JP2004098276A

JP2004098276A - 移動テーブル装置

Info

Publication number: JP2004098276A
Application number: JP2003164222A
Authority: JP
Inventors: Shintaro Sakai; 坂井　進太郎
Original assignee: THK Co Ltd
Current assignee: THK Co Ltd
Priority date: 2003-06-09
Filing date: 2003-06-09
Publication date: 2004-04-02

Abstract

【課題】固定ベース上に移動テーブルを設け、この移動テーブルが固定ベースに対して左右方向移動，前後方向移動，水平回動可能な移動テーブルを提供する。
【解決手段】固定テーブル１と移動テーブル４を回転支柱３を介して回転自在に設け、固定テーブルと移動テーブルの間に±Ｘ軸方向、±Ｙ軸方向に移動可能な十字スライドを四個設け、また−Ｘ、＋Ｘ軸、−Ｙ、＋Ｙ軸の各方向に移動させる四個のボールネジ・ナット移動機構を配置し、各ボールナット移動機構をステッピングモータによって位置制御し、十字スライドを介して移動テーブル４を固定ベース１に対して左右方向移動，前後方向移動，水平回動可能に設けた移動テーブル装置。
【選択図】　　　　図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は固定ベース上に設けた移動テーブルを、固定ベースに対して左右方向移動，前後方向移動，並びに水平回動可能に設けた移動テーブル装置に係るものである。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】
固定ベース上に設けた移動テーブルを固定ベースに対して左右方向に移動せしめたり前後方向に移動せしめたりする移動テーブル装置が多用されているが、この移動テーブルに回動作動を付加するため、移動テーブルに回動軸を立設し、この回動軸に回動テーブルを回動可能に被嵌止着し、移動テーブル・回動テーブル間に設けた回動機構により回動テーブルを回動せしめる装置も使用されているが、この構成は固定ベース・移動テーブル・回動テーブルの三層構成となるため高さスペースに制約のある場合には対応できない欠点があるばかりでなく回動テーブルを回動せしめる回動機構が必要であった。
【０００３】
本発明は、上記欠点を解決するため固定ベースと移動テーブル間に移動機構を設け、移動テーブルを固定ベースに対して左右方向移動・前後方向移動・水平回動可能な移動テーブルを提供することを技術的課題とするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
添付図面を参照して本発明の要旨を説明する。
【０００５】
固定ベース１上に、下部Ｘ軸ガイドレールＸ_１　，Ｘ’_１を左右方向に、下部Ｙ軸ガイドレールＹ_１　，Ｙ’_１を前後方向に横設し、この下部Ｘ軸ガイドレールＸ_１　，Ｘ’_１に、Ｘ軸ハウジングＸ_２　，Ｘ’_２の基部を左右スライド可能に被嵌し、このＸ軸ハウジングＸ_２　，Ｘ’_２の上部に下部Ｘ軸ガイドレールＸ_１　，Ｘ’_１に直交する上部Ｙ軸ガイドレールＸ_Ｙ　，Ｘ’_Ｙを前後スライド可能に嵌入し、前記下部Ｙ軸ガイドレールＹ_１　，Ｙ’_１にＹ軸ハウジングＹ_２　，Ｙ’_２の基部を前後スライド可能に被嵌し、このＹ軸ハウジングＹ_２　，Ｙ’_２の上部に下部Ｙ軸ガイドレールＹ_１　，Ｙ’_１に直交する上部Ｘ軸ガイドレールＹ_Ｘ　，Ｙ’_Ｘを左右スライド可能に嵌入し、このＸ軸ハウジングＸ_２　，Ｘ’_２を下部Ｘ軸ガイドレールＸ_１　，Ｘ’_１に所望の距離でスライド移動せしめるＸ軸用移動機構Ｘ_３　，Ｘ’_３と、Ｙ軸ハウジングＹ_２　，Ｙ’_２を下部Ｙ軸ガイドレールＹ_１　，Ｙ’_１に所望の距離でスライド移動せしめるＹ軸用移動機構Ｙ_３　，Ｙ’_３を固定ベース１に設け、前記上部Ｙ軸ガイドレールＸ_Ｙ　，Ｘ’_Ｙと上部Ｘ軸ガイドレールＹ_Ｘ　，Ｙ’_Ｘに夫々回動支柱３を設け、前記回動支柱３の上部に軸受６を介して被嵌止着して移動テーブル４を固定ベース１の上方に平行状態に設け、前記Ｘ軸用移動機構Ｘ_３　，Ｘ’_３、Ｙ軸用移動機構Ｙ_３　，Ｙ’_３により移動テーブル４を固定ベース１に対して左右方向移動，前後方向移動，水平回動可能に設けたことを特徴とする移動テーブル装置に係るものである。
【０００６】
また、固定ベース１上に、固定ベース１の基点２より前後・左右対向状態に等しい長さの距離Ｌを置いて所定長さの下部Ｘ軸ガイドレールＸ_１　，Ｘ’_１を左右方向に下部Ｙ軸ガイドレールＹ_１　，Ｙ’_１を前後方向に横設し、この前後の下部Ｘ軸ガイドレールＸ_１　，Ｘ’_１に、夫々Ｘ軸ハウジングＸ_２　，Ｘ’_２の基部を左右スライド可能に被嵌し、このＸ軸ハウジングＸ_２　，Ｘ’_２の上部に下部Ｘ軸ガイドレールＸ_１　，Ｘ’_１に直交する所定長さの上部Ｙ軸ガイドレールＸ_Ｙ　，Ｘ’_Ｙを前後スライド可能に嵌入し、前記左右の下部Ｙ軸ガイドレールＹ_１　，Ｙ’_１に夫々Ｙ軸ハウジングＹ_２　，Ｙ’_２の基部を前後スライド可能に被嵌し、このＹ軸ハウジングＹ_２　，Ｙ’_２の上部に下部Ｙ軸ガイドレールＹ_１　，Ｙ’_１に直交する所定長さの上部Ｘ軸ガイドレールＹ_Ｘ　，Ｙ’_Ｘを左右スライド可能に嵌入し、この前後のＸ軸ハウジングＸ_２　，Ｘ’_２を夫々の下部Ｘ軸ガイドレールＸ_１　，Ｘ’_１に所望の距離でスライド移動せしめるＸ軸用移動機構Ｘ_３　，Ｘ’_３と、左右のＹ軸ハウジングＹ_２，Ｙ’_２を夫々の下部Ｙ軸ガイドレールＹ_１　，Ｙ’_１に所望の距離でスライド移動せしめるＹ軸用移動機構Ｙ_３　，Ｙ’_３を固定ベース１に設け、前記前後の上部Ｙ軸ガイドレールＸ_Ｙ　，Ｘ’_Ｙと左右の上部Ｘ軸ガイドレールＹ_Ｘ　，Ｙ’_Ｘの中央上面に夫々回動支柱３を立設し、移動テーブル４の下面に前記前後・左右の下部Ｘ・Ｙ軸ガイドレール間の距離２Ｌと等しい直径長さの同心円上に等間隔に四個の固定孔５を穿孔し、この固定孔５を前記回動支柱３の上部に軸受６を介して被嵌止着して移動テーブル４を固定ベース１の上方に平行状態に設け、前記前後のＸ軸用移動機構Ｘ_３　，Ｘ’_３　、左右のＹ軸用移動機構Ｙ_３　，Ｙ’_３により移動テーブル４を固定ベース１に対して左右方向移動，前後方向移動，水平回動可能に設けたことを特徴とする移動テーブル装置に係るものである。
【０００７】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態を作用効果を示して実施の一例である図面に基づいて説明する。
【０００８】
移動テーブル４を固定ベース１に対して左右方向に移動せしめる実施の形態について説明する。
【０００９】
例えば、左右のＹ軸用移動機構Ｙ_３　，Ｙ’_３の作動を固定し、前後のＸ軸用移動機構Ｘ_３　，Ｘ’_３を同時に正・逆同じ移動量だけ作動して前後のＸ軸ハウジングＸ_２　，Ｘ’_２を前後の下部Ｘ軸ガイドレールＸ_１　，Ｘ’_１をガイドとして同時に同じ距離だけ右方にスライド移動せしめて移動テーブル４を固定ベース１に対して右方向にスライド移動せしめる。
【００１０】
このとき固定ベース１上の左右の下部Ｙ軸ガイドレールＹ_１　，Ｙ’_１に被嵌した左右のＹ軸ハウジングＹ_２　，Ｙ’_２の基部は左右方向の動きが拘束されているので固定ベース１上のそのままの位置で保持され、左右のＹ軸ハウジングＹ_２　，Ｙ’_２の上部は移動テーブル４と共に移動する上部Ｘ軸ガイドレールＹ_Ｘ　，Ｙ’_Ｘを右方にガイドスライド移動せしめる。
【００１１】
移動テーブル４を左方にスライド移動せしめる場合は、前記と同様手段によりＸ軸ハウジングＸ_２　，Ｘ’_２をＸ軸用移動機構Ｘ_３　，Ｘ’_３により左方向に移動せしめる。
【００１２】
次に、移動テーブル４を固定ベース１に対して前後方向に移動せしめる実施の形態について説明する。
【００１３】
例えば、前後のＸ軸用移動機構Ｘ_３　，Ｘ’_３の作動を固定し、左右のＹ軸用移動機構Ｙ_３　，Ｙ’_３を同時に正・逆同じ移動量だけ作動して左右のＹ軸ハウジングＹ_２　，Ｙ’_２を左右の下部Ｙ軸ガイドレールＹ_１　，Ｙ’_１をガイドとして同時に同じ距離だけ前方にスライド移動せしめて移動テーブル４を固定ベース１に対して前方向にスライド移動せしめる。
【００１４】
このとき、前記と同様に、固定ベース１上の前後の下部Ｘ軸ガイドレールＸ_１，Ｘ’_１に被嵌した前後のＸ軸ハウジングＸ_２　，Ｘ’_２の基部は前後方向の動きが拘束されているので固定ベース１上のそのままの位置で保持され、前後のＸ軸ハウジングＸ_２　，Ｘ’_２の上部は移動テーブル４と共に移動する上部Ｙ軸ガイドレールＸ_Ｙ　，Ｘ’_Ｙを前方にガイドスライド移動せしめる。
【００１５】
移動テーブル４を後方にスライド移動せしめるときは、前記と同様手段によりＹ軸ハウジングＹ_２　，Ｙ’_２をＹ軸用移動機構Ｙ_３　，Ｙ’_３により後方に移動せしめる。
【００１６】
続いて、移動テーブル４を固定ベース１に対して水平回動せしめる実施の形態について説明する。
【００１７】
例えば、前後のＸ軸用移動機構Ｘ_３・Ｘ’_３　，左右のＹ軸用移動機構Ｙ_３・Ｙ’_３を同時に正の方向に同じ所望の移動量Ｓだけ作動せしめると、前後のＸ軸用移動機構Ｘ_３　，Ｘ’_３により前側のＸ軸ハウジングＸ_２の基部が下部Ｘ軸ガイドレールＸ_１上を右方向に、後側のＸ軸ハウジングＸ’_２の基部が下部Ｘ軸ガイドレールＸ’_１上を左方向に、左右のＹ軸用移動機構Ｙ_３・Ｙ’_３により左側のＹ軸ハウジングＹ_２の基部が下部Ｙ軸ガイドレールＹ_１上を前側方向に、右側のＹ軸ハウジングＹ’_２の基部が下部Ｙ軸ガイドレールＹ’_１上を下側方向に移動する。
【００１８】
この移動により移動テーブル４に同心円上に等間隔で配設した四個の固定孔５に垂設した回動支柱３が、前後のＸ軸ハウジングＸ_２　，Ｘ’_２及び左右のＹ軸ハウジングＹ_２　，Ｙ’_２の移動距離に対応した偏差距離Ｄで上部Ｙ軸ガイドレールＸ_Ｙ，Ｘ’_Ｙ及び上部Ｘ軸ガイドレールＹ_Ｘ　，Ｙ’_Ｘを内側に押圧して上部Ｙ軸ガイドレールＸ_Ｙ　，Ｘ’_ＹをＸ軸ハウジングＸ_２　，Ｘ’_２の上部内にスライド移動し、上部Ｘ軸ガイドレールＹ_Ｘ・Ｙ’_ＸをＹ軸ハウジングＹ_２　，Ｙ’_２の上部内にスライド移動せしめるので、移動テーブル４を移動テーブル４の同心円の中心を回動中心として時計方向にα°水平回動せしめる。
【００１９】
また、前後のＸ軸用移動機構Ｘ_３・Ｘ’_３　，左右のＹ軸用移動機構Ｙ_３・Ｙ’_３を同時に逆の方向に同じ所望の量だけ作動せしめると、前記と同じ理により移動テーブル４が同心円の中心を回動中心として反時計方向に水平回動する。
【００２０】
【実施例】
添付図面により本発明の実施例について説明する。
【００２１】
固定ベース１上に、固定ベース１の基点２より前後・左右対向状態に等しい長さの距離Ｌを置いて所定長さの下部Ｘ軸ガイドレールＸ_１　，Ｘ’_１を左右方向に下部Ｙ軸ガイドレールＹ_１　，Ｙ’_１を前後方向に横設し、この前後の下部Ｘ軸ガイドレールＸ_１　，Ｘ’_１に、夫々Ｘ軸ハウジングＸ_２　，Ｘ’_２の基部を左右スライド可能に被嵌し、このＸ軸ハウジングＸ_２　，Ｘ’_２の上部に下部Ｘ軸ガイドレールＸ_１　，Ｘ’_１に直交する所定長さの上部Ｙ軸ガイドレールＸ_Ｙ　，Ｘ’_Ｙを前後スライド可能に嵌入し、前記左右の下部Ｙ軸ガイドレールＹ_１　，Ｙ’_１に夫々Ｙ軸ハウジングＹ_２　，Ｙ’_２の基部を前後スライド可能に被嵌し、このＹ軸ハウジングＹ_２　，Ｙ’_２の上部に下部Ｙ軸ガイドレールＹ_１　，Ｙ’_１に直交する所定長さの上部Ｘ軸ガイドレールＹ_Ｘ　，Ｙ’_Ｘを左右スライド可能に嵌入し、この前後のＸ軸ハウジングＸ_２　，Ｘ’_２を夫々の下部Ｘ軸ガイドレールＸ_１　，Ｘ’_１に所望の距離でスライド移動せしめるＸ軸用移動機構Ｘ_３　，Ｘ’_３と、左右のＹ軸ハウジングＹ_２　，Ｙ’_２を夫々の下部Ｙ軸ガイドレールＹ_１　，Ｙ’_１に所望の距離でスライド移動せしめるＹ軸用移動機構Ｙ_３　，Ｙ’_３を固定ベース１に設け、前記前後の上部Ｙ軸ガイドレールＸ_Ｙ　，Ｘ’_Ｙと左右の上部Ｘ軸ガイドレールＹ_Ｘ　，Ｙ’_Ｘの中央上面に夫々回動支柱３を立設し、移動テーブル４の下面に前記前後・左右の下部Ｘ・Ｙ軸ガイドレール間の距離２Ｌと等しい直径長さの同心円上に等間隔に四個の固定孔５を穿孔し、この固定孔５を前記回動支柱３の上部に軸受６を介して被嵌止着して移動テーブル４を固定ベース１の上方に平行状態に設け、前記前後のＸ軸用移動機構Ｘ_３　，Ｘ’_３、左右のＹ軸用移動機構Ｙ_３　，Ｙ’_３により移動テーブル４を固定ベース１に対して左右方向移動，前後方向移動，水平回動可能に設ける。
【００２２】
図示した下部Ｘ軸ガイドレールＸ_１　，上部Ｙ軸ガイドレールＸ_Ｙ　，Ｘ軸ハウジングＸ_２の構成について図６により簡単に説明する（後側の下部Ｘ軸ガイドレールＸ’_１　，上部Ｙ軸ガイドレールＸ’_Ｙ　，Ｘ軸ハウジングＸ’_２及び左右の下部Ｙ軸ガイドレールＹ_１・Ｙ’_１　，上部Ｘ軸ガイドレールＹ_Ｘ・Ｙ’_Ｘ　，Ｙ軸ハウジングＹ_２・Ｙ’_２も同様である。）。
【００２３】
左右対向状態に環状の玉型転動体を内蔵し、左右側面に玉型転動体の受ける荷重を担いながら玉型転動体が転がり運動で転動する転送軌道を刻設したブロックをクロス型に背面合わせに直交させて形成してＸ軸ハウジングＸ_２を構成し、前記Ｘ軸ハウジングＸ_２内の環状の玉型転動体をガイドとして転がり運動で直線状にスムースにガイド移動するよう左右両側面に対向状態に転送軌道を形成した下部Ｘ軸ガイドレールＸ_１を前記Ｘ軸ハウジングＸ_２の基部にスライド可能に嵌入し、このＸ軸ハウジングＸ_２の上部にＸ軸ガイドレールＸ_１と同形の上部Ｙ軸ガイドレールＸ_Ｙをスライド可能に嵌入してＸ軸ガイドレールＸ_１と直交する上部Ｙ軸ガイドレールを形成する。
【００２４】
本実施例のハウジング及び上下のガイドレールを上記のように構成したので、組み立て全高さが従来品に比して著しく低くなるうえに極めて高い直進精度と直交精度が得られるとともに高負荷に耐え摩擦抵抗が小さいクロスタイプの上下のガイドレールとハウジングが構成される。
【００２５】
次に、固定ベース１の前左部に設けたＸ軸ハウジングＸ_２を前側下部Ｘ軸ガイドレールＸ_１に所望の距離でスライド移動せしめるＸ軸用移動機構Ｘ_３について説明する（固定ベース１の後右部に設けた後側のＸ軸用移動機構Ｘ’_３　，固定ベース１の左後部及び右前部に設けた左・右のＹ軸用移動機構Ｙ_３・Ｙ’_３についても同様である。）。
【００２６】
Ｘ軸ハウジングＸ_２の左側端部に下方に開口部を有するチャンネル形状の連結体９の基部のフランジ面を止着し他部のフランジ面の内側に内径にボール螺子の雌螺子を螺設したボール雌螺子体１０を止着する。固定ベース１の前左部にアングル状のモータベース１１を止着し、このモータベース１１の縦板の左側にステッピングモータ１２若しくはサーボモータを止着する。
【００２７】
前記連結体９・モータベース１１間の固定ベース１上に軸受部１３を立設し、ボール雌螺子体１０のボール螺子の雌螺子部にボール雄螺子を螺設したボール雄螺子杆１４を螺合してその基端部を左方に延設しこの延長設端部を軸受部１３内に設けたベアリングケース１３’を介して二列のベアリング１５で支承してナット１６で止着し、このボール雄螺子杆１４の延設端と前記ステッピングモーター１２の出力軸端部とをカップリング１７で連結してＸ軸用移動機構Ｘ_３を構成する。
【００２８】
本実施例のＸ軸用移動機構Ｘ_３を上記のように構成したので、ステッピングモーター１２を正回転せしめるとボール雄螺子杆１４が回転し、このボール雄螺子杆１４に螺合しているボール雄螺子体１０のボール螺子機構によりＸ軸ハウジングＸ_２が前部の下部Ｘ軸ガイドレールＸ_１をガイドとして右方にスライド移動する。
【００２９】
本実施例は上記のように移動機構のアクチェータとしてステッピングモーター１２を採用し、このステッピングモーター１２の回転をボール螺子機構によりＸ軸ハウジングの直進運動に転換するよう構成したので、ステッピングモーター１２の回転を高精度で数値制御できるうえに、この制御回転をバックラッシュがなく高精度のボール螺子機構によりＸ軸ハウジングＸ_２を下部Ｘ軸ガイドＸ_１上に直進移動せしめるため、Ｘ軸ハウジングＸ_２の直進移動を極めて高い精度で規制でき、且つ、繰り返し位置決め精度が保証される秀れた精度の移動機構となる。
【００３０】
移動テーブル４を固定ベース１の上方に平行状態に設ける構成について説明する。
【００３１】
前後の上部Ｙ軸ガイドレールＸ_Ｙ　，Ｘ’_Ｙと左右の上部Ｘ軸ガイドレールＹ_Ｘ　，Ｙ’_Ｘの夫々の中央に回動支柱３の基部を止めボルト（図示省略）で止着して回動支柱３を上部のＹ・Ｘ軸ガイドレールに立設する。
【００３２】
移動テーブル４の下面に、前後・左右の下部Ｘ・Ｙガイドレールの軸線間の距離２Ｌに等しい直径長さの同心円上に等間隔で四個の固定孔５を穿孔する。この同心円の中心を２’とする。上部にフランジ部を有するハブ型形状のベアリングハウジング１８の上部フランジ面より下方に開口孔を有するカウンターボア部を穿孔し、このカウンターボア部内に軸受６として二個の玉軸受を嵌入し、回動支柱３に段部を介して軸部を上方に突設し、この回動支柱３に前記ベアリングハウジング１８を被嵌して軸部に玉軸受１９を圧入し、回動支柱３の軸部端部に設けた雄螺子部に固定ナット２０を螺着して前記段部と固定ナット２０で軸受６を締め付ける。このベアリングハウジング１８のフランジ部に前記固定孔５に嵌入する突設円筒鍔部を設け、この夫々の突設円筒鍔部に夫々の固定孔５を被嵌してベアリングハウジング１８のフランジ部を止着ボルト２１で移動テーブル４に固定する。
【００３３】
夫々の固定孔３の上部寄りに固定孔より径大の嵌入孔を穿孔し、この嵌入孔に上部が嵌入孔に係合し下部円筒部が固定孔５に係合する盲フランジボス形状のカバー２２を嵌入し、このカバー２２のボス部に前記固定ナット２０の外径と干渉しないよう逃げ孔を穿孔し、このカバー２２のフランジ部を止めボルト２３で移動テーブル４に止着して移動テーブル４を固定ベース１上に玉軸受１９を介して平行状態に設ける。
【００３４】
本発明の実施例を上記のように構成したので、左右のＹ軸用移動機構Ｙ_３　，Ｙ’_３の作動を停止し、例えば前後のＸ軸用移動機構Ｘ_３　，Ｘ’_３のステッピングモーター１２を同時に所望の正・逆回転で作動せしめると夫々のボール雄螺子杆１４が回転し、ボール雄螺子杆１４・ボール雌螺子体１０のボール螺子機構により前後のＸ軸ハウジングＸ_２　，Ｘ’_２が前後の下部Ｘ軸ガイドレールＸ_１　，Ｘ’_１上を同時に同じ移動距離で正確に右方に移動するので、移動テーブル４が固定ベース１上に所望の移動距離で正確に右方向に移動する（このとき後側のＸ軸用移動機構Ｘ’_３のボール雄螺子杆１４・ボール雌螺子体１０のボール螺子の螺子部を前側のボール螺子と逆螺子形状に形成すれば、ステッピングモーター１２の回転は同じで良い。）。
【００３５】
同様に前後のＸ軸用移動機構Ｘ_３　，Ｘ’_３の作動を停止し、例えば左右のＹ軸用移動機構Ｙ_３　，Ｙ’_３のステッピングモーター１２を同時に所望の正・逆回転で作動せしめると前記と同じ作動により移動テーブル４が固定ベース１上に所望の移動距離で正確に前方向にスライド移動する。
【００３６】
また、例えば前後のＸ軸用移動機構Ｘ_３　，Ｘ’_３及び左右のＹ軸用移動機構Ｙ_３，Ｙ’_３の夫々のステッピングモーターを同時に所望の正回転で作動せしめると、夫々のボール雄螺子杆１４により前後のＸ軸ハウジングＸ_３　，Ｘ’_３の基部が及び左右のＹ軸ハウジングＹ_２　，Ｙ’_２の基部が前後の下部Ｘ軸ガイドレールＸ_１・Ｘ’_１　，左右の下部Ｙ軸ガイドレールＹ_１　，Ｙ’_１上を同時に同じ移動距離で正確に前進移動し、この動きに連動して移動テーブル４に同心円上に等間隔で配設した四個の固定孔５に軸受１９を介して垂設した回動支柱３が前後のＸ軸ハウジングＸ_２・Ｘ’_２及び左右のＹ軸ハウジングＹ_１　，Ｙ’_１の移動距離を応じた偏差距離Ｄで上部Ｙ軸ガイドレールＸ_Ｙ・Ｘ’_Ｙ及び上部Ｘ軸ガイドレールＹ_Ｘ　，Ｙ’_Ｘを夫々内側に押圧して上部Ｙ軸ガイドレールＸ_Ｙ・Ｘ’_ＹをＸ軸ハウジングＸ_２・Ｘ’_２の上部内に、及び上部Ｘ軸ガイドレールＹ_Ｘ　，Ｙ’_ＸをＹ軸ハウジングＹ_２　，Ｙ’_２の上部内にスライド移動せしめるので、移動テーブル４が移動テーブル４の同心円の中心２’を回動中心として時計方向に水平回動せしめる。
【００３７】
尚、ステッピングモータ１２の回転数はＮＣ制御することが望ましい。
【００３８】
また、図５は本発明の考え方を取り入れた他の実施例を示した図面で、固定ベース１上に固定ベース１に設けた基点２を図心とし対辺間距離が夫々２Ｌの長さの正四角形を想定し、この正四角形の前左頂角点及び後右頂角点となる固定ベース１上の前左隅部と後右隅部に、所定長さの下部Ｘ軸ガイドレールＸ_１　，Ｘ’_１を左右方向に横設し、前記想定正四角形の左後頂角点及び右前頂角点となる固定ベース１上の左後隅部と右前隅部に、所定長さの下部Ｙ軸ガイドレールＹ_１　，Ｙ’_１を前後方向に横設し、この前後の下部Ｘ軸ガイドレールＸ_１　，Ｘ’_１に、夫々Ｘ軸ハウジングＸ_２　，Ｘ’_２の基部を左右スライド可能に被嵌し、このＸ軸ハウジングＸ_２　，Ｘ’_２の上部に下部Ｘ軸ガイドレールＸ_１　，Ｘ’_１に直交する所定長さの上部Ｙ軸ガイドレールＸ_Ｙ　，Ｘ’_Ｙを前後スライド可能に嵌入し、前記左右の下部Ｙ軸ガイドレールＹ_１　，Ｙ’_１に夫々Ｙ軸ハウジングＹ_２　，Ｙ’_２の基部を前後スライド可能に被嵌し、このＹ軸ハウジングＹ_２　，Ｙ’_２の上部に下部Ｙ軸ガイドレールＹ_１　，Ｙ’_１に直交する所定長さの上部Ｘ軸ガイドレールＹ_Ｘ　，Ｙ’_Ｘを左右スライド可能に嵌入し、前後のＸ軸ハウジングＸ_２　，Ｘ’_２を夫々の下部Ｘ軸ガイドレールＸ_１　，Ｘ’_１に所望の距離でスライド移動せしめるＸ軸用移動機構Ｘ_３　，Ｘ’_３と、左右のＹ軸ハウジングＹ_２　，Ｙ’_２を夫々の下部Ｙ軸ガイドレールＹ_１　，Ｙ’_１に所望の距離でスライド移動せしめるＹ軸用移動機構Ｙ_３　，Ｙ’_３を固定ベース１に設け、前記前後の上部Ｙ軸ガイドレールＸ_Ｙ　，Ｘ’_Ｙと左右の上部Ｘ軸ガイドレールＹ_Ｘ　，Ｙ’_Ｘの中央上面に夫々回動支柱３を立設し、移動テーブル４の下面に、前記想定正四角形の各頂点を通る直径長さの同心円上に等間隔に四個の固定孔５を穿孔し、この固定孔５を前記回動支柱３の上部に軸受６を介して被嵌止着して移動テーブル４を固定ベース１の上方に平行状態に設けた場合を図示している。
【００３９】
この場合も前記と同様に前後のＸ軸用移動機構Ｘ_３・Ｘ’_３　，左右のＹ軸用移動機構Ｙ_３　，Ｙ’_３により移動テーブル４を固定ベース１に対して左右方向移動，前後方向移動，水平回動可能に移動できる。
【００４０】
【発明の効果】
本発明を上記のように構成したので、移動テーブルを固定ベースに対して所望の移動量で左右方向移動，前後方向移動が可能となるのみならず、所望の角度で移動テーブルを水平回動できる実用上秀れた効果を発揮する移動テーブルとなる。
【００４１】
また、固定ベース上に下部ガイドレールを設け、この下部ガイドレールにハウジングを介して移動テーブルに止着した上部ガイドレールを直交状態に配設する構成と、前後・左右に設けた夫々のＸ，Ｙ軸用移動機構を同時に同じ移動量だけ作動することにより移動テーブルが所望の角度で水平回動する構成を採用したので、移動テーブル上に回動テーブルを設けた従来型の移動テーブルに比較して構造が著しくコンパクトで簡単になるのみならず、装置の高さを著しく低く構成できる。
【００４２】
また、移動テーブルの左右方向移動及び前後方向移動を夫々二個の移動機構で作動せしめる構成のため、従来型の移動機構が夫々一個の移動機構で作動せしめる構成に比し一個当たりの移動機構の負荷が半減するのみならず、水平回動を四個の移動機構で作動せしめる構成のため、夫々の移動機構の受ける負荷が等分に案分されそれだけ負荷が軽くなるので移動機構の剛性が維持されるうえに、従来の回動機構が中心部に設けた回動軸を軸心として回動する構成に比し、対向状態に設けた下部がガイドレールの延長線上で移動機構を駆動して移動テーブルを回動せしめるため誤差が拡大しない極めて正確な回動が得られる移動テーブル装置となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施例の構成を示す一部を切欠いた説明用平面図である。
【図２】本実施例の構成を示す一部を切欠いた説明用側面図である。
【図３】本実施例の使用状態の移動テーブルを固定ベースに対して水平回動せしめる作動を示す一部を省略した説明用平面図である。
【図４】本実施例の移動テーブルを固定ベースに対して右方向にｔ距離，前方向にμ距離移動せしめたあとβ°水平回動せしめた一部を省略した説明用平面図である。
【図５】本発明の考え方を取り入れた他の実施例の一部を切欠いた説明用平面図である。
【図６】本実施例の上下のガイドレールとハウジングの構成を示す説明用斜視図である。
【符号の説明】
Ｌ　長さ
Ｘ_１　，Ｘ’_１　下部Ｘ軸ガイドレール
Ｘ_２　，Ｘ’_２　Ｘ軸ハウジング
Ｘ_３　，Ｘ’_３　Ｘ軸用移動機構
Ｘ_Ｙ　，Ｘ’_Ｙ　上部Ｙ軸ガイドレール
Ｙ_１　，Ｙ’_１　下部Ｙ軸ガイドレール
Ｙ_２　，Ｙ’_２　Ｘ軸ハウジング
Ｙ_３　，Ｙ’_３　Ｙ軸用移動機構
Ｙ_Ｘ　，Ｙ’_Ｘ　上部Ｘ軸ガイドレール
１　固定ベース
２　基点
３　回動支柱
４　移動テーブル
５　固定孔
６　軸受

Claims

固定ベース上に、下部Ｘ軸ガイドレールを左右方向に、下部Ｙ軸ガイドレールを前後方向に横設し、この下部Ｘ軸ガイドレールに、Ｘ軸ハウジングの基部を左右スライド可能に被嵌し、このＸ軸ハウジングの上部に下部Ｘ軸ガイドレールに直交する上部Ｙ軸ガイドレールを前後スライド可能に嵌入し、前記下部Ｙ軸ガイドレールにＹ軸ハウジングの基部を前後スライド可能に被嵌し、このＹ軸ハウジングの上部に下部Ｙ軸ガイドレールに直交する上部Ｘ軸ガイドレールを左右スライド可能に嵌入し、このＸ軸ハウジングを下部Ｘ軸ガイドレールに所望の距離でスライド移動せしめるＸ軸用移動機構と、Ｙ軸ハウジングを下部Ｙ軸ガイドレールに所望の距離でスライド移動せしめるＹ軸用移動機構を固定ベースに設け、前記上部Ｙ軸ガイドレールと上部Ｘ軸ガイドレールに夫々回動支柱を設け、前記回動支柱の上部に軸受を介して被嵌止着して移動テーブルを固定ベースの上方に平行状態に設け、前記Ｘ軸用移動機構、Ｙ軸用移動機構により移動テーブルを固定ベースに対して左右方向移動，前後方向移動，水平回動可能に設けたことを特徴とする移動テーブル装置。