KR20140011217A - 필름 박리 장치 - Google Patents

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KR20140011217A
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우정훈
한규완
정일영
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삼성디스플레이 주식회사
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Abstract

본 발명은, 기판 상의 필름의 일부 영역을 박리하는 장치로서, 필름 상에 접착 테이프를 공급하는 테이프 공급부; 접착 테이프의 상부에 배치되고, 필름의 일부 영역을 상기 접착 테이프의 점착면에 부착시키도록 접착 테이프를 향해 수직 하강하고, 접착 테이프에 상기 필름의 일부 영역이 부착된 이후에 순차적으로 수직 상승하는 복수의 핀들 및 필름의 일부 영역이 부착된 접착 테이프를 회수하며, 접착 테이프에 상기 필름의 일부 영역이 부착된 이후에 접착 테이프에 장력을 부가하는 테이프 회수부를 포함하는, 필름 박리 장치에 관한 것이다.

Description

필름 박리 장치 {Apparatus for peeling film}
본 발명은 필름 박리 장치에 관한 것이다.
유기 발광 표시 장치는 정공 주입 전극과 전자 주입 전극 그리고 이들 사이에 형성되어 있는 유기 발광층을 포함하는 유기 발광 소자를 구비하며, 정공 주입 전극에서 주입되는 정공과 전자 주입 전극에서 주입되는 전자가 유기 발광층에서 결합하여 생성된 엑시톤(exiton)이 여기 상태(exited state)로부터 기저 상태(ground state)로 떨어지면서 빛을 발생시키는 자발광형 표시 장치이다.
자발광형 표시 장치인 유기 발광 표시 장치는 별도의 광원이 불필요하므로 저전압으로 구동이 가능하고 경량의 박형으로 구성할 수 있으며, 넓은 시야각, 높은 콘트라스트(contrast) 및 빠른 응답 속도 등의 고품위 특성으로 인해 차세대 표시 장치로 주목받고 있다.
이와 같은 유기 발광 표시 장치를 제조하기 위해서는, 수많은 성막 공정 및 필름 부착 및 제거 공정이 수행될 수 있다. 특히 부착된 필름을 제거하는 공정에 있어서, 다른 영역에 손상을 주지 않으면서도 원하는 영역의 필름을 간단하면서도 용이하게 제거 혹은 박리할 수 있는 기술에 관한 필요성이 증대되고 있다.
본 발명의 일실시예는, 필름의 안쪽 영역에 위치한 필름의 일부 영역을 용이하게 제거할 수 있는 필름 박리 장치에 관한 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 기판 상의 필름의 일부 영역을 박리하는 장치로서, 상기 필름 상에 접착 테이프를 공급하는 테이프 공급부; 상기 접착 테이프의 상부에 배치되고, 상기 필름의 일부 영역을 상기 접착 테이프의 점착면에 부착시키도록 상기 접착 테이프를 향해 수직 하강하고, 상기 접착 테이프에 상기 필름의 일부 영역이 부착된 이후에 순차적으로 수직 상승하는 복수의 핀들; 및 상기 필름의 일부 영역이 부착된 상기 접착 테이프를 회수하며, 상기 접착 테이프에 상기 필름의 일부 영역이 부착된 이후에 상기 접착 테이프에 장력을 부가하는 테이프 회수부;를 포함하는, 필름 박리 장치를 제공할 수 있다.
본 발명의 일 특징에 따르면, 상기 복수의 핀들은 일렬로 배치되며, 상기 접착 테이프에 상기 필름의 일부 영역이 부착된 이후에, 상기 복수의 핀들은 상기 테이프 회수부와 인접하게 배치된 일측으로부터 순차적으로 수직 상승할 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 상기 필름의 일부 영역은 상기 기판의 각각의 모서리로부터 이격될 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 상기 복수의 핀들 각각은 상호 독립적으로 수직 상승 또는 수직 하강할 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 상기 테이프 회수부는 시계 방향 또는 반시계 방향으로 회동하는 릴을 포함하고, 상기 릴은, 순차적으로 수직 상승하는 상기 복수의 핀들의 움직임에 동기화되어 회전할 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 상기 기판에 대하여 상기 필름 박리 장치를 수직 상승 및 수직 하강시키는 장치 구동부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 상기 장치 구동부는 상기 접착 테이프에 상기 필름이 부착된 이후에 상기 필름 박리 장치를 수직 상승시킬 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 상기 복수의 핀들에 의하여 박리되는 상기 필름의 일부 영역의 주변을 가압하는 가압면을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 상기 가압면은 쿠션부를 포함할 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 상기 필름의 일부 영역이 상기 접착 테이프로부터 떨어지지 않도록 상기 필름의 일부 영역을 상기 접착 테이프에 고정시켜주는 홀더를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 상기 피박리 필름부의 길이 또는 폭 방향을 따라 상기 복수의 핀들이 배치되며, 상기 복수의 핀들 중 일부의 핀들만 선택적으로 구동될 수 있다.
본 발명의 또 다른 측면에 따르면, 필름의 일부 영역인 피박리 필름부를 박리하는 장치로서, 상기 피박리 필름부 상에 접착 테이프을 공급하는 제1 릴을 구비하는 테이프 공급부; 상기 접착 테이프의 길이 방향을 따라 일렬로 상기 접착 테이프 상에 배치되고, 상기 피박리 필름부를 상기 접착 테이프의 점착면에 부착시키도록 상기 접착 테이프를 향해 수직 하강하고, 상기 접착 테이프에 상기 피박리 필름부가 부착된 이후에 일 방향을 따라 순차적으로 수직 상승하는 복수의 핀들; 및 상기 피박리 필름부가 부착된 상기 접착 테이프를 회수하는 제2 릴을 구비하는 테이프 회수부;를 포함하며, 상기 접착 테이프에 상기 피박리 필름부가 부착된 이후에 제2 릴은 소정의 각도로 회전하고, 상기 제2 릴의 회전시 상기 제1 릴의 회전은 정지된 상태인, 필름 박리 장치를 제공한다.
본 발명의 일특징에 따르면, 상기 피박리 필름부는 상기 기판 각각의 모서리로부터 이격되어 있을 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 상기 필름 상에 배치되며 상기 피박리 필름부와 인접한 주변부를 가압하는 가압면을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 상기 가압면은 고무 또는 실리콘을 포함하는 쿠션부를 구비할 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 상기 복수의 핀들의 수직 상승 또는 하강시키는 액츄에이터를 포함하며, 상기 액츄에이터의 구동에 따라 상기 복수의 핀들 각각은 상호 독립적으로 수직 상승 또는 수직 하강할 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 상기 피박리 필름부가 상기 접착 테이프로부터 떨어지지 않도록 고정시켜주는 홀더를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 상기 피박리 필름부는, 상기 피박리 필름부의 외곽을 따라 형성된 복수의 홈을 포함하며, 상기 홈의 깊이는 상기 필름의 두께 보다 작게 형성될 수 있다.
상기와 같은 본 발명의 일실시예에 따르면, 필름의 일부 영역, 즉 필름의 안쪽에 구비된 일부 영역을 용이하게 박리 또는 제거할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 효과는 이에 한정되지 않으며, 도면을 참조하여 이하에서 후술할 내용을 통해서 확인할 수 있다.
도 1a는 본 발명의 일 실시예에 따른 필름 박리 장치를 사용하여 박리될 필름을 나타낸 사시도이다.
도 1b는 도 1a의 Ⅰb-Ⅰb를 취한 단면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 필름 박리 장치를 개략적으로 나타낸 사시도이다
도 3은 필름 상에 필름 박리 장치가 배치된 상태를 개략적으로 나타낸 사시도이다.
도 4a는 피박리 필름부의 초기 박리가 시작되는 상태를 나타낸 사시도이다.
도 4b는 핀들의 상태 및 피박리 필름부의 초기 박리 상태를 발췌하여 나타낸 정면도이다.
도 5는 홀더가 기계적으로 피박리 필름부를 접착 테이프에 고정시킨 상태를 나타낸 사시도이다.
도 6은 필름 박리 장치가 상부로 들어올려지면서, 피박리 필름부의 나머지 영역이 필름으로부터 제거되는 상태를 나타낸 사시도이다.
도 7a와 도 7b 및 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 필름 박리 장치를 활용하는 또 다른 실시예를 나타낸 사시도이다.
본 발명은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 한편, 본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 구성요소들은 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.
도 1a는 본 발명의 일 실시예에 따른 필름 박리 장치(100)를 사용하여 박리될 필름을 나타낸 사시도이고, 도 1b는 도 1a의 Ⅰb-Ⅰb를 취한 단면도이다.
도 1a를 참조하면, 본 발명에 따른 필름 박리 장치(100)는 필름(20)의 일부 영역을 박리하기 위한 장치로서, 필름(20)은 기판(10) 상에 배치될 수 있다. 본 명세서에서, "피박리 필름부(30)"는 필름(20)의 일부 영역에 해당하는 것으로서, 본 발명에 따른 필름 박리 장치(100)에 의하여 박리될 부분을 나타낸다.
피박리 필름부(30)가 필름으로부터 용이하게 박리될 수 있도록, 피박리 필름부(30)의 외곽에는 도 1b에 도시된 바와 같이 미세한 홈(21)이 형성될 수 있다. 홈(21)은 레이저 혹은 칼날과 같은 부재에 의하여 형성될 수 있으며, 홈(21)이 형성될 때 기판(10)이 손상되는 것을 방지하기 위해, 홈(21)의 깊이는 필름(20)의 전체 두께 보다 작게 형성된다.
도 1a에 도시된 바와 같이 피박리 필름부(30)는 기판(10)의 모서리들(10e) 및/또는 필름(20)의 모서리들(20e)로부터 이격되어 있다. 즉, 피박리 필름부(30)는 필름(20)의 안쪽 영역(inner region)에 배치되어 있다.
만약 기판(10) 상에 배치된 필름(20)을 모두 제거해야 하는 경우라면, 기판(10)과 필름(20)의 모서리(10e, 20e)에 대응하는 영역에서 기판(10)과 필름(20) 사이의 미세한 틈을 이용하여 필름(20)을 용이하게 기판(10)으로부터 제거할 수 있다. 그러나, 본 실시예와 같이 피박리 필름부(30)가 필름(20)의 일부 영역인 경우, 특히 기판(10)과 필름(20)의 모서리(10e, 20e)로부터 소정의 간격 이격되어 필름(20)의 안쪽 영역에 배치된 경우에는, 피박리 필름부(30)를 제거하기 용이하지 않을 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 필름 박리 장치(100)는 필름(20)의 일부 영역- 특히 필름(20)의 안쪽 영역에 배치된 필름(20)의 일부 영역- 인 피박리 필름부(30)를 용이하게 제거할 수 있다.
이하에서는 도 2를 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 필름 박리 장치(100)의 구체적 구성을 설명한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 필름 박리 장치(100)를 개략적으로 나타낸 사시도이다.
도 2를 참조하면, 필름 박리 장치(100)는, 몸체부(110), 상기 몸체부(110)의 일측에 배치된 테이프 공급부(120), 테이프 회수부(130), 및 상기 테이프 공급부(120)로부터 상기 테이프 회수부(130)를 향해 이동하는 접착 테이프(1)의 흐름 상에 배치되어 수직 상승 또는 수직 하강 운동하는 복수의 핀들(140)을 포함할 수 있다.
테이프 공급부(120)는 접착 테이프(1)를 공급하기 위한 것으로, 외주면에 접착 테이프(1)가 권취된 제1 릴(122)을 포함한다. 제1 릴(122)의 회전을 통해 권취되어 있던 접착 테이프(1)가 테이프 회수부(130) 측으로 진행한다. 접착 테이프(1)의 일측면은 점착물질이 도포된 점착면이며, 접착 테이프(1)가 공급될 때 점착면은 피박리 필름부(30)와 마주보도록 놓인다.
테이프 회수부(130)는 접착 테이프(1)를 회수하기 위한 것으로, 테이프 회수부(130)는 점착면에 피박리 필름부(30)가 부착된 상태의 접착 테이프(1)를 권취하기 위한 제2 릴(132)을 포함할 수 있다. 제2 릴(132)의 회전을 통해서 피박리 필름부(30)가 부착된 상태의 접착 테이프(1)가 진행한다.
복수의 핀들(140)은 테이프 회수부(130)를 향해 이동하는 접착 테이프(1)의 흐름 상에 배치되며, 일렬로 나란하게 구비될 수 있다. 복수의 핀들(140)은 접착 테이프(1)의 진행 방향에 대하여 대략 수직인 방향으로 길게 연장된 형상일 수 있으며, 수직 방향으로 상승 또는 하강 운동할 수 있다.
액츄에이터(150)는 전기, 유압, 또는 압축 공기들을 사용하여 복수의 핀들(140)을 상승 또는 하강시키는 구동원이다. 액츄에이터(150)는 복수의 실린더를 구비할 수 있으며, 실린더의 왕복 운동을 통해서 실린더와 기계적으로 연결된 복수의 핀들(140)이 각각 개별적으로 수직 상승 또는 하강될 수 있다.
복수의 핀들(140)은 수직 하강하여 테이프 공급부(120)로부터 공급된 접착 테이프(1)를 피박리 필름부(30)에 부착시킬 수 있다. 복수의 핀들(140)은 접착 테이프(1) 상에 배치되어 있으므로, 복수의 핀들(140)이 수직 하강하면 접착 테이프(1)의 점착면에 피박리 필름부(30)가 부착되게 된다. 이 때 복수의 핀들(140)은 동시에 수직 하강하거나, 순차적으로 수직 하강할 수 있다.
접착 테이프(1)에 피박리 필름부(30)가 부착된 이후에, 테이프 회수부(130)의 제2 릴(132)이 반시계 방향 (또는 시계 방향)으로 회전한다. 제2 릴(132)의 회전에 의하여 접착 테이프(1)에는 장력이 가해진다. 제2 릴(132)은 가장 우측에 배치된 핀(140) 보다 상부에 배치되어 있으므로 제2 릴(132)이 회전함에 따라 접착 테이프(1)의 우측이 들어올려진다. 접착 테이프(1)를 들어올리는 힘은, 접착 테이프(1)에 부착된 피박리 테이프의 우측 단부가 필름(20)으로부터 박리되는데 사용될 수 있다. 제2 릴(132)이 회전할 때 제1 릴(122)은 회전하지 않고 고정된 상태, 즉 움직임을 멈춘 상태를 유지할 수 있다.
제2 릴(132)이 반시계 방향으로 회전할 때, 복수의 핀들(140)은 수직 상승한다. 이 때, 복수의 핀들(140)은 순차적으로 수직 상승한다. 테이프 회수부(130)와 인접한 핀(140: 가장 우측에 배치된 핀)에서부터 멀어지는 방향에 배치된 핀(140: 가장 좌측에 배치된 핀)에 이르기까지 핀들(140)이 순차적으로 수직 상승할 수 있다. 예컨대, 가장 우측에 배치된 핀(140)부터 가장 좌측에 배치된 핀(140)의 순서를 따라 핀들(140)이 순차적으로 수직 상승할 수 있다. 따라서, 피박리 필름부(30)의 초기 박리시에는 우측에 구비된 핀(140)이 수직 상승하고, 좌측에 구비된 핀(140)은 접착 테이프(1)의 상부면과 접촉한 채, 접착 테이프(1)를 가압하게 된다.
피박리 필름부(30)의 외곽을 따라 형성된 홈(21)의 깊이는 필름(20)의 두께 보다 작게 형성된 상태이므로, 피박리 필름부(30)는 필름(20)으로부터 완전히 분리된 상태가 아니다. 따라서, 피박리 필름부(30)를 필름(20)으로부터 제거하기 위해서는 피박리 필름부(30)를 박리하기 위한 힘이 일정한 방향으로 가해져야 한다. 특히, 피박리 필름부(30)가 필름(20)과 완전히 분리된 상태가 아니기 때문에, 초기 박리시에는 피박리 필름부(30)를 박리하기 위한 힘이 충분히 가해져야 한다. 즉, 피박리 필름부(30)를 필름(20)으로부터 뜯어내기 위한 힘이 피박리 필름부(30)의 일단에 집중적으로 가해질 필요가 있다. 만약, 핀들(140)이 순차적으로 수직 상승하지 않고 동시에 수직 상승하거나 혹은 핀들(140)이 상승하지 않는 경우, 필름(20)으로부터 피박리 필름부(30)의 일 단부를 박리하기 위한 힘, 즉 피박리 필름부(30)를 필름(20)으로부터 분리하기 위한 초기 박리를 위한 힘이 피박리 필름부(30)가 부착된 접착 테이프(1)에 충분히 가해지지 않으므로 피박리 필름부(30)를 필름(20)으로부터 제거하기 어렵다.
반면, 본 실시예에 따르면, 피박리 필름부(30)의 초기 박리시에는 우측에 구비된 핀(140)이 수직 상승하고, 좌측에 구비된 핀(140)은 접착 테이프(1)의 상부면과 접촉한 채 접착 테이프(1)를 가압하게 된다. 그러므로, 제2 릴(132)의 회전에 따라 접착 테이프(1)에 가해진 접착 테이프(1)를 들어올리는 힘은 피박리 필름부(30)의 우측 단부에 집중적으로 가해질 수 있다. 피박리 필름부(30)의 우측 단부가 필름(20)으로부터 분리된 이후, 즉 초기 박리 이후에는, 비교적 작은 힘으로도 피박리 필름부(30)를 필름(20)으로부터 분리시킬 수 있다.
본 실시예에서는 우측에서 좌측 방향을 따라 순차적으로 핀들(140)이 수직 상승하는 경우를 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 테이프 회수부(130)와 인접한 핀(140)에서부터 멀어지는 방향에 배치된 핀(140)의 순서를 따라 핀들(140)이 순차적으로 수직 상승한다면, 그 방향은 무방하다.
홀더(160)는 피박리 필름부(30)가 접착 테이프(1)로부터 분리되는 것을 방지할 수 있다. 접착 테이프(1)의 접착력 및 홀더(160)에 의한 고정력에 의해, 피박리 필름부(30)는 접착 테이프(1)로부터 떨어질 염려가 없다. 특히, 홀더(160)는 초기 박리시에 피박리 필름부(30)가 접착 테이프(1)로부터 분리되는 것을 막아줄 수 있다.
장치 구동부(170)는 필름 박리 장치(100) 자체를 수직 상승시키거나 수직 하강시킬 수 있다. 예컨대, 피박리 필름부(30)를 접착 테이프(1)에 부착시키기 위해서 필름 박리 장치(100)를 수직 하강시킬 수 있고, 피박리 필름부(30)가 접착 테이프(1)에 부착된 이후에는 필름 박리 장치(100)를 수직 상승시킬 수 있다.
가압부(180)는 피박리 필름부(30)가 필름(20)으로부터 제거될 때에 피박리 필름부(30)의 주변을 소정의 압력으로 눌러줌으로써, 피박리 필름부(30)의 주변에 배치된 필름(20)이 기판(10)으로부터 떨어지거나 들뜨는 것을 방지할 수 있다. 이 때, 가압부(180)가 필름(20)의 상부면을 손상시키지 않도록 가압부(180)의 하부면, 즉 가압면(182)에는 쿠션부를 포함할 수 있다. 쿠션부는 예컨대, 가압면(182)은 고무 또는 실리콘(silicone)을 포함할 수 있다.
본 실시예에서는 가압부(180)가 별도로 구비되어 가압부(180)의 하부면에 가압면(182)이 형성된 경우를 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 본 발명의 또 다른 실시예로서, 몸체부(110) 자체가 가압부(180)의 기능을 수행할 수 있다. 즉, 몸체부(110)의 하부면이 가압면(182)을 구비하여, 장치 구동부(170)에 의해 필름 박리 장치(100)가 수직 하강할 때 몸체부(110)의 하부면에 구비된 가압면(182)이 피박리 필름부(30)의 주변 영역에 접촉한 채로 소정의 압력을 가할 수도 있다.
이하에서는, 도 3 내지 도 6을 참조하여, 도 2를 참조하여 설명한 필름 박리 장치(100)를 이용하여 피박리 필름부(30)를 제거하는 과정을 설명한다.
도 3은 필름 상에 필름 박리 장치(100)가 배치된 상태를 개략적으로 나타낸 사시도이다.
장치 구동부(170)의 동작에 따라 수직 하강한 필름 박리 장치(100)는 필름(20) 상에 배치된다. 이 때, 가압면(182)이 필름(20)의 상부면 중 피박리 필름부(30)의 주변 영역에 접촉된 상태이다. 필름 박리 장치(100)가 수직 하강하면서 접착 테이프(1)의 점착면은 피박리 필름부(30)의 상부면 상에 배치되고, 접착 테이프(1)의 흐름 상에 배치된 복수의 핀들(140)의 수직 하강에 의해 접착 테이프(1)의 점착면과 피박리 필름부(30)의 상부면이 들러붙는다.
도 4a는 피박리 필름부(30)의 초기 박리가 시작되는 상태를 나타낸 사시도이고, 도 4b는 핀들(140)의 상태 및 피박리 필름부(30)의 초기 박리 상태를 발췌하여 나타낸 정면도이다.
도 4a 및 도 4b를 참조하면, 제2 릴(132)이 반시계 방향으로 회전하고, 복수의 핀들(140)은 가장 우측에 배치된 핀(140)부터 좌측에 배치된 핀(140)의 순서대로 순차적으로 수직 상승한다. 제2 릴(132)이 반시계 방향으로 소정의 각도만큼 회전함에 따라, 접착 테이프(1)를 들어올리는 힘이 접착 테이프(1)에 가해진다. 이 때, 제2 릴(142)과 인접한 가장 우측에 배치된 핀(140)부터 수직 상승하므로 접착 테이프(1)를 들어올리는 힘은 피박리 필름부(30)의 우측 단부 쪽에 집중되며, 이와 같은 힘에 의해 피박리 필름부(30)의 우측 단부가 필름(20)으로부터 분리되기 시작한다.
도 5는 홀더(160)가 기계적으로 피박리 필름부(30)를 접착 테이프(1)에 고정시킨 상태를 나타낸 사시도이다.
도 5를 참조하면, 초기 박리 이후, 홀더(160)를 이용하여 피박리 필름부(30)를 접착 테이프(1)에 기계적으로 고정시킨다. 도 3 및 도 4는 접착 테이프(1)의 접착력에 의하여 피박리 필름부(30)이 접착 테이프(1)와 거동을 같이 하였으나, 홀더(160)에 의한 기계적 고정력이 더 부가됨으로써 피박리 필름부(30)가 접착 테이프(1)로부터 떨어질 염려를 최소화할 수 있다.
도 5에서는 홀더(160)가 가압부(180)의 일측에 형성된 경우를 도시하였으나, 피박리 필름부(30)와 접착 테이프(1)를 고정시키기 위한 것이라면 그 구체적 위치 및 구조를 한정할 것은 아니다.
도 6은 필름 박리 장치(100)가 상부로 들어올려지면서, 피박리 필름부(30)의 나머지 영역이 필름(20)으로부터 제거되는 상태를 나타낸 사시도이다.
도 6을 참조하면, 장치 구동부(170)를 이용하여 필름 박리 장치(100)를 수직 상승시킨다. 필름 박리 장치(100)가 수직 상승됨에 따라서, 피박리 필름부(30)는 필름(20)으로부터 완전히 제거될 수 있다. 피박리 필름부(30)가 완전히 제거된 이후에는, 제2 릴(132) 및 제1 릴(122)이 반시계 방향으로 회전하면서, 피박리 필름부(30)가 부착된 접착 테이프(1)는 제2 릴(132)의 외주에 권취될 수 있다.
도 7a와 도 7b 및 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 필름 박리 장치를 활용하는 또 다른 실시예를 나타낸 사시도이다. 앞서 도 3 내지 도 6을 참조하여 설명한 필름 박리 장치의 구동은, 피박리 필름부(30)의 길이 방향을 따라 복수의 핀이 배치된 경우를 설명하였으나, 도 7a와 도 7b 및 도 8는 피박리 필름부(30)의 폭 방향을 따라 복수의 핀이 배치된 경우를 나타낸다.
도 7a 및 도 7b에 도시된 바와 같이, 복수의 핀들(140)은 피박리 필름부(30)의 폭 방향을 따라 일렬로 배치될 수 있다. 본 실시예의 경우의 필름 박리 장치(100)의 구성 및 동작은 앞서 도 2 내지 도 6을 참조하여 설명한 바와 같다. 다만, 본 실시예와 같이 배열된 필름 박리 장치(100)를 이용하여 피박리 필름부(30)를 제거하기 위해서는, 적은 힘으로도 피박리 필름부(30)를 박리할 수 있는 경우에 가능하다. 피박리 필름부(30)의 폭이 길이에 비하여 짧은 경우에, 도 7a 및 도 7b에 도시된 바와 같이 복수의 핀들(140)이 배치된다면, 도 3 내지 도 6에 도시된 경우에 비하여 피박리 필름부(30)의 일 단부에 작용하는 힘의 세기가 상대적으로 작아질 수 있기 때문이다.
피박리 필름부(30)의 폭이 길이에 비하여 짧은 경우에 복수의 핀들(140) 중 일부의 핀들(140)만이 사용될 수 있다. 복수의 핀들(140)은 독립적으로 구동되기 때문에, 사용되지 않는 나머지 핀들(140)은 액츄에이터(150)에 의해 수직 상승된 채로 움직이지 않을 수 있다.
또 다른 실시예로서, 도 8에 도시된 바와 피박리 필름부(30)가 비교적 작은 면적을 차지 하는 경우, 복수의 핀들(140) 중 일부의 핀들(140)을 사용하여 피박리 필름부(30)를 필름(20)으로부터 제거할 수 있음은 물론이다. 본 실시예의 경우에도, 필름 박리 장치(100)의 구성 및 동작은 앞서 도 2 내지 도 6을 참조하여 설명한 바와 같다.
상술한 바와 같은 필름 박리 장치(100)는 유기 발광 표시 장치를 제조하는 경우뿐만 아니라, 태양전지, 반도체 소자, 액정표시장치 등의 제조에 모두 활용가능함은 물론이다.
비록 본 발명이 상기 언급된 바람직한 실시예와 관련하여 설명되었지만, 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다양한 수정이나 변형을 하는 것이 가능하다. 따라서 첨부된 특허청구의 범위에는 본 발명의 요지에 속하는 한 이러한 수정이나 변형을 포함할 것이다.
1: 접착 테이프 10: 기판
10e: 기판의 모서리 20: 필름
20: 필름의 모서리 21: 홈
30: 피박리 필름부 100: 필름 박리 장치
110: 몸체부 120: 테이프 공급부
122: 제1 릴 130: 테이프 회수부
132: 제2 릴 140: 핀
150: 액츄에이터 160: 홀더
170: 장치 구동부 180: 가압부
182: 가압면

Claims (18)

  1. 기판 상의 필름의 일부 영역을 박리하는 장치로서,
    상기 필름 상에 접착 테이프를 공급하는 테이프 공급부;
    상기 접착 테이프의 상부에 배치되고, 상기 필름의 일부 영역을 상기 접착 테이프의 점착면에 부착시키도록 상기 접착 테이프를 향해 수직 하강하고, 상기 접착 테이프에 상기 필름의 일부 영역이 부착된 이후에 순차적으로 수직 상승하는 복수의 핀들; 및
    상기 필름의 일부 영역이 부착된 상기 접착 테이프를 회수하며, 상기 접착 테이프에 상기 필름의 일부 영역이 부착된 이후에 상기 접착 테이프에 장력을 부가하는 테이프 회수부;를 포함하는, 필름 박리 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 핀들은 일렬로 배치되며,
    상기 접착 테이프에 상기 필름의 일부 영역이 부착된 이후에, 상기 복수의 핀들은 상기 테이프 회수부와 인접하게 배치된 일측으로부터 순차적으로 수직 상승하는, 필름 박리 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 필름의 일부 영역은 상기 기판의 각각의 모서리로부터 이격되어 있는, 필름 박리 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 핀들 각각은 상호 독립적으로 수직 상승 또는 수직 하강하는, 필름 박리 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 테이프 회수부는 시계 방향 또는 반시계 방향으로 회동하는 릴을 포함하고,
    상기 릴은, 순차적으로 수직 상승하는 상기 복수의 핀들의 움직임에 동기화되어 회전하는, 필름 박리 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 기판에 대하여 상기 필름 박리 장치를 수직 상승 및 수직 하강시키는 장치 구동부를 더 포함하는, 필름 박리 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 장치 구동부는 상기 접착 테이프에 상기 필름이 부착된 이후에 상기 필름 박리 장치를 수직 상승시키는, 필름 박리 장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 핀들에 의하여 박리되는 상기 필름의 일부 영역의 주변을 가압하는 가압면을 더 포함하는, 필름 박리 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 가압면은 쿠션부를 포함하는, 필름 박리 장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 필름의 일부 영역이 상기 접착 테이프로부터 떨어지지 않도록 상기 필름의 일부 영역을 상기 접착 테이프에 고정시켜주는 홀더를 더 포함하는, 필름 박리 장치.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 피박리 필름부의 길이 또는 폭 방향을 따라 상기 복수의 핀들이 배치되며, 상기 복수의 핀들 중 일부의 핀들만 선택적으로 구동되는, 필름 박리 장치.
  12. 필름의 일부 영역인 피박리 필름부를 박리하는 장치로서,
    상기 피박리 필름부 상에 접착 테이프을 공급하는 제1 릴을 구비하는 테이프 공급부;
    상기 접착 테이프의 길이 방향을 따라 일렬로 상기 접착 테이프 상에 배치되고, 상기 피박리 필름부를 상기 접착 테이프의 점착면에 부착시키도록 상기 접착 테이프를 향해 수직 하강하고, 상기 접착 테이프에 상기 피박리 필름부가 부착된 이후에 일 방향을 따라 순차적으로 수직 상승하는 복수의 핀들; 및
    상기 피박리 필름부가 부착된 상기 접착 테이프를 회수하는 제2 릴을 구비하는 테이프 회수부;를 포함하며,
    상기 접착 테이프에 상기 피박리 필름부가 부착된 이후에 제2 릴은 소정의 각도로 회전하고, 상기 제2 릴의 회전시 상기 제1 릴의 회전은 정지된 상태인, 필름 박리 장치.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 피박리 필름부는 상기 기판 각각의 모서리로부터 이격되어 있는, 필름 박리 장치.
  14. 제12항에 있어서,
    상기 필름 상에 배치되며 상기 피박리 필름부와 인접한 주변부를 가압하는 가압면을 더 포함하는, 필름 박리 장치.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 가압면은 고무 또는 실리콘을 포함하는 쿠션부를 구비하는, 필름 박리 장치.
  16. 제13항에 있어서,
    상기 복수의 핀들의 수직 상승 또는 하강시키는 액츄에이터를 포함하며, 상기 액츄에이터의 구동에 따라 상기 복수의 핀들 각각은 상호 독립적으로 수직 상승 또는 수직 하강하는, 필름 박리 장치.
  17. 제12항에 있어서,
    상기 피박리 필름부가 상기 접착 테이프로부터 떨어지지 않도록 고정시켜주는 홀더를 더 포함하는, 필름 박리 장치.
  18. 제12항에 있어서,
    상기 피박리 필름부는, 상기 피박리 필름부의 외곽을 따라 형성된 복수의 홈을 포함하며, 상기 홈의 깊이는 상기 필름의 두께 보다 작은, 필름 박리 장치.
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