JPH1043978A - 移動テーブル装置 - Google Patents
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- JPH1043978A JPH1043978A JP8204456A JP20445696A JPH1043978A JP H1043978 A JPH1043978 A JP H1043978A JP 8204456 A JP8204456 A JP 8204456A JP 20445696 A JP20445696 A JP 20445696A JP H1043978 A JPH1043978 A JP H1043978A
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- axis guide
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 固定ベース上に移動テーブルを設け、この移
動テーブルが固定ベースに対して左右方向移動，前後方
向移動，水平回動可能な移動テーブルを提供する。 【解決手段】 Ｘ軸ハウジングＸ2 ，Ｘ2'及びＹ軸ハウ
ジングＹ2 ，Ｙ2'を夫々の下部Ｘ軸ガイドレールＸ1 ，
Ｘ1'及び下部Ｙ軸ガイドレールＹ1 ，Ｙ1'に所望の距離
でスライド移動せしめるＸ軸用移動機構Ｘ3 ，Ｘ3'及び
Ｙ軸用移動機構Ｙ3 ，Ｙ3'を固定ベース１に設け、上部
Ｙ軸ガイドレールＸY ，ＸY'と上部Ｘ軸ガイドレールＹ
X ，ＹX'の中央上面に夫々回動支柱３を立設し、移動テ
ーブル４の下面に前記前後・左右の下部Ｘ・Ｙ軸ガイド
レール間の距離２Ｌと等しい直径長さの同心円上に等間
隔に四個の固定孔５を穿孔し、この固定孔５を前記回動
支柱３の上部に軸受６を介して被嵌止着して移動テーブ
ル４を固定ベース１の上方に平行状態に設ける。
動テーブルが固定ベースに対して左右方向移動，前後方
向移動，水平回動可能な移動テーブルを提供する。 【解決手段】 Ｘ軸ハウジングＸ2 ，Ｘ2'及びＹ軸ハウ
ジングＹ2 ，Ｙ2'を夫々の下部Ｘ軸ガイドレールＸ1 ，
Ｘ1'及び下部Ｙ軸ガイドレールＹ1 ，Ｙ1'に所望の距離
でスライド移動せしめるＸ軸用移動機構Ｘ3 ，Ｘ3'及び
Ｙ軸用移動機構Ｙ3 ，Ｙ3'を固定ベース１に設け、上部
Ｙ軸ガイドレールＸY ，ＸY'と上部Ｘ軸ガイドレールＹ
X ，ＹX'の中央上面に夫々回動支柱３を立設し、移動テ
ーブル４の下面に前記前後・左右の下部Ｘ・Ｙ軸ガイド
レール間の距離２Ｌと等しい直径長さの同心円上に等間
隔に四個の固定孔５を穿孔し、この固定孔５を前記回動
支柱３の上部に軸受６を介して被嵌止着して移動テーブ
ル４を固定ベース１の上方に平行状態に設ける。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は固定ベース上に設け
た移動テーブルを、固定ベースに対して左右方向移動，
前後方向移動，並びに水平回動可能に設けた移動テーブ
ル装置に係るものである。
た移動テーブルを、固定ベースに対して左右方向移動，
前後方向移動，並びに水平回動可能に設けた移動テーブ
ル装置に係るものである。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】固定ベ
ース上に設けた移動テーブルを固定ベースに対して左右
方向に移動せしめたり前後方向に移動せしめたりする移
動テーブル装置が多用されているが、この移動テーブル
に回動作動を付加するため、移動テーブルに回動軸を立
設し、この回動軸に回動テーブルを回動可能に被嵌止着
し、移動テーブル・回動テーブル間に設けた回動機構に
より回動テーブルを回動せしめる装置も使用されている
が、この構成は固定ベース・移動テーブル・回動テーブ
ルの三層構成となるため高さスペースに制約のある場合
には対応できない欠点があるばかりでなく回動テーブル
を回動せしめる回動機構が必要であった。
ース上に設けた移動テーブルを固定ベースに対して左右
方向に移動せしめたり前後方向に移動せしめたりする移
動テーブル装置が多用されているが、この移動テーブル
に回動作動を付加するため、移動テーブルに回動軸を立
設し、この回動軸に回動テーブルを回動可能に被嵌止着
し、移動テーブル・回動テーブル間に設けた回動機構に
より回動テーブルを回動せしめる装置も使用されている
が、この構成は固定ベース・移動テーブル・回動テーブ
ルの三層構成となるため高さスペースに制約のある場合
には対応できない欠点があるばかりでなく回動テーブル
を回動せしめる回動機構が必要であった。
【０００３】本発明は、上記欠点を解決するため固定ベ
ースと移動テーブル間に移動機構を設け、移動テーブル
を固定ベースに対して左右方向移動・前後方向移動・水
平回動可能な移動テーブルを提供することを技術的課題
とするものである。
ースと移動テーブル間に移動機構を設け、移動テーブル
を固定ベースに対して左右方向移動・前後方向移動・水
平回動可能な移動テーブルを提供することを技術的課題
とするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】添付図面を参照して本発
明の要旨を説明する。
明の要旨を説明する。
【０００５】固定ベース１上に、固定ベース１の基点２
より前後・左右対向状態に等しい長さの距離Ｌを置いて
所定長さの下部Ｘ軸ガイドレールＸ1 ，Ｘ1'を左右方向
に下部Ｙ軸ガイドレールＹ1 ，Ｙ1'を前後方向に横設
し、この前後の下部Ｘ軸ガイドレールＸ1 ，Ｘ1'に、夫
々Ｘ軸ハウジングＸ2 ，Ｘ2'の基部を左右スライド可能
に被嵌し、このＸ軸ハウジングＸ2 ，Ｘ2'の上部に下部
Ｘ軸ガイドレールＸ1 ，Ｘ1'に直交する所定長さの上部
Ｙ軸ガイドレールＸY ，ＸY'を前後スライド可能に嵌入
し、前記左右の下部Ｙ軸ガイドレールＹ1 ，Ｙ1'に夫々
Ｙ軸ハウジングＹ2 ，Ｙ2'の基部を前後スライド可能に
被嵌し、このＹ軸ハウジングＹ2 ，Ｙ2'の上部に下部Ｙ
軸ガイドレールＹ1 ，Ｙ1'に直交する所定長さの上部Ｘ
軸ガイドレールＹX ，ＹX'を左右スライド可能に嵌入
し、この前後のＸ軸ハウジングＸ2 ，Ｘ2'を夫々の下部
Ｘ軸ガイドレールＸ1 ，Ｘ1'に所望の距離でスライド移
動せしめるＸ軸用移動機構Ｘ3 ，Ｘ3'と、左右のＹ軸ハ
ウジングＹ2 ，Ｙ2'を夫々の下部Ｙ軸ガイドレールＹ
1 ，Ｙ1'に所望の距離でスライド移動せしめるＹ軸用移
動機構Ｙ3 ，Ｙ3'を固定ベース１に設け、前記前後の上
部Ｙ軸ガイドレールＸY ，ＸY'と左右の上部Ｘ軸ガイド
レールＹX ，ＹX'の中央上面に夫々回動支柱３を立設
し、移動テーブル４の下面に前記前後・左右の下部Ｘ・
Ｙ軸ガイドレール間の距離２Ｌと等しい直径長さの同心
円上に等間隔に四個の固定孔５を穿孔し、この固定孔５
を前記回動支柱３の上部に軸受６を介して被嵌止着して
移動テーブル４を固定ベース１の上方に平行状態に設
け、前記前後のＸ軸用移動機構Ｘ3 ，Ｘ3'、左右のＹ軸
用移動機構Ｙ3 ，Ｙ3'により移動テーブル４を固定ベー
ス１に対して左右方向移動，前後方向移動，水平回動可
能に設けたことを特徴とする移動テーブル装置に係るも
のである。
より前後・左右対向状態に等しい長さの距離Ｌを置いて
所定長さの下部Ｘ軸ガイドレールＸ1 ，Ｘ1'を左右方向
に下部Ｙ軸ガイドレールＹ1 ，Ｙ1'を前後方向に横設
し、この前後の下部Ｘ軸ガイドレールＸ1 ，Ｘ1'に、夫
々Ｘ軸ハウジングＸ2 ，Ｘ2'の基部を左右スライド可能
に被嵌し、このＸ軸ハウジングＸ2 ，Ｘ2'の上部に下部
Ｘ軸ガイドレールＸ1 ，Ｘ1'に直交する所定長さの上部
Ｙ軸ガイドレールＸY ，ＸY'を前後スライド可能に嵌入
し、前記左右の下部Ｙ軸ガイドレールＹ1 ，Ｙ1'に夫々
Ｙ軸ハウジングＹ2 ，Ｙ2'の基部を前後スライド可能に
被嵌し、このＹ軸ハウジングＹ2 ，Ｙ2'の上部に下部Ｙ
軸ガイドレールＹ1 ，Ｙ1'に直交する所定長さの上部Ｘ
軸ガイドレールＹX ，ＹX'を左右スライド可能に嵌入
し、この前後のＸ軸ハウジングＸ2 ，Ｘ2'を夫々の下部
Ｘ軸ガイドレールＸ1 ，Ｘ1'に所望の距離でスライド移
動せしめるＸ軸用移動機構Ｘ3 ，Ｘ3'と、左右のＹ軸ハ
ウジングＹ2 ，Ｙ2'を夫々の下部Ｙ軸ガイドレールＹ
1 ，Ｙ1'に所望の距離でスライド移動せしめるＹ軸用移
動機構Ｙ3 ，Ｙ3'を固定ベース１に設け、前記前後の上
部Ｙ軸ガイドレールＸY ，ＸY'と左右の上部Ｘ軸ガイド
レールＹX ，ＹX'の中央上面に夫々回動支柱３を立設
し、移動テーブル４の下面に前記前後・左右の下部Ｘ・
Ｙ軸ガイドレール間の距離２Ｌと等しい直径長さの同心
円上に等間隔に四個の固定孔５を穿孔し、この固定孔５
を前記回動支柱３の上部に軸受６を介して被嵌止着して
移動テーブル４を固定ベース１の上方に平行状態に設
け、前記前後のＸ軸用移動機構Ｘ3 ，Ｘ3'、左右のＹ軸
用移動機構Ｙ3 ，Ｙ3'により移動テーブル４を固定ベー
ス１に対して左右方向移動，前後方向移動，水平回動可
能に設けたことを特徴とする移動テーブル装置に係るも
のである。
【０００６】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を作用効果を
示して実施の一例である図面に基づいて説明する。
示して実施の一例である図面に基づいて説明する。
【０００７】移動テーブル４を固定ベース１に対して左
右方向に移動せしめる実施の形態について説明する。
右方向に移動せしめる実施の形態について説明する。
【０００８】例えば、左右のＹ軸用移動機構Ｙ3 ，Ｙ3'
の作動を固定し、前後のＸ軸用移動機構Ｘ3 ，Ｘ3'を同
時に正・逆同じ移動量だけ作動して前後のＸ軸ハウジン
グＸ2 ，Ｘ2'を前後の下部Ｘ軸ガイドレールＸ1 ，Ｘ1'
をガイドとして同時に同じ距離だけ右方にスライド移動
せしめて移動テーブル４を固定ベース１に対して右方向
にスライド移動せしめる。
の作動を固定し、前後のＸ軸用移動機構Ｘ3 ，Ｘ3'を同
時に正・逆同じ移動量だけ作動して前後のＸ軸ハウジン
グＸ2 ，Ｘ2'を前後の下部Ｘ軸ガイドレールＸ1 ，Ｘ1'
をガイドとして同時に同じ距離だけ右方にスライド移動
せしめて移動テーブル４を固定ベース１に対して右方向
にスライド移動せしめる。
【０００９】このとき固定ベース１上の左右の下部Ｙ軸
ガイドレールＹ1 ，Ｙ1'に被嵌した左右のＹ軸ハウジン
グＹ2 ，Ｙ2'の基部は左右方向の動きが拘束されている
ので固定ベース１上のそのままの位置で保持され、左右
のＹ軸ハウジングＹ2 ，Ｙ2'の上部は移動テーブル４と
共に移動する上部Ｘ軸ガイドレールＹX ，ＹX'を右方に
ガイドスライド移動せしめる。
ガイドレールＹ1 ，Ｙ1'に被嵌した左右のＹ軸ハウジン
グＹ2 ，Ｙ2'の基部は左右方向の動きが拘束されている
ので固定ベース１上のそのままの位置で保持され、左右
のＹ軸ハウジングＹ2 ，Ｙ2'の上部は移動テーブル４と
共に移動する上部Ｘ軸ガイドレールＹX ，ＹX'を右方に
ガイドスライド移動せしめる。
【００１０】移動テーブル４を左方にスライド移動せし
める場合は、前記と同様手段によりＸ軸ハウジングＸ
2 ，Ｘ2'をＸ軸用移動機構Ｘ3 ，Ｘ3'により左方向に移
動せしめる。
める場合は、前記と同様手段によりＸ軸ハウジングＸ
2 ，Ｘ2'をＸ軸用移動機構Ｘ3 ，Ｘ3'により左方向に移
動せしめる。
【００１１】次に、移動テーブル４を固定ベース１に対
して前後方向に移動せしめる実施の形態について説明す
る。
して前後方向に移動せしめる実施の形態について説明す
る。
【００１２】例えば、前後のＸ軸用移動機構Ｘ3 ，Ｘ3'
の作動を固定し、左右のＹ軸用移動機構Ｙ3 ，Ｙ3'を同
時に正・逆同じ移動量だけ作動して左右のＹ軸ハウジン
グＹ2 ，Ｙ2'を左右の下部Ｙ軸ガイドレールＹ1 ，Ｙ1'
をガイドとして同時に同じ距離だけ前方にスライド移動
せしめて移動テーブル４を固定ベース１に対して前方向
にスライド移動せしめる。
の作動を固定し、左右のＹ軸用移動機構Ｙ3 ，Ｙ3'を同
時に正・逆同じ移動量だけ作動して左右のＹ軸ハウジン
グＹ2 ，Ｙ2'を左右の下部Ｙ軸ガイドレールＹ1 ，Ｙ1'
をガイドとして同時に同じ距離だけ前方にスライド移動
せしめて移動テーブル４を固定ベース１に対して前方向
にスライド移動せしめる。
【００１３】このとき、前記と同様に、固定ベース１上
の前後の下部Ｘ軸ガイドレールＸ1，Ｘ1'に被嵌した前
後のＸ軸ハウジングＸ2 ，Ｘ2'の基部は前後方向の動き
が拘束されているので固定ベース１上のそのままの位置
で保持され、前後のＸ軸ハウジングＸ2 ，Ｘ2'の上部は
移動テーブル４と共に移動する上部Ｙ軸ガイドレールＸ
Y ，ＸY'を前方にガイドスライド移動せしめる。
の前後の下部Ｘ軸ガイドレールＸ1，Ｘ1'に被嵌した前
後のＸ軸ハウジングＸ2 ，Ｘ2'の基部は前後方向の動き
が拘束されているので固定ベース１上のそのままの位置
で保持され、前後のＸ軸ハウジングＸ2 ，Ｘ2'の上部は
移動テーブル４と共に移動する上部Ｙ軸ガイドレールＸ
Y ，ＸY'を前方にガイドスライド移動せしめる。
【００１４】移動テーブル４を後方にスライド移動せし
めるときは、前記と同様手段によりＹ軸ハウジングＹ
2 ，Ｙ2'をＹ軸用移動機構Ｙ3 ，Ｙ3'により後方に移動
せしめる。
めるときは、前記と同様手段によりＹ軸ハウジングＹ
2 ，Ｙ2'をＹ軸用移動機構Ｙ3 ，Ｙ3'により後方に移動
せしめる。
【００１５】続いて、移動テーブル４を固定ベース１に
対して水平回動せしめる実施の形態について説明する。
対して水平回動せしめる実施の形態について説明する。
【００１６】例えば、前後のＸ軸用移動機構Ｘ3・
Ｘ3'，左右のＹ軸用移動機構Ｙ3・Ｙ3'を同時に正の方
向に同じ所望の移動量Ｓだけ作動せしめると、前後のＸ
軸用移動機構Ｘ3 ，Ｘ3'により前側のＸ軸ハウジングＸ
2の基部が下部Ｘ軸ガイドレールＸ1上を右方向に、後側
のＸ軸ハウジングＸ2'の基部が下部Ｘ軸ガイドレールＸ
1'上を左方向に、左右のＹ軸用移動機構Ｙ3・Ｙ3'によ
り左側のＹ軸ハウジングＹ2の基部が下部Ｙ軸ガイドレ
ールＹ1上を前側方向に、右側のＹ軸ハウジングＹ2'の
基部が下部Ｙ軸ガイドレールＹ1'上を下側方向に移動す
る。
Ｘ3'，左右のＹ軸用移動機構Ｙ3・Ｙ3'を同時に正の方
向に同じ所望の移動量Ｓだけ作動せしめると、前後のＸ
軸用移動機構Ｘ3 ，Ｘ3'により前側のＸ軸ハウジングＸ
2の基部が下部Ｘ軸ガイドレールＸ1上を右方向に、後側
のＸ軸ハウジングＸ2'の基部が下部Ｘ軸ガイドレールＸ
1'上を左方向に、左右のＹ軸用移動機構Ｙ3・Ｙ3'によ
り左側のＹ軸ハウジングＹ2の基部が下部Ｙ軸ガイドレ
ールＹ1上を前側方向に、右側のＹ軸ハウジングＹ2'の
基部が下部Ｙ軸ガイドレールＹ1'上を下側方向に移動す
る。
【００１７】この移動により移動テーブル４に同心円上
に等間隔で配設した四個の固定孔５に垂設した回動支柱
３が、前後のＸ軸ハウジングＸ2 ，Ｘ2'及び左右のＹ軸
ハウジングＹ2 ，Ｙ2'の移動距離に対応した偏差距離Ｄ
で上部Ｙ軸ガイドレールＸY，ＸY'及び上部Ｘ軸ガイド
レールＹX ，ＹX'を内側に押圧して上部Ｙ軸ガイドレー
ルＸY ，ＸY'をＸ軸ハウジングＸ2 ，Ｘ2'の上部内にス
ライド移動し、上部Ｘ軸ガイドレールＹX・ＹX'をＹ軸
ハウジングＹ2 ，Ｙ2'の上部内にスライド移動せしめる
ので、移動テーブル４を移動テーブル４の同心円の中心
を回動中心として時計方向にα°水平回動せしめる。
に等間隔で配設した四個の固定孔５に垂設した回動支柱
３が、前後のＸ軸ハウジングＸ2 ，Ｘ2'及び左右のＹ軸
ハウジングＹ2 ，Ｙ2'の移動距離に対応した偏差距離Ｄ
で上部Ｙ軸ガイドレールＸY，ＸY'及び上部Ｘ軸ガイド
レールＹX ，ＹX'を内側に押圧して上部Ｙ軸ガイドレー
ルＸY ，ＸY'をＸ軸ハウジングＸ2 ，Ｘ2'の上部内にス
ライド移動し、上部Ｘ軸ガイドレールＹX・ＹX'をＹ軸
ハウジングＹ2 ，Ｙ2'の上部内にスライド移動せしめる
ので、移動テーブル４を移動テーブル４の同心円の中心
を回動中心として時計方向にα°水平回動せしめる。
【００１８】また、前後のＸ軸用移動機構Ｘ3・Ｘ3'，
左右のＹ軸用移動機構Ｙ3・Ｙ3'を同時に逆の方向に同
じ所望の量だけ作動せしめると、前記と同じ理により移
動テーブル４が同心円の中心を回動中心として反時計方
向に水平回動する。
左右のＹ軸用移動機構Ｙ3・Ｙ3'を同時に逆の方向に同
じ所望の量だけ作動せしめると、前記と同じ理により移
動テーブル４が同心円の中心を回動中心として反時計方
向に水平回動する。
【００１９】
【実施例】添付図面により本発明の実施例について説明
する。
する。
【００２０】固定ベース１上に、固定ベース１の基点２
より前後・左右対向状態に等しい長さの距離Ｌを置いて
所定長さの下部Ｘ軸ガイドレールＸ1 ，Ｘ1'を左右方向
に下部Ｙ軸ガイドレールＹ1 ，Ｙ1'を前後方向に横設
し、この前後の下部Ｘ軸ガイドレールＸ1 ，Ｘ1'に、夫
々Ｘ軸ハウジングＸ2 ，Ｘ2'の基部を左右スライド可能
に被嵌し、このＸ軸ハウジングＸ2 ，Ｘ2'の上部に下部
Ｘ軸ガイドレールＸ1 ，Ｘ1'に直交する所定長さの上部
Ｙ軸ガイドレールＸY ，ＸY'を前後スライド可能に嵌入
し、前記左右の下部Ｙ軸ガイドレールＹ1 ，Ｙ1'に夫々
Ｙ軸ハウジングＹ2 ，Ｙ2'の基部を前後スライド可能に
被嵌し、このＹ軸ハウジングＹ2 ，Ｙ2'の上部に下部Ｙ
軸ガイドレールＹ1 ，Ｙ1'に直交する所定長さの上部Ｘ
軸ガイドレールＹX ，ＹX'を左右スライド可能に嵌入
し、この前後のＸ軸ハウジングＸ2 ，Ｘ2'を夫々の下部
Ｘ軸ガイドレールＸ1 ，Ｘ1'に所望の距離でスライド移
動せしめるＸ軸用移動機構Ｘ3 ，Ｘ3'と、左右のＹ軸ハ
ウジングＹ2 ，Ｙ2'を夫々の下部Ｙ軸ガイドレールＹ
1 ，Ｙ1'に所望の距離でスライド移動せしめるＹ軸用移
動機構Ｙ3 ，Ｙ3'を固定ベース１に設け、前記前後の上
部Ｙ軸ガイドレールＸY ，ＸY'と左右の上部Ｘ軸ガイド
レールＹX ，ＹX'の中央上面に夫々回動支柱３を立設
し、移動テーブル４の下面に前記前後・左右の下部Ｘ・
Ｙ軸ガイドレール間の距離２Ｌと等しい直径長さの同心
円上に等間隔に四個の固定孔５を穿孔し、この固定孔５
を前記回動支柱３の上部に軸受６を介して被嵌止着して
移動テーブル４を固定ベース１の上方に平行状態に設
け、前記前後のＸ軸用移動機構Ｘ3 ，Ｘ3'、左右のＹ軸
用移動機構Ｙ3 ，Ｙ3'により移動テーブル４を固定ベー
ス１に対して左右方向移動，前後方向移動，水平回動可
能に設ける。
より前後・左右対向状態に等しい長さの距離Ｌを置いて
所定長さの下部Ｘ軸ガイドレールＸ1 ，Ｘ1'を左右方向
に下部Ｙ軸ガイドレールＹ1 ，Ｙ1'を前後方向に横設
し、この前後の下部Ｘ軸ガイドレールＸ1 ，Ｘ1'に、夫
々Ｘ軸ハウジングＸ2 ，Ｘ2'の基部を左右スライド可能
に被嵌し、このＸ軸ハウジングＸ2 ，Ｘ2'の上部に下部
Ｘ軸ガイドレールＸ1 ，Ｘ1'に直交する所定長さの上部
Ｙ軸ガイドレールＸY ，ＸY'を前後スライド可能に嵌入
し、前記左右の下部Ｙ軸ガイドレールＹ1 ，Ｙ1'に夫々
Ｙ軸ハウジングＹ2 ，Ｙ2'の基部を前後スライド可能に
被嵌し、このＹ軸ハウジングＹ2 ，Ｙ2'の上部に下部Ｙ
軸ガイドレールＹ1 ，Ｙ1'に直交する所定長さの上部Ｘ
軸ガイドレールＹX ，ＹX'を左右スライド可能に嵌入
し、この前後のＸ軸ハウジングＸ2 ，Ｘ2'を夫々の下部
Ｘ軸ガイドレールＸ1 ，Ｘ1'に所望の距離でスライド移
動せしめるＸ軸用移動機構Ｘ3 ，Ｘ3'と、左右のＹ軸ハ
ウジングＹ2 ，Ｙ2'を夫々の下部Ｙ軸ガイドレールＹ
1 ，Ｙ1'に所望の距離でスライド移動せしめるＹ軸用移
動機構Ｙ3 ，Ｙ3'を固定ベース１に設け、前記前後の上
部Ｙ軸ガイドレールＸY ，ＸY'と左右の上部Ｘ軸ガイド
レールＹX ，ＹX'の中央上面に夫々回動支柱３を立設
し、移動テーブル４の下面に前記前後・左右の下部Ｘ・
Ｙ軸ガイドレール間の距離２Ｌと等しい直径長さの同心
円上に等間隔に四個の固定孔５を穿孔し、この固定孔５
を前記回動支柱３の上部に軸受６を介して被嵌止着して
移動テーブル４を固定ベース１の上方に平行状態に設
け、前記前後のＸ軸用移動機構Ｘ3 ，Ｘ3'、左右のＹ軸
用移動機構Ｙ3 ，Ｙ3'により移動テーブル４を固定ベー
ス１に対して左右方向移動，前後方向移動，水平回動可
能に設ける。
【００２１】図示した下部Ｘ軸ガイドレールＸ1 ，上部
Ｙ軸ガイドレールＸY ，Ｘ軸ハウジングＸ2の構成につ
いて図６により簡単に説明する。（後側の下部Ｘ軸ガイ
ドレールＸ1'，上部Ｙ軸ガイドレールＸY'，Ｘ軸ハウジ
ングＸ2'及び左右の下部Ｙ軸ガイドレールＹ1・Ｙ1'，
上部Ｘ軸ガイドレールＹX・ＹX'，Ｙ軸ハウジングＹ2・
Ｙ2'も同様である。） 左右対向状態に環状の玉型転動体を内蔵し、左右側面に
玉型転動体の受ける荷重を担いながら玉型転動体が転が
り運動で転動する転送軌道を刻設したブロックをクロス
型に背面合わせに直交させて形成してＸ軸ハウジングＸ
2を構成し、前記Ｘ軸ハウジングＸ2内の環状の玉型転動
体をガイドとして転がり運動で直線状にスムースにガイ
ド移動するよう左右両側面に対向状態に転送軌道を形成
した下部Ｘ軸ガイドレールＸ1を前記Ｘ軸ハウジングＸ2
の基部にスライド可能に嵌入し、このＸ軸ハウジングＸ
2の上部にＸ軸ガイドレールＸ1と同形の上部Ｙ軸ガイド
レールＸYをスライド可能に嵌入してＸ軸ガイドレール
Ｘ1と直交する上部Ｙ軸ガイドレールを形成する。
Ｙ軸ガイドレールＸY ，Ｘ軸ハウジングＸ2の構成につ
いて図６により簡単に説明する。（後側の下部Ｘ軸ガイ
ドレールＸ1'，上部Ｙ軸ガイドレールＸY'，Ｘ軸ハウジ
ングＸ2'及び左右の下部Ｙ軸ガイドレールＹ1・Ｙ1'，
上部Ｘ軸ガイドレールＹX・ＹX'，Ｙ軸ハウジングＹ2・
Ｙ2'も同様である。） 左右対向状態に環状の玉型転動体を内蔵し、左右側面に
玉型転動体の受ける荷重を担いながら玉型転動体が転が
り運動で転動する転送軌道を刻設したブロックをクロス
型に背面合わせに直交させて形成してＸ軸ハウジングＸ
2を構成し、前記Ｘ軸ハウジングＸ2内の環状の玉型転動
体をガイドとして転がり運動で直線状にスムースにガイ
ド移動するよう左右両側面に対向状態に転送軌道を形成
した下部Ｘ軸ガイドレールＸ1を前記Ｘ軸ハウジングＸ2
の基部にスライド可能に嵌入し、このＸ軸ハウジングＸ
2の上部にＸ軸ガイドレールＸ1と同形の上部Ｙ軸ガイド
レールＸYをスライド可能に嵌入してＸ軸ガイドレール
Ｘ1と直交する上部Ｙ軸ガイドレールを形成する。
【００２２】本実施例のハウジング及び上下のガイドレ
ールを上記のように構成したので、組み立て全高さが従
来品に比して著しく低くなるうえに極めて高い直進精度
と直交精度が得られるとともに高負荷に耐え摩擦抵抗が
小さいクロスタイプの上下のガイドレールとハウジング
が構成される。
ールを上記のように構成したので、組み立て全高さが従
来品に比して著しく低くなるうえに極めて高い直進精度
と直交精度が得られるとともに高負荷に耐え摩擦抵抗が
小さいクロスタイプの上下のガイドレールとハウジング
が構成される。
【００２３】次に、固定ベース１の前左部に設けたＸ軸
ハウジングＸ2を前側下部Ｘ軸ガイドレールＸ1に所望の
距離でスライド移動せしめるＸ軸用移動機構Ｘ3につい
て説明する。（固定ベース１の後右部に設けた後側のＸ
軸用移動機構Ｘ3'，固定ベース１の左後部及び右前部に
設けた左・右のＹ軸用移動機構Ｙ3・Ｙ3'についても同
様である。） Ｘ軸ハウジングＸ2の左側端部に下方に開口部を有する
チャンネル形状の連結体９の基部のフランジ面を止着し
他部のフランジ面の内側に内径にボール螺子の雌螺子を
螺設したボール雌螺子体10を止着する。固定ベース１の
前左部にアングル状のモータベース11を止着し、このモ
ータベース11の縦板の左側にステッピングモータ12若し
くはサーボモータを止着する。
ハウジングＸ2を前側下部Ｘ軸ガイドレールＸ1に所望の
距離でスライド移動せしめるＸ軸用移動機構Ｘ3につい
て説明する。（固定ベース１の後右部に設けた後側のＸ
軸用移動機構Ｘ3'，固定ベース１の左後部及び右前部に
設けた左・右のＹ軸用移動機構Ｙ3・Ｙ3'についても同
様である。） Ｘ軸ハウジングＸ2の左側端部に下方に開口部を有する
チャンネル形状の連結体９の基部のフランジ面を止着し
他部のフランジ面の内側に内径にボール螺子の雌螺子を
螺設したボール雌螺子体10を止着する。固定ベース１の
前左部にアングル状のモータベース11を止着し、このモ
ータベース11の縦板の左側にステッピングモータ12若し
くはサーボモータを止着する。
【００２４】前記連結体９・モータベース11間の固定ベ
ース１上に軸受部13を立設し、ボール雌螺子体10のボー
ル螺子の雌螺子部にボール雄螺子を螺設したボール雄螺
子杆14を螺合してその基端部を左方に延設しこの延長設
端部を軸受部13内に設けたベアリングケース13'を介し
て二列のベアリング15で支承してナット16で止着し、こ
のボール雄螺子杆14の延設端と前記ステッピングモータ
ー12の出力軸端部とをカップリング17で連結してＸ軸用
移動機構Ｘ3を構成する。
ース１上に軸受部13を立設し、ボール雌螺子体10のボー
ル螺子の雌螺子部にボール雄螺子を螺設したボール雄螺
子杆14を螺合してその基端部を左方に延設しこの延長設
端部を軸受部13内に設けたベアリングケース13'を介し
て二列のベアリング15で支承してナット16で止着し、こ
のボール雄螺子杆14の延設端と前記ステッピングモータ
ー12の出力軸端部とをカップリング17で連結してＸ軸用
移動機構Ｘ3を構成する。
【００２５】本実施例のＸ軸用移動機構Ｘ3を上記のよ
うに構成したので、ステッピングモーター12を正回転せ
しめるとボール雄螺子杆14が回転し、このボール雄螺子
杆１４に螺合しているボール雄螺子体１０のボール螺子
機構によりＸ軸ハウジングＸ2が前部の下部Ｘ軸ガイド
レールＸ1をガイドとして右方にスライド移動する。
うに構成したので、ステッピングモーター12を正回転せ
しめるとボール雄螺子杆14が回転し、このボール雄螺子
杆１４に螺合しているボール雄螺子体１０のボール螺子
機構によりＸ軸ハウジングＸ2が前部の下部Ｘ軸ガイド
レールＸ1をガイドとして右方にスライド移動する。
【００２６】本実施例は上記のように移動機構のアクチ
ェータとしてステッピングモーター12を採用し、このス
テッピングモーター12の回転をボール螺子機構によりＸ
軸ハウジングの直進運動に転換するよう構成したので、
ステッピングモーター12の回転を高精度で数値制御でき
るうえに、この制御回転をバックラッシュがなく高精度
のボール螺子機構によりＸ軸ハウジングＸ2を下部Ｘ軸
ガイドＸ1上に直進移動せしめるため、Ｘ軸ハウジング
Ｘ2の直進移動を極めて高い精度で規制でき、且つ、繰
り返し位置決め精度が保証される秀れた精度の移動機構
となる。
ェータとしてステッピングモーター12を採用し、このス
テッピングモーター12の回転をボール螺子機構によりＸ
軸ハウジングの直進運動に転換するよう構成したので、
ステッピングモーター12の回転を高精度で数値制御でき
るうえに、この制御回転をバックラッシュがなく高精度
のボール螺子機構によりＸ軸ハウジングＸ2を下部Ｘ軸
ガイドＸ1上に直進移動せしめるため、Ｘ軸ハウジング
Ｘ2の直進移動を極めて高い精度で規制でき、且つ、繰
り返し位置決め精度が保証される秀れた精度の移動機構
となる。
【００２７】移動テーブル４を固定ベース１の上方に平
行状態に設ける構成について説明する。
行状態に設ける構成について説明する。
【００２８】前後の上部Ｙ軸ガイドレールＸY ，ＸY'と
左右の上部Ｘ軸ガイドレールＹX ，ＹX'の夫々の中央に
回動支柱３の基部を止めボルト（図示省略）で止着して
回動支柱３を上部のＹ・Ｘ軸ガイドレールに立設する。
左右の上部Ｘ軸ガイドレールＹX ，ＹX'の夫々の中央に
回動支柱３の基部を止めボルト（図示省略）で止着して
回動支柱３を上部のＹ・Ｘ軸ガイドレールに立設する。
【００２９】移動テーブル４の下面に、前後・左右の下
部Ｘ・Ｙガイドレールの軸線間の距離２Ｌに等しい直径
長さの同心円上に等間隔で四個の固定孔５を穿孔する。
この同心円の中心を２'とする。上部にフランジ部を有
するハブ型形状のベアリングハウジング18の上部フラン
ジ面より下方に開口孔を有するカウンターボア部を穿孔
し、このカウンターボア部内に軸受６として二個の玉軸
受を嵌入し、回動支柱３に段部を介して軸部を上方に突
設し、この回動支柱３に前記ベアリングハウジング18を
被嵌して軸部に玉軸受19を圧入し、回動支柱３の軸部端
部に設けた雄螺子部に固定ナット20を螺着して前記段部
と固定ナット20で軸受６を締め付ける。このベアリング
ハウジング18のフランジ部に前記固定孔５に嵌入する突
設円筒鍔部を設け、この夫々の突設円筒鍔部に夫々の固
定孔５を被嵌してベアリングハウジング18のフランジ部
を止着ボルト21で移動テーブル４に固定する。
部Ｘ・Ｙガイドレールの軸線間の距離２Ｌに等しい直径
長さの同心円上に等間隔で四個の固定孔５を穿孔する。
この同心円の中心を２'とする。上部にフランジ部を有
するハブ型形状のベアリングハウジング18の上部フラン
ジ面より下方に開口孔を有するカウンターボア部を穿孔
し、このカウンターボア部内に軸受６として二個の玉軸
受を嵌入し、回動支柱３に段部を介して軸部を上方に突
設し、この回動支柱３に前記ベアリングハウジング18を
被嵌して軸部に玉軸受19を圧入し、回動支柱３の軸部端
部に設けた雄螺子部に固定ナット20を螺着して前記段部
と固定ナット20で軸受６を締め付ける。このベアリング
ハウジング18のフランジ部に前記固定孔５に嵌入する突
設円筒鍔部を設け、この夫々の突設円筒鍔部に夫々の固
定孔５を被嵌してベアリングハウジング18のフランジ部
を止着ボルト21で移動テーブル４に固定する。
【００３０】夫々の固定孔３の上部寄りに固定孔より径
大の嵌入孔を穿孔し、この嵌入孔に上部が嵌入孔に係合
し下部円筒部が固定孔５に係合する盲フランジボス形状
のカバー22を嵌入し、このカバー22のボス部に前記固定
ナット20の外径と干渉しないよう逃げ孔を穿孔し、この
カバー22のフランジ部を止めボルト23で移動テーブル４
に止着して移動テーブル４を固定ベース１上に玉軸受19
を介して平行状態に設ける。
大の嵌入孔を穿孔し、この嵌入孔に上部が嵌入孔に係合
し下部円筒部が固定孔５に係合する盲フランジボス形状
のカバー22を嵌入し、このカバー22のボス部に前記固定
ナット20の外径と干渉しないよう逃げ孔を穿孔し、この
カバー22のフランジ部を止めボルト23で移動テーブル４
に止着して移動テーブル４を固定ベース１上に玉軸受19
を介して平行状態に設ける。
【００３１】本発明の実施例を上記のように構成したの
で、左右のＹ軸用移動機構Ｙ3 ，Ｙ3'の作動を停止し、
例えば前後のＸ軸用移動機構Ｘ3 ，Ｘ3'のステッピング
モーター12を同時に所望の正・逆回転で作動せしめると
夫々のボール雄螺子杆14が回転し、ボール雄螺子杆14・
ボール雌螺子体10のボール螺子機構により前後のＸ軸ハ
ウジングＸ2 ，Ｘ2'が前後の下部Ｘ軸ガイドレールＸ
1 ，Ｘ1'上を同時に同じ移動距離で正確に右方に移動す
るので、移動テーブル４が固定ベース１上に所望の移動
距離で正確に右方向に移動する。（このとき後側のＸ軸
用移動機構Ｘ3'のボール雄螺子杆14・ボール雌螺子体10
のボール螺子の螺子部を前側のボール螺子と逆螺子形状
に形成すれば、ステッピングモーター12の回転は同じで
良い。） 同様に前後のＸ軸用移動機構Ｘ3 ，Ｘ3'の作動を停止
し、例えば左右のＹ軸用移動機構Ｙ3 ，Ｙ3'のステッピ
ングモーター12を同時に所望の正・逆回転で作動せしめ
ると前記と同じ作動により移動テーブル４が固定ベース
１上に所望の移動距離で正確に前方向にスライド移動す
る。
で、左右のＹ軸用移動機構Ｙ3 ，Ｙ3'の作動を停止し、
例えば前後のＸ軸用移動機構Ｘ3 ，Ｘ3'のステッピング
モーター12を同時に所望の正・逆回転で作動せしめると
夫々のボール雄螺子杆14が回転し、ボール雄螺子杆14・
ボール雌螺子体10のボール螺子機構により前後のＸ軸ハ
ウジングＸ2 ，Ｘ2'が前後の下部Ｘ軸ガイドレールＸ
1 ，Ｘ1'上を同時に同じ移動距離で正確に右方に移動す
るので、移動テーブル４が固定ベース１上に所望の移動
距離で正確に右方向に移動する。（このとき後側のＸ軸
用移動機構Ｘ3'のボール雄螺子杆14・ボール雌螺子体10
のボール螺子の螺子部を前側のボール螺子と逆螺子形状
に形成すれば、ステッピングモーター12の回転は同じで
良い。） 同様に前後のＸ軸用移動機構Ｘ3 ，Ｘ3'の作動を停止
し、例えば左右のＹ軸用移動機構Ｙ3 ，Ｙ3'のステッピ
ングモーター12を同時に所望の正・逆回転で作動せしめ
ると前記と同じ作動により移動テーブル４が固定ベース
１上に所望の移動距離で正確に前方向にスライド移動す
る。
【００３２】また、例えば前後のＸ軸用移動機構Ｘ3 ，
Ｘ3'及び左右のＹ軸用移動機構Ｙ3，Ｙ3'の夫々のステ
ッピングモーターを同時に所望の正回転で作動せしめる
と、夫々のボール雄螺子杆14により前後のＸ軸ハウジン
グＸ3 ，Ｘ3'の基部が及び左右のＹ軸ハウジングＹ2 ，
Ｙ2'の基部が前後の下部Ｘ軸ガイドレールＸ1・Ｘ1'，
左右の下部Ｙ軸ガイドレールＹ1 ，Ｙ1'上を同時に同じ
移動距離で正確に前進移動し、この動きに連動して移動
テーブル４に同心円上に等間隔で配設した四個の固定孔
５に軸受19を介して垂設した回動支柱３が前後のＸ軸ハ
ウジングＸ2・Ｘ2'及び左右のＹ軸ハウジングＹ1 ，
Ｙ1'の移動距離を応じた偏差距離Ｄで上部Ｙ軸ガイドレ
ールＸY・ＸY'及び上部Ｘ軸ガイドレールＹX ，ＹX'を
夫々内側に押圧して上部Ｙ軸ガイドレールＸY・ＸY'を
Ｘ軸ハウジングＸ2・Ｘ2'の上部内に、及び上部Ｘ軸ガ
イドレールＹX ，ＹX'をＹ軸ハウジングＹ2 ，Ｙ2'の上
部内にスライド移動せしめるので、移動テーブル４が移
動テーブル４の同心円の中心２'を回動中心として時計
方向に水平回動せしめる。
Ｘ3'及び左右のＹ軸用移動機構Ｙ3，Ｙ3'の夫々のステ
ッピングモーターを同時に所望の正回転で作動せしめる
と、夫々のボール雄螺子杆14により前後のＸ軸ハウジン
グＸ3 ，Ｘ3'の基部が及び左右のＹ軸ハウジングＹ2 ，
Ｙ2'の基部が前後の下部Ｘ軸ガイドレールＸ1・Ｘ1'，
左右の下部Ｙ軸ガイドレールＹ1 ，Ｙ1'上を同時に同じ
移動距離で正確に前進移動し、この動きに連動して移動
テーブル４に同心円上に等間隔で配設した四個の固定孔
５に軸受19を介して垂設した回動支柱３が前後のＸ軸ハ
ウジングＸ2・Ｘ2'及び左右のＹ軸ハウジングＹ1 ，
Ｙ1'の移動距離を応じた偏差距離Ｄで上部Ｙ軸ガイドレ
ールＸY・ＸY'及び上部Ｘ軸ガイドレールＹX ，ＹX'を
夫々内側に押圧して上部Ｙ軸ガイドレールＸY・ＸY'を
Ｘ軸ハウジングＸ2・Ｘ2'の上部内に、及び上部Ｘ軸ガ
イドレールＹX ，ＹX'をＹ軸ハウジングＹ2 ，Ｙ2'の上
部内にスライド移動せしめるので、移動テーブル４が移
動テーブル４の同心円の中心２'を回動中心として時計
方向に水平回動せしめる。
【００３３】尚、ステッピングモータ12の回転数はＮＣ
制御することが望ましい。
制御することが望ましい。
【００３４】また、図５は本発明の考え方を取り入れた
他の実施例を示した図面で、固定ベース１上に固定ベー
ス１に設けた基点２を図心とし対辺間距離が夫々２Ｌの
長さの正四角形を想定し、この正四角形の前左頂角点及
び後右頂角点となる固定ベース１上の前左隅部と後右隅
部に、所定長さの下部Ｘ軸ガイドレールＸ1 ，Ｘ1'を左
右方向に横設し、前記想定正四角形の左後頂角点及び右
前頂角点となる固定ベース１上の左後隅部と右前隅部
に、所定長さの下部Ｙ軸ガイドレールＹ1 ，Ｙ1'を前後
方向に横設し、この前後の下部Ｘ軸ガイドレールＸ1 ，
Ｘ1'に、夫々Ｘ軸ハウジングＸ2 ，Ｘ2'の基部を左右ス
ライド可能に被嵌し、このＸ軸ハウジングＸ2 ，Ｘ2'の
上部に下部Ｘ軸ガイドレールＸ1 ，Ｘ1'に直交する所定
長さの上部Ｙ軸ガイドレールＸY ，ＸY'を前後スライド
可能に嵌入し、前記左右の下部Ｙ軸ガイドレールＹ1 ，
Ｙ1'に夫々Ｙ軸ハウジングＹ2 ，Ｙ2'の基部を前後スラ
イド可能に被嵌し、このＹ軸ハウジングＹ2 ，Ｙ2'の上
部に下部Ｙ軸ガイドレールＹ1 ，Ｙ1'に直交する所定長
さの上部Ｘ軸ガイドレールＹX ，ＹX'を左右スライド可
能に嵌入し、前後のＸ軸ハウジングＸ2 ，Ｘ2'を夫々の
下部Ｘ軸ガイドレールＸ1 ，Ｘ1'に所望の距離でスライ
ド移動せしめるＸ軸用移動機構Ｘ3 ，Ｘ3'と、左右のＹ
軸ハウジングＹ2 ，Ｙ2'を夫々の下部Ｙ軸ガイドレール
Ｙ1 ，Ｙ1'に所望の距離でスライド移動せしめるＹ軸用
移動機構Ｙ3 ，Ｙ3'を固定ベース１に設け、前記前後の
上部Ｙ軸ガイドレールＸY ，ＸY'と左右の上部Ｘ軸ガイ
ドレールＹX ，ＹX'の中央上面に夫々回動支柱３を立設
し、移動テーブル４の下面に、前記想定正四角形の各頂
点を通る直径長さの同心円上に等間隔に四個の固定孔５
を穿孔し、この固定孔５を前記回動支柱３の上部に軸受
６を介して被嵌止着して移動テーブル４を固定ベース１
の上方に平行状態に設けた場合を図示している。
他の実施例を示した図面で、固定ベース１上に固定ベー
ス１に設けた基点２を図心とし対辺間距離が夫々２Ｌの
長さの正四角形を想定し、この正四角形の前左頂角点及
び後右頂角点となる固定ベース１上の前左隅部と後右隅
部に、所定長さの下部Ｘ軸ガイドレールＸ1 ，Ｘ1'を左
右方向に横設し、前記想定正四角形の左後頂角点及び右
前頂角点となる固定ベース１上の左後隅部と右前隅部
に、所定長さの下部Ｙ軸ガイドレールＹ1 ，Ｙ1'を前後
方向に横設し、この前後の下部Ｘ軸ガイドレールＸ1 ，
Ｘ1'に、夫々Ｘ軸ハウジングＸ2 ，Ｘ2'の基部を左右ス
ライド可能に被嵌し、このＸ軸ハウジングＸ2 ，Ｘ2'の
上部に下部Ｘ軸ガイドレールＸ1 ，Ｘ1'に直交する所定
長さの上部Ｙ軸ガイドレールＸY ，ＸY'を前後スライド
可能に嵌入し、前記左右の下部Ｙ軸ガイドレールＹ1 ，
Ｙ1'に夫々Ｙ軸ハウジングＹ2 ，Ｙ2'の基部を前後スラ
イド可能に被嵌し、このＹ軸ハウジングＹ2 ，Ｙ2'の上
部に下部Ｙ軸ガイドレールＹ1 ，Ｙ1'に直交する所定長
さの上部Ｘ軸ガイドレールＹX ，ＹX'を左右スライド可
能に嵌入し、前後のＸ軸ハウジングＸ2 ，Ｘ2'を夫々の
下部Ｘ軸ガイドレールＸ1 ，Ｘ1'に所望の距離でスライ
ド移動せしめるＸ軸用移動機構Ｘ3 ，Ｘ3'と、左右のＹ
軸ハウジングＹ2 ，Ｙ2'を夫々の下部Ｙ軸ガイドレール
Ｙ1 ，Ｙ1'に所望の距離でスライド移動せしめるＹ軸用
移動機構Ｙ3 ，Ｙ3'を固定ベース１に設け、前記前後の
上部Ｙ軸ガイドレールＸY ，ＸY'と左右の上部Ｘ軸ガイ
ドレールＹX ，ＹX'の中央上面に夫々回動支柱３を立設
し、移動テーブル４の下面に、前記想定正四角形の各頂
点を通る直径長さの同心円上に等間隔に四個の固定孔５
を穿孔し、この固定孔５を前記回動支柱３の上部に軸受
６を介して被嵌止着して移動テーブル４を固定ベース１
の上方に平行状態に設けた場合を図示している。
【００３５】この場合も前記と同様に前後のＸ軸用移動
機構Ｘ3・Ｘ3'，左右のＹ軸用移動機構Ｙ3 ，Ｙ3'によ
り移動テーブル４を固定ベース１に対して左右方向移
動，前後方向移動，水平回動可能に移動できる。
機構Ｘ3・Ｘ3'，左右のＹ軸用移動機構Ｙ3 ，Ｙ3'によ
り移動テーブル４を固定ベース１に対して左右方向移
動，前後方向移動，水平回動可能に移動できる。
【００３６】
【発明の効果】本発明を上記のように構成したので、移
動テーブルを固定ベースに対して所望の移動量で左右方
向移動，前後方向移動が可能となるのみならず、所望の
角度で移動テーブルを水平回動できる実用上秀れた効果
を発揮する移動テーブルとなる。
動テーブルを固定ベースに対して所望の移動量で左右方
向移動，前後方向移動が可能となるのみならず、所望の
角度で移動テーブルを水平回動できる実用上秀れた効果
を発揮する移動テーブルとなる。
【００３７】また、固定ベース上に下部ガイドレールを
設け、この下部ガイドレールにハウジングを介して移動
テーブルに止着した上部ガイドレールを直交状態に配設
する構成と、前後・左右に設けた夫々のＸ，Ｙ軸用移動
機構を同時に同じ移動量だけ作動することにより移動テ
ーブルが所望の角度で水平回動する構成を採用したの
で、移動テーブル上に回動テーブルを設けた従来型の移
動テーブルに比較して構造が著しくコンパクトで簡単に
なるのみならず、装置の高さを著しく低く構成できる。
設け、この下部ガイドレールにハウジングを介して移動
テーブルに止着した上部ガイドレールを直交状態に配設
する構成と、前後・左右に設けた夫々のＸ，Ｙ軸用移動
機構を同時に同じ移動量だけ作動することにより移動テ
ーブルが所望の角度で水平回動する構成を採用したの
で、移動テーブル上に回動テーブルを設けた従来型の移
動テーブルに比較して構造が著しくコンパクトで簡単に
なるのみならず、装置の高さを著しく低く構成できる。
【００３８】また、移動テーブルの左右方向移動及び前
後方向移動を夫々二個の移動機構で作動せしめる構成の
ため、従来型の移動機構が夫々一個の移動機構で作動せ
しめる構成に比し一個当たりの移動機構の負荷が半減す
るのみならず、水平回動を四個の移動機構で作動せしめ
る構成のため、夫々の移動機構の受ける負荷が等分に案
分されそれだけ負荷が軽くなるので移動機構の剛性が維
持されるうえに、従来の回動機構が中心部に設けた回動
軸を軸心として回動する構成に比し、対向状態に設けた
下部がガイドレールの延長線上で移動機構を駆動して移
動テーブルを回動せしめるため誤差が拡大しない極めて
正確な回動が得られる移動テーブル装置となる。
後方向移動を夫々二個の移動機構で作動せしめる構成の
ため、従来型の移動機構が夫々一個の移動機構で作動せ
しめる構成に比し一個当たりの移動機構の負荷が半減す
るのみならず、水平回動を四個の移動機構で作動せしめ
る構成のため、夫々の移動機構の受ける負荷が等分に案
分されそれだけ負荷が軽くなるので移動機構の剛性が維
持されるうえに、従来の回動機構が中心部に設けた回動
軸を軸心として回動する構成に比し、対向状態に設けた
下部がガイドレールの延長線上で移動機構を駆動して移
動テーブルを回動せしめるため誤差が拡大しない極めて
正確な回動が得られる移動テーブル装置となる。
【図１】本実施例の構成を示す一部を切欠いた説明用平
面図である。
面図である。
【図２】本実施例の構成を示す一部を切欠いた説明用側
面図である。
面図である。
【図３】本実施例の使用状態の移動テーブルを固定ベー
スに対して水平回動せしめる作動を示す一部を省略した
説明用平面図である。
スに対して水平回動せしめる作動を示す一部を省略した
説明用平面図である。
【図４】本実施例の移動テーブルを固定ベースに対して
右方向にｔ距離，前方向にμ距離移動せしめたあとβ°
水平回動せしめた一部を省略した説明用平面図である。
右方向にｔ距離，前方向にμ距離移動せしめたあとβ°
水平回動せしめた一部を省略した説明用平面図である。
【図５】本発明の考え方を取り入れた他の実施例の一部
を切欠いた説明用平面図である。
を切欠いた説明用平面図である。
【図６】本実施例の上下のガイドレールとハウジングの
構成を示す説明用斜視図である。
構成を示す説明用斜視図である。
Ｌ 長さ Ｘ1 ，Ｘ1' 下部Ｘ軸ガイドレール Ｘ2 ，Ｘ2' Ｘ軸ハウジング Ｘ3 ，Ｘ3' Ｘ軸用移動機構 ＸY ，ＸY' 上部Ｙ軸ガイドレール Ｙ1 ，Ｙ1' 下部Ｙ軸ガイドレール Ｙ2 ，Ｙ2' Ｘ軸ハウジング Ｙ3 ，Ｙ3' Ｙ軸用移動機構 ＹX ，ＹX' 上部Ｘ軸ガイドレール １ 固定ベース ２ 基点 ３ 回動支柱 ４ 移動テーブル ５ 固定孔 ６ 軸受
Claims (1)
- 【請求項１】 固定ベース１上に、固定ベース１の基点
２より前後・左右対向状態に等しい長さの距離Ｌを置い
て所定長さの下部Ｘ軸ガイドレールＸ1 ,Ｘ1'を左右方
向に下部Ｙ軸ガイドレールＹ1 ，Ｙ1'を前後方向に横設
し、この前後の下部Ｘ軸ガイドレールＸ1 ，Ｘ1'に、夫
々Ｘ軸ハウジングＸ2 ，Ｘ2'の基部を左右スライド可能
に被嵌し、このＸ軸ハウジングＸ2 ，Ｘ2'の上部に下部
Ｘ軸ガイドレールＸ1 ，Ｘ1'に直交する所定長さの上部
Ｙ軸ガイドレールＸY ，ＸY'を前後スライド可能に嵌入
し、前記左右の下部Ｙ軸ガイドレールＹ1 ，Ｙ1'に夫々
Ｙ軸ハウジングＹ2 ，Ｙ2'の基部を前後スライド可能に
被嵌し、このＹ軸ハウジングＹ2 ，Ｙ2'の上部に下部Ｙ
軸ガイドレールＹ1 ，Ｙ1'に直交する所定長さの上部Ｘ
軸ガイドレールＹX ，ＹX'を左右スライド可能に嵌入
し、この前後のＸ軸ハウジングＸ2 ，Ｘ2'を夫々の下部
Ｘ軸ガイドレールＸ1 ，Ｘ1'に所望の距離でスライド移
動せしめるＸ軸用移動機構Ｘ3 ，Ｘ3'と、左右のＹ軸ハ
ウジングＹ2，Ｙ2'を夫々の下部Ｙ軸ガイドレールＹ
1 ，Ｙ1'に所望の距離でスライド移動せしめるＹ軸用移
動機構Ｙ3 ，Ｙ3'を固定ベース１に設け、前記前後の上
部Ｙ軸ガイドレールＸY ，ＸY'と左右の上部Ｘ軸ガイド
レールＹX ，ＹX'の中央上面に夫々回動支柱３を立設
し、移動テーブル４の下面に前記前後・左右の下部Ｘ・
Ｙ軸ガイドレール間の距離２Ｌと等しい直径長さの同心
円上に等間隔に四個の固定孔５を穿孔し、この固定孔５
を前記回動支柱３の上部に軸受６を介して被嵌止着して
移動テーブル４を固定ベース１の上方に平行状態に設
け、前記前後のＸ軸用移動機構Ｘ3 ，Ｘ3'、左右のＹ軸
用移動機構Ｙ3 ，Ｙ3'により移動テーブル４を固定ベー
ス１に対して左右方向移動，前後方向移動，水平回動可
能に設けたことを特徴とする移動テーブル装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8204456A JPH1043978A (ja) | 1996-08-02 | 1996-08-02 | 移動テーブル装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8204456A JPH1043978A (ja) | 1996-08-02 | 1996-08-02 | 移動テーブル装置 |
Related Child Applications (5)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2003164222A Division JP2004098276A (ja) | 2003-06-09 | 2003-06-09 | 移動テーブル装置 |
| JP2003202599A Division JP2004160639A (ja) | 2003-07-28 | 2003-07-28 | 移動テーブル装置 |
| JP2003202601A Division JP2004122352A (ja) | 2003-07-28 | 2003-07-28 | 移動テーブル装置 |
| JP2003202600A Division JP2004160640A (ja) | 2003-07-28 | 2003-07-28 | 移動テーブル装置 |
| JP2003208941A Division JP2004142093A (ja) | 2003-08-27 | 2003-08-27 | 移動テーブル装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1043978A true JPH1043978A (ja) | 1998-02-17 |
Family
ID=16490842
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8204456A Pending JPH1043978A (ja) | 1996-08-02 | 1996-08-02 | 移動テーブル装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1043978A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001356187A (ja) * | 2000-06-14 | 2001-12-26 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | ＸＹθステージ装置及びその制御方法 |
| JP2005148045A (ja) * | 2003-06-03 | 2005-06-09 | Fast:Kk | ４軸ＸＹθテーブルとその制御方法 |
| WO2006059457A1 (ja) * | 2004-11-30 | 2006-06-08 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki | アライメント装置 |
| JP2006252484A (ja) * | 2005-03-14 | 2006-09-21 | Yaskawa Electric Corp | ２次元位置決め装置 |
| JP2006310405A (ja) * | 2005-04-26 | 2006-11-09 | Yaskawa Electric Corp | アライメント装置 |
| JP2006351785A (ja) * | 2005-06-15 | 2006-12-28 | Yaskawa Electric Corp | 長ストローク移動可能なアライメントステージ |
| WO2007049345A1 (ja) * | 2005-10-26 | 2007-05-03 | Iwasaki System Co., Ltd. | テーブルの位置決め制御装置 |
| JP2009063540A (ja) * | 2007-09-10 | 2009-03-26 | Hiwin Mikrosystem Corp | 超高正方向負荷用位置合せ装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05162035A (ja) * | 1991-12-13 | 1993-06-29 | Ono Sokki Co Ltd | ＸＹ−θ軸の微調整機構 |
-
1996
- 1996-08-02 JP JP8204456A patent/JPH1043978A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05162035A (ja) * | 1991-12-13 | 1993-06-29 | Ono Sokki Co Ltd | ＸＹ−θ軸の微調整機構 |
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001356187A (ja) * | 2000-06-14 | 2001-12-26 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | ＸＹθステージ装置及びその制御方法 |
| JP2005148045A (ja) * | 2003-06-03 | 2005-06-09 | Fast:Kk | ４軸ＸＹθテーブルとその制御方法 |
| JPWO2006059457A1 (ja) * | 2004-11-30 | 2008-06-05 | 株式会社安川電機 | アライメント装置 |
| WO2006059457A1 (ja) * | 2004-11-30 | 2006-06-08 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki | アライメント装置 |
| KR101025632B1 (ko) * | 2004-11-30 | 2011-03-30 | 가부시키가이샤 야스카와덴키 | 얼라인먼트 장치 |
| JP4656334B2 (ja) * | 2004-11-30 | 2011-03-23 | 株式会社安川電機 | アライメント装置 |
| US7848832B2 (en) | 2004-11-30 | 2010-12-07 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki | Alignment apparatus |
| JP2006252484A (ja) * | 2005-03-14 | 2006-09-21 | Yaskawa Electric Corp | ２次元位置決め装置 |
| JP2006310405A (ja) * | 2005-04-26 | 2006-11-09 | Yaskawa Electric Corp | アライメント装置 |
| JP4742663B2 (ja) * | 2005-04-26 | 2011-08-10 | 株式会社安川電機 | アライメント装置 |
| JP2006351785A (ja) * | 2005-06-15 | 2006-12-28 | Yaskawa Electric Corp | 長ストローク移動可能なアライメントステージ |
| WO2007049345A1 (ja) * | 2005-10-26 | 2007-05-03 | Iwasaki System Co., Ltd. | テーブルの位置決め制御装置 |
| KR101156901B1 (ko) | 2005-10-26 | 2012-06-21 | 이와사키 시스템 가부시키가이샤 | 테이블의 위치 결정 제어 장치 |
| JP2009063540A (ja) * | 2007-09-10 | 2009-03-26 | Hiwin Mikrosystem Corp | 超高正方向負荷用位置合せ装置 |
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