JPS63131208A - 微小回転角位置合せ装置 - Google Patents
微小回転角位置合せ装置Info
- Publication number
- JPS63131208A JPS63131208A JP61275421A JP27542186A JPS63131208A JP S63131208 A JPS63131208 A JP S63131208A JP 61275421 A JP61275421 A JP 61275421A JP 27542186 A JP27542186 A JP 27542186A JP S63131208 A JPS63131208 A JP S63131208A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- positioning device
- ball screw
- angle positioning
- rotating body
- rotational angle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims abstract description 17
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 8
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims abstract description 5
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims abstract description 5
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims abstract description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 241000257465 Echinoidea Species 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
- G03F7/70716—Stages
- G03F7/70725—Stages control
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の分野］
本発明は、液晶ディスプレー表示板あるいは半導体ウニ
八等の製造工程において、マスクパターンに対するガラ
ス板、ウニ八等の被処理物の位置決め装置に関し、特に
マスクアライメント時に必要な微小回転角の位置合せ装
置に関する。
八等の製造工程において、マスクパターンに対するガラ
ス板、ウニ八等の被処理物の位置決め装置に関し、特に
マスクアライメント時に必要な微小回転角の位置合せ装
置に関する。
［従来技術］
従来゛の微小回転角位置合せ装置を第４図に示す。（ａ
）図は上面図、（ｂ）図は側面図である。位置合せすべ
き回転体２０にギヤ２１が形成されている。このギヤ２
１はギヤ２２と噛み合い、ギヤ２２はギヤ２７．２３を
介してモータ２４に連結されている。２５はガイドロー
ラ、２６はボールベアリングである。
）図は上面図、（ｂ）図は側面図である。位置合せすべ
き回転体２０にギヤ２１が形成されている。このギヤ２
１はギヤ２２と噛み合い、ギヤ２２はギヤ２７．２３を
介してモータ２４に連結されている。２５はガイドロー
ラ、２６はボールベアリングである。
このような構成において、回転体２０の回転角はモータ
２４の駆動により位置決め制御されていた。しかしなが
ら、このような従来のギヤの組合せによる回転伝達機構
を用いた位置合せ装置においては、各ギヤ間での軸のガ
タあるいはバックラッシュ等の噛み合いガタ等のため微
小回転送りの精度が低下していた。また、このような歯
車のガタを加工、組立精度を向上させることで補償する
ことは実際上困難であった。
２４の駆動により位置決め制御されていた。しかしなが
ら、このような従来のギヤの組合せによる回転伝達機構
を用いた位置合せ装置においては、各ギヤ間での軸のガ
タあるいはバックラッシュ等の噛み合いガタ等のため微
小回転送りの精度が低下していた。また、このような歯
車のガタを加工、組立精度を向上させることで補償する
ことは実際上困難であった。
［発明の目的］
本発明は、前記従来技術の欠点に鑑みなされたものであ
って、駆動源からの駆動力をガタを生ずることなく回転
体に伝達し微小回転の送り精度の向上を図り高精度の位
置決めが可能な微小回転角位置合せ装置の提供を目的と
する。
って、駆動源からの駆動力をガタを生ずることなく回転
体に伝達し微小回転の送り精度の向上を図り高精度の位
置決めが可能な微小回転角位置合せ装置の提供を目的と
する。
［実施例］
第１図は本発明実施例の上面図、第２図はその中央部の
縦断面図、第３図は本発明実施例の要部詳細図である。
縦断面図、第３図は本発明実施例の要部詳細図である。
１は枠体であり、図示しないＸＹステージの一部を構成
しＸＹ方向に可動である。
しＸＹ方向に可動である。
枠体１上にはサーボモータ２が取付けられている。サー
ボモータ２はカップリング３を介して送り用ボールネジ
４に連結される。枠体１上には位置合せすべき回転体１
６がベアリング１９を介して回転可能に搭載されている
。１８は回転体１６のガイドローラである。前記ボール
ネジ４は回転体１６の回転円弧の接線方向に沿って設け
られる。すなわち、ボールネジ４の長袖は、回転体１６
の回転中心Ｃを通る直線と直交するように配置される。
ボモータ２はカップリング３を介して送り用ボールネジ
４に連結される。枠体１上には位置合せすべき回転体１
６がベアリング１９を介して回転可能に搭載されている
。１８は回転体１６のガイドローラである。前記ボール
ネジ４は回転体１６の回転円弧の接線方向に沿って設け
られる。すなわち、ボールネジ４の長袖は、回転体１６
の回転中心Ｃを通る直線と直交するように配置される。
ボールネジ４の両端部は軸受５によりボールネジ４が枠
体表面と平行になるように枠体１上に支持される。ボー
ルネジ４には送りナットフが螺着される。送りナツト７
には円柱形の突出棒６が設けられている。送りナットフ
の回転防止手段としてボールネジ４と平行なガイド棒１
１が軸受５に装着されている。ガイド棒１１は送りナツ
ト７に装着したスリーブ１２を貫通して設けられる。送
りナツト７にはさらに位置検出用光検知器１３が取付け
られている。この光検知器１３に対面して送りナツト７
の移動方向と平行に光学スケール１４がサポート１５を
介して取付けられる０回転体１６の外周部には、回転体
の半径方向（回転中心Ｃからの放射方向）に突出するア
ーム９が一体的に設けられている。このアーム９には孔
９ａが形成され内部に前記送りナツト７の突出棒６が前
記半径方向に相対的に摺動可能に受入れられる。突出棒
６は孔９ａ内で１対の可動ガイド板８ａにより両側から
挟持される。可動ガイド板８ａ同士は両端部で板バネｌ
Ｏにより連結され、この板バネ１０の変形により前記半
径方向（実際上ボールネジ４と直角方向）に相互に相対
的に８動可能である。可動ガイド板８ａの両性側には１
対の固定ガイド板８ｂが設けられる。固定ガイド板８ｂ
はローラ３０を介して可動ガイド板を摺動可能に挟持す
る。アーム９にはネジ１７が装着される。該ネジ１７は
一方の固定ガイド板８ｂを押圧して突出棒６と可動ガイ
ド板８ａとを圧接させ両部材間のガタを吸収する。
体表面と平行になるように枠体１上に支持される。ボー
ルネジ４には送りナットフが螺着される。送りナツト７
には円柱形の突出棒６が設けられている。送りナットフ
の回転防止手段としてボールネジ４と平行なガイド棒１
１が軸受５に装着されている。ガイド棒１１は送りナツ
ト７に装着したスリーブ１２を貫通して設けられる。送
りナツト７にはさらに位置検出用光検知器１３が取付け
られている。この光検知器１３に対面して送りナツト７
の移動方向と平行に光学スケール１４がサポート１５を
介して取付けられる０回転体１６の外周部には、回転体
の半径方向（回転中心Ｃからの放射方向）に突出するア
ーム９が一体的に設けられている。このアーム９には孔
９ａが形成され内部に前記送りナツト７の突出棒６が前
記半径方向に相対的に摺動可能に受入れられる。突出棒
６は孔９ａ内で１対の可動ガイド板８ａにより両側から
挟持される。可動ガイド板８ａ同士は両端部で板バネｌ
Ｏにより連結され、この板バネ１０の変形により前記半
径方向（実際上ボールネジ４と直角方向）に相互に相対
的に８動可能である。可動ガイド板８ａの両性側には１
対の固定ガイド板８ｂが設けられる。固定ガイド板８ｂ
はローラ３０を介して可動ガイド板を摺動可能に挟持す
る。アーム９にはネジ１７が装着される。該ネジ１７は
一方の固定ガイド板８ｂを押圧して突出棒６と可動ガイ
ド板８ａとを圧接させ両部材間のガタを吸収する。
次に上記構成の回転角位置合せ装置の作用について説明
する。サーボモータ２の回転によりカップリング３を介
してボールネジ４が回転する。ボールネジ４の回転によ
り送りナツト７がボールネジ４上を摺動し、したがって
送りナツト７上の突出棒６が直進運動を行なう。この突
出棒６の直進運動はアーム９を介して回転運動に変更さ
れて回転体１６に伝達される。このとき突出棒６はアー
ム９の孔９ａ内で前記半径方向（アーム９の長軸方向）
にアーム９に対し相対的に摺動する。また、このとき内
側の１対の可動ガイド板８ａには回転体１６の回転中心
Ｃからの距離りに比例した円運動による回転の力成分が
生ずる。この力成分は板バネ１０を介して両可動ガイド
板８ａが相互にずれることにより吸収される。したがっ
て、回転体１６には製造、組立上のガタ等の影響を与え
ることなく回転運動が正確に伝達される。送りナツト７
の直進運動は光学スケール１４に対面して移動する光検
知器１３により検出され送りナツト７の位置および移動
距離が検出される。この送りナツト７の移動距離すなわ
ち突出棒６の移動距離に対応する回転体１６の回転角度
は制御装置（図示しない）の演算回路により算出される
。したがって、所望の回転角度に応じた突出棒６の移動
距離を算出し、これに応じてサーボモータ２を駆動し、
さらに光学スケール１４のパルス信号に基いて突出棒６
の位置検出および回転角の算出を行ないサーボモータ２
のフィードバック制御を行なえば高精度の回転位置決め
が達成される。
する。サーボモータ２の回転によりカップリング３を介
してボールネジ４が回転する。ボールネジ４の回転によ
り送りナツト７がボールネジ４上を摺動し、したがって
送りナツト７上の突出棒６が直進運動を行なう。この突
出棒６の直進運動はアーム９を介して回転運動に変更さ
れて回転体１６に伝達される。このとき突出棒６はアー
ム９の孔９ａ内で前記半径方向（アーム９の長軸方向）
にアーム９に対し相対的に摺動する。また、このとき内
側の１対の可動ガイド板８ａには回転体１６の回転中心
Ｃからの距離りに比例した円運動による回転の力成分が
生ずる。この力成分は板バネ１０を介して両可動ガイド
板８ａが相互にずれることにより吸収される。したがっ
て、回転体１６には製造、組立上のガタ等の影響を与え
ることなく回転運動が正確に伝達される。送りナツト７
の直進運動は光学スケール１４に対面して移動する光検
知器１３により検出され送りナツト７の位置および移動
距離が検出される。この送りナツト７の移動距離すなわ
ち突出棒６の移動距離に対応する回転体１６の回転角度
は制御装置（図示しない）の演算回路により算出される
。したがって、所望の回転角度に応じた突出棒６の移動
距離を算出し、これに応じてサーボモータ２を駆動し、
さらに光学スケール１４のパルス信号に基いて突出棒６
の位置検出および回転角の算出を行ないサーボモータ２
のフィードバック制御を行なえば高精度の回転位置決め
が達成される。
なお、上記実施例において、位置の検出手段を光学スケ
ールに代えて磁気スケールまたはその他の機械的スケー
ルを用いてもよい。また、サーボモータに代えてパルス
モータを用いてパルス駆動させてもよい。また、上記構
成の位置決め装置は、半導体製造または液晶表示装置に
限定されるものではなく、その他の光学装置または工作
機械等においても適用可能である。
ールに代えて磁気スケールまたはその他の機械的スケー
ルを用いてもよい。また、サーボモータに代えてパルス
モータを用いてパルス駆動させてもよい。また、上記構
成の位置決め装置は、半導体製造または液晶表示装置に
限定されるものではなく、その他の光学装置または工作
機械等においても適用可能である。
［発明の効果］
以上説明したように、本発明においては、直進運動を円
運動に変更して回転体に伝達し、直進機構と回転体との
連結手段を回転移動による力成分および機械的なガタを
吸収可能な構造とすることにより、従来のようなギヤ間
のバックラッシュあるいは軸間のガタ等による影響を除
去して円滑な回転伝達を行ない高精度の位置合せ動作が
達成できる。また直進機構としてボールネジを用いれば
、簡単な構造で送りトルクを大きくシシかも高精度の送
り動作が可能となる。
運動に変更して回転体に伝達し、直進機構と回転体との
連結手段を回転移動による力成分および機械的なガタを
吸収可能な構造とすることにより、従来のようなギヤ間
のバックラッシュあるいは軸間のガタ等による影響を除
去して円滑な回転伝達を行ない高精度の位置合せ動作が
達成できる。また直進機構としてボールネジを用いれば
、簡単な構造で送りトルクを大きくシシかも高精度の送
り動作が可能となる。
第１図は本発明実施例の上面図、第２図は第１図の実施
例の中央部縦断面図、第３図は第１図の実施例の要部詳
細図、第４図は従来技術の構成説明図である。 ２：サーボモータ、 ４：ボールネジ、 ６：突出棒、 ７：送りナツト、 ８ａ：可動ガイド板、 ８ｂ：固定ガイド板、 ９：アーム、 １０：板バネ、 １３：光検知器、 １４：光学スケール、 １６：回転体。 第１図 第２図 第３図 第４ 図（ｂ）
例の中央部縦断面図、第３図は第１図の実施例の要部詳
細図、第４図は従来技術の構成説明図である。 ２：サーボモータ、 ４：ボールネジ、 ６：突出棒、 ７：送りナツト、 ８ａ：可動ガイド板、 ８ｂ：固定ガイド板、 ９：アーム、 １０：板バネ、 １３：光検知器、 １４：光学スケール、 １６：回転体。 第１図 第２図 第３図 第４ 図（ｂ）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、位置合せすべき回転体と、直線往復運動する直進機
構と、該直進機構と前記回転体とを連結して直進運動を
回転運動に変更する連結機構と、前記直進運動の移動量
を検出する検出手段と、該検出手段の検出結果に基いて
前記直進機構を駆動し回転体の回転位置制御を行う制御
手段とを具備したことを特徴とする微小回転角位置合せ
装置。 ２、前記直進機構は、ボールネジと、該ボールネジに螺
合して直進運動する送りナットと、前記ボールネジの回
転駆動手段と、前記送りナットの回転を防止するための
前記ボールネジに平行なガイド部材とからなることを特
徴とする特許請求の範囲第１項記載の微小回転角位置合
せ装置。 ３、前記連結機構は、前記送りナット上に設けた突出部
材と、該突出部材を摺動可能に受入れる前記回転体側に
設けた孔部とからなることを特徴とする特許請求の範囲
第１項または第２項記載の微小回転角位置合せ装置。 ４、前記孔部は、前記回転体と一体のアームに形成され
たことを特徴とする特許請求の範囲第３項記載の微小回
転角位置合せ装置。 ５、前記孔部に、前記突出部材を両側から挟持する１対
の可動ガイド板を設け、該可動ガイド板同士をスプリン
グ手段により連結して該ガイド板を前記回転体の回転円
弧の半径方向に相互に移動可能とし、該可動ガイド板を
前記突出部材側に圧接するための押圧手段を設けたこと
を特徴とする特許請求の範囲第３項または第４項記載の
微小回転角位置合せ装置。 ６、前記１対の可動ガイド板の両外側を１対の固定ガイ
ド板によりローラを介して摺動可能に挟持し、前記押圧
手段は該一方の固定ガイド板を押圧する前記アームに螺
着したネジからなることを特徴とする特許請求の範囲第
５項記載の微小回転角位置合せ装置。 ７、前記検知手段は、前記送りナットに設けた光検知器
と、前記ボールネジに平行に設けた光学 スケールとか
らなることを特徴とする特許請求の 範囲第１項から第
６項までのいずれか１項記載の 微小回転角位置合せ装
置。 ８、前記検出手段は、前記送りナットに設けた 磁気検
知器と、前記ボールネジに平行に設けた磁 気スケール
とからなることを特徴とする特許請求 の範囲第１項か
ら第６項までのいずれか１項記載 の微小回転角位置合
せ装置。 ９、前記ボールネジの回転駆動手段は、サーボモータか
らなることを特徴とする特許請求の範囲 第２項記載の
微小回転角位置合せ装置。 １０、前記ボールネジの回転駆動手段は、パルス モー
タからなることを特徴とする特許請求の範囲 第２項記
載の微小回転角位置合せ装置。 １１、前記制御手段は、前記検出手段の検出結果から回
転体の回転角度の演算を行う演算処理手段を具備し、該
演算結果に基いて前記直進機構を駆 動制御することを
特徴とする特許請求の範囲第１ 項から第１０項までの
いずれか１項記載の微小回転 角位置合せ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61275421A JPS63131208A (ja) | 1986-11-20 | 1986-11-20 | 微小回転角位置合せ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61275421A JPS63131208A (ja) | 1986-11-20 | 1986-11-20 | 微小回転角位置合せ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63131208A true JPS63131208A (ja) | 1988-06-03 |
Family
ID=17555274
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61275421A Pending JPS63131208A (ja) | 1986-11-20 | 1986-11-20 | 微小回転角位置合せ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63131208A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH055345U (ja) * | 1991-07-04 | 1993-01-26 | 日本電気ホームエレクトロニクス株式会社 | 角度調整装置 |
| JPH0541143U (ja) * | 1991-11-08 | 1993-06-01 | 日本電子株式会社 | Ｘｙ移動テーブル駆動機構 |
| JPH0760582A (ja) * | 1993-08-31 | 1995-03-07 | Thk Kk | 曲線レールを用いた三次元案内装置 |
| WO2011055826A1 (ja) * | 2009-11-09 | 2011-05-12 | 日本精工株式会社 | マスク保持機構 |
| CN102830711A (zh) * | 2012-09-14 | 2012-12-19 | 袁庆丹 | 一种大行程、高精度的微动台 |
| JP2013179223A (ja) * | 2012-02-29 | 2013-09-09 | Nsk Technology Co Ltd | 分割逐次近接露光装置及び分割逐次近接露光方法 |
-
1986
- 1986-11-20 JP JP61275421A patent/JPS63131208A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH055345U (ja) * | 1991-07-04 | 1993-01-26 | 日本電気ホームエレクトロニクス株式会社 | 角度調整装置 |
| JPH0541143U (ja) * | 1991-11-08 | 1993-06-01 | 日本電子株式会社 | Ｘｙ移動テーブル駆動機構 |
| JPH0760582A (ja) * | 1993-08-31 | 1995-03-07 | Thk Kk | 曲線レールを用いた三次元案内装置 |
| WO2011055826A1 (ja) * | 2009-11-09 | 2011-05-12 | 日本精工株式会社 | マスク保持機構 |
| JP5807242B2 (ja) * | 2009-11-09 | 2015-11-10 | 株式会社ブイ・テクノロジー | マスク保持機構 |
| JP2013179223A (ja) * | 2012-02-29 | 2013-09-09 | Nsk Technology Co Ltd | 分割逐次近接露光装置及び分割逐次近接露光方法 |
| CN102830711A (zh) * | 2012-09-14 | 2012-12-19 | 袁庆丹 | 一种大行程、高精度的微动台 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4560235B2 (ja) | 角度調整テーブル装置 | |
| US4693131A (en) | Feeding apparatus employing ball screw | |
| CN101673118B (zh) | 组合式传动可变角度微位移调节装置 | |
| JPH0719693Y2 (ja) | 移動テーブル | |
| JPH0531683A (ja) | 運動機構 | |
| JP2535248Y2 (ja) | Ｘｙテーブル装置 | |
| JP2523177B2 (ja) | 位置決めテ―ブル | |
| JPS63131208A (ja) | 微小回転角位置合せ装置 | |
| US4211512A (en) | Rotary table with ballscrew drive | |
| EP0197972B1 (en) | Element moving device | |
| JP2004109022A (ja) | フォトインタラプタ位置調節機構 | |
| JPS63300836A (ja) | 微少位置決め機構 | |
| JPS5854948B2 (ja) | 工作機械の送り装置 | |
| JP2649381B2 (ja) | 回転直進ユニットの教示方法 | |
| JPH062073Y2 (ja) | ラック・ピニオン伝動装置 | |
| JPH022659B2 (ja) | ||
| JPS6122740Y2 (ja) | ||
| JPH0337871Y2 (ja) | ||
| JP2642415B2 (ja) | 回転テーブル装置 | |
| JPH0226050Y2 (ja) | ||
| JP2531111Y2 (ja) | テーブルの回転割出し装置 | |
| KR20040036146A (ko) | 3축 자세 교정이 가능한 평판형 디스플레이 위치조절장치 | |
| JPS5952540B2 (ja) | ボンデイング装置における移動台送り装置 | |
| JP3141950B2 (ja) | 早送り及び微速送り可能な移送装置 | |
| JPH11247956A (ja) | 摩擦送り装置 |