JPH01294421A - 粘着シートの剥離方法 - Google Patents
粘着シートの剥離方法Info
- Publication number
- JPH01294421A JPH01294421A JP12400988A JP12400988A JPH01294421A JP H01294421 A JPH01294421 A JP H01294421A JP 12400988 A JP12400988 A JP 12400988A JP 12400988 A JP12400988 A JP 12400988A JP H01294421 A JPH01294421 A JP H01294421A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- adhesive sheet
- label
- tape
- suction head
- sensitive adhesive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Landscapes
- Labeling Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、粘着シートの剥離方法に関し、詳しくは、粘
着剤付きのテープからダイカットして形成された粘着シ
ートをウェハー保持用のウェハーリングに貼着するため
に粘着シートをシート保持用テープから引き剥がす必要
があり、その粘着シートの剥離方法に関する。
着剤付きのテープからダイカットして形成された粘着シ
ートをウェハー保持用のウェハーリングに貼着するため
に粘着シートをシート保持用テープから引き剥がす必要
があり、その粘着シートの剥離方法に関する。
従来、テープの片面に粘着剤付きのダイカットされた粘
着シート（以下でラベルという）を剥離可能に取付けた
ラベルテープが知られている。また、このようなラベル
テープを、先端に刃型が形成されたエツジ部材に沿わせ
て移動させ、ラベルテープが刃型において鋭く屈曲され
るのを利用して、ラベルをテープの剥離面から引き剥す
エツジリターン式のラベル剥離装置が開発されている。
着シート（以下でラベルという）を剥離可能に取付けた
ラベルテープが知られている。また、このようなラベル
テープを、先端に刃型が形成されたエツジ部材に沿わせ
て移動させ、ラベルテープが刃型において鋭く屈曲され
るのを利用して、ラベルをテープの剥離面から引き剥す
エツジリターン式のラベル剥離装置が開発されている。
また一方、シリコンウェハーを貼着させて位置決めし、
保持させるために、ラベルをウエハーリングに貼着して
その上にウェハーを供給する装置が用いられる。
保持させるために、ラベルをウエハーリングに貼着して
その上にウェハーを供給する装置が用いられる。
しかしながら、上述した従来の粘着シート剥離装置によ
る方法では第２図あるいは第３図に示すようにエツジ部
材１に対し、エツジ部材ｌの刃型ＩＡによってラベルテ
ープ２から剥離されたラベル３を適切なタイミングで吸
着する吸引ヘッド４がラベル３の引き剥がし方向に沿っ
た刃型ＩＡの延長線上に設けられており、剥離されたラ
ベル３を吸引ヘッド４が空中で受取り吸引するようにな
っているために、第２図に示すように、例えば大きいラ
ベル３等の場合はテープ２の矢印方向に移動する慣性と
空気抵抗との関係によって同方向に送り出される剥離ラ
ベルの移動中に撓みが生じ吸着された状態でしわが生じ
る。なお、これらの図において、５はラベルテープ２の
巻取りローラである。
る方法では第２図あるいは第３図に示すようにエツジ部
材１に対し、エツジ部材ｌの刃型ＩＡによってラベルテ
ープ２から剥離されたラベル３を適切なタイミングで吸
着する吸引ヘッド４がラベル３の引き剥がし方向に沿っ
た刃型ＩＡの延長線上に設けられており、剥離されたラ
ベル３を吸引ヘッド４が空中で受取り吸引するようにな
っているために、第２図に示すように、例えば大きいラ
ベル３等の場合はテープ２の矢印方向に移動する慣性と
空気抵抗との関係によって同方向に送り出される剥離ラ
ベルの移動中に撓みが生じ吸着された状態でしわが生じ
る。なお、これらの図において、５はラベルテープ２の
巻取りローラである。
また、柔軟すぎるラベルの場合は、その紙の腰が弱いた
めに、第３図に示すようにラベル３が刃型ＩＡにおいて
うまくヱ０離せず、そのまま巻取りローラ５に巻込まれ
てしまうという不都合があり、吸引ヘッド４によって保
持された粘着シートを図示しない次の過程でウェハーリ
ングに貼着するといった一連の自動化を実施する場合は
粘着シートの欠落が生じる。
めに、第３図に示すようにラベル３が刃型ＩＡにおいて
うまくヱ０離せず、そのまま巻取りローラ５に巻込まれ
てしまうという不都合があり、吸引ヘッド４によって保
持された粘着シートを図示しない次の過程でウェハーリ
ングに貼着するといった一連の自動化を実施する場合は
粘着シートの欠落が生じる。
本発明の目的は、上述したような従来の課題に着目し、
その解決を図るべく、ラベル、すなわち粘着シートの形
状や腰の強さのいかんにかかわらず確実に粘着シートを
剥離と同期して吸引手段との間に授受が可能な粘着シー
トの剥離方法を提案することにある。
その解決を図るべく、ラベル、すなわち粘着シートの形
状や腰の強さのいかんにかかわらず確実に粘着シートを
剥離と同期して吸引手段との間に授受が可能な粘着シー
トの剥離方法を提案することにある。
かかる目的を達成するために、本発明は、複数の粘着シ
ートが所定の間隔を保って剥離可能に貼着された粘着シ
ートの保持テープを先端に刃型部が形成されたエツジ部
材に沿って移動させ、保持テープを刃型部で反転させる
ときに粘着シートを保持テープから剥離させ、吸引手段
により保持させる粘着シートの剥離方法において、吸引
手段を保持テープ上の所定の位置から粘着シートに沿い
保持テープの移動速度に同期して移動させ、刃型部にお
いて剥離される粘着シートを吸引手段により移動させな
がら吸引することを特徴とするものである。
ートが所定の間隔を保って剥離可能に貼着された粘着シ
ートの保持テープを先端に刃型部が形成されたエツジ部
材に沿って移動させ、保持テープを刃型部で反転させる
ときに粘着シートを保持テープから剥離させ、吸引手段
により保持させる粘着シートの剥離方法において、吸引
手段を保持テープ上の所定の位置から粘着シートに沿い
保持テープの移動速度に同期して移動させ、刃型部にお
いて剥離される粘着シートを吸引手段により移動させな
がら吸引することを特徴とするものである。
本発明によれば、吸引手段を粘着シート保持テープ上の
所定の位置からラベルに沿って上記テープの移動速度に
同期して移動させ、刃型部において粘着シート自体の有
する腰の強さを利用して剥離されるラベルを吸引しなが
ら保持することによりラベルの剥離動作を助成すること
ができ、ラベルのサイズの大小や柔軟性のいかんにかか
わらず確実にＩＩＪ ｍを行なわせることができる。
所定の位置からラベルに沿って上記テープの移動速度に
同期して移動させ、刃型部において粘着シート自体の有
する腰の強さを利用して剥離されるラベルを吸引しなが
ら保持することによりラベルの剥離動作を助成すること
ができ、ラベルのサイズの大小や柔軟性のいかんにかか
わらず確実にＩＩＪ ｍを行なわせることができる。
以下に、図面に基づいて本発明の実施例を具体的に説明
する。第１Ａ図は本発明の一実施例を示す。ここで、４
０は吸引ヘッドであるが、吸引ヘッド４０はラベルテー
プ２と同一速度でエツジ部材１に沿った所定の位置から
ラベルテープ２に沿って平行移動するように構成されて
おり、その移動の過程で第１８図に示すようにして、ラ
ベル３を吸着する。
する。第１Ａ図は本発明の一実施例を示す。ここで、４
０は吸引ヘッドであるが、吸引ヘッド４０はラベルテー
プ２と同一速度でエツジ部材１に沿った所定の位置から
ラベルテープ２に沿って平行移動するように構成されて
おり、その移動の過程で第１８図に示すようにして、ラ
ベル３を吸着する。
すなわち、ラベル３は刃型ＩＡのところでラベルテープ
２が急激に反対方向に導かれることによってその先端部
から引剥されていくが、それを補助する如く吸引ヘッド
４０を同期してわ動させると共に吸引動作を行わせるこ
とにより、無理のない形でラベル３を吸着保持させるこ
とができる。なお、吸引ヘッド４０により吸引保持され
たラベル３は詳述しないが第１Ａ図に破線で示す位置に
まで吸引ヘッド４０が移行したところでその吸引の停止
により吸引ヘッド４０から引外されるので、引外しを終
えた吸引ヘッド４０は不図示の移動手段により急速にエ
ツジ部材１上の所定の位置に引戻される。
２が急激に反対方向に導かれることによってその先端部
から引剥されていくが、それを補助する如く吸引ヘッド
４０を同期してわ動させると共に吸引動作を行わせるこ
とにより、無理のない形でラベル３を吸着保持させるこ
とができる。なお、吸引ヘッド４０により吸引保持され
たラベル３は詳述しないが第１Ａ図に破線で示す位置に
まで吸引ヘッド４０が移行したところでその吸引の停止
により吸引ヘッド４０から引外されるので、引外しを終
えた吸引ヘッド４０は不図示の移動手段により急速にエ
ツジ部材１上の所定の位置に引戻される。
本発明者は、ラベルテープ２移動用と吸引ヘッド４の移
動用に送りピッチが０．０１＋ｎｎ／パルスのパルスモ
ータをそれぞれ使用し、これらの移動速度を共に５０ｍ
ｍ／ｓｅｃに保つようになして、エツジ部材１に沿った
所定の位置から吸引ヘッド４により真空圧４００ｍｍＨ
ｇで吸引しながら同期のパルスでモータを駆動して双方
を移動させ、実験的にラベルの剥離を行った結果、極め
て良好な状態でラベルを吸引ヘッドに保持させることが
できた。
動用に送りピッチが０．０１＋ｎｎ／パルスのパルスモ
ータをそれぞれ使用し、これらの移動速度を共に５０ｍ
ｍ／ｓｅｃに保つようになして、エツジ部材１に沿った
所定の位置から吸引ヘッド４により真空圧４００ｍｍＨ
ｇで吸引しながら同期のパルスでモータを駆動して双方
を移動させ、実験的にラベルの剥離を行った結果、極め
て良好な状態でラベルを吸引ヘッドに保持させることが
できた。
なお、ラベルとしては外径２０８ｍｍ 、厚み８０μの
ポリ塩化ビニルフィルムを使用し、ラベルテープは厚み
３８μのポリエチレンテレフタレートフィルムを使用し
た。
ポリ塩化ビニルフィルムを使用し、ラベルテープは厚み
３８μのポリエチレンテレフタレートフィルムを使用し
た。
以上説明してきたように、本発明によれば、複数の粘着
シートが所定の間隔を保って剥離可能に貼着されたラベ
ルテープを先端に刃型部が形成されたエツジ部材に沿っ
て移動させ、刃型部の位置でラベルテープを反転させる
ときに粘着シートをラベルテープから貼着力に打勝って
引き工１」す粘着シートの剥離方法において、吸引手段
をラベルテープ上の所定の位置から粘着シートに沿いラ
ベルテープの移動速度に同期して移動させ、刃型部にお
いて剥離される粘着シートを移動じながら吸引して保持
するので粘着シートのサイズや柔軟性に関係なく剥離さ
れた粘着シートを確実かつ正しく展開された状態で吸引
手段に保持させることができるようになった。
シートが所定の間隔を保って剥離可能に貼着されたラベ
ルテープを先端に刃型部が形成されたエツジ部材に沿っ
て移動させ、刃型部の位置でラベルテープを反転させる
ときに粘着シートをラベルテープから貼着力に打勝って
引き工１」す粘着シートの剥離方法において、吸引手段
をラベルテープ上の所定の位置から粘着シートに沿いラ
ベルテープの移動速度に同期して移動させ、刃型部にお
いて剥離される粘着シートを移動じながら吸引して保持
するので粘着シートのサイズや柔軟性に関係なく剥離さ
れた粘着シートを確実かつ正しく展開された状態で吸引
手段に保持させることができるようになった。
第１Ａ図および第１Ｂ図は本発明粘着シートの剥離方法
の説明図、 第２図および第３図は従来の粘着シートの剥離方法での
不具合の発生状態を示すそれぞれ説明図である。 １・・・エツジ部材、 ＩＡ・・・刃型部、 ２・・・ラベルテープ、 ３・・・ラベル（粘着シート）、 ４・・・吸引ヘッド、 ５・・・巻取りロール。 １ 工γシ゛壺下ネオ ＠ＩＡ図 第１Ｂ図
の説明図、 第２図および第３図は従来の粘着シートの剥離方法での
不具合の発生状態を示すそれぞれ説明図である。 １・・・エツジ部材、 ＩＡ・・・刃型部、 ２・・・ラベルテープ、 ３・・・ラベル（粘着シート）、 ４・・・吸引ヘッド、 ５・・・巻取りロール。 １ 工γシ゛壺下ネオ ＠ＩＡ図 第１Ｂ図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 複数の粘着シートが所定の間隔を保って剥離可能に貼着
された粘着シートの保持テープを先端に刃型部が形成さ
れたエッジ部材に沿って移動させ、前記保持テープを前
記刃型部で反転させるときに前記粘着シートを前記保持
テープから剥離させ、吸引手段により保持させる粘着シ
ートの剥離方法において、 前記吸引手段を前記保持テープ上の所定の位置から前記
粘着シートに沿い前記保持テープの移動速度に同期して
移動させ、 前記刃型部において剥離される前記粘着シートを前記吸
引手段により移動させながら吸引することを特徴とする
粘着シートの剥離方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12400988A JPH01294421A (ja) | 1988-05-23 | 1988-05-23 | 粘着シートの剥離方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12400988A JPH01294421A (ja) | 1988-05-23 | 1988-05-23 | 粘着シートの剥離方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01294421A true JPH01294421A (ja) | 1989-11-28 |
Family
ID=14874765
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12400988A Pending JPH01294421A (ja) | 1988-05-23 | 1988-05-23 | 粘着シートの剥離方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01294421A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0522311U (ja) * | 1991-09-05 | 1993-03-23 | 義浩 豊田 | ラベル貼付装置 |
| US5310442A (en) * | 1991-05-13 | 1994-05-10 | Nitto Denko Corporation | Apparatus for applying and removing protective adhesive tape to/from semiconductor wafer surfaces |
| JP2022070428A (ja) * | 2020-10-27 | 2022-05-13 | 株式会社フジキカイ | ラベル貼付装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62214958A (ja) * | 1986-03-14 | 1987-09-21 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 荷札情報の付与装置及び結束帯 |
-
1988
- 1988-05-23 JP JP12400988A patent/JPH01294421A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62214958A (ja) * | 1986-03-14 | 1987-09-21 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 荷札情報の付与装置及び結束帯 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5310442A (en) * | 1991-05-13 | 1994-05-10 | Nitto Denko Corporation | Apparatus for applying and removing protective adhesive tape to/from semiconductor wafer surfaces |
| JPH0522311U (ja) * | 1991-09-05 | 1993-03-23 | 義浩 豊田 | ラベル貼付装置 |
| JP2022070428A (ja) * | 2020-10-27 | 2022-05-13 | 株式会社フジキカイ | ラベル貼付装置 |
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