JPS6012171B2 - Ｘ−ｙ方向作動テ−ブルの動作装置 - Google Patents
Ｘ−ｙ方向作動テ−ブルの動作装置Info
- Publication number
- JPS6012171B2 JPS6012171B2 JP7390678A JP7390678A JPS6012171B2 JP S6012171 B2 JPS6012171 B2 JP S6012171B2 JP 7390678 A JP7390678 A JP 7390678A JP 7390678 A JP7390678 A JP 7390678A JP S6012171 B2 JPS6012171 B2 JP S6012171B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- movable body
- protrusion
- operating
- guide roller
- motor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
- B23Q1/48—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs and rotating pairs
- B23Q1/4852—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs and rotating pairs a single sliding pair followed perpendicularly by a single rotating pair
- B23Q1/4866—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs and rotating pairs a single sliding pair followed perpendicularly by a single rotating pair followed perpendicularly by a single sliding pair
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
- B23Q1/50—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with rotating pairs only, the rotating pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/54—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with rotating pairs only, the rotating pairs being the first two elements of the mechanism two rotating pairs only
- B23Q1/5468—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with rotating pairs only, the rotating pairs being the first two elements of the mechanism two rotating pairs only a single rotating pair followed parallelly by a single rotating pair
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は作業テーブルを×方向、Ｙ方向又は×−Ｙの合
成方向に容易かつ正確に動作せしめることができるよう
にした×−Ｙ方向作動テーブル動作装置に関するもので
ある。
成方向に容易かつ正確に動作せしめることができるよう
にした×−Ｙ方向作動テーブル動作装置に関するもので
ある。
例えば１．Ｃチップ等をフレームに自動的に接続するに
は×−Ｙ方向に自動動作するテーブル上に上記被接続物
を固定支持せしめ、そのテーブルをコンピューター等に
よる制御で×一Ｙ方向に動作させその目的を達成してい
るのが現状である。
は×−Ｙ方向に自動動作するテーブル上に上記被接続物
を固定支持せしめ、そのテーブルをコンピューター等に
よる制御で×一Ｙ方向に動作させその目的を達成してい
るのが現状である。
しかしながら、現在使用されている×−Ｙ方向の作動テ
ーブルは第１図に示す如く、×テーブルＡとＹテーブル
Ｂとを上下に組合せ、更にそのＸテーブルＡにはその×
テーブルを×方向に動作せしめるためのモータＣを具備
せしめ、またＹテーフルＢにはそのＹテーブルをＹ方向
に動作せしめるためのモータＤを具備せしめているもの
であるために、例えば×テーブルＡを動作せしめるには
ＹテーブルＢとモータＤの重量負荷がモータＣに付加さ
れるために×テーブルの高速動作が困難であった。また
テーブル動作時における慣性力が大となることでテーブ
ルの急停止が不可能で所望停止位置よりオーバーランし
、精度の高い加工ができない等の欠点があった。
ーブルは第１図に示す如く、×テーブルＡとＹテーブル
Ｂとを上下に組合せ、更にそのＸテーブルＡにはその×
テーブルを×方向に動作せしめるためのモータＣを具備
せしめ、またＹテーフルＢにはそのＹテーブルをＹ方向
に動作せしめるためのモータＤを具備せしめているもの
であるために、例えば×テーブルＡを動作せしめるには
ＹテーブルＢとモータＤの重量負荷がモータＣに付加さ
れるために×テーブルの高速動作が困難であった。また
テーブル動作時における慣性力が大となることでテーブ
ルの急停止が不可能で所望停止位置よりオーバーランし
、精度の高い加工ができない等の欠点があった。
本発明はかかる欠点を解消するためになされたもので、
×−Ｙ方向の動作テーブル（以下これを単にＸ一Ｙテー
ブルと称す）を極めて軽量構造となして、この×−Ｙテ
ーブルの円滑なる動作、高速運転、精度の高い動作等が
達成できる×−Ｙテーブルの動作装置を提供するもので
ある。
×−Ｙ方向の動作テーブル（以下これを単にＸ一Ｙテー
ブルと称す）を極めて軽量構造となして、この×−Ｙテ
ーブルの円滑なる動作、高速運転、精度の高い動作等が
達成できる×−Ｙテーブルの動作装置を提供するもので
ある。
以下に本発明を第２図乃至第５図に基いて詳細に説明す
る。
る。
第２図乃至第４図において、川ま水平かつ固定関係にあ
る基板であって、この基板１上の３個所にはポスト２・
，２２，２３が起立状態で一体形成されている。
る基板であって、この基板１上の３個所にはポスト２・
，２２，２３が起立状態で一体形成されている。
３は上記各ポスト２，，２２，２３の上端面に萩遣した
ボール４を介して水平方向に自由動作できるように置か
れている。
ボール４を介して水平方向に自由動作できるように置か
れている。
×一Ｙテーブルであって、このＸ一Ｙテーブル３の一辺
には直線精度の高いＹ方向突条５と「その一辺と隣接す
る辺にはそのＹ方向突条５と直角関係を保ち、かつ直線
精度の高い×方向突条６が設けられている。７は基板１
に固定されているＸ方向モ−夕であって、この×方向モ
ータ７の駆動軸８には前記×方向突条６と平行でＸ方向
に延びるねじ村９が連結されている。このねじ村９には
、このねじ好９と螺合するＸ方向可動体亀０が設けられ
ており、この×方向可動体１０さまねじ杵９の回転動作
によって×方向に動作されるものである。またこの×方
向可動体１川こは上記×−Ｙテーブル３に設けたＹ方向
突条５を挟んで対設される一対のガイドローラー１が鞄
支されている。竜２は基板川こ固定されているＹ方向モ
−夕であって、このＹ方向モータ１２の駆動軸１３には
前記ねじ村９に対して直角方向に延びるねじ村亀４が連
結されている。このねじ好１４にはこのねじ村再鴇と螺
合するＹ方向可動体１５が設けられており、このＹ方向
可動体亀５は、ねじ村貴４の回転動作によってＹ方向に
動作されるものである。またこのＹ方向可動体亀５には
上記×−Ｙテーブル３１こ設けたＸ方向突条６を挟んで
対設される一対のガイドローラー６が軸支されている。
母７，及び亀７２は、その一端が前記ポスト２，及び２
２と同０的に設けられている支軸１８に轍支されている
一対の平行リンクであって、この平行リンク亀７，及び
１７２の池端はＸ−Ｙテーブル３の下側（裏側）に位置
される菱形板１９の対角部に支軸２８を介して軸支され
ている。即ち、基板１、平行リンク１７１，亀７２及び
菱形板ｉ９でもつて第１の平行リンク機構を機成する。
２１は×−Ｙテーブル３のＹ方向に隔設される２点に固
定されている一対の支軸であって、これら支軸２１‘こ
は一対の平行リンク２２，及び２２２の各端部が額支さ
れており「 これら平行リンク２２，及び２２２の池端
は前記菱形板富ｇの他の対角部に支軸２３を介して鞠支
されているものである。
には直線精度の高いＹ方向突条５と「その一辺と隣接す
る辺にはそのＹ方向突条５と直角関係を保ち、かつ直線
精度の高い×方向突条６が設けられている。７は基板１
に固定されているＸ方向モ−夕であって、この×方向モ
ータ７の駆動軸８には前記×方向突条６と平行でＸ方向
に延びるねじ村９が連結されている。このねじ村９には
、このねじ好９と螺合するＸ方向可動体亀０が設けられ
ており、この×方向可動体１０さまねじ杵９の回転動作
によって×方向に動作されるものである。またこの×方
向可動体１川こは上記×−Ｙテーブル３に設けたＹ方向
突条５を挟んで対設される一対のガイドローラー１が鞄
支されている。竜２は基板川こ固定されているＹ方向モ
−夕であって、このＹ方向モータ１２の駆動軸１３には
前記ねじ村９に対して直角方向に延びるねじ村亀４が連
結されている。このねじ好１４にはこのねじ村再鴇と螺
合するＹ方向可動体１５が設けられており、このＹ方向
可動体亀５は、ねじ村貴４の回転動作によってＹ方向に
動作されるものである。またこのＹ方向可動体亀５には
上記×−Ｙテーブル３１こ設けたＸ方向突条６を挟んで
対設される一対のガイドローラー６が軸支されている。
母７，及び亀７２は、その一端が前記ポスト２，及び２
２と同０的に設けられている支軸１８に轍支されている
一対の平行リンクであって、この平行リンク亀７，及び
１７２の池端はＸ−Ｙテーブル３の下側（裏側）に位置
される菱形板１９の対角部に支軸２８を介して軸支され
ている。即ち、基板１、平行リンク１７１，亀７２及び
菱形板ｉ９でもつて第１の平行リンク機構を機成する。
２１は×−Ｙテーブル３のＹ方向に隔設される２点に固
定されている一対の支軸であって、これら支軸２１‘こ
は一対の平行リンク２２，及び２２２の各端部が額支さ
れており「 これら平行リンク２２，及び２２２の池端
は前記菱形板富ｇの他の対角部に支軸２３を介して鞠支
されているものである。
即ち、Ｘ−Ｙテーブル３、平行リンク２２，，２２２及
び菱形板１９でもつて、第２の平行リンク機構を構成す
る。２４は×方向可動体】０に設けられたガイド支持ロ
ール、２５はＹ方向可動体１５に設けられたガイド支持
ロール、２６はねじ杵９の軸受け、２７‘まねじ杵１４
の軸受けである。
び菱形板１９でもつて、第２の平行リンク機構を構成す
る。２４は×方向可動体】０に設けられたガイド支持ロ
ール、２５はＹ方向可動体１５に設けられたガイド支持
ロール、２６はねじ杵９の軸受け、２７‘まねじ杵１４
の軸受けである。
以上が本実施例の構造であるが次にその作用にひついて
述べると、先ず×−Ｙテ−ブル３をＸ方向（第２図にお
いてａ方向）に動作させたし、時は×方向モ−夕７を駆
動すれば「そのモ−夕７の駆動によって×方向可動体事
８がねじ杵９に沿ってａ方向に動作する。
述べると、先ず×−Ｙテ−ブル３をＸ方向（第２図にお
いてａ方向）に動作させたし、時は×方向モ−夕７を駆
動すれば「そのモ−夕７の駆動によって×方向可動体事
８がねじ杵９に沿ってａ方向に動作する。
この×方向可動体亀Ｇ‘まガイドローラー１及びＹ方向
突条５を介して係合され」更に×−Ｙテーブル３に設け
た×方向突条６にガイドローラ亀６が当接されているた
めにその×方向可動体亀Ｑの動作が×−Ｙテーブル３は
ａ方向のみに動作する。即ちこの×−Ｙテーブル３のａ
方向動作時に菱形板１９もａ方向に動作するためにその
菱形板３蟹の動作に伴なし、双方の平行リンク１す，と
１７２は支軸亀遼を支点として反時計方向に回敷し〜×
−Ｙテーブル３を若干引き下げようとする力、即ちｂ方
向の作用が働くが〜Ｘ方向突条６とガイドローラ蔓８と
の係合によりｂ方向の動作はあり得ず「従って平行リン
ク首ｙ，？ １７２の動作に伴なう×−Ｙテーブルのｂ
方向作用力は支軸２貫を支点として時計方向に回敷する
他の平行リンク２２，及び２２２ によって吸収される
こととなって前記Ｘ−Ｙテーブル３はＸ方向艮０ちａ方
向のみに正確に動作されるものである。
突条５を介して係合され」更に×−Ｙテーブル３に設け
た×方向突条６にガイドローラ亀６が当接されているた
めにその×方向可動体亀Ｑの動作が×−Ｙテーブル３は
ａ方向のみに動作する。即ちこの×−Ｙテーブル３のａ
方向動作時に菱形板１９もａ方向に動作するためにその
菱形板３蟹の動作に伴なし、双方の平行リンク１す，と
１７２は支軸亀遼を支点として反時計方向に回敷し〜×
−Ｙテーブル３を若干引き下げようとする力、即ちｂ方
向の作用が働くが〜Ｘ方向突条６とガイドローラ蔓８と
の係合によりｂ方向の動作はあり得ず「従って平行リン
ク首ｙ，？ １７２の動作に伴なう×−Ｙテーブルのｂ
方向作用力は支軸２貫を支点として時計方向に回敷する
他の平行リンク２２，及び２２２ によって吸収される
こととなって前記Ｘ−Ｙテーブル３はＸ方向艮０ちａ方
向のみに正確に動作されるものである。
×−Ｙテーブル３をＹ方向のみに動作させたし・ときは
上記Ｙ方向モ−タ亀２を駆動すれば上記×方向の作用と
同様にしてＹ方向のみの動作が実現されるものである。
上記Ｙ方向モ−タ亀２を駆動すれば上記×方向の作用と
同様にしてＹ方向のみの動作が実現されるものである。
またト×方向モー夕宵とＹ方向モータ８とを同時に駆動
したときもこは「×−Ｙテーブル３は各モータの回転数
に応じてお−Ｙの合成方向は移動する。×−Ｙテーブル
３がＸ方向トＹ方向又は×−Ｙの合成方向に移動する際
、×−Ｙテーブル３は菱形板寛９を共通のりンクとする
２組の平行リンク機構の組合せによる拘束を受けるため
、決して基板１に対して回転することなく、滑らかに、
ガタなく移動する。
したときもこは「×−Ｙテーブル３は各モータの回転数
に応じてお−Ｙの合成方向は移動する。×−Ｙテーブル
３がＸ方向トＹ方向又は×−Ｙの合成方向に移動する際
、×−Ｙテーブル３は菱形板寛９を共通のりンクとする
２組の平行リンク機構の組合せによる拘束を受けるため
、決して基板１に対して回転することなく、滑らかに、
ガタなく移動する。
以上が本実施例の作用であるが、例えば第５図イ，口，
ハに示す如くＸ−Ｙテーブル３のＸ方向又はＹ方向に隔
設される２点に固定した支麹２１を介して一対の平行リ
ンク３０，，３０２を連結し、また基板（図示せず）の
Ｘ方向又はＹ方向に隔設される２点に固定した支軸１８
を介して一対の平行リンク３１，，３１２を連結し、更
にそれら平行リンクを連結杵３２で連結せしめてなる×
−ＹテーブルのＸ一Ｙ動作リンク機構を設けても本発明
の目的は達成できる。
ハに示す如くＸ−Ｙテーブル３のＸ方向又はＹ方向に隔
設される２点に固定した支麹２１を介して一対の平行リ
ンク３０，，３０２を連結し、また基板（図示せず）の
Ｘ方向又はＹ方向に隔設される２点に固定した支軸１８
を介して一対の平行リンク３１，，３１２を連結し、更
にそれら平行リンクを連結杵３２で連結せしめてなる×
−ＹテーブルのＸ一Ｙ動作リンク機構を設けても本発明
の目的は達成できる。
以上述べたように本発明は固定関係にある基板上に３点
支持され、かつ水平移動自在に保持されている×−Ｙテ
ーブルと、上記基板のＸ方向又はＹ方向に隔設された２
個の支軸を中心として揺動可能な一対の平行リンクを含
む第１の平行リンク機構と上記×一ＹテーブルのＸ方向
又はＹ方向に隔設された２個の支軸を中心として揺動可
能な一対の平行リンクを含む第２の平行リンク機構との
組合せからなる×−Ｙ動作リンク機構と、基板に固定さ
れた２個のモー外こよって×方向及びＹ方向に動作され
る×方向可動体及びＹ方向可動体と、上記×−Ｙテーブ
ルの一辺に設けられＹ方向に延びるＹ方向突条と、上記
×−Ｙテーブルの上記一辺と隣接する辺に設けられ×方
向に延びるＸ方向突条と、上記×方向可動体に設けられ
上記×−Ｙテーブルを×方向に動作せしめるが上記×−
ＹテーブルのＹ方向動作を逃がすように上記Ｙ方向突条
と係合するガイドローラと、上記Ｙ方向可動体に設けら
れ×一ＹテーブルをＹ方向に動作せしめるがＸ−Ｙテー
ブルのＸ方向動作を逃がすように上記×方向突条と係合
するガイドローラとを備えた×−Ｙテーブルの動作装置
である。
支持され、かつ水平移動自在に保持されている×−Ｙテ
ーブルと、上記基板のＸ方向又はＹ方向に隔設された２
個の支軸を中心として揺動可能な一対の平行リンクを含
む第１の平行リンク機構と上記×一ＹテーブルのＸ方向
又はＹ方向に隔設された２個の支軸を中心として揺動可
能な一対の平行リンクを含む第２の平行リンク機構との
組合せからなる×−Ｙ動作リンク機構と、基板に固定さ
れた２個のモー外こよって×方向及びＹ方向に動作され
る×方向可動体及びＹ方向可動体と、上記×−Ｙテーブ
ルの一辺に設けられＹ方向に延びるＹ方向突条と、上記
×−Ｙテーブルの上記一辺と隣接する辺に設けられ×方
向に延びるＸ方向突条と、上記×方向可動体に設けられ
上記×−Ｙテーブルを×方向に動作せしめるが上記×−
ＹテーブルのＹ方向動作を逃がすように上記Ｙ方向突条
と係合するガイドローラと、上記Ｙ方向可動体に設けら
れ×一ＹテーブルをＹ方向に動作せしめるがＸ−Ｙテー
ブルのＸ方向動作を逃がすように上記×方向突条と係合
するガイドローラとを備えた×−Ｙテーブルの動作装置
である。
即ち本発明における×−Ｙテーブル３にはモ−タ等の重
量物が取付けられておらず、しかもその×−Ｙテーブル
の支持機構及び動力伝達部の接触抵抗が極めて４・さく
構成されているので、そのＸ−Ｙテーブルが軽量であっ
て、該テーブルの移動調整が極めて円滑になされる特長
がある。
量物が取付けられておらず、しかもその×−Ｙテーブル
の支持機構及び動力伝達部の接触抵抗が極めて４・さく
構成されているので、そのＸ−Ｙテーブルが軽量であっ
て、該テーブルの移動調整が極めて円滑になされる特長
がある。
更にＸ−Ｙテーブルが軽量であることは該テーブル始動
、停止にも負荷が少なく、従って高速運転が実現できる
と共に精度高い移動が期待でき、特に精密工作時に使用
するＸ−Ｙテーブルとして有効である。
、停止にも負荷が少なく、従って高速運転が実現できる
と共に精度高い移動が期待でき、特に精密工作時に使用
するＸ−Ｙテーブルとして有効である。
第１図は従来装置の説明図、第２図乃至第５図はいずれ
も本発明よりなる×−Ｙテーブル動作装置の実施例を示
し、第２図はその平面図、第３図はＦ−Ｆより見た正面
図、第４図はＥ−Ｂ線断面図、第５図イ，口，ハは本発
明よりなる×−Ｙ動作リンク機構の他の実施例を示した
平面図である。 １・・・・・・基板、２，，２２，２３…・・・ポスト
、３……×−Ｙテーブル、４……ボール、５……Ｙ方向
突条、６……×方向突条、７……×方向モータ、８・…
・・駆動軸、９・・・・・０ねじ粁「 １０・・・・・
・×方向可動体、１１・・・・・・ガイドローラ、１２
・・・…×方向モータ、１３…・・・駆動軸、１４・・
・・・・ねじ杵、１５・・・・・・Ｙ方向可動体、１６
・・・・・・ガイドローラ、竃７・，１７２…・・・平
行リンク、１８・・・・・・支軸、１９・・・・・・菱
形板、２０，２１・・…・支軸、２２，，２２２…・・
・平行リンク、２３…・・・支軸、２４，２５・・・…
ガイド支持ロール「 ２６，２７・・・…軸受け。 第１図第２図 ・第３図 第４図 第５図
も本発明よりなる×−Ｙテーブル動作装置の実施例を示
し、第２図はその平面図、第３図はＦ−Ｆより見た正面
図、第４図はＥ−Ｂ線断面図、第５図イ，口，ハは本発
明よりなる×−Ｙ動作リンク機構の他の実施例を示した
平面図である。 １・・・・・・基板、２，，２２，２３…・・・ポスト
、３……×−Ｙテーブル、４……ボール、５……Ｙ方向
突条、６……×方向突条、７……×方向モータ、８・…
・・駆動軸、９・・・・・０ねじ粁「 １０・・・・・
・×方向可動体、１１・・・・・・ガイドローラ、１２
・・・…×方向モータ、１３…・・・駆動軸、１４・・
・・・・ねじ杵、１５・・・・・・Ｙ方向可動体、１６
・・・・・・ガイドローラ、竃７・，１７２…・・・平
行リンク、１８・・・・・・支軸、１９・・・・・・菱
形板、２０，２１・・…・支軸、２２，，２２２…・・
・平行リンク、２３…・・・支軸、２４，２５・・・…
ガイド支持ロール「 ２６，２７・・・…軸受け。 第１図第２図 ・第３図 第４図 第５図
Claims (1)
- １ 固定関係にある基板１上に３点支持され、かつ水平
移動自在に保持されているＸ−Ｙテーブル３と、上記基
板のＸ方向又はＹ方向に隔設された２個の支軸１８，１
８を中心として揺動可能な一対の平行リンク１７＿１，
１７＿２，３１＿１，３１＿２を含む第１の平行リンク
機構と上記Ｘ−ＹテーブルのＸ方向又はＹ方向に隔設さ
れた２個の支軸２１，２１を中心として揺動可能な一対
の平行リンク２２＿１，２２＿２，３０＿１，３０＿２
を含む第２の平行リンク機構との組合せからなるＸ−Ｙ
動作リンク機構と、基板１に固定された２個のモータ７
，１２によってそれぞれＸ方向及びＹ方向に動作される
Ｘ方向可動体１０及びＹ方向可動体１５と、上記Ｘ−Ｙ
テーブル３の一辺に設けられＹ方向に延びるＹ方向突条
と、上記Ｘ−Ｙテーブル３の上記一辺と隣接する辺に設
けられＸ方向に延びるＸ方向突条６と、上記Ｘ方向可動
体１０に設けられ上記Ｘ−Ｙテーブル３をＸ方向に動作
せしめるが上記Ｘ−Ｙテーブル３のＹ方向動作を逃がす
ように上記Ｙ方向突条と係合するガイドローラ１１と、
上記Ｙ方向可動体１５に設けられＸ−ＹテーブルをＹ方
向に動作せしめるがＸ−ＹテーブルのＸ方向動作を逃が
すように上記Ｘ方向突条６と係合するガイドローラ１６
とを備えたことを特徴とするＸ−Ｙ方向作動テーブルの
動作装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7390678A JPS6012171B2 (ja) | 1978-06-19 | 1978-06-19 | Ｘ−ｙ方向作動テ−ブルの動作装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7390678A JPS6012171B2 (ja) | 1978-06-19 | 1978-06-19 | Ｘ−ｙ方向作動テ−ブルの動作装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS55940A JPS55940A (en) | 1980-01-07 |
| JPS6012171B2 true JPS6012171B2 (ja) | 1985-03-30 |
Family
ID=13531687
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7390678A Expired JPS6012171B2 (ja) | 1978-06-19 | 1978-06-19 | Ｘ−ｙ方向作動テ−ブルの動作装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6012171B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63120074U (ja) * | 1987-01-27 | 1988-08-03 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58223576A (ja) * | 1982-06-16 | 1983-12-26 | ニチデン機械株式会社 | Ｘｙテ−ブル駆動装置 |
| JPS5988238A (ja) * | 1982-11-08 | 1984-05-22 | Sony Corp | 移動テ−ブル駆動機構 |
| JP4863396B2 (ja) * | 2007-08-08 | 2012-01-25 | 清 海野 | 溶接用治具セット |
-
1978
- 1978-06-19 JP JP7390678A patent/JPS6012171B2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63120074U (ja) * | 1987-01-27 | 1988-08-03 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS55940A (en) | 1980-01-07 |
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