JP3400345B2 - ボンディング装置用ガイドレール機構 - Google Patents
ボンディング装置用ガイドレール機構Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はボンディング装置用
ガイドレール機構に関する。
ガイドレール機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、ダイボンディング装置、ワイヤボ
ンディング装置等のボンディング装置におけるガイドレ
ール機構は、図９及び図１０に示すように、リードフレ
ーム１の両側端部をガイドする一対のガイドレール機構
部２Ａ、２Ｂとからなっている。このガイドレール機構
部２Ａ、２Ｂはほぼ対称構造となっているので、同じ又
は相当部材には同一符号を付して説明する。
ンディング装置等のボンディング装置におけるガイドレ
ール機構は、図９及び図１０に示すように、リードフレ
ーム１の両側端部をガイドする一対のガイドレール機構
部２Ａ、２Ｂとからなっている。このガイドレール機構
部２Ａ、２Ｂはほぼ対称構造となっているので、同じ又
は相当部材には同一符号を付して説明する。
【０００３】架台３の上面には、搬送されるリードフレ
ーム１の幅方向に伸びた一対の幅調整用ガイド４が設け
られ、幅調整用ガイド４には図示しない駆動手段で移動
させられるスライダ５が摺動自在に設けられている。こ
こで、リードフレーム１の幅方向及び内側とは、図９に
おいて、後記するガイドレールスタンド８のほぼ中心部
にある後記するヒートブロック１４の位置方向に対して
言う。スライダ５にはスライドブロック６が固定され、
スライドブロック６には支持ブロック７が固定され、支
持ブロック７の内側面にはガイドレールスタンド８が固
定されている。
ーム１の幅方向に伸びた一対の幅調整用ガイド４が設け
られ、幅調整用ガイド４には図示しない駆動手段で移動
させられるスライダ５が摺動自在に設けられている。こ
こで、リードフレーム１の幅方向及び内側とは、図９に
おいて、後記するガイドレールスタンド８のほぼ中心部
にある後記するヒートブロック１４の位置方向に対して
言う。スライダ５にはスライドブロック６が固定され、
スライドブロック６には支持ブロック７が固定され、支
持ブロック７の内側面にはガイドレールスタンド８が固
定されている。
【０００４】ガイドレールスタンド８には、垂直に上方
に伸び上端部に雌ねじ部９ａが形成されたねじ軸９が固
定されている。ガイドレールスタンド８上には、ねじ軸
９に挿入されたレール高さ調整用スペーサ１０及びフレ
ームガイドレール１１が載置されている。そして、フレ
ームガイドレール１１上のねじ軸９の部分にばね１２を
装着し、ボルト１３をねじ軸９の雌ねじ部９ａに締め付
けることにより、レール高さ調整用スペーサ１０及びフ
レームガイドレール１１をばね１２でガイドレールスタ
ンド８に押し付けて固定している。またフレームガイド
レール１１間には、リードフレーム１を加熱するヒート
ブロック１４が配設されており、ヒートブロック１４は
図示しない駆動手段で上下移動させられる。なお、この
種のガイドレール機構として、例えば特開昭５５−２６
６９６号公報、特開昭６０−６３９３５号公報、特公昭
６３−５６１２１号公報等があげられる。
に伸び上端部に雌ねじ部９ａが形成されたねじ軸９が固
定されている。ガイドレールスタンド８上には、ねじ軸
９に挿入されたレール高さ調整用スペーサ１０及びフレ
ームガイドレール１１が載置されている。そして、フレ
ームガイドレール１１上のねじ軸９の部分にばね１２を
装着し、ボルト１３をねじ軸９の雌ねじ部９ａに締め付
けることにより、レール高さ調整用スペーサ１０及びフ
レームガイドレール１１をばね１２でガイドレールスタ
ンド８に押し付けて固定している。またフレームガイド
レール１１間には、リードフレーム１を加熱するヒート
ブロック１４が配設されており、ヒートブロック１４は
図示しない駆動手段で上下移動させられる。なお、この
種のガイドレール機構として、例えば特開昭５５−２６
６９６号公報、特開昭６０−６３９３５号公報、特公昭
６３−５６１２１号公報等があげられる。
【０００５】そこで、リードフレーム１は、図示しない
送り爪によってフレームガイドレール１１に沿ってボン
ディング位置に送られ、位置決めされた後に、図示しな
いボンディング装置によりボンディングされる。ここ
で、ダイボンディング装置の場合は、リードフレーム１
上に半導体ペレットがボンディングされ、ワイヤボンデ
ィング装置の場合は、リードフレーム１上にボンディン
グされた半導体ペレットのパッドとリードフレーム１の
リードにワイヤが接続される。
送り爪によってフレームガイドレール１１に沿ってボン
ディング位置に送られ、位置決めされた後に、図示しな
いボンディング装置によりボンディングされる。ここ
で、ダイボンディング装置の場合は、リードフレーム１
上に半導体ペレットがボンディングされ、ワイヤボンデ
ィング装置の場合は、リードフレーム１上にボンディン
グされた半導体ペレットのパッドとリードフレーム１の
リードにワイヤが接続される。
【０００６】このように、ボンディング装置において
は、リードフレーム１上に半導体ペレットがボンディン
グされ、または半導体ペレットのパッドとリードフレー
ム１のリードにワイヤが接続される。この時、リードフ
レーム１の上面がボンディング時の高さ位置における基
準面となる。このため、品種変更によりリードフレーム
１の厚さが変わった場合、例えば厚さが厚くなった場合
には、リードフレーム１の上面、即ち基準面の高さがそ
れだけ上昇するので、基準面の高さを一定にするにはフ
レームガイドレール１１をその厚さの差だけ下げる必要
がある。
は、リードフレーム１上に半導体ペレットがボンディン
グされ、または半導体ペレットのパッドとリードフレー
ム１のリードにワイヤが接続される。この時、リードフ
レーム１の上面がボンディング時の高さ位置における基
準面となる。このため、品種変更によりリードフレーム
１の厚さが変わった場合、例えば厚さが厚くなった場合
には、リードフレーム１の上面、即ち基準面の高さがそ
れだけ上昇するので、基準面の高さを一定にするにはフ
レームガイドレール１１をその厚さの差だけ下げる必要
がある。
【０００７】即ち、そのリードフレーム１の厚さに適合
する厚さを有するレール高さ調整用スペーサ１０に交換
する作業を行う必要がある。このレール高さ調整用スペ
ーサ１０の交換は、ボルト１３を緩めてねじ軸９より取
外した後、フレームガイドレール１１及びレール高さ調
整用スペーサ１０を取外し、レール高さ調整用スペーサ
１０を交換して該レール高さ調整用スペーサ１０及びフ
レームガイドレール１１を配設して再びボルト１３をね
じ軸９に締め付ける作業を行っている。
する厚さを有するレール高さ調整用スペーサ１０に交換
する作業を行う必要がある。このレール高さ調整用スペ
ーサ１０の交換は、ボルト１３を緩めてねじ軸９より取
外した後、フレームガイドレール１１及びレール高さ調
整用スペーサ１０を取外し、レール高さ調整用スペーサ
１０を交換して該レール高さ調整用スペーサ１０及びフ
レームガイドレール１１を配設して再びボルト１３をね
じ軸９に締め付ける作業を行っている。
【０００８】特に、図９乃至図１１に示すように、フレ
ームガイドレール１１のガイド部１１ａがコ字状と逆コ
字状の場合で、リードフレーム１の厚さｔが大きく変わ
った場合は、フレームガイドレール１１自体を交換する
作業を必要としていた。通常、リードフレーム１の厚さ
ｔは０．１〜０．４ｍｍの範囲が一般的である。そこ
で、フレームガイドレール１１のガイド部１１ａの高さ
ｈは、この種のリードフレーム１が搬送できるようにリ
ードフレーム１の厚さｔにクリアランスｃを加えた高さ
になっている。従って、リードフレーム１の厚さｔがガ
イド部１１ａの高さｈ内の場合には、リードフレーム１
の厚さｔが変わっても前記したようにレール高さ調整用
スペーサ１０を交換するのみでよい。しかし、リードフ
レーム１の厚さｔがガイド部１１ａの高さｈを越える場
合には、そのリードフレーム１に適合するフレームガイ
ドレール１１と交換している。
ームガイドレール１１のガイド部１１ａがコ字状と逆コ
字状の場合で、リードフレーム１の厚さｔが大きく変わ
った場合は、フレームガイドレール１１自体を交換する
作業を必要としていた。通常、リードフレーム１の厚さ
ｔは０．１〜０．４ｍｍの範囲が一般的である。そこ
で、フレームガイドレール１１のガイド部１１ａの高さ
ｈは、この種のリードフレーム１が搬送できるようにリ
ードフレーム１の厚さｔにクリアランスｃを加えた高さ
になっている。従って、リードフレーム１の厚さｔがガ
イド部１１ａの高さｈ内の場合には、リードフレーム１
の厚さｔが変わっても前記したようにレール高さ調整用
スペーサ１０を交換するのみでよい。しかし、リードフ
レーム１の厚さｔがガイド部１１ａの高さｈを越える場
合には、そのリードフレーム１に適合するフレームガイ
ドレール１１と交換している。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、品種
変更によりリードフレーム１の厚さｔが変わった場合
は、ボルト１３を緩めて取外し、レール高さ調整用スペ
ーサ１０を交換し、再びボルト１３を締め付けるという
作業を必要とする。ところで、一対のフレームガイドレ
ール１１は、リードフレーム１の搬送方向に沿って伸び
ている。そこで、ガイドレール機構部２Ａ、２Ｂは、そ
れぞれリードフレーム１の搬送方向に沿った２ヵ所にね
じ軸９が設けられ、該ねじ軸９のそれぞれにばね１２を
介してボルト１３でフレームガイドレール１１及びレー
ル高さ調整用スペーサ１０をガイドレールスタンド８に
押し付けるようになっている。即ち、一対のフレームガ
イドレール１１はねじ軸９、ボルト１３等をそれぞれ２
個、合計４個有している。このため、リードフレーム１
の厚さが変わった場合は、４個のボルト１３を緩めて取
外し、再度取りつけるという作業をしなければならない
ので、調整作業に長時間を要し、生産性が低下する。
変更によりリードフレーム１の厚さｔが変わった場合
は、ボルト１３を緩めて取外し、レール高さ調整用スペ
ーサ１０を交換し、再びボルト１３を締め付けるという
作業を必要とする。ところで、一対のフレームガイドレ
ール１１は、リードフレーム１の搬送方向に沿って伸び
ている。そこで、ガイドレール機構部２Ａ、２Ｂは、そ
れぞれリードフレーム１の搬送方向に沿った２ヵ所にね
じ軸９が設けられ、該ねじ軸９のそれぞれにばね１２を
介してボルト１３でフレームガイドレール１１及びレー
ル高さ調整用スペーサ１０をガイドレールスタンド８に
押し付けるようになっている。即ち、一対のフレームガ
イドレール１１はねじ軸９、ボルト１３等をそれぞれ２
個、合計４個有している。このため、リードフレーム１
の厚さが変わった場合は、４個のボルト１３を緩めて取
外し、再度取りつけるという作業をしなければならない
ので、調整作業に長時間を要し、生産性が低下する。
【００１０】またリードフレーム１の厚さに適合する複
数種類の厚さのレール高さ調整用スペーサ１０を必要と
し、その管理及び保管の問題が生じると共に、設備コス
トが増加する。特に、図９及び図１０に示すガイド部１
１ａを有するフレームガイドレール１１の場合は、フレ
ームガイドレール１１も複数個準備する必要があり、更
に設備コストが増加する。
数種類の厚さのレール高さ調整用スペーサ１０を必要と
し、その管理及び保管の問題が生じると共に、設備コス
トが増加する。特に、図９及び図１０に示すガイド部１
１ａを有するフレームガイドレール１１の場合は、フレ
ームガイドレール１１も複数個準備する必要があり、更
に設備コストが増加する。
【００１１】本発明の第１の課題は、品種変更によるフ
レームガイドレールの高さ調整を短時間に行うことがで
き、生産性の向上が図れるボンディング装置用ガイドレ
ール機構を提供することにある。
レームガイドレールの高さ調整を短時間に行うことがで
き、生産性の向上が図れるボンディング装置用ガイドレ
ール機構を提供することにある。
【００１２】本発明の第２の課題は、品種変更毎に必要
とする設備コストの低減が図れるボンディング装置用ガ
イドレール機構を提供することにある。
とする設備コストの低減が図れるボンディング装置用ガ
イドレール機構を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】上記第１及び第２の課題
を解決するための本発明の第１の手段は、リードフレー
ム等を対向してガイドする一対のフレームガイドレール
を備えたボンディング装置用ガイドレール機構におい
て、前記フレームガイドレールは、ガイドレールスタン
ドに固定されワークの側端面をガイドするワーク側端面
ガイドレールと、このワーク側端面ガイドレールの下方
に配設されワークの側面側の下面を支持するワーク下面
ガイドレールとからなり、前記ワーク下面ガイドレール
を上下動させるワーク下面ガイドレール上下駆動手段を
設けたことを特徴とする。
を解決するための本発明の第１の手段は、リードフレー
ム等を対向してガイドする一対のフレームガイドレール
を備えたボンディング装置用ガイドレール機構におい
て、前記フレームガイドレールは、ガイドレールスタン
ドに固定されワークの側端面をガイドするワーク側端面
ガイドレールと、このワーク側端面ガイドレールの下方
に配設されワークの側面側の下面を支持するワーク下面
ガイドレールとからなり、前記ワーク下面ガイドレール
を上下動させるワーク下面ガイドレール上下駆動手段を
設けたことを特徴とする。
【００１４】上記第１及び第２の課題を解決するための
本発明の第２の手段は、上記第１の手段において、前記
ワーク下面ガイドレール上下駆動手段は、前記ガイドレ
ールスタンドに回転自在に設けられた軸部及び該軸部の
端部に設けられ前記ワーク下面ガイドレールを支持して
上下動させるカム部とからなる回転軸と、この回転軸を
回転駆動させるモータ等の回転駆動手段とからなること
を特徴とする。
本発明の第２の手段は、上記第１の手段において、前記
ワーク下面ガイドレール上下駆動手段は、前記ガイドレ
ールスタンドに回転自在に設けられた軸部及び該軸部の
端部に設けられ前記ワーク下面ガイドレールを支持して
上下動させるカム部とからなる回転軸と、この回転軸を
回転駆動させるモータ等の回転駆動手段とからなること
を特徴とする。
【００１５】上記第１及び第２の課題を解決するための
本発明の第３の手段は、上記第１の手段において、前記
ワーク下面ガイドレール上下駆動手段は、前記ガイドレ
ールスタンドに回転自在に設けられた軸部及び該軸部の
端部に設けられ前記ワーク下面ガイドレールを支持して
上下動させるカム部とからなる回転軸と、この回転軸を
回転駆動させるモータ等の回転駆動手段と、この回転駆
動手段の駆動量を制御する制御装置とからなることを特
徴とする。
本発明の第３の手段は、上記第１の手段において、前記
ワーク下面ガイドレール上下駆動手段は、前記ガイドレ
ールスタンドに回転自在に設けられた軸部及び該軸部の
端部に設けられ前記ワーク下面ガイドレールを支持して
上下動させるカム部とからなる回転軸と、この回転軸を
回転駆動させるモータ等の回転駆動手段と、この回転駆
動手段の駆動量を制御する制御装置とからなることを特
徴とする。
【００１６】上記第１及び第２の課題を解決するための
本発明の第４の手段は、上記第１の手段において、前記
ワーク下面ガイドレール上下駆動手段は、前記ガイドレ
ールスタンドに回転自在に設けられた軸部及び該軸部の
端部に設けられ前記ワーク下面ガイドレールを支持して
上下動させるカム部とからなる回転軸と、この回転軸を
複数個の停止位置に保持させる回転軸位置決め手段とか
らなることを特徴とする。
本発明の第４の手段は、上記第１の手段において、前記
ワーク下面ガイドレール上下駆動手段は、前記ガイドレ
ールスタンドに回転自在に設けられた軸部及び該軸部の
端部に設けられ前記ワーク下面ガイドレールを支持して
上下動させるカム部とからなる回転軸と、この回転軸を
複数個の停止位置に保持させる回転軸位置決め手段とか
らなることを特徴とする。
【００１７】上記第１及び第２の課題を解決するための
本発明の第５の手段は、リードフレーム等を対向してガ
イドする一対のフレームガイドレールを備えたボンディ
ング装置用ガイドレール機構において、前記フレームガ
イドレールは、ガイドレールスタンドに固定され、リー
ドフレームをガイドするガイド部の上方が開放しワーク
の側端面をガイドするワーク側端面ガイドレールと、こ
のワーク側端面ガイドレールの下方に配設されワークの
側面側の下面を支持するワーク下面ガイドレールとから
なり、前記ワーク下面ガイドレールを上下動させるワー
ク下面ガイドレール上下駆動手段を設けたことを特徴と
する。
本発明の第５の手段は、リードフレーム等を対向してガ
イドする一対のフレームガイドレールを備えたボンディ
ング装置用ガイドレール機構において、前記フレームガ
イドレールは、ガイドレールスタンドに固定され、リー
ドフレームをガイドするガイド部の上方が開放しワーク
の側端面をガイドするワーク側端面ガイドレールと、こ
のワーク側端面ガイドレールの下方に配設されワークの
側面側の下面を支持するワーク下面ガイドレールとから
なり、前記ワーク下面ガイドレールを上下動させるワー
ク下面ガイドレール上下駆動手段を設けたことを特徴と
する。
【００１８】
【発明の実施の形態】本発明の一実施の形態を図１乃至
図３により説明する。従来と同様に、架台３の上面に
は、搬送されるリードフレーム１の幅方向に伸びた一対
の幅調整用ガイド４が設けられ、幅調整用ガイド４には
図示しない駆動手段で移動させられるスライダ５が摺動
自在に設けられている。スライダ５にはスライドブロッ
ク６が固定され、スライドブロック６には支持ブロック
１７が固定され、支持ブロック１７の内側面にはガイド
レールスタンド１８が固定されている。
図３により説明する。従来と同様に、架台３の上面に
は、搬送されるリードフレーム１の幅方向に伸びた一対
の幅調整用ガイド４が設けられ、幅調整用ガイド４には
図示しない駆動手段で移動させられるスライダ５が摺動
自在に設けられている。スライダ５にはスライドブロッ
ク６が固定され、スライドブロック６には支持ブロック
１７が固定され、支持ブロック１７の内側面にはガイド
レールスタンド１８が固定されている。
【００１９】本実施の形態においては、ガイドレール機
構２０Ａ、２０Ｂのフレームガイドレール２１は、リー
ドフレーム１の側端面をガイドするワーク側端面ガイド
レール２２と、リードフレーム１の下面を支持するワー
ク下面ガイドレール２３とに分割されている。そして、
ワーク側端面ガイドレール２２は前記ガイドレールスタ
ンド１８の内側側面に固定されている。ワーク下面ガイ
ドレール２３は、次に説明するワーク下面ガイドレール
上下駆動手段により上下動させられる。
構２０Ａ、２０Ｂのフレームガイドレール２１は、リー
ドフレーム１の側端面をガイドするワーク側端面ガイド
レール２２と、リードフレーム１の下面を支持するワー
ク下面ガイドレール２３とに分割されている。そして、
ワーク側端面ガイドレール２２は前記ガイドレールスタ
ンド１８の内側側面に固定されている。ワーク下面ガイ
ドレール２３は、次に説明するワーク下面ガイドレール
上下駆動手段により上下動させられる。
【００２０】ガイドレールスタンド１８には、軸部２５
ａと該軸部２５ａに対して偏心量Ｅだけ偏心した偏心軸
よりなるカム部２５ｂとを有する回転軸２５の軸部２５
ａが回転自在に嵌挿されている。軸部２５ａの外側端部
にはモータ２６の出力軸が連結されており、モータ２６
は支持ブロック１７に取付けられている。カム部２５ｂ
には前記ワーク下面ガイドレール２３が載置され、また
カム部２５ｂの端面には押え板２７がねじ２８で固定さ
れている。ここで、回転軸２５のカム部２５ｂに対応し
たワーク下面ガイドレール２３の部分は、ワーク側端面
ガイドレール２２と押え板２７間の隙間に挿入されてい
る。またワーク下面ガイドレール２３がカム部２５ｂに
圧接するように、ワーク下面ガイドレール２３と支持ブ
ロック７にはばね２９が掛けられている。
ａと該軸部２５ａに対して偏心量Ｅだけ偏心した偏心軸
よりなるカム部２５ｂとを有する回転軸２５の軸部２５
ａが回転自在に嵌挿されている。軸部２５ａの外側端部
にはモータ２６の出力軸が連結されており、モータ２６
は支持ブロック１７に取付けられている。カム部２５ｂ
には前記ワーク下面ガイドレール２３が載置され、また
カム部２５ｂの端面には押え板２７がねじ２８で固定さ
れている。ここで、回転軸２５のカム部２５ｂに対応し
たワーク下面ガイドレール２３の部分は、ワーク側端面
ガイドレール２２と押え板２７間の隙間に挿入されてい
る。またワーク下面ガイドレール２３がカム部２５ｂに
圧接するように、ワーク下面ガイドレール２３と支持ブ
ロック７にはばね２９が掛けられている。
【００２１】次に作用を図２により説明する。図２
（ａ）は厚いリードフレーム１Ａを搬送する場合で、図
２（ｂ）は薄いリードフレーム１Ｂを搬送する場合を示
す。モータ２６を駆動して回転軸２５を回転させると、
軸部２５ａの中心より偏心した偏心軸よりなるカム部２
５ｂの上面２５ｂ’の高さが変わり、ワーク下面ガイド
レール２３は上下動する。そこで、図２（ａ）に示す厚
いリードフレーム１Ａより図２（ｂ）に示す薄いリード
フレーム１Ｂに品種を変更する場合には、その厚さの差
分だけワーク下面ガイドレール２３を上昇させるように
モータ２６を駆動させる。これにより、リードフレーム
１Ｂの上面は、リードフレーム１Ａの場合の上面と同じ
高さのレベルとなる。
（ａ）は厚いリードフレーム１Ａを搬送する場合で、図
２（ｂ）は薄いリードフレーム１Ｂを搬送する場合を示
す。モータ２６を駆動して回転軸２５を回転させると、
軸部２５ａの中心より偏心した偏心軸よりなるカム部２
５ｂの上面２５ｂ’の高さが変わり、ワーク下面ガイド
レール２３は上下動する。そこで、図２（ａ）に示す厚
いリードフレーム１Ａより図２（ｂ）に示す薄いリード
フレーム１Ｂに品種を変更する場合には、その厚さの差
分だけワーク下面ガイドレール２３を上昇させるように
モータ２６を駆動させる。これにより、リードフレーム
１Ｂの上面は、リードフレーム１Ａの場合の上面と同じ
高さのレベルとなる。
【００２２】このように、モータ２６を駆動するのみで
品種変更によるワーク下面ガイドレール２３の高さ調整
を行うことできるので、ワーク下面ガイドレール２３の
高さ調整を短時間に行うことができ、生産性が向上す
る。この場合、モータ２６を制御する制御装置にリード
フレーム１の品種とモータ２６の駆動量及び停止位置と
の関係を予め入力しておくことにより、即座に品種変更
に対応できる。また従来のように品種毎に必要となるレ
ール高さ調整用スペーサ１０（図９及び図１０参照）を
必要としないので、設備コストの軽減が図れる。
品種変更によるワーク下面ガイドレール２３の高さ調整
を行うことできるので、ワーク下面ガイドレール２３の
高さ調整を短時間に行うことができ、生産性が向上す
る。この場合、モータ２６を制御する制御装置にリード
フレーム１の品種とモータ２６の駆動量及び停止位置と
の関係を予め入力しておくことにより、即座に品種変更
に対応できる。また従来のように品種毎に必要となるレ
ール高さ調整用スペーサ１０（図９及び図１０参照）を
必要としないので、設備コストの軽減が図れる。
【００２３】図４及び図５は本発明の第２の実施の形態
を示す。前記第１の実施の形態は、回転軸２５をモータ
２６により回転させる場合を示した。本実施の形態は回
転軸２５を手動により回転させる場合を示す。なお、図
１乃至図３と同じ又は相当部材には同一符号を付し、そ
の説明は省略する。
を示す。前記第１の実施の形態は、回転軸２５をモータ
２６により回転させる場合を示した。本実施の形態は回
転軸２５を手動により回転させる場合を示す。なお、図
１乃至図３と同じ又は相当部材には同一符号を付し、そ
の説明は省略する。
【００２４】回転軸２５の外側端部にはつまみ部２５ｃ
が設けられ、ガイドレールスタンド１８とつまみ部２５
ｃ間の軸部２５ａにはばね３０が装着されている。また
回転軸２５及びガイドレールスタンド１８には、回転軸
２５を複数個（図示の場合は４個）の回転位置に保持さ
せる回転軸位置決め手段が設けられている。即ち、回転
軸２５の外周には、４個のノッチ穴２５ｄが形成されて
いる。ガイドレールスタンド１８には、ノッチ穴２５ｄ
に対応した位置にねじ３５が螺合されており、ねじ３５
の下端にはばね収納穴３５ａが形成されている。ばね収
納穴３５ａにはばね３６が配設され、ノッチ穴２５ｄ側
にボール３７が配設されている。
が設けられ、ガイドレールスタンド１８とつまみ部２５
ｃ間の軸部２５ａにはばね３０が装着されている。また
回転軸２５及びガイドレールスタンド１８には、回転軸
２５を複数個（図示の場合は４個）の回転位置に保持さ
せる回転軸位置決め手段が設けられている。即ち、回転
軸２５の外周には、４個のノッチ穴２５ｄが形成されて
いる。ガイドレールスタンド１８には、ノッチ穴２５ｄ
に対応した位置にねじ３５が螺合されており、ねじ３５
の下端にはばね収納穴３５ａが形成されている。ばね収
納穴３５ａにはばね３６が配設され、ノッチ穴２５ｄ側
にボール３７が配設されている。
【００２５】従って、本実施の形態においては、つまみ
部２５ｃを回して回転軸２５を回転させると、カム部２
５ｂの上面の高さ位置が変わってワーク下面ガイドレー
ル２３が上下動する。またノッチ穴２５ｄがボール３７
に対応すると、ばね３６の付勢力でボール３７はノッチ
穴２５ｄに係合し、回転軸２５をその位置に保持させる
ことができる。そこで、品種に対応するカム部２５ｂの
位置に応じた位置にノッチ穴２５ｄを形成しておくこと
により、品種変更によりリードフレーム１の厚さが変わ
っても、回転軸２５を回す動作のみで前記第１の実施の
形態と同様に、リードフレーム１（１Ａ、１Ｂ）の上面
を常に一定の高さレベルに調整できる。
部２５ｃを回して回転軸２５を回転させると、カム部２
５ｂの上面の高さ位置が変わってワーク下面ガイドレー
ル２３が上下動する。またノッチ穴２５ｄがボール３７
に対応すると、ばね３６の付勢力でボール３７はノッチ
穴２５ｄに係合し、回転軸２５をその位置に保持させる
ことができる。そこで、品種に対応するカム部２５ｂの
位置に応じた位置にノッチ穴２５ｄを形成しておくこと
により、品種変更によりリードフレーム１の厚さが変わ
っても、回転軸２５を回す動作のみで前記第１の実施の
形態と同様に、リードフレーム１（１Ａ、１Ｂ）の上面
を常に一定の高さレベルに調整できる。
【００２６】なお、本実施の形態においては、４個のノ
ッチ穴２５ｄを設けた場合について説明したが、ノッチ
穴２５ｄの数は限定されるものではない。しかし、リー
ドフレーム１の厚さの変更は、ノッチ穴２５ｄの数だけ
に限定されることは言うまでもない。また回転軸２５の
位置保持は、ノッチ穴２５ｄとボール３７の組み合わせ
に限定されるものではない。
ッチ穴２５ｄを設けた場合について説明したが、ノッチ
穴２５ｄの数は限定されるものではない。しかし、リー
ドフレーム１の厚さの変更は、ノッチ穴２５ｄの数だけ
に限定されることは言うまでもない。また回転軸２５の
位置保持は、ノッチ穴２５ｄとボール３７の組み合わせ
に限定されるものではない。
【００２７】図６及び図７は本発明の第３及び第４の実
施の形態を示す。ここで、図６は図２に対応し、図７は
図４に対応する。ところで、フレームガイドレールに
は、特開昭６０−６３９３５号公報、特公昭６３−５６
１２１号公報等及び従来例を示す図１０及び図１１に示
すようにコ字状及び逆コ字状のガイド部を有するもの
と、特開昭５５−２６６９６号公報に従来例として挙げ
られているようにガイド部の上面が開放したものとがあ
る。前記図１乃至図３に示す第１の実施の形態及び図５
に示す第２の実施の形態は、コ字状及び逆コ字状のガイ
ド部を有するものに適用した例を示す。従って、ワーク
側端面ガイドレール２２にはリードフレーム１の上面方
向に伸びた突出部２２ａを有する。図６及び図７に示す
本実施の形態は、ガイド部の上面が開放したものに適用
した例を示す。従って、本実施の形態は前記第１及び第
２の実施の形態における突出部２２ａを有しない。この
ように、ガイド部の上面が開放したものにも本発明は適
用できる。
施の形態を示す。ここで、図６は図２に対応し、図７は
図４に対応する。ところで、フレームガイドレールに
は、特開昭６０−６３９３５号公報、特公昭６３−５６
１２１号公報等及び従来例を示す図１０及び図１１に示
すようにコ字状及び逆コ字状のガイド部を有するもの
と、特開昭５５−２６６９６号公報に従来例として挙げ
られているようにガイド部の上面が開放したものとがあ
る。前記図１乃至図３に示す第１の実施の形態及び図５
に示す第２の実施の形態は、コ字状及び逆コ字状のガイ
ド部を有するものに適用した例を示す。従って、ワーク
側端面ガイドレール２２にはリードフレーム１の上面方
向に伸びた突出部２２ａを有する。図６及び図７に示す
本実施の形態は、ガイド部の上面が開放したものに適用
した例を示す。従って、本実施の形態は前記第１及び第
２の実施の形態における突出部２２ａを有しない。この
ように、ガイド部の上面が開放したものにも本発明は適
用できる。
【００２８】図８は本発明の第５の実施の形態を示す。
前記各実施の形態は、カム部２５ｂが偏心軸より成って
いる。本実施の形態のカム部２５ｂは、外周面が４個の
平面部４０、４１、４２、４３からなっている。平面部
４０、４１、４２、４３は、その平面部４０、４１、４
２、４３に平行で軸部２５ａの中心線４４を通る面から
の距離が品種に応じるようにそれぞれ異なっている。な
お、本実施の形態は、４個の平面部４０、４１、４２、
４３の場合を図示したが、平面部４０、４１、４２、４
３の数は限定されない。しかし、前記した図４及び図５
と同様に、リードフレーム１の厚さの変更は、平面部４
０、４１、４２、４３の数だけに限定されることは勿論
である。
前記各実施の形態は、カム部２５ｂが偏心軸より成って
いる。本実施の形態のカム部２５ｂは、外周面が４個の
平面部４０、４１、４２、４３からなっている。平面部
４０、４１、４２、４３は、その平面部４０、４１、４
２、４３に平行で軸部２５ａの中心線４４を通る面から
の距離が品種に応じるようにそれぞれ異なっている。な
お、本実施の形態は、４個の平面部４０、４１、４２、
４３の場合を図示したが、平面部４０、４１、４２、４
３の数は限定されない。しかし、前記した図４及び図５
と同様に、リードフレーム１の厚さの変更は、平面部４
０、４１、４２、４３の数だけに限定されることは勿論
である。
【００２９】なお、図１乃至図３、図６においては、ワ
ーク下面ガイドレール上下駆動手段は、カム部２５ｂを
有する回転軸２５と、この回転軸２５を回転駆動させる
モータ２６とで構成したが、ワーク下面ガイドレール２
３をガイドレールスタンド１８に上下動可能に設け、ワ
ーク下面ガイドレール２３を下方よりモータ又はシリン
ダ等で上下駆動するようにしてもよい。
ーク下面ガイドレール上下駆動手段は、カム部２５ｂを
有する回転軸２５と、この回転軸２５を回転駆動させる
モータ２６とで構成したが、ワーク下面ガイドレール２
３をガイドレールスタンド１８に上下動可能に設け、ワ
ーク下面ガイドレール２３を下方よりモータ又はシリン
ダ等で上下駆動するようにしてもよい。
【００３０】
【発明の効果】本発明によれば、リードフレーム等を対
向してガイドする一対のフレームガイドレールを備えた
ボンディング装置用ガイドレール機構において、前記フ
レームガイドレールは、ガイドレールスタンドに固定さ
れワークの側端面をガイドするワーク側端面ガイドレー
ルと、このワーク側端面ガイドレールの下方に配設され
ワークの側面側の下面を支持するワーク下面ガイドレー
ルとからなり、前記ワーク下面ガイドレールを上下動さ
せるワーク下面ガイドレール上下駆動手段を設けたの
で、品種変更によるフレームガイドレールの高さ調整を
短時間に行うことができ、生産性の向上が図れると共
に、品種変更毎に必要とする設備コストの低減が図れ
る。
向してガイドする一対のフレームガイドレールを備えた
ボンディング装置用ガイドレール機構において、前記フ
レームガイドレールは、ガイドレールスタンドに固定さ
れワークの側端面をガイドするワーク側端面ガイドレー
ルと、このワーク側端面ガイドレールの下方に配設され
ワークの側面側の下面を支持するワーク下面ガイドレー
ルとからなり、前記ワーク下面ガイドレールを上下動さ
せるワーク下面ガイドレール上下駆動手段を設けたの
で、品種変更によるフレームガイドレールの高さ調整を
短時間に行うことができ、生産性の向上が図れると共
に、品種変更毎に必要とする設備コストの低減が図れ
る。
【図１】本発明のボンディング装置用ガイドレール機構
の第１の実施の形態を示す一部断面側面図である。
の第１の実施の形態を示す一部断面側面図である。
【図２】図１の要部を示し、（ａ）はリードフレームの
厚みが厚い場合の拡大断面図、（ｂ）はリードフレーム
の厚みが薄い場合の拡大断面図である。
厚みが厚い場合の拡大断面図、（ｂ）はリードフレーム
の厚みが薄い場合の拡大断面図である。
【図３】図２（ａ）のカム部のみを断面で示したＡ矢視
図である。
図である。
【図４】本発明のボンディング装置用ガイドレール機構
の第２の実施の形態の要部を示し、（ａ）はリードフレ
ームの厚みが厚い場合の拡大断面図、（ｂ）はリードフ
レームの厚みが薄い場合の拡大断面図である。
の第２の実施の形態の要部を示し、（ａ）はリードフレ
ームの厚みが厚い場合の拡大断面図、（ｂ）はリードフ
レームの厚みが薄い場合の拡大断面図である。
【図５】図４（ａ）のカム部のみを断面で示したＢ矢視
図である。
図である。
【図６】本発明のボンディング装置用ガイドレール機構
の第３の実施の形態を示す要部拡大断面図である。
の第３の実施の形態を示す要部拡大断面図である。
【図７】本発明のボンディング装置用ガイドレール機構
の第４の実施の形態を示す要部拡大断面図である。
の第４の実施の形態を示す要部拡大断面図である。
【図８】本発明のボンディング装置用ガイドレール機構
の第５の実施の形態を示し、図３及び図５に対応した要
部拡大断面図である。
の第５の実施の形態を示し、図３及び図５に対応した要
部拡大断面図である。
【図９】従来のボンディング装置用ガイドレール機構を
示す一部断面側面図である。
示す一部断面側面図である。
【図１０】図９の要部拡大断面図である。
【図１１】リードフレームとフレームガイドレールのガ
イド部との関係を示す説明図である。
イド部との関係を示す説明図である。
１，１Ａ，１Ｂ リードフレーム
１７ 支持ブロック
１８ ガイドレールスタンド
２０Ａ，２０Ｂ ガイドレール機構
２１ フレームガイドレール
２２ ワーク側端面ガイドレール
２３ ワーク下面ガイドレール
２５ 回転軸
２５ａ 軸部
２５ｂ カム部
２５ｃ つまみ部
２５ｄ ノッチ穴
２６ モータ
２７ 押え板
２９ ばね
３５ ねじ
３６ ばね
３７ ボール
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平２−145000（ＪＰ，Ａ)
特開 平６−177196（ＪＰ，Ａ)
特開 平６−252200（ＪＰ，Ａ)
特開 平11−288953（ＪＰ，Ａ)
実開 平６−11350（ＪＰ，Ｕ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H01L 21/50
H01L 21/52
H01L 21/60
H05K 13/02
Claims (5)
- 【請求項１】 リードフレーム等を対向してガイドする
一対のフレームガイドレールを備えたボンディング装置
用ガイドレール機構において、前記フレームガイドレー
ルは、ガイドレールスタンドに固定されワークの側端面
をガイドするワーク側端面ガイドレールと、このワーク
側端面ガイドレールの下方に配設されワークの側面側の
下面を支持するワーク下面ガイドレールとからなり、前
記ワーク下面ガイドレールを上下動させるワーク下面ガ
イドレール上下駆動手段を設けたことを特徴とするボン
ディング装置用ガイドレール機構。 - 【請求項２】 前記ワーク下面ガイドレール上下駆動手
段は、前記ガイドレールスタンドに回転自在に設けられ
た軸部及び該軸部の端部に設けられ前記ワーク下面ガイ
ドレールを支持して上下動させるカム部とからなる回転
軸と、この回転軸を回転駆動させるモータ等の回転駆動
手段とからなることを特徴とする請求項１記載のボンデ
ィング装置用ガイドレール機構。 - 【請求項３】 前記ワーク下面ガイドレール上下駆動手
段は、前記ガイドレールスタンドに回転自在に設けられ
た軸部及び該軸部の端部に設けられ前記ワーク下面ガイ
ドレールを支持して上下動させるカム部とからなる回転
軸と、この回転軸を回転駆動させるモータ等の回転駆動
手段と、この回転駆動手段の駆動量を制御する制御装置
とからなることを特徴とする請求項１記載のボンディン
グ装置用ガイドレール機構。 - 【請求項４】 前記ワーク下面ガイドレール上下駆動手
段は、前記ガイドレールスタンドに回転自在に設けられ
た軸部及び該軸部の端部に設けられ前記ワーク下面ガイ
ドレールを支持して上下動させるカム部とからなる回転
軸と、この回転軸を複数個の停止位置に保持させる回転
軸位置決め手段とからなることを特徴とする請求項１記
載のボンディング装置用ガイドレール機構。 - 【請求項５】 リードフレーム等を対向してガイドする
一対のフレームガイドレールを備えたボンディング装置
用ガイドレール機構において、前記フレームガイドレー
ルは、ガイドレールスタンドに固定され、リードフレー
ムをガイドするガイド部の上方が開放しワークの側端面
をガイドするワーク側端面ガイドレールと、このワーク
側端面ガイドレールの下方に配設されワークの側面側の
下面を支持するワーク下面ガイドレールとからなり、前
記ワーク下面ガイドレールを上下動させるワーク下面ガ
イドレール上下駆動手段を設けたことを特徴とするボン
ディング装置用ガイドレール機構。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10398098A JP3400345B2 (ja) | 1998-03-31 | 1998-03-31 | ボンディング装置用ガイドレール機構 |
| KR1019990005889A KR100321395B1 (ko) | 1998-03-31 | 1999-02-23 | 본딩장치용 가이드 레일기구 |
| TW088104470A TW409325B (en) | 1998-03-31 | 1999-03-22 | Guide rail mechanism for bonding apparatus |
| US09/282,886 US6145651A (en) | 1998-03-31 | 1999-03-31 | Guide rail mechanism for a bonding apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10398098A JP3400345B2 (ja) | 1998-03-31 | 1998-03-31 | ボンディング装置用ガイドレール機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11288966A JPH11288966A (ja) | 1999-10-19 |
| JP3400345B2 true JP3400345B2 (ja) | 2003-04-28 |
Family
ID=14368477
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10398098A Expired - Fee Related JP3400345B2 (ja) | 1998-03-31 | 1998-03-31 | ボンディング装置用ガイドレール機構 |
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| Country | Link |
|---|---|
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| JP (1) | JP3400345B2 (ja) |
| KR (1) | KR100321395B1 (ja) |
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| US10041973B2 (en) * | 2013-09-04 | 2018-08-07 | Infineon Technologies Ag | Method and apparatus for dynamic alignment of semiconductor devices |
| US11938563B2 (en) * | 2016-10-20 | 2024-03-26 | Jsw Aktina System Co., Ltd. | Annealed workpiece manufacturing method, laser anneal base stage, and laser anneal processing apparatus |
| US10899547B1 (en) * | 2019-11-21 | 2021-01-26 | Intelligrated Headquarters, Llc | Coupling block on a conveyor system |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3854688A (en) * | 1972-09-01 | 1974-12-17 | L Shuford | Quick adjusting guide rail for conveyor |
| US3974904A (en) * | 1975-02-27 | 1976-08-17 | The Hartford Special Machinery Company | Adjustable track cover positioning assembly |
| JPS5933978B2 (ja) * | 1979-07-30 | 1984-08-20 | 株式会社日立製作所 | ボンディング方法 |
| JPS6063935A (ja) * | 1983-09-17 | 1985-04-12 | Mitsubishi Electric Corp | リ−ドフレ−ム送り装置 |
| JPS6356121A (ja) * | 1986-08-27 | 1988-03-10 | 株式会社日立製作所 | 比率差動リレ−装置 |
| US5823316A (en) * | 1995-10-04 | 1998-10-20 | Motorola, Inc. | Method for automatic conveyor width adjustment |
| US5937992A (en) * | 1996-07-26 | 1999-08-17 | Riverwood International Corporation | Assembling apparatus and process |
-
1998
- 1998-03-31 JP JP10398098A patent/JP3400345B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1999
- 1999-02-23 KR KR1019990005889A patent/KR100321395B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1999-03-22 TW TW088104470A patent/TW409325B/zh not_active IP Right Cessation
- 1999-03-31 US US09/282,886 patent/US6145651A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR19990077451A (ko) | 1999-10-25 |
| US6145651A (en) | 2000-11-14 |
| TW409325B (en) | 2000-10-21 |
| JPH11288966A (ja) | 1999-10-19 |
| KR100321395B1 (ko) | 2002-01-23 |
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