JPS58223576A - Ｘｙテ−ブル駆動装置 - Google Patents
Ｘｙテ−ブル駆動装置Info
- Publication number
- JPS58223576A JPS58223576A JP57104284A JP10428482A JPS58223576A JP S58223576 A JPS58223576 A JP S58223576A JP 57104284 A JP57104284 A JP 57104284A JP 10428482 A JP10428482 A JP 10428482A JP S58223576 A JPS58223576 A JP S58223576A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- connecting member
- cheagle
- support
- feed screw
- guru
- Prior art date
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- Pending
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies
- H01L24/78—Apparatus for connecting with wire connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
- H01L2224/78—Apparatus for connecting with wire connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/00014—Technical content checked by a classifier the subject-matter covered by the group, the symbol of which is combined with the symbol of this group, being disclosed without further technical details
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01039—Yttrium [Y]
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
この発（７）は半導体装置製造におけるワイヤポジディ
ジグ装置等の各種産業分野で使用されるＸＸチー’ｆル
の駆動装置にｎする。 ＸＸ−ｙ−−グル駆動機構として最も一般的なものにｘ
７″−グル上に！テーブルと！チーグル駆幼部ｔ−瘍載
し比ものがある。このＸテーブルは支持台上にＸ方同移
妨自在に保１９橿れ、これの駆動部は支持台上に１向定
されて外部制御装置からの指令１ｄ号で駆動する七−タ
（パルスモータ）と、七−夕の４耐で回転するＸ方向に
平行な棒状の送りネジと、送りネジに螺装されてＸｆ−
グルに
ジグ装置等の各種産業分野で使用されるＸＸチー’ｆル
の駆動装置にｎする。 ＸＸ−ｙ−−グル駆動機構として最も一般的なものにｘ
７″−グル上に！テーブルと！チーグル駆幼部ｔ−瘍載
し比ものがある。このＸテーブルは支持台上にＸ方同移
妨自在に保１９橿れ、これの駆動部は支持台上に１向定
されて外部制御装置からの指令１ｄ号で駆動する七−タ
（パルスモータ）と、七−夕の４耐で回転するＸ方向に
平行な棒状の送りネジと、送りネジに螺装されてＸｆ−
グルに
【一定されｔナンドで構ｈｔされる。Ｘテーブル
はｘ７″−グル上Ｖｃｘ方向膚助自在に保持され、これ
の駆動部は前述と同様に七−タ、送ｌ）ネ５）、ｆット
で構成成れる。 このよりなＸＸテーブル駆１ｊＩＩＪ機構はＸテーブル
上にＹ７’−グル駆１部が搭載６ルる九め装置全体の上
下スペースが大であること？ＳＸチーグル駆幼４の送り
ネジに比べるとＡ＼＼ＸＮ４匈喝〜嶌曳〜＼〜入〜鳩＼
Ｘチーグル岨前部の過少ネジに加わるス荷が大さくてよ
シ大島な回伝トルクを必要とし、その几め両者を同じよ
うに回転制御することが−しくてスムーズで且つ正確な
Ｘ！テーブル駆１がＩ８侍で＄ないことなどの問題を含
んでいる。そこで、最近は上記間ｌ＠を解決するものと
して、＠１図乃至第１図に示すＸＸテーブル駆１装置が
一発壜れ、裏用化されている。 この第１図乃至第３図において、］１）は支持台、（２
）は支持台Ｉｌｌ上方に支持台Ｉｌ＋と平行な面上ｔＸ
方向（嘉／図圧右方同）に移動自在に配置されたＸテー
ブル、（ａ）はＸチーグル（２）上にＸ方向と直交する
Ｘ方向（第１図上下方回）に摺動自在に搭載梧ｔ′した
Ｘチーグル、（４）は両テーブル（２１（８］間に装着
され２Ｙ方同に並ぶスライドガイドで、通常はクロスロ
ーフガイド構造のものが使用されてＹテーブル（３）の
支持を受は持つ。（６）及び（６）はＸ７−−グル（２
］及びｘ ７’ −フル１ａＪｌｃ Ｘ 方向及びＸ方
向に駆耐力２に与えるＸテーブル駆動部及びＸテーブル
駆動部で、両者共に支持台（１）上に設置される。 Ｘテーブル駆動４１６３にかける（７）は支持台１１）
上に１一定され九七−タ、（８）は七−タ＋７）の回転
軸に連結されて又持合ｆｌＪ上方ｆＸ方向に延びる棒状
の送りネジ、＋Ｉｌ、 ［９１は送９ネジ（８）の両＠
部と口伝自在に支持する軸受、ｔｏｏ）はｘ７″−プル
（２）の下面に一定され送りネジ（８）に螺装シれたナ
ンドである。七−タ（７）で送９ネジｉ８）を回転させ
ることによりナツト調を介してｘ７″−グル１２１はＹ
７−−グル１３） ’ｉｉ供ってＸ方向に自在に移動す
る。一方、！チーグル駆幼部１６１はＸテーブル（３）
をＸチーグル（３］の側方に並列配置したサグＸチーグ
ル０１）と介してＸ方向に駆動する構成で、＋１２１は
支持台（ｌＸ上に固定され九七−タ、州は七−タｕ２１
の回転軸に連結されてＹ方向に延びる棒状の送りネジ、
μ〜は送りネジ峙の両喘部を口伝自在に支持する軸受、
ＵＳ）は前記サグＸチーグル（１りの下面に固′ｆ、さ
れ送りネジα場に媒にされ次ナツトである。 サグＸチーグルｕｉ＞と、２個一対のロークση、＋ｌ
乃とで連結される。連結部材Ｕ〜はＸチーグル（３）の
−９１１１向上にｇｉＬ設かれたＸ方向に延びる】字状
のレールで、Ｘ方向の直線距離はＸ７−−プル（２）の
最大嵌納ストローク長より少し長目に設定される。一つ
のローフαη、ＩＩηは連結部材−のＸ方向直線部Ｕ（
の両側面と扶付けし、サグＸチーグルＬｌｌ）が、Ｙ軸
方向に送られる時のみ！テーブルｌａ） ｔ”卓引働従
ｔｉｌＪるせ、Ｘテーブル（２）によりＹテーブル（３
）がＸ軸方向に送られる時は、単にガイドロー２の役目
ｔする。従って、七−タＵりで送りネジ４萄を回転させ
てナンド傾をづトしてサブＸチーグル（五〇にＸ方向の
駆１力を４１えると、その！ｔＫ勅力はローフＵη４．
’ｕ７）で次相されている連結部材−を介してＸチー
グル（３）に伝達され、！チーブＩし１Ｂ） カＹ方Ｉ
Ｉ：ｉ］ Ｋ移動する。ま７′１．Ｙテープ７し１ｔ１
）はＸテーブル（２）のＸ方向の移初時に袂にＸ方向に
多動するが、この時は連結部材１１４９のＸ方向直線部
ａｔがローフαη、（ｌη間２Ｘ方方向多゛妨して、Ｘ
チーグル（３）のＸ方向移動を自由ならしめている。 上ε投置はＸｆ−プルぷ切部ｉ６１とＸテーブル４１部
（６）と支持台ｔｌｌ上に７敗配置することにより、装
置全体の上下スペースの縮小化７ｊｔ容易にする。ま九
Ｙテーブル駆ｉ１Ｊ部１６）ｔ−Ｘテープｌし１２）上
から外すことにより、ＸチーブＩし駆＃部（旬の送りネ
ジ（８）に加わる＾荷が＠減され５Ｘ−Ｙ駆動のよりス
ムーズなりＩＪ！７１、より正確な！！０自が期待で龜
る。しかし乍ら、サブｘ７−−グＩしくｌすの追加によ
り構造が複離化し、且つサブＹテープＩしｔｌｌ）は高
漕度なものが要求される几め装置が高価になることも、
サブ！７″−プル［１１）ｔＹテーブル（８）の何方に
配置する上め装置全体の横スペースが大さくなって設置
スペースに大さなものが要求される等の問題があつ九。 本発明はかかる間１点金解決することを目的とし、この
目的の連成手段として上、５ＹテーブルとｔグＹチーグ
ル金一体化してサグＹ７−−グルｔ−ｉ略し次構造のＸ
Ｘテーブル駆−ｊ装置ｒｌ供する。以下、本発明の４ｈ
ｔｋ図而の実施例と面に詳述する。 第Ｖ図乃至＠に図の実施例にｊ＋Ｐ匹て、−は支持台、
１ｇ１）は支持合一の上方にＸ方向及び！方向ｌｌＣ多
罰目在に保持１１九第１テーブル（以下Ｘテーブルと称
す〕、局はＸｆ−グル１２１Ｉ上にＸ方向にｍｖｔｔｈ
自在に載置され＊＊業台として使用される第一テーブル
（以下Ｘテーブルと称す〕、ツ、四はＸテーブル１２υ
上で！テーブル囚ｆＸ方向に摺動させるスライドガイド
で、図面はクロスローフガイド金示すがこれに限定され
ない。 副及び鏝はＸＦ−プル２）Ｊ及びＹテーブル囚にＸ方向
及びＸ方向に駆動力を４える第１駆紡部及び＠、２駆動
部で、この両者は支持台硼上に設置される。 第７駆１部−は支持台−上に固定橿れ九七−タＡと、又
持合２１上に固定された軸受Ｉ２力＋（財）で両端部が
回転自在に叉持堪れてＸ方向に延びて１１１ｆｆε七−
声調で適宜回転させられる棒状送９ネジ副と、送９ネジ
鋼に！＠装され九ナツト四と、ナツト端上に回転自在に
固定され九Ｘ軸方向に並び−個一対のローフ媚、−１及
びＸテーブル１２１１の一端部下面に突設してＸ方向に
延びるコ字状の第１連結部材ＣＩＤとで構成される。第
１連結部材ａυのＸ方向直線部はｌＱεローク川、用で
挾付けされ、これにより七−ターで送りネジ副を回転域
せるとナツト−へローツｔ３１４ 、 ｔ３１Ｊ、第１
連結部材闘を介してＸテーブル圓はＸ方向に駆動力を受
けて移動する。 ＠−駆動ｓｔｍは！テーブルａｔＹテーブルμの下面か
らＸチー１ルａυのＹｙ−−プルＦ装置部分に開口した
逃げ穴ｅｇＩｔ−通って下方に延びる。２１固一対のロ
ーフかうなる第一連結部材−＃瞥を介して駆動力ｔ−４
，するもので、支持台銅上に固定された七−ターと、支
持合副上に固定された軸受（至）、−で両端部を回転自
在に支持されてＸ方向に延びる送シネジ端と、送りネジ
例に螺装されたナツト３７）で構成纏れ、このナツトｓ
力の上面中央部に一体に欠設し九Ｘ方向に平行な連結板
ｃ１７１′が前Ｉｉ！、第２連結部材關、關で挾付けｄ
れる。 これにより七−声調で送９ネジ−を回転させるとナツト
−１、第一、連結部材−４，關を介してＹテーブル囚は
Ｘ方向に駆動力を受けて移動し、Ｘテーブル２υのＸ方
向の移１に対しては第一連結部材間、瞥のローフが回転
のみして禰、２駆紡部礪は自由である。 尚、各テーブル２υ、端とその駆晧郡副を四の連結構造
は上記例にのみ限定されるものではない。 以上のように、木発′明によれば装置全体の上下スペー
スの細小化と共に、テプ！チーグルの省略で償スペース
の細小化も図れ、且つ構造の簡略化がｃＩＴ能となる。
はｘ７″−グル上Ｖｃｘ方向膚助自在に保持され、これ
の駆動部は前述と同様に七−タ、送ｌ）ネ５）、ｆット
で構成成れる。 このよりなＸＸテーブル駆１ｊＩＩＪ機構はＸテーブル
上にＹ７’−グル駆１部が搭載６ルる九め装置全体の上
下スペースが大であること？ＳＸチーグル駆幼４の送り
ネジに比べるとＡ＼＼ＸＮ４匈喝〜嶌曳〜＼〜入〜鳩＼
Ｘチーグル岨前部の過少ネジに加わるス荷が大さくてよ
シ大島な回伝トルクを必要とし、その几め両者を同じよ
うに回転制御することが−しくてスムーズで且つ正確な
Ｘ！テーブル駆１がＩ８侍で＄ないことなどの問題を含
んでいる。そこで、最近は上記間ｌ＠を解決するものと
して、＠１図乃至第１図に示すＸＸテーブル駆１装置が
一発壜れ、裏用化されている。 この第１図乃至第３図において、］１）は支持台、（２
）は支持台Ｉｌｌ上方に支持台Ｉｌ＋と平行な面上ｔＸ
方向（嘉／図圧右方同）に移動自在に配置されたＸテー
ブル、（ａ）はＸチーグル（２）上にＸ方向と直交する
Ｘ方向（第１図上下方回）に摺動自在に搭載梧ｔ′した
Ｘチーグル、（４）は両テーブル（２１（８］間に装着
され２Ｙ方同に並ぶスライドガイドで、通常はクロスロ
ーフガイド構造のものが使用されてＹテーブル（３）の
支持を受は持つ。（６）及び（６）はＸ７−−グル（２
］及びｘ ７’ −フル１ａＪｌｃ Ｘ 方向及びＸ方
向に駆耐力２に与えるＸテーブル駆動部及びＸテーブル
駆動部で、両者共に支持台（１）上に設置される。 Ｘテーブル駆動４１６３にかける（７）は支持台１１）
上に１一定され九七−タ、（８）は七−タ＋７）の回転
軸に連結されて又持合ｆｌＪ上方ｆＸ方向に延びる棒状
の送りネジ、＋Ｉｌ、 ［９１は送９ネジ（８）の両＠
部と口伝自在に支持する軸受、ｔｏｏ）はｘ７″−プル
（２）の下面に一定され送りネジ（８）に螺装シれたナ
ンドである。七−タ（７）で送９ネジｉ８）を回転させ
ることによりナツト調を介してｘ７″−グル１２１はＹ
７−−グル１３） ’ｉｉ供ってＸ方向に自在に移動す
る。一方、！チーグル駆幼部１６１はＸテーブル（３）
をＸチーグル（３］の側方に並列配置したサグＸチーグ
ル０１）と介してＸ方向に駆動する構成で、＋１２１は
支持台（ｌＸ上に固定され九七−タ、州は七−タｕ２１
の回転軸に連結されてＹ方向に延びる棒状の送りネジ、
μ〜は送りネジ峙の両喘部を口伝自在に支持する軸受、
ＵＳ）は前記サグＸチーグル（１りの下面に固′ｆ、さ
れ送りネジα場に媒にされ次ナツトである。 サグＸチーグルｕｉ＞と、２個一対のロークση、＋ｌ
乃とで連結される。連結部材Ｕ〜はＸチーグル（３）の
−９１１１向上にｇｉＬ設かれたＸ方向に延びる】字状
のレールで、Ｘ方向の直線距離はＸ７−−プル（２）の
最大嵌納ストローク長より少し長目に設定される。一つ
のローフαη、ＩＩηは連結部材−のＸ方向直線部Ｕ（
の両側面と扶付けし、サグＸチーグルＬｌｌ）が、Ｙ軸
方向に送られる時のみ！テーブルｌａ） ｔ”卓引働従
ｔｉｌＪるせ、Ｘテーブル（２）によりＹテーブル（３
）がＸ軸方向に送られる時は、単にガイドロー２の役目
ｔする。従って、七−タＵりで送りネジ４萄を回転させ
てナンド傾をづトしてサブＸチーグル（五〇にＸ方向の
駆１力を４１えると、その！ｔＫ勅力はローフＵη４．
’ｕ７）で次相されている連結部材−を介してＸチー
グル（３）に伝達され、！チーブＩし１Ｂ） カＹ方Ｉ
Ｉ：ｉ］ Ｋ移動する。ま７′１．Ｙテープ７し１ｔ１
）はＸテーブル（２）のＸ方向の移初時に袂にＸ方向に
多動するが、この時は連結部材１１４９のＸ方向直線部
ａｔがローフαη、（ｌη間２Ｘ方方向多゛妨して、Ｘ
チーグル（３）のＸ方向移動を自由ならしめている。 上ε投置はＸｆ−プルぷ切部ｉ６１とＸテーブル４１部
（６）と支持台ｔｌｌ上に７敗配置することにより、装
置全体の上下スペースの縮小化７ｊｔ容易にする。ま九
Ｙテーブル駆ｉ１Ｊ部１６）ｔ−Ｘテープｌし１２）上
から外すことにより、ＸチーブＩし駆＃部（旬の送りネ
ジ（８）に加わる＾荷が＠減され５Ｘ−Ｙ駆動のよりス
ムーズなりＩＪ！７１、より正確な！！０自が期待で龜
る。しかし乍ら、サブｘ７−−グＩしくｌすの追加によ
り構造が複離化し、且つサブＹテープＩしｔｌｌ）は高
漕度なものが要求される几め装置が高価になることも、
サブ！７″−プル［１１）ｔＹテーブル（８）の何方に
配置する上め装置全体の横スペースが大さくなって設置
スペースに大さなものが要求される等の問題があつ九。 本発明はかかる間１点金解決することを目的とし、この
目的の連成手段として上、５ＹテーブルとｔグＹチーグ
ル金一体化してサグＹ７−−グルｔ−ｉ略し次構造のＸ
Ｘテーブル駆−ｊ装置ｒｌ供する。以下、本発明の４ｈ
ｔｋ図而の実施例と面に詳述する。 第Ｖ図乃至＠に図の実施例にｊ＋Ｐ匹て、−は支持台、
１ｇ１）は支持合一の上方にＸ方向及び！方向ｌｌＣ多
罰目在に保持１１九第１テーブル（以下Ｘテーブルと称
す〕、局はＸｆ−グル１２１Ｉ上にＸ方向にｍｖｔｔｈ
自在に載置され＊＊業台として使用される第一テーブル
（以下Ｘテーブルと称す〕、ツ、四はＸテーブル１２υ
上で！テーブル囚ｆＸ方向に摺動させるスライドガイド
で、図面はクロスローフガイド金示すがこれに限定され
ない。 副及び鏝はＸＦ−プル２）Ｊ及びＹテーブル囚にＸ方向
及びＸ方向に駆動力を４える第１駆紡部及び＠、２駆動
部で、この両者は支持台硼上に設置される。 第７駆１部−は支持台−上に固定橿れ九七−タＡと、又
持合２１上に固定された軸受Ｉ２力＋（財）で両端部が
回転自在に叉持堪れてＸ方向に延びて１１１ｆｆε七−
声調で適宜回転させられる棒状送９ネジ副と、送９ネジ
鋼に！＠装され九ナツト四と、ナツト端上に回転自在に
固定され九Ｘ軸方向に並び−個一対のローフ媚、−１及
びＸテーブル１２１１の一端部下面に突設してＸ方向に
延びるコ字状の第１連結部材ＣＩＤとで構成される。第
１連結部材ａυのＸ方向直線部はｌＱεローク川、用で
挾付けされ、これにより七−ターで送りネジ副を回転域
せるとナツト−へローツｔ３１４ 、 ｔ３１Ｊ、第１
連結部材闘を介してＸテーブル圓はＸ方向に駆動力を受
けて移動する。 ＠−駆動ｓｔｍは！テーブルａｔＹテーブルμの下面か
らＸチー１ルａυのＹｙ−−プルＦ装置部分に開口した
逃げ穴ｅｇＩｔ−通って下方に延びる。２１固一対のロ
ーフかうなる第一連結部材−＃瞥を介して駆動力ｔ−４
，するもので、支持台銅上に固定された七−ターと、支
持合副上に固定された軸受（至）、−で両端部を回転自
在に支持されてＸ方向に延びる送シネジ端と、送りネジ
例に螺装されたナツト３７）で構成纏れ、このナツトｓ
力の上面中央部に一体に欠設し九Ｘ方向に平行な連結板
ｃ１７１′が前Ｉｉ！、第２連結部材關、關で挾付けｄ
れる。 これにより七−声調で送９ネジ−を回転させるとナツト
−１、第一、連結部材−４，關を介してＹテーブル囚は
Ｘ方向に駆動力を受けて移動し、Ｘテーブル２υのＸ方
向の移１に対しては第一連結部材間、瞥のローフが回転
のみして禰、２駆紡部礪は自由である。 尚、各テーブル２υ、端とその駆晧郡副を四の連結構造
は上記例にのみ限定されるものではない。 以上のように、木発′明によれば装置全体の上下スペー
スの細小化と共に、テプ！チーグルの省略で償スペース
の細小化も図れ、且つ構造の簡略化がｃＩＴ能となる。
第７図及び第２図は従来のＸＸテーブル駆動装置の平面
図及びムーＡ線断面図、第３図は第３図のＢ−Ｂ線視図
、第Ｖ図及び第５図は本発明の一実施例を示す平面図及
びＣ−Ｃ線断面図、第Ｚ図は第Ｓ図のＤ−Ｂ線視図であ
る。 四・・支持台、副・・第１テーブル（Ｘテーブル）、μ
ｓ・・第、２７−−グル１（ｘ７″−グル）、−・・第
１駆肋郡、頌・・第２駆１部、３蔚・・に／連結部材、
關Φ・逃げ穴、關Ｏ・絡一連結部材。
図及びムーＡ線断面図、第３図は第３図のＢ−Ｂ線視図
、第Ｖ図及び第５図は本発明の一実施例を示す平面図及
びＣ−Ｃ線断面図、第Ｚ図は第Ｓ図のＤ−Ｂ線視図であ
る。 四・・支持台、副・・第１テーブル（Ｘテーブル）、μ
ｓ・・第、２７−−グル１（ｘ７″−グル）、−・・第
１駆肋郡、頌・・第２駆１部、３蔚・・に／連結部材、
關Φ・逃げ穴、關Ｏ・絡一連結部材。
Claims (1)
- １１１ 支持台と、支持台上方でＸ方向ＩＣ移動自在
に保持格九次ｗ！１／テーブルと、嶋／ｆ−プル上にＸ
方向と直交するＸ方向に摺動自在に搭載され之第２チー
グルと、支持６上に記ｉｆされ、遍／テーブルに固定さ
れた＠ｌ連結部材に！方向摺切自在に連結されると袂に
第７連結部材を介して＠／テーブルにＸ方向の駆動力を
与える石／ｇ＠部と、支持台上に配置され、＠−テーブ
ルの下面に１司定され第７７″−グルの一部に関口した
逃げ人から下方に延びた＠一連結部材にＸ方向に摺動自
在に連結されると共に′＃ｉコ連結連結部材金工第２テ
ーブル２ｘ方向の駆動力を与える癌、２駆動部とｔ具備
し几ことを特徴とするＸＸチーグルＭｊｈ＠装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57104284A JPS58223576A (ja) | 1982-06-16 | 1982-06-16 | Ｘｙテ−ブル駆動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57104284A JPS58223576A (ja) | 1982-06-16 | 1982-06-16 | Ｘｙテ−ブル駆動装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58223576A true JPS58223576A (ja) | 1983-12-26 |
Family
ID=14376623
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57104284A Pending JPS58223576A (ja) | 1982-06-16 | 1982-06-16 | Ｘｙテ−ブル駆動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58223576A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05299464A (ja) * | 1992-07-30 | 1993-11-12 | Kaijo Corp | Ｘｙテーブル |
| CN108673478A (zh) * | 2018-07-18 | 2018-10-19 | 温州大学 | 流水线机器人模拟操作实训系统 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55940A (en) * | 1978-06-19 | 1980-01-07 | Tokyo Sokuhan Kk | Operation unit of x-y directional operation table |
-
1982
- 1982-06-16 JP JP57104284A patent/JPS58223576A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55940A (en) * | 1978-06-19 | 1980-01-07 | Tokyo Sokuhan Kk | Operation unit of x-y directional operation table |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05299464A (ja) * | 1992-07-30 | 1993-11-12 | Kaijo Corp | Ｘｙテーブル |
| CN108673478A (zh) * | 2018-07-18 | 2018-10-19 | 温州大学 | 流水线机器人模拟操作实训系统 |
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