JP2009206530A - シート剥離装置および方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 半導体ウェハWに貼付された保護シートFを接着テープを用いて剥離するシート剥離装置である。接着テープとしては感熱性接着テープを使用し、接着テープをヒーター工具によって保護シートFの端部に熱圧着する。その後接着テープをカッター刃で切断し、ヒーターカッター部とテープ繰出し部を上昇させ、剥がしヘッド400で接着テープを把持して、剥がしヘッド400を移動させて保護シートFを引っ張って剥離する。剥離した保護シートFは接着テープと共に廃棄ボックスへ廃棄する。
【選択図】 図10
Description
図2)が取り付けられ、これにより摩擦板を介してリール301の回転軸に摩擦力が与えられている。
図2に示すように、台部100には基板101が設置され、この基板101上に固定されたシリンダ325によってテープ繰出し部300がZ軸方向に移動する。
200 テーブル部
300 テープ繰出し部
400 剥がしヘッド部
500 ヒーターカッター部
505 ヒーター工具
515 カッター
F 保護シート
T 接着テープ
W 半導体ウェハ
Claims (6)
- 板状部材に貼付されたシートに接着テープを貼付し、前記接着テープと共に前記シートを板状部材から剥離するシート剥離装置において、
前記シートが貼付された板状部材を保持するテーブルと、
前記シートに接着テープを貼付する接着手段と、
前記接着テープを引っ張る移動手段とを備え、
前記接着手段は、前記接着テープを加熱するヒーターを有することを特徴とするシート剥離装置。 - 板状部材に貼付されたシートに感熱性接着テープを貼付し、前記感熱性接着テープと共に前記シートを板状部材から剥離するシート剥離装置において、
前記シートが貼付された板状部材を保持するテーブルと、
前記シートに感熱性接着テープを貼付する接着手段と、
前記感熱性接着テープを引っ張る移動手段とを備え、
前記接着手段は、前記感熱性接着テープを加熱するヒーターを有することを特徴とするシート剥離装置。 - 板状部材に貼付されたシートに接着テープを貼付し、前記接着テープを引っ張って前記シートを剥離するシート剥離装置において、前記接着テープとして感熱性接着テープを使用するとともに、ヒーターを介して前記接着テープと前記シートを接着することを特徴とするシート剥離装置。
- シートが貼付された板状部材をテーブルに載置する工程と、
前記シートにヒーターを介して接着テープを貼付する工程と、
前記接着テープを引っ張る工程と
を備えることを特徴とするシート剥離方法。 - シートが貼付された板状部材をテーブルに載置する工程と、
前記シートにヒーターを介して感熱性接着テープを貼付する工程と、
前記感熱性接着テープを引っ張る工程と
を備えることを特徴とするシート剥離方法。 - 板状部材に貼付されたシートに接着テープを貼付し、前記接着テープを引っ張って前記シートを剥離するシート剥離方法において、前記接着テープとして感熱性接着テープを使用するとともに、ヒーターを介して前記接着テープと前記シートを接着することを特徴とするシート剥離方法。
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