JP2819182B2 - 移送装置 - Google Patents

移送装置

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Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はワイヤボンデイング装置、タイボンデイング
装置等の半導体組立製造装置に用いる移送装置に関す
る。
［従来の技術］ 従来、半導体組立製造装置に用いる移送装置として、
例えば特開昭59−172731号公報に示すものが知られてい
る。この構造は、ワークをガイドするワークガイドレー
ルと、このワークガイドレールの端部側に配設されマガ
ジンをガイドするマガジンガイドレールとを備え、ワー
クガイドレールとマガジンガイドレールが一体的に移動
可能に連結部材で連結している。
従って、品種変更によってワークの幅が変わった場合
には、その品種に応じて一対の相対向して配設されたワ
ークガイドレール間の間隔寸法をワークの幅寸法に合わ
せるようにワークガイドレールを移動させると、連結部
材を介してマガジンガイドレールも共に動く。即ち、マ
ガジンガイドレール間隔は変更された品種のマガジンに
適合できるように自動的に調整される。
〔発明が解決しようとする課題〕
ワークガイドレールとマガジンガイドレールとを一体
的に移動可能にした構造においては、移送装置を始めて
設置した場合、まずワークガイドレールとマガジンガイ
ドレールとの相対位置関係を調整しておく必要がある。
しかるに上記従来技術は、ワークガイドレールとマガ
ジンガイドレールとを単に連結部材で連結したのみであ
り、ワークガイドレールとマガジンガイドレールとの相
対位置の調整が困難であり、多大の調整時間を要すると
共に、高精度の調整が行えないという問題があった。
本発明の課題は、ワークガイドレールとマガジンガイ
ドレールとの相対位置の調整が容易で短時間に行え、か
つ高精度の調整が可能な移送装置を提供することにあ
る。
〔課題を解決するための手段〕
上記課題を解決するための本発明の手段は、ワークを
ガイドするワークガイドレールと、このワークガイドレ
ールの端部側に配設されマガジンをガイドするマガジン
ガイドレールとを備え、前記ワークガイドレールと前記
マガジンガイドレールとを共に移動可能に連結手段で連
結した移送装置において、前記連結手段は、前記ワーク
ガイドレールの端部に固定されたジヨイントと、このジ
ヨイントに取付けられ前記マガジンガイドレールの方向
に伸びた先端部を有する偏心ピンと、この偏心ピンの先
端部が挿入されるように前記マガジンガイドレールに形
成された縦長の穴からなり、前記偏心ピンを回すことに
より前記マガジンガイドレールをワーク送り方向と直交
する方向に移動させることを特徴とする。
〔作用〕
偏心ピンを回すと、マガジンガイドレールはワーク送
り方向と直交する方向に移動する。これにより、ワーク
ガイドレールとマガジンガイドレールとの相対位置関係
を調整することができる。即ち、ワークガイドレールと
マガジンガイドレールとの相対位置は、偏心ピンを回す
ことにより調整でき、その調整は容易に短時間に行え
る。また両者の相対位置を高精度に調整できる。
［実施例］ 以下、本発明の一実施例を第１図乃至第５図により説
明する。ベース１上にはワークフィーダベース２が固定
されており、このワークフィーダベース２上にはワーク
送り方向３と直交する方向にガイド部4a、5aを有する２
個の台４、５が平行に固定されている。台４及び５上に
はそれぞれ２個のリニアガイド部材6A、6B及び7A、7Bが
摺動自在に設けられており、リニアガイド部材6A、7A上
及び6B、7Bにはそれぞれ移動ベース8A及び8Bが固定され
ている。移動ベース8A及び8B上にはそれぞれスタンド9
A、10A及び9B、10Bを介してワークガイドレール11A及び
11Bが相対向するように固定されている。
また移動ベース8A及び8Bの下方には、前記台４、５の
ガイド部4a、5aと平行にねじ15A及び15Bが配設されてお
り、このねじ15A及び15Bには移動ベース8A及び8Bの下面
に固定されたナット16A及び16Bが螺合している。前記ね
じ15A及び15Bの両端はそれぞれ軸受17A及び17Bで回転自
在に支承されており、ねじ15A及び15Bの一端部にはプー
リ18A及び18Bが固定されている。また前記ワークフィー
ダベース２上にはモータ19A及び19Bが固定されており、
このモータ19A及び19Bの出力軸に固定されたプーリ20A
及び20Bと前記プーリ18A及び18Bとにはタイミングベル
ト21A及び21Bが掛けられている。
前記ワークガイドレール11A、11Bの左右両側には、ロ
ーダ部マガジンスタッカー30とアンローダ部マガジンス
タッカー31とが配設されている。ここで、ローダ部マガ
ジンスタッカー30とアンローダ部マガジンスタッカー31
は同じ構造で、左右対称に構成されているので、同じ又
は相当部材には同一番号を付し、ローダ部マガジンスタ
ッカー30のみについて説明する。
ローダ部マガジンスタッカー30は、マガジン32を支持
するエレベータ33を上下駆動するエレベータ機構部34を
有する。エレベータ機構部34には相対向するように取付
フレーム35、36が固定されており、この取付フレーム3
5、36にはそれぞれ上下にワーク送り方向３と直交する
方向に伸びたガイド部材37、38が固定されている。ガイ
ド部材37及び38にはそれぞれリニアガイド39A、39B及び
40A、40Bが摺動自在に設けられており、リニアガイド39
A、39B、40A、40Bにはそれぞれマガジン32の四隅部を上
下方向にガイドするマガジンガイドレール41A、41B、42
A、42Bが固定されている。また取付フレーム35には前記
ガイド部材37と平行な横長の穴35aが形成されており、
この穴35aを通して前記マガジンガイドレール41A、41B
は固定ね43で取付フレーム35に固定されている。
前記ワークガイドレール11A及び11Bのそれぞれの両端
は、ローダ部マガジンスタッカー30及びアンローダ部マ
ガジンスタッカー31のマガジンガイドレール42A及びと4
2Bに連結手段50A、50Bで連結されている。連結手段50A
と50Bは同じ構成よりなるので、連結手段50Aについて説
明する。ワークガイドレール11Aの両端にはジヨイント5
1が固定されており、このジヨイント51にはマガジンガ
イドレール42Aの方向に伸びた偏心ピン52が挿入され、
この偏心ピン52はねじ53でジヨイント51に固定されてい
る。マガジンガイドレール42Aには偏心ピン52の先端が
挿入される縦長の穴42aが形成されており、この穴42aの
横幅は偏心ピン52の先端部の径とほぼ一致するように形
成されている。
次に作用について説明する。移送装置を初めて設置し
た場合には、まず、ワークガイドレール11Aとマガジン
ガイドレール41A、42A及びワークガイドレール11Bとマ
ガジンガイドレール41B、42Bとの相対位置関係を調整し
ておく必要がある。これは、連結手段50A及び50Bによっ
て調整する。即ち、ねじ53を緩め、偏心ピン52を回す
と、マガジンガイドレール42A又は42Bがリニアガイド40
A又は40Bにガイドされてワーク送り方向３と直交する方
向に移動する。これにより、ワークガイドレール11Aと
マガジンガイドレール41A、42A及びワークガイドレール
11Aとマガジンガイドレール41B、42Bとの相対位置関係
を調整することができる。
品種変更によってワークの幅が変った場合には、その
品種に応じてモータ19A、19Bの制御装置に予めプログラ
ムで設定された量だけモータ19A、19Bを回転させると、
その回転量はプーリ20A、20B、タイミングベルト21A、2
1B、プーリ18B、19Aを介してねじ15A、15Bに伝達され
る。これにより、ナット16A、16Bがワーク送り方向３と
直交する方向に動かされる。ナット16A及び16Bにはそれ
ぞれ移動ベース8A及び8Bが固定されているので、移動ベ
ース8A、8Bは台４及び５のガイド部4a、5aに案内されて
移動する。また移動ベース8A及び8Bにはスタンド9A、10
A及び9B10Bを介してワークガイドレール11A及び11Bが固
定されているので、ワークガイドレール11A及び11Bはそ
れぞれワーク送り方向３と直交する方向に動く。これに
より、ワークガイドレール11Aと11Bの間の間隔寸法が増
減してワークの幅寸法に合せられる。
ワークガイドレール11A及び11Bの端部は連結手段50A
及び50Bでマガジンガイドレール42A及び42Bに連結され
ているので、前記したようにワークガイドレール11A及
び11Bが動くと、マガジンガイドレール42A及び42Bも共
に動く。即ち、ワークガイドレール11A及び11Bの動き
は、ジヨイント51、偏心ピン52を介してマガジンガイド
レール42A及び42Bに伝達させる。
このように、ワークガイドレール11A、11B側のマガジ
ンガイドレール42A、42Bは調整されるが、マガジンガイ
ドレール41A及び41Bは次のようにして行う。予め固定ね
じ43を緩めてマガジンガイドレール41Aと41Bとの間隔を
広げておく。そこで、前記のよう設定されたマガジンガ
イドレール42Aと42B間にマガジン32をセットしてエレベ
ータ33上に載置する。このマガジン32をゲージとして使
用し、マガジンガイドレール41A及び41Bをマガジン32に
合せ、固定ねじ43を締て固定する。
このように、ワークガイドレール11A、11B側のマガジ
ンガイドレール42A、42B間隔は、ワークガイドレール11
A、11Bの間隔を調整することにより自動的に調整され、
マガジンガイドレール41A及び41Bはマガジン32によって
調整できるので、品種変更作業が容易に、かつその時間
が大幅に短縮される。またマガジン32とマガジンガイド
レール41A、41B、42A、42Bの遊び寸法が常に一定となる
ため、装置のばらつきが少なくなる。
なお、上記実施例においては、２個のワークガイドレ
ール11A及び11Bの両方を移動させて調整する場合につい
て説明したが、ワークガイドレール11A及び11Bの一方は
固定で、他方のみを移動させる場合にも適応できること
は言うまでもない。この場合には、固定のワークガイド
レール11A又は11B及びマガジンガイドレール41A、42A又
は41B、42Bに対する駆動機構及び連結手段50A又は50Bは
不要となる。また上記実施例においては、ワークガイド
レール11A、11Bの両側にローダ部マガジンスタッカー30
及びアンローダ部マガジンスタッカー31を有する場合に
ついて説明したが、ローダ部マガジンスタッカー30のみ
又はアンローダ部マガジンスタッカー31のみを有するも
のにも適用できる。
［発明の効果］ 以上の説明から明らかなように、本発明によれば、ワ
ークガイドレールとマガジンガイドレールとを連結する
連結手段は、前記ワークガイドレールの端部に固定され
たジヨイントと、このジヨイントに取付けられ前記マガ
ジンガイドレールの方向に伸びた先端部を有する偏心ピ
ンと、この偏心ピンの先端部が挿入されるように前記マ
ガジンガイドレールに形成された縦長の穴からなり、前
記偏心ピンを回すことにより前記マガジンガイドレール
をワーク送り方向と直交する方向に移動させる構成より
なるので、ワークガイドレールとマガジンガイドレール
との相対位置の調整が容易で短時間に行え、かつ高精度
の調整が行える。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例を示す平面図、第２図は第１
図の正面図、第３図は第２図のＣ−Ｃ線断面図、第４図
はローダ部マガジンスタッカー部分の左側面図、第５図
は第２図のＤ−Ｄ線矢視図である。 3:ワーク送り方向、 11A、11B:ワークガイドレール、 30:ローダ部マガジンスタッカー、 31:アンローダ部マガジンスタッカー、 32:マガジン、 41A、41B、42A、42B:マガジンガイドレール、 50A、50B:連結手段。

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】ワークをガイドするワークガイドレール
    と、このワークガイドレールの端部側に配設されマガジ
    ンをガイドするマガジンガイドレールとを備え、前記ワ
    ークガイドレールと前記マガジンガイドレールとを共に
    移動可能に連結手段で連結した移送装置において、前記
    連結手段は、前記ワークガイドレールの端部に固定され
    たジヨイントと、このジヨイントに取付けられ前記マガ
    ジンガイドレールの方向に伸びた先端部を有する偏心ピ
    ンと、この偏心ピンの先端部が挿入されるように前記マ
    ガジンガイドレールに形成された縦長の穴からなり、前
    記偏心ピンを回すことにより前記マガジンガイドレール
    をワーク送り方向と直交する方向に移動させることを特
    徴とする移送装置。
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