JP2633461B2 - 定位置装置のイコライジング機構 - Google Patents

定位置装置のイコライジング機構

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JP2633461B2
JP2633461B2 JP6006191A JP619194A JP2633461B2 JP 2633461 B2 JP2633461 B2 JP 2633461B2 JP 6006191 A JP6006191 A JP 6006191A JP 619194 A JP619194 A JP 619194A JP 2633461 B2 JP2633461 B2 JP 2633461B2
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    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q1/00Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
    • B23Q1/25Movable or adjustable work or tool supports
    • B23Q1/26Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
    • B23Q1/267Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members with means to prevent skewness between the relatively slidable members
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
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    • F16H19/00Gearings comprising essentially only toothed gears or friction members and not capable of conveying indefinitely-continuing rotary motion
    • F16H19/02Gearings comprising essentially only toothed gears or friction members and not capable of conveying indefinitely-continuing rotary motion for interconverting rotary or oscillating motion and reciprocating motion
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、定位置装置のイコライ
ジング技術に関し、たとえばチップマウンタ、ディスペ
ンサなどのXY定位置装置に用いられ、一対の移動用レ
ール上を駆動する可動部材に作用する駆動力の配分平衡
が可能となる定位置装置のイコライジング機構に適用し
て有効な技術に関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、定位置装置は、機械の基台上の
両側部に設けられた前後方向(以下、Y方向という)の
移動用レールに可動的に係合したサドルによって両端部
を支持し、Y方向のみに移動可能な可動ビームに、その
長手方向に沿って左右方向(以下、X方向という)の移
動用レールを設けてX方向のみの移動可能なキャリッジ
を架装している。
【0003】そして、このキャリッジに、たとえばチッ
プマウンタなどの電子部品搭載用ヘッドを装着するとと
もに、可動ビームとキャリッジをそれぞれY方向および
X方向に数値制御手段によって移動・定位し、機械基台
上に別の手段によって定位されたプリント基板などとの
相対位置を定めて搭載などの動作を実行する、いわゆる
XY定位ロボットの方式が用いられている。
【0004】この可動ビームは、数値制御された1個の
サーボモータにより、ボールねじなどを介して駆動され
るのが常であるが、機械の性質および構造上、可動ビー
ムの中央部またはその付近に着力して駆動するのは不可
能であるために、ボールねじなどは可動ビームの端部を
駆動するように設置せざるを得ず、一般的には可動ビー
ムの一方の端部付近をボールねじなどで駆動し、Y方向
に移動・定位する方式が採用されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところが、前記のよう
な技術においては、可動ビームはY方向に関して一端部
のみが駆動されるため、移動・定位の際の加速度によっ
て水平面内で回転力が発生し、可動ビームの移動方向に
対する直角度、すなわち可動ビームに架装されたキャリ
ッジの移動方向(X方向)と、可動ビームの移動方向
(Y方向)との直角度が損なわれるために定位の信頼性
が低下するとともに、可動ビームを支持するサドル、特
に駆動側のサドルに大きなモーメントが印加され、通常
この部分に使用されているリニアベアリングなどに過大
な負荷を与え、劣化を早めるなどの欠点があり、特に最
近、搭載高速化の大きな障害となっている。
【0006】上記の問題を解決するために、従来はサド
ル(特に駆動側)の耐モーメント性を増大するため、大
容量のリニアベアリングなどを複数個、距離をおいて装
備するなどの手段が採られているが、高価となるのに加
えてリニアベアリングなどがY方向に離れて装備される
ため、移動用レールの全長に対する可動ビーム移動量の
割合を大きくすることが困難となり、機械の外形寸法に
対する有効移動寸法が制約される。また、片側駆動であ
るため、定位時の振動の振幅および収束時間が駆動側に
近い部分に比べて他の側に近い部分では大幅に増加する
などの欠点除去も困難である。
【0007】これらに対して、サーボモータとボールね
じなどを2組使用して可動ビームの両端部を駆動する方
式も一部で採用されているが、より高価となり、また2
台のサーボモータを過渡現象・不平衡な外力の干渉など
に影響されることなく安定して同期運転するためには、
複雑かつ高価な制御システムを必要とするなどの欠点が
発生する。
【0008】そこで、本発明の目的は、前述の諸欠点を
除去し、簡単かつ廉価な構造によって一対の移動用レー
ル上を駆動する可動部材に作用する駆動力を配分平衡
し、可動部材の駆動時にX方向とY方向との直角度が損
なわれることなく、定位の信頼性を向上させることがで
きる定位置装置のイコライジング機構を提供することに
ある。
【0009】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
【0010】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
下記のとおりである。
【0011】すなわち、本発明の定位置装置のイコライ
ジング機構は、一対の移動用レールに可動的に係合した
一対の移動部材に、位置決めされる可動部材が固定され
た定位置装置に適用されるものであり、一対の移動用レ
ールのそれぞれに、両端を固定した一対の伝動手段のそ
れぞれを並行に敷設し、この一対の伝動手段のそれぞれ
の固定端の間に、可動部材に回転可能に軸支された一対
の係合手段をそれぞれ係合させ、この一対の係合手段の
それぞれの軸に一対の連動用係合手段をそれぞれ装着
し、かつこの一対の連動用係合手段の相互間に連動用伝
動手段を架装し、それぞれを一対の移動用レールに対称
的な構造で配設するものである。
【0012】この場合に、可動部材の一対の移動用レー
ルの一方側のみに駆動手段を配設して、可動部材を一対
の移動用レールに沿って駆動させるようにしたものであ
る。
【0013】また、一対の伝動手段のそれぞれと一対の
係合手段のそれぞれとの間の係合を深くするために、一
対の伝動手段のそれぞれの敷設方向に一対の張力手段を
配設するようにしたものである。
【0014】さらに、可動部材と作用部材とをそれぞれ
X方向およびY方向に移動させるために、可動部材にこ
の可動部材の移動方向に対して直角方向に並行して一対
の直角方向移動用レールを配設し、この一対の直角方向
移動用レールのそれぞれに可動的に一対の直角方向移動
部材を係合し、かつこの一対の直角方向移動部材に作用
部材を固定するようにしたものである。
【0015】この一対の伝動手段および連動用伝動手段
として、滑りおよびバックラッシュのないタイミングベ
ルトを用い、一対の係合手段および一対の連動用係合手
段として、タイミングベルトに係合して滑りおよびバッ
クラッシュのないタイミングプーリを用い、さらに駆動
手段として、サーボモータにより駆動されるボールねじ
を用いるようにしたものである。
【0016】特に、この定位置装置をチップマウンタま
たはディスペンサなどに使用する場合に、作用部材にチ
ップマウンタまたはディスペンサなどのヘッドを固定
し、このヘッドを数値制御によりX方向およびY方向に
移動・定位するようにしたものである。
【0017】
【作用】前記した定位置装置のイコライジング機構によ
れば、タイミングベルトなどの一対の伝動手段および一
対の連動用係合手段と、タイミングプーリなどの一対の
係合手段および一対の連動用係合手段とがそれぞれ対称
的に配設されることにより、リニアベアリングなどの一
対の移動用レールに沿って可動部材を駆動させた場合
に、一方の伝動手段に係合される一方の係合手段の回転
による駆動力を、一方の連動用係合手段、連動用伝動手
段、他方の連動用係合手段を介して、他方の伝動手段に
係合される他方の係合手段に配分平衡して伝達すること
ができる。
【0018】これにより、たとえば一対の移動用レール
の一方側、すなわち可動部材の片側のみにサーボモータ
によるボールねじなどの駆動手段が配設された場合に
も、可動部材の両側を配分平衡した駆動力で駆動させる
ことができるので、可動部材の駆動時に直角度が損なわ
れることなく、かつ駆動側に加わるモーメントを抑制す
ることができる。
【0019】また、伝動手段のそれぞれの敷設方向に一
対の張力手段が配設された場合には、一対の張力手段に
よって伝動手段と係合手段との間の係合を深くし、伝動
手段に所定の張力を加えることができる。
【0020】さらに、一対の直角方向移動用レールに可
動的に係合された一対の直角方向移動部材、さらにこの
一対の直角方向移動部材に作用部材が固定されて可動部
材に配設された場合には、可動部材と作用部材とをそれ
ぞれ定位の信頼性を保ちながらX方向およびY方向に移
動させることができる。
【0021】特に、チップマウンタまたはディスペンサ
などにこの定位置装置を適用した場合には、チップマウ
ンタまたはディスペンサなどのヘッドの移動において、
X方向およびY方向の定位精度を向上させ、信頼性の高
い位置決め精度を得ることができる。
【0022】
【実施例】以下、本発明の実施例を詳細に説明する。
【0023】図1は本発明の一実施例である定位置装置
のイコライジング機構を示す概略構成図、図2は本実施
例のイコライジング機構を適用したチップマウンタの要
部を示す組立図、図3は本実施例において、可動ビーム
部分を示す平面図、図4(a)、(b) はタイミングプーリ
とタイミングベルトの係合構造を示す平面図および一部
断面で示す正面図、図5は可動ビーム部分を示す正面図
である。
【0024】まず、図1により本実施例の定位置装置の
イコライジング機構の概略構成を説明する。
【0025】本実施例の定位置装置のイコライジング機
構は、たとえばチップマウンタのXY定位置装置に用い
られ、基台1上に配設される一対の移動用レール2a,
2bと、この一対の移動用レール2a,2b上に可動的
に係合される一対のサドル(移動部材)3a,3bと、
この一対のサドル3a,3bに固定される可動ビーム
(可動部材)4と、一対の移動用レール2a,2bに並
行に敷設され、両端を固定した一対のタイミングベルト
(伝動手段)5a,5bと、この一対のタイミングベル
ト5a,5bの固定端の間に可動ビーム4に回転可能に
軸支されて係合される一対のタイミングプーリ(係合手
段)6a,6bと、この一対のタイミングプーリ6a,
6bの軸7a,7bに装着される一対の連動用タイミン
グプーリ(連動用係合手段)8a,8bと、この一対の
連動用タイミングプーリ8a,8bの相互間に架装され
る連動用タイミングベルト(連動用伝動手段)9とから
構成されている。
【0026】この可動ビーム4には、一対の移動用レー
ル2a,2bに沿って駆動させるために、一対の移動用
レール2a,2bの一方側のみにサーボモータ10によ
り駆動されるボールねじ(駆動手段)11が配設されて
いる。また、一対のタイミングベルト5a,5bの敷設
方向には、一対のタイミングプーリ6a,6bを挟ん
で、一対のタイミングベルト5a,5bと一対のタイミ
ングプーリ6a,6bとの間の係合を深くする一対のア
イドルプーリ(張力手段)12a,12bが配設されて
いる。
【0027】そして、このイコライジング機構において
は、可動ビーム4を一対の移動用レール2a,2bに沿
って駆動させた場合に、一方のたとえばタイミングベル
ト5aに係合される一方のタイミングプーリ6aの回転
による駆動力が、一方の連動用タイミングプーリ8a、
連動用タイミングベルト9、他方の連動用タイミングプ
ーリ8bを介して、他方のタイミングベルト5bに係合
される他方のタイミングプーリ6bに配分平衡して伝達
されるようになっている。
【0028】このようなイコライジング機構は、たとえ
ばチップマウンタのXY定位置装置に用いられ、たとえ
ば図2に示すように、前記の一対のタイミングベルト5
a,5b、連動用タイミングベルト9には、滑りおよび
バックラッシュのない伝動手段、一対のタイミングプー
リ6a,6b、一対の連動用タイミングプーリ8a,8
bには、タイミングベルト5a,5b、連動用タイミン
グベルト9に係合される係合手段、さらに一対のアイド
ルプーリ12a,12bには係合を深くする張力手段が
用いられる。
【0029】また、ボールねじ11を駆動するサーボモ
ータ10には、図示しない数値制御手段により高精度で
回転制御される駆動手段が用いられ、さらに一対の移動
用レール2a,2b上に可動的に係合されるサドル3
a,3bには、リニアベアリングにより直線的な駆動が
可能とされる移動部材が用いられ、これによって可動ビ
ーム4である可動部材がY方向に移動・定位可能となっ
ている。
【0030】さらに、X方向の移動に関しては、可動ビ
ーム4に、この可動ビーム4の移動方向に対して直角方
向に並行して配設された一対の直角方向移動用レール1
3a,13b、この一対の直角方向移動用レール13
a,13bに可動的に係合される一対のリニアベアリン
グによるサドル(直角方向移動部材)14a,14b、
この一対のサドル14a,14bに固定されるキャリッ
ジ(作用部材)15により、このキャリッジ15が可動
ビーム4内においてX方向に移動・定位可能となってい
る。
【0031】ここで、チップマウンタに適用されるイコ
ライジング機構を用いた定位置装置の構成を、特に本発
明の特徴であるイコライジング機構と、さらにX方向お
よびY方向の移動機構を図2の組立図に基づいて、さら
に図3〜図5の部分詳細図により具体的に説明する。
【0032】チップマウンタの基台1上に、一対の移動
用レール2a,2bのそれぞれが可動ビーム4の長手方
向の両端位置にY方向に沿って配設され、それぞれの移
動用レール2a,2bに可動的に係合される一対のサド
ル3a,3bに可動ビーム4の端部がそれぞれ固定され
ている。
【0033】この可動ビーム4の端部の一方である駆動
側、すなわち図2および図3において右側に配設された
移動用レール2aの近傍上部には、両端が固定ベース1
6aにそれぞれ固定されたタイミングベルト5aが移動
用レール2aに並行して敷設されている。
【0034】このタイミングベルト5aの固定端の間に
はタイミングプーリ6aが係合され、このタイミングプ
ーリ6aの軸7aは、可動ビーム4の駆動側の近傍に固
定的に設けられた軸受17aによって回転可能に保持さ
れ、かつこの軸7aのタイミングプーリ6aの下側に
は、図4(b) に詳細に示すように連動用タイミングプー
リ8aが装着されている。
【0035】また、このタイミングベルト5aの敷設方
向には、図4(a) に詳細に示すようにタイミングプーリ
6aを挟んで一対のアイドルプーリ12aが軸受17a
に回転可能に軸支され、タイミングベルト5aとタイミ
ングプーリ6aとの間の係合が深められるようになって
いる。
【0036】一方、駆動側の反対側においても、前述の
駆動側の機構と同様の構造による移動用レール2b、固
定ベース16bに両端が固定されたタイミングベルト5
b、タイミングベルト5bに係合されるタイミングプー
リ6b、軸受17bに保持されたタイミングプーリ6b
の軸7b、タイミングプーリ6bの軸7bに装着される
連動用タイミングプーリ8b、タイミングプーリ6bを
挟んだ一対のアイドルプーリ12bが対称的に配置され
ている。
【0037】そして、前述の駆動側と駆動側の反対側と
は、連動用タイミングプーリ8a,8bの間に架装され
た連動用タイミングベルト9によって、駆動側と駆動側
の反対側との双方が配分平衡した駆動力によって連動
し、かつ同期して駆動されるようになっている。
【0038】このY方向の駆動源としては、駆動側の移
動用レール2aに並行して配置され、可動ビーム4の駆
動側に回動可能に嵌合されたボールねじ11と、このボ
ールねじ11をベルト18を介して回転させるサーボモ
ータ10とが用いられ、ボールねじ11のナット19は
可動ビーム4の駆動側端部に固定的に装着されている。
【0039】そして、サーボモータ10を数値制御によ
り高精度で回転させ、可動ビーム4の駆動側をボールね
じ11の回転により着力して駆動させることによって、
可動ビーム4をY方向に移動・定位することができるよ
うになっている。
【0040】一方、X方向の移動機構は、図2、さらに
図5に詳細に示すように可動ビーム4内に配設され、可
動ビーム4の長手方向、すなわち可動ビーム4の移動方
向に対して直角方向に沿って、可動ビーム4の上部およ
び下部に一対の直角方向移動用レール13a,13bが
配設され、それぞれの直角方向移動用レール13a,1
3bには、リニアベアリングによる一対のサドル14
a,14bが可動的に係合されている。
【0041】この一対のサドル14a,14bにはキャ
リッジ15が固定され、このキャリッジ15は可動ビー
ム4内においてX方向に移動可能となっており、このキ
ャリッジ15にはチップマウンタの部品搭載用ヘッド2
0が固定され、部品搭載用ヘッド20が可動ビーム4内
においてX方向に移動・定位されるようになっている。
【0042】このX方向の駆動源としては、Y方向の駆
動と同様にボールねじ21と、このボールねじ21をベ
ルト22を介して回転させるサーボモータ23と、キャ
リッジ15に固定的に装着されるボールねじ21のナッ
ト24が用いられ、ボールねじ21は一対の直角方向移
動用レール13a,13bの間に並行して配置され、可
動ビーム4の両端部に回動可能に嵌合されている。
【0043】そして、サーボモータ23を図示しない数
値制御手段により高精度で回転させ、キャリッジ15を
ボールねじ21の回転により着力して駆動させることに
よって、キャリッジ15をX方向に移動・定位すること
ができるようになっている。
【0044】結果的に、キャリッジ15に固定された部
品搭載用ヘッド20は、Y方向およびX方向に数値制御
によって移動・定位され、チップマウンタの基台1上に
図示しない別の手段によって定位されたプリント基板な
どとの相対位置が定められ、位置決めされて部品の搭載
などの動作が実行されるようになっている。
【0045】続いて、本実施例の作用について、可動ビ
ーム4とキャリッジ15をそれぞれY方向およびX方向
に移動・定位する場合の動作について説明する。
【0046】まず、Y方向の駆動に関しては、サーボモ
ータ10がボールねじ11を回動すると、可動ビーム4
に固定されたナット19はボールねじ11の推力によっ
て着力され、これによって可動ビーム4の駆動側に作用
する駆動力により一対の移動用レール2a,2bに沿っ
てY方向に移動させることができる。
【0047】同時に、タイミングプーリ6aは、その軸
7aが可動ビーム4とともに移動しようとするため、両
端が固定されているタイミングベルト5aによって回転
力を発生し、この回転力は連動用タイミングプーリ8a
および連動用タイミングベルト9、駆動側と反対側の連
動用タイミングプーリ8bを介してその側のタイミング
プーリ6bに伝えられる。
【0048】そして、駆動側の反対側において、タイミ
ングプーリ6bの回転によって両端が固定されたタイミ
ングベルト5bとの間にY方向の力が発生するので、可
動ビーム4の駆動側でない側も駆動側に同期して駆動さ
せることができる。
【0049】これにより、Y方向の駆動に関しては、駆
動力を配分平衡させるイコライジング機能を持たせるこ
とができるので、従来のような駆動側に大きなモーメン
トが印加されることなく、リニアベアリングなどに与え
る負荷を低減することができる。
【0050】その上、構造上において、可動ビーム4の
水平面内での回転(揺動)を完全に規制し、従来のよう
な移動・定位の際の加速度によって水平面内での回転力
の発生がないので、可動ビーム4の移動方向に対する精
度の高い直角度を得ることができる。
【0051】また、キャリッジ15、さらに部品搭載用
ヘッド20をX方向に移動させる場合にも、Y方向への
移動と同様に、まずサーボモータ23がボールねじ21
を回動すると、キャリッジ15に固定されたナット24
はボールねじ21の推力によって着力され、これによっ
てキャリッジ15を一対の直角方向移動用レール13
a,13bに沿ってX方向に移動させることができる。
【0052】なお、X方向の駆動に関しては、Y方向の
駆動のように重量的に重い可動ビーム4などを移動させ
ることがなく、かつ一対の直角方向移動用レール13
a,13bの間隔を大きくする必要がないので、イコラ
イジング機能がなくても精度の高い定位精度を得ること
ができる。
【0053】従って、本実施例の定位置装置のイコライ
ジング機構によれば、一対のタイミングベルト5a,5
b、一対のタイミングプーリ6a,6bおよび一対の連
動用タイミングプーリ8a,8bが対称的に配置され、
この一対の連動用タイミングプーリ8a,8b間に連動
用タイミングベルト9が架装される簡単かつ廉価な構造
により、可動ビーム4の片側のみを駆動させた場合に
も、可動ビーム4の両側を配分平衡した駆動力で駆動さ
せ、かつ可動ビーム4の移動直角度を損なうことなく駆
動させることができる。
【0054】また、タイミングプーリ6a,6bを挟ん
で一対のアイドルプーリ12a,12bが敷設されるこ
とにより、タイミングベルト5a,5bとタイミングプ
ーリ6a,6bとの係合を深くし、所定の張力を加えて
可動ビーム4を駆動させることができる。
【0055】さらに、可動ビーム4内に、一対の直角方
向移動用レール13a,13bとサドル14a,14
b、さらにサドル14a,14bに固定されるキャリッ
ジ15によるX方向駆動機構が配設され、本実施例のよ
うにチップマウンタに用いた場合には、チップマウンタ
の部品搭載用ヘッド20をX方向およびY方向に移動・
定位させ、高い位置決め精度を得ることができる。
【0056】以上、本発明者によってなされた発明を実
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変更可能であることはいうまでもない。
【0057】たとえば、本実施例の定位置装置のイコラ
イジング機構については、チップマウンタのXY定位置
装置に用いられる場合について説明したが、本発明は前
記実施例に限定されるものではなく、ディスペンサなど
のX方向およびY方向の定位置装置についても広く適用
可能であり、特に構造的に片側駆動によりある程度の重
量がある可動部材を駆動する場合に良好に適用すること
ができる。
【0058】また、本実施例においては、一対の伝動手
段および連動用伝動手段としてタイミングベルト、一対
の係合手段および一対の連動用係合手段としてタイミン
グプーリ、さらに駆動手段としてサーボモータにより駆
動されるボールねじを用いた場合について説明したが、
これに限定されるものでないことはいうまでもない。
【0059】さらに、構成部品の形状、配置および数
量、さらに構成部品相互間の取付構造などについても、
図2〜図5に示すものに限られるものではなく、種々の
変形が可能である。
【0060】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
下記のとおりである。
【0061】(1).一対の移動用レールに対称的に、一対
の伝動手段、一対の係合手段、一対の連動用係合手段、
かつ連動用伝動手段が配設されたイコライジング機構が
設けられることにより、駆動手段による可動部材の片側
のみの駆動においても、一方の伝動手段に係合される一
方の係合手段の回転による駆動力を他方の伝動手段に係
合される他方の係合手段に配分平衡して伝達することが
できるので、可動部材の直角度を保ちながら、配分平衡
した駆動力による信頼性の高い可動部材の駆動が可能と
なる。
【0062】(2).前記(1) により、可動部材の両側に配
分平衡した駆動力が加わるので、可動部材を支持する移
動部材に加わるモーメントを抑制し、特に高速化の大き
な障害となる負荷荷重の低減が可能となる。
【0063】(3).前記(1) により、駆動力を配分平衡さ
せるイコライジング機能と、可動部材の水平面内での回
転を完全に規制する機能が得られるので、高精度な定位
置装置を簡単かつ廉価で実現することが可能となる。
【0064】(4).前記(1) において、一対の伝動手段の
それぞれの敷設方向に、一対の係合手段を挟んで、一対
の伝動手段と一対の係合手段との間に一対の張力手段を
配設する場合には、この一対の張力手段によって伝動手
段と係合手段との間の係合を深くすることができるの
で、伝動手段に所定の張力を加え、可動部材の信頼性の
高い駆動が可能となる。
【0065】(5).前記(1) において、可動部材の移動方
向に対して直角方向に並行して一対の直角方向移動用レ
ールを配設し、それぞれに可動的に係合した一対の直角
方向移動部材に作用部材を固定した場合には、可動部材
と作用部材とをそれぞれX方向およびY方向に移動させ
ることができるので、XY定位装置としての信頼性の高
い駆動が可能となる。
【0066】(6).前記(1) において、特に作用部材にチ
ップマウンタまたはディスペンサなどのヘッドを固定
し、チップマウンタまたはディスペンサなどの定位置装
置として使用した場合には、このチップマウンタまたは
ディスペンサなどのヘッドを数値制御によりX方向およ
びY方向に移動・定位させ、定位精度を向上させて信頼
性の高い位置決め精度の確保が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例である定位置装置のイコライ
ジング機構を示す概略構成図である。
【図2】本実施例のイコライジング機構を適用したチッ
プマウンタの要部を示す組立図である。
【図3】本実施例において、可動ビーム部分を示す平面
図である。
【図4】(a) 、(b) は本実施例において、タイミングプ
ーリとタイミングベルトの係合構造を示す平面図および
一部断面で示す正面図である。
【図5】本実施例において、可動ビーム部分を示す正面
図である。
【符号の説明】
1 基台 2a,2b 移動用レール 3a,3b サドル(移動部材) 4 可動ビーム(可動部材) 5a,5b タイミングベルト(伝動手段) 6a,6b タイミングプーリ(係合手段) 7a,7b 軸 8a,8b 連動用タイミングプーリ(連動用係合手
段) 9 連動用タイミングベルト(連動用伝動手段) 10 サーボモータ 11 ボールねじ(駆動手段) 12a,12b アイドルプーリ(張力手段) 13a,13b 直角方向移動用レール 14a,14b サドル(直角方向移動部材) 15 キャリッジ(作用部材) 16a,16b 固定ベース 17a,17b 軸受 18 ベルト 19 ナット 20 部品搭載用ヘッド 21 ボールねじ 22 ベルト 23 サーボモータ 24 ナット

Claims (6)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 一対の移動用レールに可動的に係合した
    一対の移動部材を有し、該一対の移動部材に位置決めさ
    れる可動部材が固定された定位置装置であって、前記一
    対の移動用レールのそれぞれに対称的に、両端を固定し
    た一対の伝動手段のそれぞれが並行に敷設され、該一対
    の伝動手段のそれぞれの固定端の間に前記可動部材に回
    転可能に軸支された一対の係合手段がそれぞれ係合さ
    れ、該一対の係合手段のそれぞれの軸に一対の連動用係
    合手段がそれぞれ装着され、かつ該一対の連動用係合手
    段の相互間に連動用伝動手段が架装され、前記可動部材
    を前記一対の移動用レールに沿って駆動させた場合に、
    一方の前記伝動手段に係合される一方の前記係合手段の
    回転による駆動力を、一方の前記連動用係合手段、前記
    連動用伝動手段、他方の前記連動用係合手段を介して、
    他方の前記伝動手段に係合される他方の前記係合手段に
    配分平衡して伝達することを特徴とする定位置装置のイ
    コライジング機構。
  2. 【請求項2】 前記可動部材を前記一対の移動用レール
    に沿って駆動させる場合に、前記可動部材の前記一対の
    移動用レールの一方側のみに駆動手段を配設することを
    特徴とする請求項1記載の定位置装置のイコライジング
    機構。
  3. 【請求項3】 前記一対の伝動手段のそれぞれの敷設方
    向に、前記一対の係合手段のそれぞれを挟んで、前記一
    対の伝動手段のそれぞれと前記一対の係合手段のそれぞ
    れとの間の係合を深くする一対の張力手段を配設するこ
    とを特徴とする請求項1または2記載の定位置装置のイ
    コライジング機構。
  4. 【請求項4】 前記可動部材に、該可動部材の移動方向
    に対して直角方向に並行して一対の直角方向移動用レー
    ルを配設し、該一対の直角方向移動用レールのそれぞれ
    に可動的に一対の直角方向移動部材を係合し、かつ該一
    対の直角方向移動部材に作用部材を固定して、前記可動
    部材と前記作用部材とをそれぞれX方向およびY方向に
    移動可能とすることを特徴とする請求項1、2または3
    記載の定位置装置のイコライジング機構。
  5. 【請求項5】 前記一対の伝動手段および前記連動用伝
    動手段を滑りおよびバックラッシュのないタイミングベ
    ルトとし、かつ前記一対の係合手段および前記一対の連
    動用係合手段を、前記タイミングベルトに係合して滑り
    およびバックラッシュのないタイミングプーリとし、か
    つ前記駆動手段をサーボモータにより駆動されるボール
    ねじとすることを特徴とする請求項1、2、3または4
    記載の定位置装置のイコライジング機構。
  6. 【請求項6】 前記作用部材にチップマウンタまたはデ
    ィスペンサのヘッドを固定し、該チップマウンタまたは
    ディスペンサのヘッドを数値制御によりX方向およびY
    方向に移動・定位することを特徴とする請求項1、2、
    3、4または5記載の定位置装置のイコライジング機
    構。
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