JPH0412912A - 移送装置 - Google Patents

移送装置

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JPH0412912A
JPH0412912A JP2115906A JP11590690A JPH0412912A JP H0412912 A JPH0412912 A JP H0412912A JP 2115906 A JP2115906 A JP 2115906A JP 11590690 A JP11590690 A JP 11590690A JP H0412912 A JPH0412912 A JP H0412912A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はワイヤポンディング装置、グイポンディング装
置等の半導体組立製造装置に用いる移送装置に関する。
［従来の技術〕 ポンディング装置に用いる従来の移送装置は。
第６図乃至第８図のような構造となっている。即ち、ベ
ース６０上にはワークガイドレ−ルｓｘが固定され、こ
のワークフィーダベース６１上にスタンド６２が固定さ
れ、更にこのスタンド６２上に相対向して配設された２
個のワークガイドレール６３Ａ、６３Ｂが固定されてい
る。
ワークガイドレール６３Ａ、６３Ｂの左右両端側にはロ
ーダ部マガジンスタッカー７０とアンローダ部マガジン
スタッカー７１とが配設されている。ここで、ローダ部
マガジンスタッカー７０とアンローダ部マガジンスタッ
カー７１とはほぼ同じ構造で、左右対称に構成されてい
るので、同じ又は相当部材には同一番号を付し、ローダ
部マガジンスタッカー７０のみについて説明する。ロー
ダ部マガジンスタッカー７０はマガジン７２を支持する
エレベータ７３を上下駆動するエレベータ機構部７４を
有する。エレベータ機構部７４には相対向するように取
付フレーム７５．７６が固定されており、この取付フレ
ーム７５．７６にはマガジン７２の四隅部を上下方向に
ガイドするマガジンガイドレール７７Ａ、７７Ｂ、７８
Ａ、７８Ｂが固定されている。
そこで、ローダ部マガジンスタッカー７０には、ワーク
が積層する形で収納されたマガジン７２がセットされ、
アンローダ部マガジンスタッカー７１には空のマガジン
７２がセットされて使用される。ローダ部マガジンスタ
ッカー７０のマガジン７２より図示しないブツシャ−に
よってワークはワークガイドレール６３Ａ、６３Ｂ上に
送り出される。マガジン７２よりワークが送り出される
と１次のワークを送り出す体制にするために１ピツチ下
降又は上昇させられる。前記のようにワークガイドレー
ル６３Ａ、６３Ｂ上に送り出されたワークは、図示しな
いフィーダ機構によって間欠的に送られる。そして、ワ
ークガイドレール６３Ａ、６３Ｂの側方に配設された図
示しないポンディング装置によってポンディングが行わ
れる。
ポンディングが終了したワークはアンローダ部マガジン
スタッカー７１のマガジン７２に収納される。マガジン
７２にワークが収納されると、次のワークを収納する体
制にするためにアンローダ部マガジンスタッカー７１の
エレベータ機構部７４によってエレベータ７３が１ピツ
チ上昇又は下降させられる。
ところで、かかる移送装置においては、品種変更によっ
てワークの幅が変った場合には、そのワークに適合する
ようにワークガイドレール６３Ａ、６３Ｂの間隔及びマ
ガジンガイドレール７７Ａと７７Ｂ、７８Ａと７８Ｂの
間隔を変える必要がある。
従来、前記したワークガイドレール６３Ａ、６３Ｂの輻
合せ方法は、第６図及び第８図に示すように、スタンド
６２上に位置決めビン８０を取付け、この位置決めビン
８０にゲージ板８１を挿入し、このゲージ板８１にワー
クガイドレール６３Ａ、６３Ｂの間隔寸法を合せている
。マガジンガイドレール７７Ａと７７Ｂ、７８Ａと７８
Ｂの輻合せも同様に、取付フレーム７５．７６に位置決
めビン８２を取付け、この位置決めビン８２にゲージ板
８３を挿入し、このゲージ板８３にマガジンガイドレー
ル７７Ａと７７Ｂ、７８Ａと７８Ｂの間隔寸法を合せて
いる。
しかし、この方法は、ワークガイドレール６３Ａ、６３
Ｂ及びマガジンガイドレール７７Ａと７７Ｂ、７８Ａと
７８Ｂ共に調整する必要があり、非常に非能率的である
。
そこで、このような問題点を解消したものとして、例え
ば特開昭６０−８７３１２号公報に示すように、モータ
を用いてねじ部材を回し、このねじ部材によってワーク
ガイドレール６３Ａ、６３Ｂをワークの幅方向に動かす
ことが行われている。
［発明が解決しようとする課題］ 上記従来技術は、ワークガイドレール６３Ａ、６３Ｂの
調整作業は容易に行うことができるが、マガジンガイド
レール７７Ａと７７Ｂ、７８Ａと７８Ｂの調整は第６図
で示すようにゲージ板８３を用いて行わなければならな
いので、やはり作業時間は多くかかる。また作業者が調
整するために、マガジン７２とマガジンガイドレール７
７Ａと７７Ｂ、７８Ａと７８Ｂの遊び量が装置毎にばら
つく。
本発明の目的は、品種変更作業時間が大幅に短縮される
と共に、マガジンとマガジンガイドレールとの遊び量が
常に一定となり、装置毎のばらつきが少ない移送装置を
提供することにある。
［課題を解決するための手段］ 上記目的を達成するために、ワークガイドレール及びマ
ガジンガイドレールをワーク送り方向と直交する方向に
移動可能に設け、かつワークガイドレールと該ワークガ
イドレールに隣接するマガジンガイドレールとを共に移
動可能に連結手段で連結したものである。
［作用コ ワークガイドレールなワーク送り方向と直交する方向に
移動させてワークの幅に合せると、連結手段を介しそマ
ガジンガイドレールも共に移動してマガジンの幅に合せ
られる。
［実施例］ 以下、本発明の一実施例を第１図乃至第５図により説明
する。ベース１上にはワークフィーダベース２が固定さ
れており、このワークフィーダベース２上にはワーク送
り方向３と直交する方向にガイド部４ａ、５ｍを有する
２１１の台４．５が平行に固定されている０台４及び５
上にはそれぞれ２個のリニアガイド部材６Ａ、６Ｂ及び
７Ａ、７Ｂが摺動自在に設けられており、リニアガイド
部材６Ａ、７Ａ上及び６Ｂ、７Ｂにはそれぞれ移動ベー
ス８Ａ及び８Ｂが固定されている。移動へ一ス８Ａ及び
８Ｂ上にはそれぞれスタンド９Ａ、１０Ａ及び９Ｂ、Ｉ
ＯＢを介してワークガイドレールＩＩＡ及びＩＩＢが相
対向するように固定されている。
また移動ベース８Ａ及び８Ｂの下方には、前記台４，５
のガイド部４ａ、５ａと平行にねじ１５Ａ及び１５Ｂが
配設されており、このねじ１５Ａ及び１５Ｂには移動ベ
ース８Ａ及び８Ｂの下面に固定されたナラ）１６Ａ及び
１６Ｂが螺合している。前記ねじ１５Ａ及び１５Ｂの両
端はそれぞれ軸受１７Ａ及び１７Ｂで回転自在に支承さ
れており、ねじ１５Ａ及び１５Ｂの一端部にはプーリ１
８Ａ及び１８Ｂが固定されている。また前記ワークフィ
ーダベースｚ上にはモータ１９Ａ及び１９Ｂが固定され
ており、このモータ１９Ａ及び１９Ｂの出力軸に固定さ
れたプーリ２０Ａ及び２０Ｂと前記ブー９１８Ａ及び１
８Ｂとにはタイミングベル）２１Ａ及び２１Ｂが掛けら
れている。
前記ワークガイドレールＩＩＡ、ＩＩＢの左右両側には
、ローダ部マガジンスタッカー３０とアンローダ部マガ
ジンスタッカー３１とが配設されている。ここで、ロー
ダ部マガジンスタッカー３０とアンローダ部マガジンス
タッカー３１は同じ構造で、左右対称に構成されている
ので、同じ又は相当部材には同一番号を付し、ローダ部
マガジンスタッカー３０のみについて説明する。
ローダ部マガジンスタッカー３０は、マガジン３２を支
持するエレベータ３３を上下駆動するエレベータ機構部
３４を有する。エレベータ機構部３４には相対向するよ
うに取付フレーム３５．３６が固定されており、この取
付フレーム３５．３６にはそれぞれ上下にワーク送り方
向３と直交する方向に伸びたガイド部材３７．３８が固
定されている。ガイド部材３７及び３８にはそれぞれリ
ニアガイド３９Ａ、３９Ｂ及び４０Ａ、４０Ｂが摺動自
在に設けられており、リニアガイド３９Ａ、３９Ｂ、４
０Ａ、４０Ｂにはそれぞれマガジン３２の四隅部を上下
方向にガイドするマガジンガイドレール４１Ａ、４１Ｂ
、４２Ａ、４２Ｂが固定されている。また取付フレーム
３５には前記ガイド部材３７と平行な横長の穴３５ａが
形成されており、この穴３５ａを通して前記マガジンガ
イドレール４１Ａ、４１Ｂは固定ねじ４３で取付フレー
ム３５に固定されている。
前記ワークガイドレールＩＩＡ及びＩＩＢのそれぞれの
両端は、ローダ部マガジンスタッカー３Ｏ及びアンロー
ダ部マガジンスタッカー３１のマガジンガイドレール４
１Ａと４２Ａ及び４１Ｂと４２Ｂに連結手段５０Ａ、５
０Ｂで連結されている。連結手段５０Ａと５０Ｂは同じ
構成よりなるので、連結手段５０Ａについて説明する。
ワークガイドレールＩＩＡの両端にはジヨイント５１が
固定されており、このジヨイント５１にはマガジンガイ
ドレール４２Ａの方向に伸びた偏心ピン５２が挿入され
、この偏心ビン５２はねじ５３でジヨイント５１に固定
されている。マガジンガイドレール４２Ａには偏心ビン
５２の先端が挿入される縦長の穴４２ａが形成されてお
り、この穴４２ａの横幅は偏心ピン５２の先端部の径と
ほぼ一致するように形成されている。
次に作用について説明する。移送装置を初めて設置した
場合には、まず、ワークガイドレールｌＩＡとマガジン
ガイドレール４１Ａ、４２Ａ及びワークガイドレールＩ
ＩＢとマガジンガイドレール４１Ｂ、４２Ｂとの相対位
置関係を調整しておく必要がある。これは、連結手段５
０Ａ及び５０Ｂによって調整する。即ち、ねじ５３を緩
め、偏心ビン５２を回すと、マガジンガイドレール４２
Ａ又は４２Ｂがリニアガイド４０Ａ又は４０Ｂにガイド
されてワーク送り方向３と直交する方向に移動する。こ
れにより、ワークガイドレール１１Ａとマガジンガイド
レール４ＬＡ、４２Ａ及びワークガイドレールＩＩＡと
マガジンガイドレール４１Ｂ、４２Ｂとの相対位置関係
を調整することができる。
品種変更によってワークの幅が変った場合には、その品
種に応じてモータ１９Ａ、１９Ｂの制御装置に予めプロ
グラムで設定された量だけモータ１９Ａ、１９Ｂを回転
させると、その回転量はプーリ２０Ａ、２０Ｂ、タイミ
ングベルト２１Ａ、２１Ｂ、プーリ１ｇＢ、１９Ａを介
してねじ１５Ａ、１５Ｂに伝達される。これにより、ナ
フト１６Ａ、１６Ｂがワーク送り方向３と直交する方向
に動かされる。ナラ）１６Ａ及び１６Ｂにはそれぞれ移
動ベース８Ａ及び８Ｂが固定されているので、移動ベー
ス８Ａ、８Ｂは台４及び５のガイド部４ａ、５ａに案内
されて移動する。また移動ベース８Ａ及び８Ｂにはスタ
ンド９Ａ、ＩＯＡ及び９Ｂ１０Ｂを介してワークガイド
レール１１Ａ及び１１．Ｂが固定されているので、ワー
クガイドレールＩＩＡ及びＩＩＢはそれぞれワーク送り
方向３と直交する方向に動く、これにより、ワークガイ
ドレールＩＩＡとＩＩＢの間の間隔寸法が増減してワー
クの幅寸法に合せられる。
ワークガイドレールＩＩＡ及びＩＩＢの端部は連結手段
５０Ａ及び５０ｇでマガジンガイドレール４２Ａ及び４
２Ｂに連結されているので、前記したようにワークガイ
ドレールＩＩＡ及びＩＩＢが動くと、マガジンガイドレ
ール４２Ａ及び４２Ｂも共に動く、即ち、ワークガイド
レールＩＩＡ及びＩＩＢの動きは、ジヨイント５１．偏
心ビン５２を介してマガジンガイドレール４２Ａ及び４
２Ｂに伝達させる。
このように、ワークガイドレールＩＩＡ、１１Ｂ側のマ
ガジンガイドレール４２Ａ、４２Ｂは調整されるが、マ
ガジンガイドレール４１Ａ及び４１Ｂは次のようにして
行う、予め固定ねじ４３を緩めてマガジンガイドレール
４１Ａと４１Ｂとの間隔を広げておく、そこで、前記の
よう設定されたマガジンガイドレール４２Ａと４２Ｂ間
にマガジン３２をセットしてエレベータ３３上に載置す
る。このマガジン３２をゲージとして使用し、マガジン
ガイドレール４ＬＡ及び４１Ｂをマガジン３２に合せ、
固定ねじ４３を締て固定する。
このように、ワークガイドレールＩＬＡ、１１Ｂ側のマ
ガジンガイドレール４２Ａ、４２ＢＭ隔は、ワークガイ
ドレール１１Ａ、ｌＩＢの間隔を調整することにより自
動的に調整され、マガジンガイドレール４１Ａ及び４１
Ｂはマガジン３２によって調整できるので、品種変更作
業が容易に、かつその時間が大幅に短縮される。またマ
ガジン３２とマガジンガイドレール４１Ａ、４１Ｂ、４
２Ａ、４２Ｂの遊び寸法が常に一定となるため、装置の
ばらつきが少なくなる。
なお、上記実施例においては、２１１のワークガイドレ
ールＩＩＡ及びＩＩＢの両方を移動させて調整する場合
について説明したが、ワークガイドレールＩＩＡ及びＩ
ＩＢの一方は固定で、他方のみを移動ゴせる場合にも適
応できることは言うまでもない、この場合には、固定の
ワークガイドレールＩＩＡ又はＩＩＢ及びマガジンガイ
ドレール４１Ａ、４２Ａ又は４１Ｂ、４２Ｂに対する駆
動機構及び連結手段５０Ａ又は５０Ｂは不要となる。ま
た上記実施例においては、ワークガイドレール１１Ａ、
ｌｌＢの両側にローダ部マガジンスタッカー３０及びア
ンローダ部マガジンスタッカー３１を有する場合につい
て説明したが、ローダ部マガジンスター、カー３０のみ
又はアンローダ部マガジンスタッカー３１のみを有する
ものにも適用できる。
［発明の効果］ 以上の説明から明らかなように１本発明によれば、ワー
クガイドレール及びマガジンガイドレールをワーク送り
方向と直交する方向に移動可能に設け、かつワークガイ
ドレールと該ワークガイドレールに隣接するマガジンガ
イドレールとを共に移動可能に連結手段で連結してなる
ので、品種変更作業時間が大幅に短縮されると共に、マ
ガジンとマガジンガイドレールとの遊び量が常に一定と
なり、装置毎のばらつきが少なくなる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例を示す平面図、第２図は第１
図の正面図、第３図は第２図のＣ−Ｃ線断面図、第４図
はローダ部マガジンスタッカ一部分の左側面図、第５図
は第２図のＤ−Ｄ線矢視図、第６図は従来例の平面図、
第７図はｗＩＩ６図の正面図、＄８図は第７図のＥ−Ｅ
線断面図である。 ３：ワーク送り方向、 １１Ａ、ＩＩＢ：ワークガイドレール、３０：ローダ部
マガジンスタッカー ３１：アンローダ部マガジンスタッカー３２：マガジン
、 ４１Ａ、４１Ｂ、４２Ａ、４２Ｂ：マガジンガイドレー
ル、 ５０Ａ、５０Ｂ＝連結手段。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）ワークをガイドするワークガイドレールと、この
    ワークガイドレールの端部側に配設されマガジンをガイ
    ドするマガジンガイドレールを有するマガジンスタッカ
    ーとを備えた移送装置において、ワークガイドレール及
    びマガジンガイドレールをワーク送り方向と直交する方
    向に移動可能に設け、かつワークガイドレールと該ワー
    クガイドレールに隣接するマガジンガイドレールとを共
    に移動可能に連結手段で連結してなることを特徴とする
    移送装置。
  2. （２）連結手段は、ワークガイドレールとマガジンガイ
    ドレールのワーク送り方向における相対位置を調整可能
    な構成となっていることを特徴とする請求項１記載の移
    送装置。
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