KR102452295B1 - 테이프 박리 장치 - Google Patents

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Abstract

(과제) 박리 테이프를 사용하지 않고, 판상물로부터 테이프를 박리할 수 있도록 한다.
(해결수단) 테이프 (T) 가 첩착된 판상물 (W) 로부터 테이프 (T) 를 박리하는 테이프 박리 장치에 있어서, 판상물 (W) 과 테이프 (T) 의 계면에 진입하여 박리 기점 (T1) 을 형성하는 박리 기점 형성부 (3) 와, 박리 기점 형성부 (3) 를 계면에 대하여 자유롭게 진퇴할 수 있도록 상대 이동시키는 이동 수단과, 박리 기점 형성부 (3) 에 의해 형성된 테이프 (T) 의 박리 기점 (T1) 을 유지하면서 테이프 (T) 를 판상물 (W) 로부터 박리하는 박리 수단 (4) 을 구비하고, 박리 기점 형성부 (3) 는, 판상물의 두께 방향으로부터 경사진 경사면 (351) 과, 계면에 진입하는 진입 방향과 평행한 바닥부 (350) 를 포함하는 선단부 (30) 를 갖고, 선단부 (30) 에는, 일단이 에어 공급원 (33) 에 접속된 에어 공급로 (300) 와, 에어 공급로 (300) 의 타단이 접속되고 진입한 계면에 에어를 분출하는 에어 분출구 (301) 를 형성한다.

Description

테이프 박리 장치{TAPE PEELING APPARATUS}
본 발명은, 테이프가 첩착 (貼着) 된 판상물로부터 그 테이프를 박리하는 테이프 박리 장치에 관한 것이다.
반도체 웨이퍼 등의 판상물을 연삭하는 경우에 있어서는, 피연삭면의 반대면에 보호 테이프가 붙여지고, 보호 테이프측이 유지된 상태로 연삭이 실시된다. 그리고, 연삭 종료 후에는, 보호 테이프가 박리되어, 판상물이 다음의 공정으로 반송된다.
보호 테이프는, 보호 테이프에 박리 테이프를 첩착하고, 박리 테이프를 잡아당김으로써 판상물로부터 박리된다 (예를 들어, 특허문헌 1, 2 참조).
일본 공개특허공보 평11-16862호 일본 공개특허공보 2003-338477호
그러나, 박리용 테이프를 사용하는 테이프 박리 장치는, 장치 구조가 복잡해지는 데다가, 박리 테이프의 러닝 코스트도 커진다는 문제가 있다. 또, 폐기한 박리 테이프가 장치 내에 부착된다는 문제도 있다. 따라서, 박리 테이프를 사용하지 않고 보호 테이프를 박리할 수 있도록 하는 것이 바람직하다.
본 발명은, 이와 같은 문제를 감안하여 이루어진 것으로, 박리 테이프를 사용하지 않고, 판상물로부터 테이프를 박리할 수 있도록 하는 것을 과제로 한다.
테이프가 첩착된 판상물로부터 그 테이프를 박리하는 테이프 박리 장치로서, 그 테이프가 첩착된 판상물을 유지하는 유지 수단과, 판상물과 그 테이프의 계면에 진입하여 박리 기점을 형성하는 박리 기점 형성부와, 그 박리 기점 형성부를 그 계면에 대하여 자유롭게 진퇴할 수 있도록 상대 이동시키는 이동 수단과, 그 박리 기점 형성부에 의해 형성된 그 테이프의 박리 기점을 유지하면서 그 테이프를 판상물로부터 박리하는 박리 수단을 구비하고, 그 박리 기점 형성부는, 판상물의 두께 방향으로부터 경사진 경사면과, 그 계면에 진입하는 진입 방향과 평행한 바닥면을 갖는 바닥부와, 그 바닥면과 그 경사면에 의해 형성된 훅부를 포함하는 선단부를 갖고, 그 선단부에는, 일단이 에어 공급원에 접속된 에어 공급로와, 그 바닥부에 있어서 그 훅부측을 향하여 비스듬하게 하방으로 개구하고 그 에어 공급로의 타단이 접속되고, 진입한 그 계면에 에어를 분출하는 에어 분출구가 형성되고, 그 선단부를 그 바닥면에 평행한 방향으로 상대 이동시켜 그 계면에 그 훅부를 진입시키고, 또한 그 에어 분출구로부터 에어를 분출시키면서 그 선단부를 상승시킴으로써, 그 테이프를 박리하기 위한 기점을 형성한다.
본 발명에서는, 박리 기점 형성부가 진입한 판상물과 테이프의 계면에 에어를 분출하는 에어 분출구를 박리 기점 형성부에 형성했기 때문에, 에어 분출구로부터 에어를 분출함으로써, 테이프의 일부가 판상물로부터 박리된 박리 기점을 형성할 수 있다. 따라서, 종래 사용하고 있던 박리 테이프를 사용하지 않아도, 테이프를 판상물 (W) 로부터 박리하는 것이 가능해진다.
도 1 은 테이프 박리 장치의 예를 나타내는 사시도이다.
도 2 는 박리 기점 형성부의 예를 나타내는 단면도이다.
도 3 은 유지 수단에 있어서 판상물을 유지한 상태를 약시적 (略示的) 으로 나타내는 단면도이다.
도 4 는 박리 기점 형성부를 테이프 (T) 및 판상물 (W) 의 주연부보다 외주측의 상방에 위치시킨 상태를 약시적으로 나타내는 단면도이다.
도 5 는 박리 기점 형성부의 훅부를 판상물과 테이프의 계면의 측방에 위치시킨 상태를 약시적으로 나타내는 단면도이다.
도 6 은 박리 기점 형성부의 훅부를 판상물과 테이프의 계면에 파고들게 한 상태를 약시적으로 나타내는 단면도이다.
도 7 은 박리 기점 형성부의 에어 분출구로부터 에어를 분출하여 테이프의 일부를 박리하여 박리 기점을 형성한 상태를 약시적으로 나타내는 단면도이다.
도 8 은 테이프 박리 수단의 제 1 협지편 (挾持片) 에 의해 박리 기점을 지지한 상태를 약시적으로 나타내는 단면도이다.
도 9 는 테이프 박리 수단의 제 1 협지편과 제 2 협지편에 의해 박리 기점을 협지한 상태를 약시적으로 나타내는 단면도이다.
도 10 은 테이프 박리 수단의 제 1 협지편과 제 2 협지편에 의해 박리 기점을 협지하고, 절곡 롤러에 의해 테이프를 누르면서 테이프의 박리를 진행시키는 상태를 약시적으로 나타내는 단면도이다.
도 11 은 절곡 롤러에 의해 박리된 테이프를 테이프 박리 수단의 유지판에 가압하여 유지시키는 상태를 약시적으로 나타내는 단면도이다.
도 12 는 제 1 협지편과 제 2 협지편에 의한 테이프의 박리 기점의 협지를 해제한 상태를 약시적으로 나타내는 단면도이다.
도 1 에 나타내는 테이프 박리 장치 (1) 는, 테이프 (T) 가 첩착된 판상물 (W) 을 유지하는 유지 수단 (2) 과, 테이프 (T) 를 판상물 (W) 로부터 박리하기 위한 기점을 형성하는 박리 기점 형성부 (3) 와, 테이프 (T) 를 판상물 (W) 로부터 박리하는 박리 수단 (4) 을 구비하고 있다.
유지 수단 (2) 은, 포러스 부재에 의해 구성되는 흡착부 (20) 와, 흡착부 (20) 를 외주측으로부터 지지하는 프레임체 (21) 를 구비하고 있다. 흡착부 (20) 의 상면과 프레임체 (21) 의 상면은 면일 (面一) 하게 형성되어 있고, 이 면이 유지면 (22) 을 구성하고 있다.
유지 수단 (2) 은, 이동 수단 (5) 에 의해 구동되어 X 축 방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 이동 수단 (5) 은, X 축 방향으로 연장되는 볼 나사 (50) 와, 볼 나사 (50) 와 평행하게 배치 형성된 1 쌍의 가이드 레일 (51) 과, 볼 나사 (50) 의 일단에 연결되고 볼 나사 (50) 를 회전시키는 모터 (52) 와, 볼 나사 (50) 에 나사 결합하는 너트를 내부에 가짐과 함께 바닥부가 가이드 레일 (51) 에 슬라이딩 접촉하는 이동 기대 (基臺) (53) 로 구성되어 있고, 모터 (52) 가 볼 나사 (50) 를 회전시키면, 가이드 레일 (51) 에 가이드되어 이동 기대 (53) 가 X 축 방향으로 이동하고, 이것에 수반하여 이동 기대 (53) 에 고정된 유지 수단 (2) 도 X 축 방향으로 이동하는 구성으로 되어 있다.
도 1 에 나타내는 바와 같이, 박리 기점 형성부 (3) 는, 유지 수단 (2) 의 이동 경로의 상방에 배치 형성된 선단부 (30) 와, 선단부 (30) 를 승강시키는 승강 수단 (31) 을 구비하고 있다. 승강 수단 (31) 은, 제 1 에어 실린더 (310a) 와, 제 1 에어 실린더 (310a) 에 의해 구동되어 승강하는 제 1 로드 (310b) 와, 제 1 로드 (310b) 의 상단으로부터 수평 방향으로 연장되는 아암부 (311) 와, 아암부 (311) 의 일단으로부터 수하하는 수하부 (312) 로 구성되어 있다.
도 2 에 나타내는 바와 같이, 박리 기점 형성부 (3) 를 구성하는 선단부 (30) 는, 내부에 에어를 유통시키는 에어 공급로 (300) 를 구비하고 있다. 에어 공급로 (300) 의 일단은, 밸브 (32) 를 개재하여 에어 공급원 (33) 에 접속되어 있다. 한편, 에어 공급로 (300) 의 타단은, 에어를 분출하는 에어 분출구 (301) 에 연통되어 있다.
선단부 (30) 는, 연직 방향으로 연장되는 축부 (34) 와, 축부 (34) 의 하단에 연결된 작용부 (35) 로 구성되어 있다. 작용부 (35) 는, 정면에서 보아 대략 사다리꼴로 형성되고, 유지 수단 (2) 의 유지면 (22) 과 평행한 바닥면 (350a) 을 갖는 바닥부 (350) 와, 판상물의 두께 방향에 대하여 경사져 있는 경사면 (351) 을 구비하고 있다. 바닥면 (350a) 과 경사면 (351) 에 의해, 단면 형상이 예각상으로 형성된 훅부 (352) 를 형성하고 있다. 에어 공급로 (300) 는, 축부 (34) 와 작용부 (35) 를 관통하고 있다. 또, 에어 분출구 (301) 는, 바닥부 (350) 에 있어서, 훅부 (352) 측을 향하여 비스듬하게 하방으로 경사진 상태로 개구하여 형성되어 있다.
도 1 에 나타내는 바와 같이, 박리 수단 (4) 은, 유지 베이스 (40) 와, 유지 베이스 (40) 에 대하여 승강 가능한 유지판 (41) 과, 박리하는 테이프 (T) 를 협지하는 협지부 (42) 를 구비하고 있다.
유지판 (41) 은, 평판상으로 형성된 유지 베이스 (40) 의 상면에 세워 형성된 제 2 에어 실린더 (43a) 에 의해 구동되어 승강하는 제 2 로드 (43b) 와 연결되어 있고, 제 2 로드 (43b) 와 함께 승강 가능하게 되어 있다.
유지판 (41) 은, 내부가 중공으로 구성되며, 도시되지 않은 미공이 하면 전체면에 다수 형성되어 있고, 제 2 로드 (43b) 의 내부를 개재하여 흡인원에 연통되고, 유지판 (41) 의 하면에 부압을 발생시키는 것이 가능하게 되어 있다.
협지부 (42) 는, 유지 베이스 (40) 상에 배치 형성된 제 3 에어 실린더 (44a) 와, 제 3 에어 실린더 (44a) 에 의해 구동되어 X 축 방향으로 진퇴하는 제 3 로드 (44b) 와, 제 3 로드 (44b) 의 선단에 고정된 제 1 협지편 (45) 과, 유지 베이스 (40) 의 단부 (端部) 로부터 수하하는 제 2 협지편 (46) 으로 구성된다. 제 1 협지편 (45) 및 제 2 협지편 (46) 은, 평판상으로 형성되며, 서로가 평행한 상태로 대면하고 있고, 제 3 에어 실린더 (44a) 가 제 3 로드 (44b) 를 구동하여 제 1 협지편 (45) 을 X 축 방향으로 이동시킴으로써, 제 1 협지편 (45) 을 제 2 협지편 (46) 에 대하여 접근 또는 이반 (離反) 시킬 수 있다.
유지 베이스 (40) 의 하면에는, 제 4 로드 (47b) 의 상단이 연결되어 있다. 이 제 4 로드 (47b) 는 제 4 에어 실린더 (47a) 에 의해 구동되어 승강하고, 이것에 수반하여 유지 베이스 (40) 도 승강한다. 또, 제 4 로드 (47b) 는, 수평 방향으로 회전 가능하게 되어 있고, 이로써 제 4 로드 (47b) 의 축을 중심으로 하여, 유지 베이스 (40), 유지판 (41) 및 협지부 (42) 를 전체로서 수평 방향으로 회전시킬 수 있다.
유지 수단 (2) 의 이동 경로의 상방에는, Y 축 방향으로 연장되는 절곡 롤러 (48) 가 배치 형성되어 있다. 절곡 롤러 (48) 는, 안내부 (48a) 를 따라 X 축 방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 절곡 롤러 (48) 는, Y 축 방향의 축 중심을 중심으로 하여 회전 가능하며, 그 길이는, 적어도 판상물에 첩착되는 보호 테이프의 직경보다 길게 되어 있다. 또, 절곡 롤러 (48) 의 표면은, 테이프 (T) 의 박리시에 있어서의 점착제의 부착을 억제하기 위하여, 불소 수지가 코팅되어 있다.
박리 수단 (4) 의 근방에는, 박리 수단 (4) 이 박리한 테이프를 수용하는 폐기 용기 (6) 가 배치 형성되어 있다. 폐기 용기 (6) 는, 상부가 개구되어 형성되어 있다.
도 3 에 나타내는 바와 같이, 유지 수단 (2) 은, 승강 수단 (7) 에 의해 승강 가능하게 지지되어 있다. 승강 수단 (7) 은, 복수의 제 5 에어 실린더 (70a) 와, 상단이 유지 수단 (2) 에 고정되고 제 5 에어 실린더 (70a) 에 의해 구동되어 승강하는 복수의 제 5 로드 (70b) 에 의해 구성되어 있다. 또한, 도 1 에 있어서는 승강 수단 (7) 의 도시를 생략하고 있다.
도 1 에 있어서는 도시를 생략하고 있지만, 도 3 에 나타내는 바와 같이, 유지 수단 (2) 의 주위에는, 판상물 (W) 에 첩착되는 시트 (S) 를 상하 방향으로부터 협지하여 유지하는 시트 유지 수단 (8) 이 배치 형성되어 있다. 시트 유지 수단 (8) 은, 도 1 에 나타낸 이동 수단 (5) 에 의해 구동되어 X 축 방향으로 이동 가능하게 되어 있다.
이하에서는, 이와 같이 구성되는 테이프 박리 장치 (1) 를 사용하여, 테이프 (T) 가 첩착된 판상물 (W) 로부터 테이프 (T) 를 박리하는 경우에 있어서의 테이프 박리 장치 (1) 의 동작에 대하여, 도 3 - 도 12 를 참조하여 설명한다. 또한, 본 예에 있어서의 판상물 (W) 은 반도체 웨이퍼이며, 내부에 레이저빔이 집광됨으로써 분할하기 위한 기점인 개질층이 형성되어 있는 것으로 한다.
먼저, 도 3 에 나타내는 바와 같이, 유지 수단 (2) 에 있어서, 테이프 (T) 가 첩착된 판상물 (W) 을 유지한다. 유지 수단 (2) 의 유지면 (22) 과 판상물 (W) 사이에는, 신장 가능한 시트 (S) 가 개재되고, 시트 (S) 의 X 축 방향의 양단은, 시트 유지 수단 (8) 에 의해 상하 방향으로 끼워져 유지되어 있다. 시트 (S) 로는, 예를 들어, 폴리올레핀이나 폴리염화비닐 등으로 이루어지는 기재의 일방의 면에 점착층이 형성된 것을 사용할 수 있으며, 기재측이 유지면 (22) 에 의해 유지되고, 점착층측에 판상물 (W) 이 첩착되어 있다.
시트 (S) 를 개재하여 유지면 (22) 에 판상물 (W) 이 흡인 유지됨으로써, 테이프 (T) 가 상방으로 노출된 상태가 된다. 이 때, 박리 기점 형성부 (3) 및 박리 수단 (4) 은, 유지 수단 (2) 보다 ＋X 방향측에 위치하고 있다. 또, 밸브 (32) 는 폐지 상태로 되어 있다.
다음으로, 도 1 에 나타낸 이동 수단 (5) 이 유지 수단 (2) 및 시트 유지 수단 (8) 을 ＋X 방향으로 이동시켜, 도 4 에 나타내는 바와 같이, 테이프 (T) 를 테이프 박리 수단 (4) 의 하방에 위치시킨다. 이 때, 박리 기점 형성부 (3) 의 훅부 (352) 가, 테이프 (T) 및 판상물 (W) 의 주연부보다 약간 외주측 (－X 방향측) 의 상방에 위치하도록 한다. 이 상태에 있어서도, 밸브 (32) 는 폐지 상태로 되어 있다.
다음으로, 도 1 에 나타낸 제 1 에어 실린더 (310a) 가 제 1 로드 (310b) 를 하강시킴으로써, 도 5 에 나타내는 바와 같이, 박리 기점 형성부 (3) 의 훅부 (352) 를, 테이프 (T) 와 판상물 (W) 의 계면 (B) 의 측방에 위치시킨다.
그리고, 도 1 에 나타낸 이동 수단 (5) 이, 도 6 에 나타내는 바와 같이 유지 수단 (2) 및 시트 유지 수단 (8) 을 －X 방향으로 상대 이동시킴으로써, 계면 (B) 에 대하여 박리 기점 형성부 (3) 를 X 축 방향으로 상대 이동시키고, 계면 (B) 에 훅부 (352) 를 진입시키면서, 도 7 에 나타내는 바와 같이 밸브 (32) 를 열어 에어 분출구 (301) 로부터 계면 (B) 에 에어를 분출시킨다. 이 때, 훅부 (352) 의 진입 방향은, 바닥면 (350a) 과 평행한 방향이며, 훅부 (352) 의 선단이 계면 (B) 에 진입한다. 그리고 또한, 에어 분출구 (301) 로부터 에어를 분출시키면서, 도 1 에 나타낸 제 1 에어 실린더 (310a) 가 선단부 (30) 를 약간 상승시킴으로써, 테이프 (T) 의 단부를 판상물 (W) 로부터 박리한다. 이로써, 테이프 (T) 중 박리된 부분이, 박리 기점 (T1) 이 된다.
이와 같이, 에어 분출구 (301) 로부터 계면 (B) 에 에어를 분출함으로써, 테이프 (T) 의 일부가 판상물 (W) 로부터 박리된 박리 기점 (T1) 을 형성할 수 있다. 그리고, 이후에 박리 수단 (4) 에 의해 이 박리 기점 (T1) 을 협지함으로써, 테이프 (T) 를 박리하는 것이 가능하게 되기 때문에, 종래 사용하고 있던 박리 테이프를 사용하지 않아도, 테이프 (T) 를 판상물 (W) 로부터 박리하는 것이 가능해진다.
다음으로, 도 8 에 나타내는 바와 같이, 박리 기점 형성부 (3) 를 상승시킴과 함께 밸브 (32) 를 폐지하고, 제 1 협지편 (45) 이, 박리된 테이프 (T) 의 단부를 측방으로부터 지지한다. 그리고, 도 1 에 나타낸 제 3 에어 실린더 (44a) 가 제 3 로드 (44b) 를 ＋X 방향으로 끌어들임으로써, 도 9 에 나타내는 바와 같이, 제 1 협지편 (45) 을 ＋X 방향으로 이동시키고, 제 1 협지편 (45) 과 제 2 협지편 (46) 사이에 테이프 (T) 의 박리 기점 (T1) 을 협지한다. 또, 절곡 롤러 (48) 를 ＋X 방향으로 이동시키고, 테이프 (T) 의 솟아 오른 부분의 점착면측에 맞닿게 한다.
이어서, 도 10 에 나타내는 바와 같이, 절곡 롤러 (48) 가 테이프 (T) 에 접촉함으로써 테이프 (T) 가 절곡 롤러 (48) 의 둘레면을 따라 절곡된 상태를 유지하면서, 유지 수단 (2) 을 －X 방향으로 이동시킴으로써 박리 수단 (4) 을 유지 수단 (2) 에 대하여 ＋X 방향으로 상대 이동시키고, 테이프 (T) 를 박리해 간다. 이 때, 보호 테이프 (T) 의 박리 중에 판상물 (W) 에 균열이나 파손이 발생할 우려를 저감시키기 위하여, 테이프 (T) 는, 약 180 도 절곡된 상태로 하는 것이 바람직하다.
또한 박리 수단 (4) 을 유지 수단 (2) 에 대하여 ＋X 방향으로 상대 이동시켜 가면, 도 11 에 나타내는 바와 같이, 테이프 (T) 가 전부 판상물 (W) 로부터 박리된다. 또, 계속해서 절곡 롤러 (48) 를 ＋X 방향으로 상대 이동시킴으로써, 테이프 (T) 가 유지판 (41) 의 하면에 가압된다. 즉, 유지판 (41) 에 유지된 테이프 (T) 의 하면에 절곡 롤러 (48) 가 접하여 상방으로 힘이 가해지도록, 유지판 (41) 의 높이 위치가, 도 1 에 나타낸 제 2 에어 실린더 (43a) 에 의해 제어된다. 그리고, 유지판 (41) 에 흡인력을 작용시킴으로써, 테이프 (T) 를 흡인 유지한다.
이렇게 하여 테이프 (T) 가 박리되면, 제 3 에어 실린더 (44a) 가 제 1 협지편 (45) 을 －X 방향으로 이동시킴으로써, 제 1 협지편 (45) 과 제 2 협지편 (46) 에 의한 박리 기점 (T1) 의 협지를 해제한다. 또, 도 1 에 나타낸 제 4 로드 (47b) 를 중심으로 하여 박리 수단 (4) 을 수평 방향으로 회전시킨 후, 유지판 (41) 에 의한 테이프 (T) 의 흡인 유지를 해제함으로써, 박리한 테이프 (T) 가 폐기 용기 (6) 에 폐기된다.
이와 같이, 박리 기점 형성부 (3) 의 훅부 (352) 를 테이프 (T) 와 판상물 (W) 의 계면 (B) 에 파고들게 하고, 에어 분출구 (301) 로부터 에어를 분출시키면서 훅부 (352) 가 상승함으로써, 테이프 (T) 의 단부를 상승시켜 박리 기점 (T1) 을 형성할 수 있다. 따라서, 종래 사용하고 있던 박리 테이프를 사용하지 않아도, 테이프를 판상물 (W) 로부터 박리하는 것이 가능해진다.
이와 같이 하여 판상물 (W) 로부터 테이프 (T) 가 박리된 후에도, 판상물 (W) 은, 시트 (S) 를 개재하여 유지 수단 (2) 에 유지되어 있다. 그리고, 제 5 에어 실린더 (70a) 가 제 5 로드 (70b) 를 상승시킴으로써, 시트 (S) 를 수평 방향으로 방사상으로 신장시킨다. 그렇게 하면, 판상물 (W) 의 내부에 형성된 개질층을 기점으로 하여 판상물 (W) 이 분할된다. 또, 분할에 의해 형성된 복수의 칩의 간격을 넓힐 수 있고, 이로써, 칩끼리가 접촉하여 파손되거나 하는 것을 방지할 수 있다.
또한, 상기 실시형태에서는, 이동 수단 (5) 에 의해 유지 수단 (2) 을 ＋X 방향으로 이동시킴으로써, 훅부 (352) 를 계면 (B) 에 파고들게 하는 것으로 했지만, 유지 수단 (2) 이 X 축 방향으로 이동하지 않고, 훅부 (352) 를 구비한 박리 기점 형성부 (3) 가 X 축 방향으로 이동하는 구성으로 해도 되고, 유지 수단 (2) 및 박리 기점 형성부 (3) 의 쌍방이 X 축 방향으로 이동하는 구성으로 해도 된다.
또, 상기 실시형태에서는, 승강 수단 (31) 이 박리 기점 형성부 (3) 를 상승시킴으로써, 테이프 (T) 의 단부를 판상물 (W) 로부터 박리하는 것으로 했지만, 박리 기점 형성부 (3) 가 승강하지 않고, 유지 수단 (2) 이 승강하는 구성으로 해도 되고, 유지 수단 (2) 및 박리 기점 형성부 (3) 의 쌍방이 승강하는 구성으로 해도 된다.
즉, 테이프 박리 장치 (1) 는, 계면 (B) 에 대하여 박리 기점 형성부 (3) 를 자유롭게 진퇴할 수 있도록 상대 이동시킬 수 있는 이동 수단을 구비하고 있으면 된다.
1 : 테이프 박리 장치
2 : 유지 수단
20 : 흡착부
21 : 프레임체
22 : 유지면
3 : 박리 기점 형성부
30 : 선단부
300 : 에어 공급로
301 : 에어 분출구
31 : 승강 수단
310a : 제 1 에어 실린더
310b : 제 1 로드
311 : 아암부
312 : 수하부
32 : 밸브
33 : 에어 공급원
34 : 축부
35 : 작용부
350 : 바닥부
351 : 경사면
352 : 훅부
4 : 박리 수단
40 : 유지 베이스
41 : 유지판
42 : 협지부
43a : 제 2 에어 실린더
43b : 제 2 로드
44a : 제 3 에어 실린더
44b : 제 3 로드
45 : 제 1 협지편
46 : 제 2 협지편
47a : 제 4 에어 실린더
47b : 제 4 로드
48 : 절곡 롤러
48a : 안내부
5 : 이동 수단
50 : 볼 나사
51 : 가이드 레일
52 : 모터
53 : 이동 기대
6 : 폐기 용기
7 : 승강 수단
70a : 제 5 에어 실린더
70b : 제 5 로드
8 : 시트 유지 수단

Claims (1)

  1. 테이프가 첩착된 판상물로부터 그 테이프를 박리하는 테이프 박리 장치로서,
    그 테이프가 첩착된 판상물을 유지하는 유지 수단과,
    판상물과 그 테이프의 계면에 진입하여 박리 기점을 형성하는 박리 기점 형성부와,
    그 박리 기점 형성부를 그 계면에 대하여 자유롭게 진퇴할 수 있도록 상대 이동시키는 이동 수단과,
    그 박리 기점 형성부에 의해 형성된 그 테이프의 박리 기점을 유지하면서 그 테이프를 판상물로부터 박리하는 박리 수단을 구비하고,
    그 박리 기점 형성부는, 판상물의 두께 방향으로부터 경사진 경사면과, 그 계면에 진입하는 진입 방향과 평행한 바닥면을 갖는 바닥부와, 그 바닥면과 그 경사면에 의해 형성된 훅부를 포함하는 선단부를 갖고,
    그 선단부에는, 일단이 에어 공급원에 접속된 에어 공급로와, 그 바닥부에 있어서 그 훅부측을 향하여 비스듬하게 하방으로 개구하고 그 에어 공급로의 타단이 접속되고 진입한 그 계면에 에어를 분출하는 에어 분출구가 형성되고,
    그 선단부를 그 바닥면에 평행한 방향으로 상대 이동시켜 그 계면에 그 훅부를 진입시키고, 또한 그 에어 분출구로부터 에어를 분출시키면서 그 선단부를 상승시킴으로써, 그 테이프를 박리하기 위한 기점을 형성하는 테이프 박리 장치.
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