JPH0335950A - 移動テーブル装置 - Google Patents

移動テーブル装置

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JPH0335950A
JPH0335950A JP16936789A JP16936789A JPH0335950A JP H0335950 A JPH0335950 A JP H0335950A JP 16936789 A JP16936789 A JP 16936789A JP 16936789 A JP16936789 A JP 16936789A JP H0335950 A JPH0335950 A JP H0335950A
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JP
Japan
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axis
moving
movable
axis direction
moving table
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JP16936789A
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English (en)
Inventor
Yoji Ise
養治 伊勢
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Convum Ltd
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Myotoku Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 本発明は移動テーブル装置、 更に詳しくは、工作物を載せたテーブルをX軸方向、Y
軸方向のいずれにも動かせる移動テーブル装置であって
、特にを薄く形成したもの、に関する。
「従来の技術」 従来、工作物に工作を施す際にその工作物を固定し、X
Y細軸上移動させることができる移動テーブル装置の技
術に関しては、例えば次の様なものがあった。
(1)従来の移動テーブル装置は、不動体たる基体、そ
の基体に対してY軸方向を移動可能なY支持台、そのY
支持台上でY支持台に対してX軸方向を移動可能な移動
テーブル、  Y支持台をY軸方向移動させるためのY
軸移動手段、 移動テーブルをX軸方向移動させるため
のX軸移動手段から形成されている。
Y軸移動手段は、Y方向動力源と、そのY方向動力源の
動力をY支持台のY軸方向への移動として伝えるための
Y駆動軸とからなる。
また、X軸移動手段はY支持台上に設けられており、 
 X方向動力源と、そのX方向動力源の動力を移動テー
ブルのX軸方向への移動として伝えるためのX駆動軸と
からなる。
(2)上記の従来例では、  移動テーブル装置は、「
基体に対してY軸方向を移動可能なY支持台、そのY支
持台上でY支持台に対してX軸方向を移動可能な移動テ
ーブル」から形成されているとして説明I7たが、  
Y支持台がX支持台となった移動テーブル装置、即ち、 「基体に対してX軸方向を移動可能なX支持台、そのX
支持台上でX支持台に対してY軸方向を移動可能な移動
テーブル」から形成される移動テーブル装置も存在して
いた。
いずれの移動テーブル装置であっても、Y駆動軸とX駆
動軸とを高さ方向にずらして位置させており、  Y 
(X)支持台をy(x)方向動力源が移動させ、Y (
X>支持台上の移動テーブルをX(Y)方向動力源が移
動させることによって、結果として移動テーブルを水平
方向に移動させるものであった。
「発明が解決しようとする課題」 (1〉シかしながら、従来の移動テーブル装置は、Y駆
動軸とX駆動軸を、高さ方向にずらして位置させている
ので、 移動テーブル装置全体の厚みが増し、工作物や
工作の種類によっては不便なことがあった。
(2)本発明が解決しようとする課題は、薄く形成した
移動テーブル装置を提供することにある。
「課題を解決するための手段」 前記したような従来技術の欠点を鑑みた本発明者は、 
 Y駆動軸とX駆動軸とを同一平面上に設けることによ
って、本発明に至ったものである。
即ち、本発明は、 不動体たる基体、 その基体に対して水平平面上を移動
可能な移動テーブル、 その移動テーブルをY軸方向移
動させるためのY軸移動手段、及び移動テーブルをX軸
方向移動させるためのX軸移動手段から形成され、  
Y軸移動手段は、Y方向動力源と、そのY方向動力源の
動力を移動テーブルのY軸方向への移動として伝えるた
めのY駆動軸とからなり、  X軸移動手段は、X方向
動力源と、そのX方向動力源の動力を移動テーブルのX
軸方向への移動として伝えるためのX駆動軸とがらなり
、  Y駆動軸と X駆動軸とは、同一平面上に位置す
ること 、を特徴とする。
「作用」 ■ Y軸移動手段のY方向動力源を作動させると、その
Y方向動力源の動力はY駆動軸を同一平面上のY駆動軸
を介して移動テーブルに伝えられ、移動テーブルは基体
に対してY軸方向へ移動する。
■ X軸移動手段のX方向動力源を作動させると、その
X方向動力源の動力は、Y駆動軸と同一平面上のX駆動
軸を介して移動テーブルに伝えられ、移動テーブルは基
体に対してX軸方向へ移動する。
「実施例」 以下、本発明を実施例によって更に詳しく説明する。
第1図は本発明に係る移動テーブル装置の一実施例を示
す平面図であり、  第2図は側面図である。
第3図は第1図中に示すI−I断面図であり、第4図は
、第1図中に示すII −II断面図である。
以下、本実施例の移動テーブルの構成について説明する
本実施例の移動テーブル装置は、 不動体たる基体10
、  その基体10に対してY軸方向に移動可能なY支
持台36、  そのY支持台36上に位置しY支持台3
6に対してX#i方向に移動可能な移動テーブル20、
  Y支持台36をY軸方向移動させるためのY軸移動
手段30.   Y支持台36上に位置する移動テーブ
ル20をY支持台36に対してX軸方向移動させるため
のX軸移動手段50、  Y軸移動手段30及びX軸移
動手段50を制御する図示を省略した制御部、  Y支
持台36の基体10に対する移動可能端を検知して制御
部に出力するY検知装置40、 及び移動テーブル20
のY支持台36に対する移動可能端を検知して制御部に
出力するX検知装置60から形成されている。
移動テーブル20は長方形をしており、その長辺がX軸
方向と、短辺がY軸方向と一致している。
以下、第1図に示すように、縦方向がY軸方向と、横方
向がX軸方向と一致している状態を想定して説明する。
■ 基体10の縦方向両端部には、Y蛇腹固定板11、
Y支持台36の横方向両端部にはX蛇腹固定板12をそ
れぞれ固定している。
■ 基体10の下部左側には、Yモーター支持体39が
°固定されている。
Y移動手段30は、Y軸方向を移動するY支持台36、
  Yモーター支持体3つに固定されたY方向動力源と
してのYモーター31.  そのYモーター31の回転
軸に固定されて回転する雄ネジたるY送りネジ32、 
そのY送りネジ32と噛み合う雌ネジ部をY送りネジ3
2に噛み合わせ且つY支持台36下面に固定されること
によってY送りネジ32の回転に応じてその回転軸方向
へY支持台36を移動させるYハウジング33、 基体
10の上面のY軸方向両端部に平行して埋め込まれた2
本のYレール34、  及びそのYレール34と適合し
且つそのYレール34上を滑走できるようY支持台36
下面に埋め込まれたYローラー35から形成されている
■ Y支持台36の長辺両端部にはY蛇腹数り付は板2
1.移動テーブル20の短辺両端部にはX蛇腹取り付は
板22をそれぞれ固定している。
Y蛇腹固定板11とY蛇腹取付板21との間には、Y蛇
腹部材23が固定されている。  同様に、X蛇腹固定
板12とX蛇腹取付板22との間には、X蛇腹部材24
が固定されている。
Y蛇腹部材23及びX蛇腹部材24は、Y支持台36の
移動に応じて伸縮する。
■ Y支持台36右側には、Xモーター支持体5つが固
定されている。
X移動手段50は、  Xモーター支持体59に固定さ
れたX方向動力源としてのXモーター51゜一端をXモ
ーター51の回転軸に支持され他端をYハウジング33
に支持されて回転する雄ネジ部たるX送りネジ52、 
そのX送りネジ52と噛み合う雌ネジ部をX送りネジ5
2に噛み合わせ且つ移動テーブル20下面に固定される
ことによってX送りネジ52の回転に応じてその回転軸
方向へ移動テーブル20を移動させるXハウジング53
、 Y支持台36上面のX軸方向両端部に平行して埋め
込まれた2本のXレール54、 及びそのXレール54
と適合し且つそのXレール54上を滑走できるよう移動
テーブル20下面に埋め込まれたXローラー55から形
成されている。
■ Y送りネジ32の回転軸とX送りネジ52の回転軸
とは、同一平面上に位置している。
また、X送りネジ52のYハウジング33に支持されて
いる端部は、ネジが切られておらず、ベアリング56に
よって支持されている。 従ってYハウジング33は、
Yモーター31の回転によってその回転軸方向を移動す
るが、Xモーター51の回転によってその回転軸方向を
移動することはなく、回転するX送りネジ52を支持す
るのみである。
■ Y検知装置は、基体10に対してY軸方向へ移動テ
ーブル20を伴って移動するY支持台36が移動可能限
界点を検知して制御部に出力するY範囲センサー41と
、  Y軸方向のゼロ点修正を行うためのゼロ点を検知
して制御部に出力する740点センサー42とからなる
Y範囲センサー41及び740点センサー42は、光セ
ンサーを採用しており、それぞれY範囲調整片43また
はYゼロ点確認片44がY範囲センサー41及び740
点センサー42の発先部から発せられる光を遮ると、そ
の旨を検知して制御部に出力するものである。
移動可能限界点の検知して制御部に出力する作業は、基
体10上面に固定されたY範囲センサー41と、Y支持
台36下面であってY範囲センサー41位置を基準とし
てY支持台36のY軸方向移動可能範囲の両端に位置す
る2つのY範囲調整片43 とによって行われる。
ゼロ点修正の作業は、基体10の上面に固定されたYゼ
ロ点センナ−42と、Y支持台36下面て′あってYゼ
ロ点センサー42位置をゼロ点とするYゼロ点確認片4
4 とによって行われる。
■ X検知装置は、基体10及びY支持台36に対して
X軸方向へ移動する移動テーブル20が移動可能限界点
の検知して制御部に出力するX″fQ囲センサー61と
、X軸方向のゼロ点修正を行うためのゼロ点を検知して
制御部に出力するX40点センサー62とからなる。
X範囲センサー61及びX40点センサーもまた光セン
サーを採用しており、それぞれX範囲調整片63 また
はXゼロ点確認片64がX範囲センサー61及びX40
点センサーの発光部から発せられる光を遮ると、その旨
を検知して制御部に出力するものである。
移動可能限界点の検知して制御部に出力する作業は、基
体10上面に固定されたX範囲センサー6J−と、X支
持台36下面であって X範囲センサー61(i置を基
準としてX支持台36のX軸方向移動可能範囲の両端に
位置する2つのX範囲調整片63 とによ−)で行われ
る。
ゼロ点修正の作業は、基体】Oの上面に固定されたX4
0点センサー62と、X支持台36下面で′I)ってX
40点センサー62位置をゼロ点とするXゼロ点i認片
64 とによって行われる。
以下に、本実施例の作用について説明する7■ 移動テ
ーブル20上に工作を行いたい工作物を固定する。
■ 移動テーブル20を現在地点から移動させたい場所
に関するデータを、制御部に入力する。
その入力されたデータに応じて制御部がY軸移動手段3
0及びX軸移動手段50の双方若しくはどちらか一方へ
命令を発し、Yモーター31 及びXモーター51の双
方若しくはどちらか一方が回転する。
このときの移動テーブル20の現在位置を制御部が認識
していない場合、即ち、電源の投入直後などの場合には
、まず移動テーブル20が第1図どして示した図面右下
に移動し、 Yゼロ点センサー42の位置をYゼロ点確
認片44で、X40点センサー62の位置をXゼロ点確
認片64でそれぞれ確認し、ゼロ点を定める。
また既にゼロ点確認を行っており現在位置を認識してい
る場合には、その現在位置とゼロ点とのデータ比較によ
って制御部がY軸移動手段30及びX軸移動手段50の
双方若しくはどちらか一方へ命令を発するらのである。
■ Yモーター31が回転すると雄ネジたるY送すネジ
32が回転する。  すると、そのY送りネジ32と噛
み合う雌ネジ部をY送りネジ32に咄み合わせたYハウ
ジング33が、Y送りネジ32の回転に応じてその回転
軸方向へY支持台36を伴って基体10に対して移動す
る。  このときY支持台36は、基体10上面のYレ
ール34上を滑走できるYローラー35をY支持台36
に埋め込んでいるので、滑らかに移動することができる
Y支持台36が基体10に対してY軸方向を移動すると
、Y支持台36上に位置する移動テーブル20もY軸方
向を移動することとなり、  Y支持台36に取り付け
られたY蛇腹部材23が伸縮する。
■ Xモーター51が回転するとY送りネジと同一平面
上に位置する雄ネジたるX送りネジ52が回転する。 
 すると、そのX送りネジ52と噛り合う雌ネジ部をX
送すネジ52に噛み合わせたXハウジング53が、X送
りネジ52の回転に応じてその回転軸方向へ移動テーブ
ル20を伴ってY支持台36及び基体10に対して移動
する。
このとき移動テーブル20は、Y支持台36上面のXレ
ール54上を滑走できるXローラー55をY支持台36
に埋め込んでいるので、滑らかに移動することができる
移動テーブル20がY支持台36及び基体10に対して
X軸方向を移動すると、移動テーブル20に取り付けら
れたX舵取部材24が伸縮する。
■ 移動テーブル20を移動させたい方向がY軸方向の
みである場合、移動テーブル20はY支持台36上に位
置しているので、Y軸移動手段30のみの作動によって
移動テーブル20を移動させることができる。
また、移動テーブル20を移動させたい方向がX軸方向
のみである場合、X軸移動手段は移動テーブル20を直
接移動させるので、X軸移動手段50のみの作動によっ
て移動テーブル20を移動させることができる。
もちろん、移動テーブル20を移動させたい方向がX軸
とY軸との両軸にまたがっている場合には、X軸移動手
段50とY軸移動手段30とを同時に或いは時間差をお
いて作動させることによって、所望の場所に移動テーブ
ル20を移動させることができる。
■ 基体10に対してY軸方向へ移動テーブル20を伴
って移動するY支持台36が移動可能限界に達してしま
った場合には、基体10に固定されているY範囲センサ
ー41がY支持台36に固定されているY範囲調整片4
3を検知し、制御部に出力する。  その出力を受けた
制御部は、直ちにYモーターの回転を停止する。これに
よって、Y支持台36が移動可能限界を超えることを未
然に防止している。
Y支持台36に対してX軸方向へ移動する移動テーブル
20が移動可能限界に達してしまった場合も、X範囲セ
ンサー61とX範囲調整片63とによって、同様の作用
が行われる。
■ なお、Y支持台36または移動テーブル20の移動
が行われている際に、740点センサー42またはXゼ
ロ点センサーが各々が対応するYゼロ点確認片44また
はXゼロ点確認片64を検知した場合には、 各々のセ
ンサーが制御部へその旨を出力する。  その出力を受
けた制御部は、制御部内の記憶手段に記憶されているY
軸方向またはX軸方向のゼロ点を書き換えて修正し、積
み上げ誤差によって生じる不都合を回避することとして
もよい。
■ 移動テーブル20が制御部に入力された特定距離の
移動を行う場合には、その距離の8割から9割を比較的
速い速度で移動し、残りの1割から2割の距離を比較的
遅い速度で移動させるように、プログラムによって制御
している。
以下に、本実施例の効果について説明する。
■ 本実施例の移動テーブル装置を、Y送りネジ32の
回転軸とX送りネジ52の回転軸とが同一平面上に位置
するように形成したため、全体を薄く形成した移動テー
ブル装置を提供することができる。
これによって、扱える工作物や工作の種類の幅が広がる
、という効果がある。
■ 本実施例の移動テーブル装置には、Y検知手段40
及びX検知手段60を採用したため、以下のような効果
がある。
Y支持台36 または移動テーブル20が、移動可能端
を超えて移動してしまうことを未然に防ぐことができる
また、740点センサー42 またはXゼロ点センサー
が各々が対応するYゼロ点確認片44またはXゼロ点確
認片64を検知した場合には、各々のセンサーが制御部
へその旨を出力することによって制御部内の記憶手段に
記憶されているY軸方向またはX軸方向のゼロ点を書き
換えて修正することとすれば、 積み上げ誤差によって
生じる不都合を未然に回避することができる。
■ 移動テーブル20の特定距離の移動をプログラム制
御することとしたため、その特定距離を正確にしかも速
く移動させることができる。
以下に、本実施例のバリエーションについて説明する。
■ 本実施例の移動テーブル装置は、 基体10に対し
てY軸方向に移動するY支持台36と、そのY支持台3
6に対してX軸方向に移動する移動テーブル20とによ
って、基体10に対して水平平面上を移動可能な移動テ
ーブル20を構成している、  として説明した。  
しかし、本発明に係る移動テーブル装置はこれに限られ
るものではない 即ち、基体に対してX軸方向に移動するX支持台と、そ
のX支持台に対してY軸方向に移動する移動テーブルと
によって、基体に対して水平平面上を移動可能な移動テ
ーブルを構成した移動テーブル装置を提供することも可
能である。
また更に、X送りネジ52とY送りネジ32とによって
形成される移動テーブル20の移動可能な平面は、必ず
しも水平である必要はない。
■ 本実施例の移動テーブル装置は、Y検知手段及びX
検知手段として、光センサーを採用したが、これに限ら
れることはなく、  磁気センサー等の他の検知手段で
あってもよい。
「発明の効果」 以上説明したように、本発明によれば、移動テーブル装
置のY駆動軸とX駆動軸とを同一平面上に位置すること
としたため、 全体を薄く形成した移動テーブル装置を提供することが
できる。
これによって、扱える工作物や工作の種類の幅が広がる
、という効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係る移動テーブル装置の一実施例を示
す平面図であり、  第2図は側面図である。 第3図は第1図中に示すI−I断面図であり、第4図は
、第1図中に示すll−11断面図である。 10:基体       1】:Y蛇腹固定板12:X
蛇腹固定板 20:8動テーブル   2】:Y蛇腹取付板22:X
蛇腹取付板   23;Y蛇腹部材24: 30: 32: 34; 36: 39二 40: 42: 44: 50: 52: 54: 56: 59: 60: 62: 64: X蛇腹部材 Y軸移動手段 Y送りネジ Yレール Y支持台 Yモーター支持体 Y検知装置 740点センサー Yゼロ点確認片 X軸移動手段 X送りネジ Xレール ベアリング Xモーター支持体 X検知装置 X40点センサー Xゼロ点確認片 31: Yモーター 33:Yハウジング 35:Yローラー 41:Y範囲センサー 43:Y範囲調整片 51: Xモーター 53:Xハウジング 55: Xローラー 61:X範囲センサー 63:X範囲調整片

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)不動体たる基体、その基体に対して水平平面上を
    移動可能な移動テーブル、その移動テーブルをY軸方向
    移動させるためのY軸移動手段、及び移動テーブルをX
    軸方向移動させるためのX軸移動手段から形成され、 Y軸移動手段は、Y方向動力源と、そのY方向動力源の
    動力を移動テーブルのY軸方向への移動として伝えるた
    めのY駆動軸とからなり、 X軸移動手段は、X方向動力源と、そのX方向動力源の
    動力を移動テーブルのX軸方向への移動として伝えるた
    めのX駆動軸とからなり、 Y駆動軸とX駆動軸とは、同一平面上に位置することを
    特徴とした移動テーブル装置。
JP16936789A 1989-06-30 1989-06-30 移動テーブル装置 Pending JPH0335950A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100753068B1 (ko) * 2006-06-29 2007-08-31 금호타이어 주식회사 타이어 성형기용 트레드 공급장치

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6299038A (ja) * 1985-10-25 1987-05-08 Hitachi Ltd 位置決めステ−ジ
JPS63237831A (ja) * 1987-03-27 1988-10-04 Ntn Toyo Bearing Co Ltd Xyテ−ブルの位置決め装置
JPH02279247A (ja) * 1989-04-20 1990-11-15 Harmonic Drive Syst Ind Co Ltd X―yテーブル装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6299038A (ja) * 1985-10-25 1987-05-08 Hitachi Ltd 位置決めステ−ジ
JPS63237831A (ja) * 1987-03-27 1988-10-04 Ntn Toyo Bearing Co Ltd Xyテ−ブルの位置決め装置
JPH02279247A (ja) * 1989-04-20 1990-11-15 Harmonic Drive Syst Ind Co Ltd X―yテーブル装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100753068B1 (ko) * 2006-06-29 2007-08-31 금호타이어 주식회사 타이어 성형기용 트레드 공급장치

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