표면에 가압하면서 이동하여 단재 (E) 를 점착 테이프 (M) 에 접착시켜 벗겨내는 필링 롤러 (4) 와, 이 필링 롤러 (4) 와 평행하게 인접하여 기판 (W1, W2) 본체측의 표면을 가압하면서 이동하는 누름 벨트 (5) 가 형성되어 있다.
필링 롤러 (4) 는, 지지 플레이트 (6) 에 자유롭게 회동 (回動) 할 수 있게 유지되고, 지지 플레이트 (6) 는, 주행체 (1) 에 상하 위치 조정 가능하게 장착되어 있다.
누름 벨트 (5) 는, 홀더 (7) 에 유지되고, 홀더 (7) 는, 스프링 (8) 에 의해 추축 (9a) 을 지지점으로 하여 도 3 의 반시계 방향으로 탄성력이 탄성 지지된 아암 (9) 의 선단에 유지되어 있고, 추축 (9a) 은 지지 플레이트 (6) 에 고정되어 있다. 이로써, 누름 벨트 (5) 가 항상 하방을 향하여 탄력적으로 가압되어 있다.
또, 누름 벨트 (5) 는, 단면 원형의 끈 벨트로 형성되어 있고, 또한, 벨트의 진행 방향을 따라 길게 연장되어 형성되어 있다. 도 5 에 나타내는 바와 같이, 그 길이 (L2) 는, 단위 기판 (W2) 으로부터 벗겨내지는 개개의 단재 (E) 의 벨트 진행 방향을 따른 길이 (L1) 와 대략 동일한 치수로 형성하는 것이 바람직하다.
또한, 점착 테이프 (M) 는, 테이프 공급 풀리 (2) 에서 필링 롤러 (4) 를 거쳐 테이프 권취 풀리 (3) 에 이르기까지 동안에, 복수의 긴장 롤러 (10a, 10b, 10c, 10d, 10e, 10f, 10g, 10h) 에 의해 긴장 상태가 유지되어 있다.
상기의 단재 제거 기구의 주행체 (1) 는, 마더 기판 (W) 을 복수의 단위 기판 (W2) 으로 분단함과 함께 외부 접속용 단자 영역 (T) (도 7 참조) 을 가공하는 기판 가공 장치에 장착하여 사용된다. 기판 가공 장치에 대한 장착 수단은 한정되지 않지만, 예를 들어 도 1 에 나타내는 바와 같이, 기판 가공 장치의 흡착 테이블 (11) 의 상방에 배치된 빔 (수평 빔) (12) 의 가이드 (13) 로 이동 가능하게 장착하고, 구동 기구 (도시하지 않음) 에 의해 가이드 (13) 를 따라 이동할 수 있도록 형성하는 것이 바람직하다.
다음으로, 상기의 단재 제거 기구를 사용한 본 발명의 단재 제거 방법에 대해 설명한다.
먼저, 흡착 테이블 (11) 상에, 단재 (E) 가 상방향이 되도록 하여 단책상 형상 기판 (W1) 을 재치 (載置) 한다. 이 때, 스크라이브 라인 (S3) (도 6 참조) 의 방향을 주행체 (1) 의 주행 방향과 일치시키도록 한다. 그리고, 도 4, 5 에 나타내는 바와 같이, 단재 (E) 상에 필링 롤러 (4) 가 위치하고, 단책상 형상 기판 (W1) 의 본체측 상면에 누름 벨트 (5) 가 위치하도록 하여, 점착 테이프 (M) 를 필링 롤러 (4) 에 공급하면서 주행체 (1) 를 주행시킨다. 이로써, 단책상 형상 기판 (W1) 의 단재 (E) 를 점착 테이프 (M) 로 순차 벗겨내어 테이프 권취 풀리 (3) 에 권취할 수 있다.
이 때, 단책상 형상 기판 (W1) 의 본체측은 누름 벨트 (5) 에 의해 탄력적으로 가압되어 있으므로, 단재 (E) 가 벗겨내질 때에 단책상 형상 기판 (W1) 본체가 끌려 들어올려지는 경우는 없다. 또, 누름 벨트 (5) 가 진행 방향을 따라 연장되어 형성되어 있기 때문에, 단재 (E) 가 벗겨내지는 동안, 누름 벨트 (5) 의 길이 (L2) 의 범위 내에서 단책상 형상 기판 (W1) 본체를 계속 누를 수 있고, 이로써 기판 본체측이 단재와 함께 끌리는 것을 보다 확실하게 방지할 수 있다.
또한, 누름 벨트 (5) 를 단면 원형의 끈 벨트로 형성하였으므로, 누름 벨트 (5) 의 기판 본체측에 대한 탄성 가압력을 선 접촉으로 집중 하중시킬 수 있어, 가벼운 힘으로 효과적으로 누를 수 있다.
또, 본 실시예에서는, 테이프 공급 풀리 (2) 그리고 테이프 권취 풀리 (3) 의 양방을, 주행체 (1) 에 장착하여 점착 테이프 (M) 의 공급 기능 그리고 권취 기능을 겸비한 구성으로 하였으므로, 단재 제거 기구를 컴팩트하게 형성할 수 있음과 함께, 기판 가공 장치에 대한 장착도 용이하게 실시할 수 있다.
이상 본 발명의 대표적인 실시예에 대해 설명했지만, 본 발명은 반드시 상기의 실시형태에 특정되는 것은 아니다. 예를 들어, 테이프 공급 풀리 (2) 그리고 테이프 권취 풀리 (3) 중 어느 일방, 또는 그 양방을 주행체 (1) 와는 다른 부재, 예를 들어 기판 가공 장치에 형성한 지지 부재에 장착하여 형성할 수도 있다. 또, 누름 벨트 (5) 도, 끈 벨트 대신에 평 (平) 벨트로 해도 된다. 그 밖에 본 발명에서는, 그 목적을 달성하고, 청구의 범위를 일탈하지 않는 범위 내에서 적절히 수정, 변경하는 것이 가능하다.
본 발명은, 복수의 기판을 적층시킨 마더 기판을 복수의 단위 기판으로 분단함과 함께, 단위 기판의 주변에 외부 접속용 단자 영역을 가공하는 기판 가공 장치에 이용할 수 있다.
E : 단재
M : 점착 테이프
W : 마더 기판
W1 : 단책상 형상 기판
W2 : 단위 기판
1 : 주행체
2 : 테이프 공급 풀리
3 : 테이프 권취 풀리
4 : 필링 롤러
5 : 누름 벨트
8 : 스프링

Claims (4)

  1. 기판에 형성된 단자 노출용 단재 부분을 벗겨내는 단재 제거 기구로서,
    테이프 공급 풀리로부터 테이프 권취 풀리로 이송되는 점착 테이프의 중간 부분을 단재의 표면에 가압하면서 이동시켜, 상기 단재를 상기 점착 테이프에 접착시켜 벗겨내는 필링 롤러와,
    상기 필링 롤러에 인접하여 평행하게 배치되고, 상기 기판의 본체측의 표면을 가압하면서 이동시키는 누름 벨트와,
    상기 필링 롤러 그리고 상기 누름 벨트를 유지하는 주행체로 이루어지고,
    상기 누름 벨트는, 진행 방향을 따라 연장되어 형성되어 있는, 단재 제거 기구.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 누름 벨트가 단면 원형의 끈 벨트로 형성되고, 또한 스프링을 개재하여 탄력적으로 가압 방향으로 탄성 지지되어 있는, 단재 제거 기구.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 테이프 공급 풀리 그리고 상기 테이프 권취 풀리가 상기 주행체에 장착되어 있는, 단재 제거 기구.
  4. 기판에 형성된 단자 노출용 단재 부분을 벗겨내는 단재 제거 방법으로서,
    테이프 공급 풀리로부터 테이프 권취 풀리로 이송되는 점착 테이프의 중간 부분을, 주행체에 장착한 필링 롤러로 단재의 표면에 가압하면서 이동시켜 상기 단재를 상기 점착 테이프로 벗겨내면서, 상기 단재에 인접하는 상기 기판의 본체측의 표면을 상기 주행체에 장착한 누름 벨트로 누르면서 이동시켜 상기 단재를 제거하도록 한, 단재 제거 방법.
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