JPS60150950A - 案内装置 - Google Patents
案内装置Info
- Publication number
- JPS60150950A JPS60150950A JP59007173A JP717384A JPS60150950A JP S60150950 A JPS60150950 A JP S60150950A JP 59007173 A JP59007173 A JP 59007173A JP 717384 A JP717384 A JP 717384A JP S60150950 A JPS60150950 A JP S60150950A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- slider
- base
- sensor
- gap
- guide device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 33
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims abstract description 10
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 9
- 230000002706 hydrostatic effect Effects 0.000 claims description 24
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 5
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 8
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000013589 supplement Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 230000002747 voluntary effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
- B23Q1/38—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members using fluid bearings or fluid cushion supports
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
- B23Q1/38—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members using fluid bearings or fluid cushion supports
- B23Q1/385—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members using fluid bearings or fluid cushion supports in which the thickness of the fluid-layer is adjustable
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
- F16C29/02—Sliding-contact bearings
- F16C29/025—Hydrostatic or aerostatic
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Programme-control systems
- G05B19/02—Programme-control systems electric
- G05B19/18—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
- G05B19/402—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by control arrangements for positioning, e.g. centring a tool relative to a hole in the workpiece, additional detection means to correct position
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2322/00—Apparatus used in shaping articles
- F16C2322/39—General buildup of machine tools, e.g. spindles, slides, actuators
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/49—Nc machine tool, till multiple
- G05B2219/49195—Slide, guideway, robot arm deviation
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/49—Nc machine tool, till multiple
- G05B2219/49271—Air bearing slide, hydraulic, electromagnetic bearing
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Human Computer Interaction (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は静圧軸受により案内される案内装置に係り、特
に空間に対する絶対的な位置決めが可能な案内装置に関
する。
に空間に対する絶対的な位置決めが可能な案内装置に関
する。
従来、超精密位置決め装置の案内装置として静圧案内手
段が用いられてきた。これらの静圧案内手段は、スライ
ダをベースに対して静圧軸受により浮上支持するもので
あり、低摩擦、高剛性を特長としている。
段が用いられてきた。これらの静圧案内手段は、スライ
ダをベースに対して静圧軸受により浮上支持するもので
あり、低摩擦、高剛性を特長としている。
しかし、この種の案内装置においてはスライダがベース
に対して相対浮上すると共にベースに沿って移動するた
め、最終的にはベースの加工精度が空間に対する絶対的
に位置決め精度を支配することになる。また、この案内
装置は一般的にベースによる２つの平行な案内面とこれ
に対向するスライダの内面とによって構成されるが、こ
の場合は個々の案内面の精度に加えて、これらの２つの
案内面の互いの組立精度も位置決め精度に大きな影響を
与える。
に対して相対浮上すると共にベースに沿って移動するた
め、最終的にはベースの加工精度が空間に対する絶対的
に位置決め精度を支配することになる。また、この案内
装置は一般的にベースによる２つの平行な案内面とこれ
に対向するスライダの内面とによって構成されるが、こ
の場合は個々の案内面の精度に加えて、これらの２つの
案内面の互いの組立精度も位置決め精度に大きな影響を
与える。
本発明の目的はベースの歪８曲りにかかわらず、これに
沿って移動するスライダの空間的な絶対位置を精度良く
決定することができる案内装置を提供することにある。
沿って移動するスライダの空間的な絶対位置を精度良く
決定することができる案内装置を提供することにある。
本発明の□特徴とするところは、ベースと、ベース上に
静圧軸受により浮上支持されたスライダとを有する案内
装置において、前記静圧軸受に圧力流体を供給する手段
と、スライダのベースの歪。
静圧軸受により浮上支持されたスライダとを有する案内
装置において、前記静圧軸受に圧力流体を供給する手段
と、スライダのベースの歪。
曲りに対する変位量を検出する検出手段と、この検出手
段からの信号により静圧軸受への供給圧力を制御する手
段とを備え、ベースの歪２曲りの影響を受けずにスライ
ダを精度よく位置決め可能にしたものである。
段からの信号により静圧軸受への供給圧力を制御する手
段とを備え、ベースの歪２曲りの影響を受けずにスライ
ダを精度よく位置決め可能にしたものである。
以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。
第１図は本発明の装置の一実施例を示すもので、この図
において１はベース、２は静圧流体膜形成用の空隙Ｇを
もってベース１に設けたスライダである６スライダ２に
は第２図に示すようにベース１の案内面ＩＡ〜ＩＤとこ
れに対向する内面２Ａ〜２Ｄとの間の空隙Ｇに静圧流圧
膜を形成するために、その内面２Ａ〜２Ｄに圧力流体供
給用の絞り３Ａ〜３Ｄを備えている。この絞り３Ａ〜３
Ｄはそれぞれ圧力流体供給管４Ａ〜４Ｄに連結している
。第１図に戻り、これらの圧力流体供給管４Ａ〜４Ｄは
それぞれ制御弁５Ａ〜５Ｄを通して圧力流体の供給源６
Ａ〜６Ｄに接続している。この供給源６Ａ〜６Ｄから供
給される圧力流体はそれぞれ供給管４Ａ〜４Ｄ、絞り３
Ａ〜３Ｄを通って各空隙Ｇに流出し、この各空隙Ｇに圧
力流体膜を形成する。これによりスライダ２はベース１
に沿って２軸方向への移動が可能となる。前述した空隙
ＧにおけるＺ軸方向の平行度は組立精度を考慮しても１
ミクロン以上である。そして、この平行度を維持するた
めに、スライダ２通って空隙Ｇに供給される。これによ
り、空隙Ｇには静圧軸受としての圧力流体膜が形成され
るので、スライダ２はベース１に対して浮上支持される
。そして供給圧が一定でスライダ２に作用する荷重が一
定であればスライダの浮上量すなわち空隙Ｇはすべて一
定シこ保たれる。
において１はベース、２は静圧流体膜形成用の空隙Ｇを
もってベース１に設けたスライダである６スライダ２に
は第２図に示すようにベース１の案内面ＩＡ〜ＩＤとこ
れに対向する内面２Ａ〜２Ｄとの間の空隙Ｇに静圧流圧
膜を形成するために、その内面２Ａ〜２Ｄに圧力流体供
給用の絞り３Ａ〜３Ｄを備えている。この絞り３Ａ〜３
Ｄはそれぞれ圧力流体供給管４Ａ〜４Ｄに連結している
。第１図に戻り、これらの圧力流体供給管４Ａ〜４Ｄは
それぞれ制御弁５Ａ〜５Ｄを通して圧力流体の供給源６
Ａ〜６Ｄに接続している。この供給源６Ａ〜６Ｄから供
給される圧力流体はそれぞれ供給管４Ａ〜４Ｄ、絞り３
Ａ〜３Ｄを通って各空隙Ｇに流出し、この各空隙Ｇに圧
力流体膜を形成する。これによりスライダ２はベース１
に沿って２軸方向への移動が可能となる。前述した空隙
ＧにおけるＺ軸方向の平行度は組立精度を考慮しても１
ミクロン以上である。そして、この平行度を維持するた
めに、スライダ２通って空隙Ｇに供給される。これによ
り、空隙Ｇには静圧軸受としての圧力流体膜が形成され
るので、スライダ２はベース１に対して浮上支持される
。そして供給圧が一定でスライダ２に作用する荷重が一
定であればスライダの浮上量すなわち空隙Ｇはすべて一
定シこ保たれる。
スライダ２は外力により、Ｚ軸方向に移動するが、この
とき、スライダ２を案内するベース１が歪または曲りを
生じている場合、そのベース１の歪または曲り量はセン
サ７．８によって検出され。
とき、スライダ２を案内するベース１が歪または曲りを
生じている場合、そのベース１の歪または曲り量はセン
サ７．８によって検出され。
制御器９，１０に入力される。制御器９，１０はこれら
のセンサ７．８による実測値を比較部９Ｂ。
のセンサ７．８による実測値を比較部９Ｂ。
１０Ｂにおいて予め設定した距離と比較し、その結果を
制御部９Ｃ，ＬＯＧによって検討し、対向する空ＭＧを
一定に保つように制御弁５Ａ、５Ｂおよび制御弁５Ｃ，
５Ｄに制御信号を出力する。
制御部９Ｃ，ＬＯＧによって検討し、対向する空ＭＧを
一定に保つように制御弁５Ａ、５Ｂおよび制御弁５Ｃ，
５Ｄに制御信号を出力する。
これにより、制御弁５Ａ、５Ｂおよび制御弁５Ｃ。
５Ｄは空隙Ｇに供給する圧力流体の圧力を調整し。
スライダ２の位置を補正する。このため、スライダ２は
ベースの歪９曲りによりベースに接触することなくｚ軸
方向に案内される。に対する空間の絶対座標系には、ス
ライダ２のｙ軸方向に変位量を検出する第１のセンサ７
およびＸ軸方向の変位量を検出する第２のセンサ８が設
けられている。
ベースの歪９曲りによりベースに接触することなくｚ軸
方向に案内される。に対する空間の絶対座標系には、ス
ライダ２のｙ軸方向に変位量を検出する第１のセンサ７
およびＸ軸方向の変位量を検出する第２のセンサ８が設
けられている。
この第１のセンサ７は制御器９に、また第２のセンサ８
は制御器１０に接続している。制御器９゜ＩＯはそれぞ
れ制御弁５Ａ、５Ｂおよび制御５ Ｃｔ５Ｄに接続され
ている。この制御器９，１０はセンサ７．８とスライダ
２の外周面との間の設定距離を記憶した記憶部９Ａ、Ｉ
ＯＡと、記憶部９Ａ。
は制御器１０に接続している。制御器９゜ＩＯはそれぞ
れ制御弁５Ａ、５Ｂおよび制御５ Ｃｔ５Ｄに接続され
ている。この制御器９，１０はセンサ７．８とスライダ
２の外周面との間の設定距離を記憶した記憶部９Ａ、Ｉ
ＯＡと、記憶部９Ａ。
１０Ａに記憶した設定距離値とセンサ７．８からの実測
値とを入力して実測値が設定距離値を越えたか否かを比
較する比較部９Ｂ、１．ＯＢと、この比較器９Ｂ、ＩＯ
Ｂからの信号により制御弁５Ａ。
値とを入力して実測値が設定距離値を越えたか否かを比
較する比較部９Ｂ、１．ＯＢと、この比較器９Ｂ、ＩＯ
Ｂからの信号により制御弁５Ａ。
５Ｂおよび制御弁５Ｇ、５Ｄにそれぞれ制御信号を出力
する制御部９Ｃ，ＩＯＣとを備えている。
する制御部９Ｃ，ＩＯＣとを備えている。
次に上述した本発明の装置の一実施例の動作を説明する
□。
□。
供給源６Ａ〜６Ｄから出力された圧力流体は、それぞれ
制御弁５Ａ〜５Ｄ、供給管４Ａ〜４Ｄおよび絞り３Ａ〜
３Ｄをなお、上述の実施例においては、スライダ２は対
向する２対の静圧軸受部を備える構成を示したが、一対
の静圧軸受部の構成においても、本発明を適用すること
ができる。この場合にはいず九か一方のセンサ、 １ｉ
ｌＪ御器、供給源が不要となることは明らかである。
制御弁５Ａ〜５Ｄ、供給管４Ａ〜４Ｄおよび絞り３Ａ〜
３Ｄをなお、上述の実施例においては、スライダ２は対
向する２対の静圧軸受部を備える構成を示したが、一対
の静圧軸受部の構成においても、本発明を適用すること
ができる。この場合にはいず九か一方のセンサ、 １ｉ
ｌＪ御器、供給源が不要となることは明らかである。
本発明によれば、スライダの位置をベースに対して、ス
ライダとベース間のすき間の範囲内で自由にコントロー
ルできるので１組立精度２部品の製作精度にかかわらず
スライダの空間的絶対位置を精度良く決定することがで
きる。
ライダとベース間のすき間の範囲内で自由にコントロー
ルできるので１組立精度２部品の製作精度にかかわらず
スライダの空間的絶対位置を精度良く決定することがで
きる。
第１図は本発明の案内装置の一実施例の構成を示す図、
第２図は本発明の装置を構成するベースとスライダとの
部分の構成を示す斜視図である。 Ｉ・・・ベース、２・・・スライダ、３Ａ〜３Ｄ・・・
絞り、４Ａ〜４Ｄ・・・圧力流体供給管、５Ａ〜５Ｄ・
・・制御弁、６Ａ〜６Ｄ・・・供給源、７，８・・・セ
ンサ、９゜手続補正書（自発） １．小作の表示 昭和５９ 年特許願第 ７１７３ 号 ３、補正をする者 ＩＩＩ’ｌとの１駈 特許出願人 と１ 称 ４５１０１４式会＋１ 日 立 製 作 所
４、代 理 人 ５、補１１′、の対象 明細書の全文 ６、補ｉ１ミの内容 別紙のとおシ 全文訂正明細書 １、発明の名称 案内装置 ２、特許請求の範囲 １、ベースと、前記ベース上に静圧軸受により浮上支持
され、移動可能なスライダとを有する案内装置において
、前記静圧軸受に圧力流体をえたことを特徴とする案内
装置。 自装置。 洛−」φ粗精ｊ良Φ」１皿−Ｍ」し領１屯戦−（７）１
４矩慕−図劣Ｉド３、発明の詳細な説明 〔発明の利用分野〕 本発明は、ベースとスライダから構成され静圧軸受によ
り案内される案内装置に係り、特にスライダの意図する
座標に対する絶対的な位置決めが可能な案内装置に関す
る。 このような案内装置は、光素子モジュール組立やプリン
ト基板−りへの電子部品の装着等に関する精密な位置決
め装置として用いられる。 〔発明の背景〕 精密位置決め装置の案内装置として静圧案内手段が用い
られてきた。これらの静圧案内手段は、スライダをベー
ス上に対して静圧軸受により浮−上支持するものであり
、低摩擦、高剛性を特長としている。（昭和５７年度精
機学会春季大会学術講演会論文集第２０４頁〜第２０６
頁）。 しかし、この種の案内装置においては、スライダがベー
スに対して相対浮−ヒするとともにベース上に沿って移
動するため、最終的にはベースの加工精度が絶対的な位
置決め精度を支配することになる。 また、この案内装置の静圧案内手段は、一般的にベース
の平行な２つの案内面とこれに対向するスライダの内面
とによって構成される。この場合、ベースの個々の案内
面の加工精度に加えて、これらの２つの案内面を有する
ベースとスライダとの組立精度も位置決め精度に大きな
影響を与える。 さらに、スライダがベース−にに沿って移動可能に駆動
される際に、スライダを含む可動部分が変形または変位
して、位置決め精度に大きな影響を与える場合がある。 〔発明の目的〕 本発明の目的は、ベースの歪９曲り等の加工精度に影響
を受けずにスライダの絶対位置を精度よく決定すること
ができる案内装置を提供することにある。 〔発明の概要〕 本発明の特徴とするところは、ベースと、前記ベース」
二に静圧軸受により浮上支持され、移動可能なスライダ
とを有する案内装置において、前記静圧軸受に圧力流体
を供給する圧力流体供給手段と、前記スライダの意図す
る座標に対する変位を検出する手段と、前記スライダと
前記ベースとの基準位置を記憶する記憶手段と、前記検
出手段による実測値と前記記憶手段の基準値とを比較す
る比較手段と、前記比較手段からの信号により前記圧力
流体供給手段の供給圧力を調整し、前記スライダを所定
の位置に補正する補正制御手段とを備えたものである。 本発明は、対向する少なくとも一対以上の静圧軸受を有
する案内装置に適用できる。また、スライダは、ベース
の形状により、四角形状、三角形状、逆Ｖ形状９日形状
等種々の形状のものを採用できる。 スライダの意図する座標に対する変位を検出するセンサ
は、スライダの外周面から離して配置する以外に、スラ
イダの外周面に直接配置してもよい。 〔発明の実施例〕 第１図は、本発明の案内装置の一実施例を示すもので、
この図において、１は断面正方形のベース、２はその外
周部に静圧流体膜形成用の各空隙Ｇよりなる環状空隙を
もってベース１に設けたスライダである。このスライダ
２は、ベース１に対して各空隙Ｇに形成された静圧流体
膜により浮−に支持されている。 スライダ２は、第２図に示すようにベース１の４つの案
内面ＩＡ、ＩＢ、ＩＣ，１，Ｄとこれに対向するスライ
ダ２の内面２Ａ、２Ｂ、２Ｃ，２Ｄとの間の各空隙Ｇに
静圧流体膜を形成するために、その内部にそれぞれ４個
からなる圧力流体供給用の絞り３Ａ、３Ｂ、３Ｃ，３Ｄ
を備えている。これらの絞り３Ａ、３Ｂ、 ３ｃ、３Ｄ
はそれぞれ圧力流体供給管４Ａ、４Ｂ、４Ｃ，４，０に
連結している。 圧力流体供給管４Ａ、４Ｂ、４−Ｃ，４Ｄはそれぞれ制
御弁５Ａ、５Ｂ、５Ｇ、５Ｄを通して圧力流体の供給源
６Ａ、６Ｂ、６Ｃ，６Ｄに接続している。これらの供給
源６Ａ、６Ｂ、６Ｃ，６Ｄから供給される圧力流体はそ
れぞれ供給管４Ａ。 ４、Ｂ、４．Ｃ，４，Ｄ、絞り３Ａ、３Ｂ、３Ｃ，３ｒ
）を通って各空隙Ｇに流出し、これらの各空隙Ｇに静圧
流体膜を形成する。これによりスライダ２は、ベース１
に対して静圧軸受により浮上支持され、外部からの駆動
力によりベース１上に沿ってＺ軸方向への移動が可能と
なる。 そして、例えばベースＪ−の断面の大きさが５００ｎｗ
ｎ Ｘ ５００ ｍｎの正方形であり、各空隙Ｇがそれ
ぞれ１０〜３０μｍの範囲であり、スライダ２を含む可
動部分の重量が２０〜２５ｋｇの場合、ベース］の２軸
方向の平行度は組立精度を考慮しても１ミクロン以上で
ある。 スライダ２の外周にスライダ２のｙ軸方向の変位量を検
出する第１のセンサ７およびスライダ２のＸ軸方向の変
位量を検出する第２のセンサ８が設けられている。 浮上支持されたがＺ軸方向に移動しない状態でのスライ
ダ２と第１のセンサ７、第２のセンサ８との位置関係は
、移動中のスライダ２を意図する作業位置に配置するた
めの基準位置となる。このように、基準位置つまりスラ
イダ２の意図する座標に対する絶対座標を用いて、上述
したｚ ＋１ｉｌ１１方向の平行度を維持する。 この第１のセンサ７は制御器９に、また第２のセンサ８
は制御器１０に接続している。制御器９゜１０はそれぞ
れ制御弁５Ａ、５Ｂおよび制御弁５Ｇ、５Ｄに接続され
ている。 この制御器９，１０はセンサ７．８と基準位置における
スライダ２の外周面との間のそれぞれｙ軸方向およびＸ
軸方向の設定距離を記憶した記憶部９Ａ、ＩＯＡと、記
憶部９Ａ、］、ＯＡに記憶した設定距離値とセンサ７．
８からの実測値とを入力して実測値が設定距離値と異な
るが否かを比較する比較部９Ｂ、ＩＯＢと、この比較部
９Ｂ。 １０Ｂからの信号により制御弁５Ａ、５Ｂおよび制御弁
５Ｃ，５Ｄにそれぞれ制御信号を出力する制御部９Ｃ，
１，０Ｃとを備えている。 次に−１一連した本発明の装置の一実施例の動作を説明
する。 供給源６Ａ〜６Ｄから出力された圧力流体は、それぞれ
制御弁５Ａ、５Ｂ、５Ｇ、５Ｄ、供給管４ Ａ、４ Ｂ
、４Ｃ，４Ｄおよび絞り３Ａ、３Ｂ。 ３Ｇ、３Ｉ）を通って各空隙Ｇに供給される。これによ
り、各空隙Ｇには静圧軸受としての圧力流体膜が形成さ
れるので、スライダ２はベース１に対して浮−上支持さ
れる。そして流体の供給圧力が一定でスライダ２に作用
する力が一定であれば、通常スライダ２の浮上量すなわ
ち空隙Ｇはすべて一定に保たれる。 スライダ２はボールねじ、リニアモータ等の駆動力によ
り、Ｚ軸方向に移動するが、このときスライダ２を案内
するベース１が歪または曲りを生じている場合、そのベ
ース１の歪または曲り量は第１のセンサ７、第２のセン
サ８によって検出され、制御器９，１０に入力される。 制御器９゜１０の比較部９Ｂ、９Ｃにおいて、これら第
１のセンサ７、第２のセンサ８とスライダ２との間の距
離の実測値と、記憶部９Ａ、１．ＯＡに記憶した第１の
センサ７、第２のセンサ８とスライダ２との間の予め設
定した距離の値とを比較する。 ついで、比較部９Ｂ、１．ＯＢにおける比較結果を制御
部９Ｃ，ＩＯＣによって検討し、制御部９Ｃおよび制御
部１．０ Ｇは、対向する空隙Ｇをそれぞれ一定の調整
された値に保つように、制御弁５Ａ、５Ｂまたは制御弁
５Ｇ、５Ｄに制御信号を出力する。この制御信号により
、制御弁５Ａ。 ５Ｂまたは制御弁５Ｃ，５Ｄは空隙Ｇに供給する圧力流
体の圧力を調整し、スライダ２のＸ軸方向またはＸ軸方
向の位置を補正する。 これにより、スライダ２の位置をベース１に対して、ベ
ース１の歪や曲りに左右されることなく絶対的な位置に
いいかえればスライダ２を意図する作業位置に、正しく
配置させることができる。 以上の実施例では、歪や曲りを有する加工されたベース
の場合について説明したが、ベースとスライダとの組立
精度が悪い場合、またはスライダを含む可動部分が作業
中に変形する場合についても適用でき、いずれの場合に
もスライドを意図する作業位置に正しく配置できる。 〔発明の効果〕 本発明によれば、スライダの位置をベースに対して、ス
ライダとベース間のすき間の範囲内で自由にコン１−ロ
ールできるので、ベースの加工精度。 ベースとスライダとの組立精度、スライダを含む可動部
分の変形にかかわらずスライダの意図する座標に対する
絶対位置を精度よく決定することができる。 ４、図面の簡単な説明 第１図は本発明の案内装置の一実施例の構成を示す図、
第２図は本発明の装置を構成するベースとスライダとの
部分の構成を示す斜視図である。 １・・・ベース、２・・・スライダ、４Ａ、、 ４．Ｂ
、 ４−Ｃ。 ４Ｄ・・・圧力流体供給管、７，８・・・センサ、９゜
１０・・・制御器、９Ａ、１０Ａ・・・記憶部、９Ｂ。 １０Ｂ・・・比較部、９Ｃ，１，ＯＣ・・・制御部。
第２図は本発明の装置を構成するベースとスライダとの
部分の構成を示す斜視図である。 Ｉ・・・ベース、２・・・スライダ、３Ａ〜３Ｄ・・・
絞り、４Ａ〜４Ｄ・・・圧力流体供給管、５Ａ〜５Ｄ・
・・制御弁、６Ａ〜６Ｄ・・・供給源、７，８・・・セ
ンサ、９゜手続補正書（自発） １．小作の表示 昭和５９ 年特許願第 ７１７３ 号 ３、補正をする者 ＩＩＩ’ｌとの１駈 特許出願人 と１ 称 ４５１０１４式会＋１ 日 立 製 作 所
４、代 理 人 ５、補１１′、の対象 明細書の全文 ６、補ｉ１ミの内容 別紙のとおシ 全文訂正明細書 １、発明の名称 案内装置 ２、特許請求の範囲 １、ベースと、前記ベース上に静圧軸受により浮上支持
され、移動可能なスライダとを有する案内装置において
、前記静圧軸受に圧力流体をえたことを特徴とする案内
装置。 自装置。 洛−」φ粗精ｊ良Φ」１皿−Ｍ」し領１屯戦−（７）１
４矩慕−図劣Ｉド３、発明の詳細な説明 〔発明の利用分野〕 本発明は、ベースとスライダから構成され静圧軸受によ
り案内される案内装置に係り、特にスライダの意図する
座標に対する絶対的な位置決めが可能な案内装置に関す
る。 このような案内装置は、光素子モジュール組立やプリン
ト基板−りへの電子部品の装着等に関する精密な位置決
め装置として用いられる。 〔発明の背景〕 精密位置決め装置の案内装置として静圧案内手段が用い
られてきた。これらの静圧案内手段は、スライダをベー
ス上に対して静圧軸受により浮−上支持するものであり
、低摩擦、高剛性を特長としている。（昭和５７年度精
機学会春季大会学術講演会論文集第２０４頁〜第２０６
頁）。 しかし、この種の案内装置においては、スライダがベー
スに対して相対浮−ヒするとともにベース上に沿って移
動するため、最終的にはベースの加工精度が絶対的な位
置決め精度を支配することになる。 また、この案内装置の静圧案内手段は、一般的にベース
の平行な２つの案内面とこれに対向するスライダの内面
とによって構成される。この場合、ベースの個々の案内
面の加工精度に加えて、これらの２つの案内面を有する
ベースとスライダとの組立精度も位置決め精度に大きな
影響を与える。 さらに、スライダがベース−にに沿って移動可能に駆動
される際に、スライダを含む可動部分が変形または変位
して、位置決め精度に大きな影響を与える場合がある。 〔発明の目的〕 本発明の目的は、ベースの歪９曲り等の加工精度に影響
を受けずにスライダの絶対位置を精度よく決定すること
ができる案内装置を提供することにある。 〔発明の概要〕 本発明の特徴とするところは、ベースと、前記ベース」
二に静圧軸受により浮上支持され、移動可能なスライダ
とを有する案内装置において、前記静圧軸受に圧力流体
を供給する圧力流体供給手段と、前記スライダの意図す
る座標に対する変位を検出する手段と、前記スライダと
前記ベースとの基準位置を記憶する記憶手段と、前記検
出手段による実測値と前記記憶手段の基準値とを比較す
る比較手段と、前記比較手段からの信号により前記圧力
流体供給手段の供給圧力を調整し、前記スライダを所定
の位置に補正する補正制御手段とを備えたものである。 本発明は、対向する少なくとも一対以上の静圧軸受を有
する案内装置に適用できる。また、スライダは、ベース
の形状により、四角形状、三角形状、逆Ｖ形状９日形状
等種々の形状のものを採用できる。 スライダの意図する座標に対する変位を検出するセンサ
は、スライダの外周面から離して配置する以外に、スラ
イダの外周面に直接配置してもよい。 〔発明の実施例〕 第１図は、本発明の案内装置の一実施例を示すもので、
この図において、１は断面正方形のベース、２はその外
周部に静圧流体膜形成用の各空隙Ｇよりなる環状空隙を
もってベース１に設けたスライダである。このスライダ
２は、ベース１に対して各空隙Ｇに形成された静圧流体
膜により浮−に支持されている。 スライダ２は、第２図に示すようにベース１の４つの案
内面ＩＡ、ＩＢ、ＩＣ，１，Ｄとこれに対向するスライ
ダ２の内面２Ａ、２Ｂ、２Ｃ，２Ｄとの間の各空隙Ｇに
静圧流体膜を形成するために、その内部にそれぞれ４個
からなる圧力流体供給用の絞り３Ａ、３Ｂ、３Ｃ，３Ｄ
を備えている。これらの絞り３Ａ、３Ｂ、 ３ｃ、３Ｄ
はそれぞれ圧力流体供給管４Ａ、４Ｂ、４Ｃ，４，０に
連結している。 圧力流体供給管４Ａ、４Ｂ、４−Ｃ，４Ｄはそれぞれ制
御弁５Ａ、５Ｂ、５Ｇ、５Ｄを通して圧力流体の供給源
６Ａ、６Ｂ、６Ｃ，６Ｄに接続している。これらの供給
源６Ａ、６Ｂ、６Ｃ，６Ｄから供給される圧力流体はそ
れぞれ供給管４Ａ。 ４、Ｂ、４．Ｃ，４，Ｄ、絞り３Ａ、３Ｂ、３Ｃ，３ｒ
）を通って各空隙Ｇに流出し、これらの各空隙Ｇに静圧
流体膜を形成する。これによりスライダ２は、ベース１
に対して静圧軸受により浮上支持され、外部からの駆動
力によりベース１上に沿ってＺ軸方向への移動が可能と
なる。 そして、例えばベースＪ−の断面の大きさが５００ｎｗ
ｎ Ｘ ５００ ｍｎの正方形であり、各空隙Ｇがそれ
ぞれ１０〜３０μｍの範囲であり、スライダ２を含む可
動部分の重量が２０〜２５ｋｇの場合、ベース］の２軸
方向の平行度は組立精度を考慮しても１ミクロン以上で
ある。 スライダ２の外周にスライダ２のｙ軸方向の変位量を検
出する第１のセンサ７およびスライダ２のＸ軸方向の変
位量を検出する第２のセンサ８が設けられている。 浮上支持されたがＺ軸方向に移動しない状態でのスライ
ダ２と第１のセンサ７、第２のセンサ８との位置関係は
、移動中のスライダ２を意図する作業位置に配置するた
めの基準位置となる。このように、基準位置つまりスラ
イダ２の意図する座標に対する絶対座標を用いて、上述
したｚ ＋１ｉｌ１１方向の平行度を維持する。 この第１のセンサ７は制御器９に、また第２のセンサ８
は制御器１０に接続している。制御器９゜１０はそれぞ
れ制御弁５Ａ、５Ｂおよび制御弁５Ｇ、５Ｄに接続され
ている。 この制御器９，１０はセンサ７．８と基準位置における
スライダ２の外周面との間のそれぞれｙ軸方向およびＸ
軸方向の設定距離を記憶した記憶部９Ａ、ＩＯＡと、記
憶部９Ａ、］、ＯＡに記憶した設定距離値とセンサ７．
８からの実測値とを入力して実測値が設定距離値と異な
るが否かを比較する比較部９Ｂ、ＩＯＢと、この比較部
９Ｂ。 １０Ｂからの信号により制御弁５Ａ、５Ｂおよび制御弁
５Ｃ，５Ｄにそれぞれ制御信号を出力する制御部９Ｃ，
１，０Ｃとを備えている。 次に−１一連した本発明の装置の一実施例の動作を説明
する。 供給源６Ａ〜６Ｄから出力された圧力流体は、それぞれ
制御弁５Ａ、５Ｂ、５Ｇ、５Ｄ、供給管４ Ａ、４ Ｂ
、４Ｃ，４Ｄおよび絞り３Ａ、３Ｂ。 ３Ｇ、３Ｉ）を通って各空隙Ｇに供給される。これによ
り、各空隙Ｇには静圧軸受としての圧力流体膜が形成さ
れるので、スライダ２はベース１に対して浮−上支持さ
れる。そして流体の供給圧力が一定でスライダ２に作用
する力が一定であれば、通常スライダ２の浮上量すなわ
ち空隙Ｇはすべて一定に保たれる。 スライダ２はボールねじ、リニアモータ等の駆動力によ
り、Ｚ軸方向に移動するが、このときスライダ２を案内
するベース１が歪または曲りを生じている場合、そのベ
ース１の歪または曲り量は第１のセンサ７、第２のセン
サ８によって検出され、制御器９，１０に入力される。 制御器９゜１０の比較部９Ｂ、９Ｃにおいて、これら第
１のセンサ７、第２のセンサ８とスライダ２との間の距
離の実測値と、記憶部９Ａ、１．ＯＡに記憶した第１の
センサ７、第２のセンサ８とスライダ２との間の予め設
定した距離の値とを比較する。 ついで、比較部９Ｂ、１．ＯＢにおける比較結果を制御
部９Ｃ，ＩＯＣによって検討し、制御部９Ｃおよび制御
部１．０ Ｇは、対向する空隙Ｇをそれぞれ一定の調整
された値に保つように、制御弁５Ａ、５Ｂまたは制御弁
５Ｇ、５Ｄに制御信号を出力する。この制御信号により
、制御弁５Ａ。 ５Ｂまたは制御弁５Ｃ，５Ｄは空隙Ｇに供給する圧力流
体の圧力を調整し、スライダ２のＸ軸方向またはＸ軸方
向の位置を補正する。 これにより、スライダ２の位置をベース１に対して、ベ
ース１の歪や曲りに左右されることなく絶対的な位置に
いいかえればスライダ２を意図する作業位置に、正しく
配置させることができる。 以上の実施例では、歪や曲りを有する加工されたベース
の場合について説明したが、ベースとスライダとの組立
精度が悪い場合、またはスライダを含む可動部分が作業
中に変形する場合についても適用でき、いずれの場合に
もスライドを意図する作業位置に正しく配置できる。 〔発明の効果〕 本発明によれば、スライダの位置をベースに対して、ス
ライダとベース間のすき間の範囲内で自由にコン１−ロ
ールできるので、ベースの加工精度。 ベースとスライダとの組立精度、スライダを含む可動部
分の変形にかかわらずスライダの意図する座標に対する
絶対位置を精度よく決定することができる。 ４、図面の簡単な説明 第１図は本発明の案内装置の一実施例の構成を示す図、
第２図は本発明の装置を構成するベースとスライダとの
部分の構成を示す斜視図である。 １・・・ベース、２・・・スライダ、４Ａ、、 ４．Ｂ
、 ４−Ｃ。 ４Ｄ・・・圧力流体供給管、７，８・・・センサ、９゜
１０・・・制御器、９Ａ、１０Ａ・・・記憶部、９Ｂ。 １０Ｂ・・・比較部、９Ｃ，１，ＯＣ・・・制御部。
Claims (1)
- １、ベースと、ベース上に静圧軸受により浮上支持され
たスライダとを有する案内装置において、前記静圧軸受
に圧力流体を供給する手段と、スライダのベースの歪２
曲りに対する変位量を検出する検出手段と、この検出手
段からの信号により静圧軸受への供給圧力を制御する手
段とを備えたことを特徴とする案内装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59007173A JPS60150950A (ja) | 1984-01-20 | 1984-01-20 | 案内装置 |
| US06/692,574 US4630942A (en) | 1984-01-20 | 1985-01-18 | Guiding apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59007173A JPS60150950A (ja) | 1984-01-20 | 1984-01-20 | 案内装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60150950A true JPS60150950A (ja) | 1985-08-08 |
Family
ID=11658685
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59007173A Pending JPS60150950A (ja) | 1984-01-20 | 1984-01-20 | 案内装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4630942A (ja) |
| JP (1) | JPS60150950A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63232912A (ja) * | 1987-03-19 | 1988-09-28 | Canon Inc | 流体軸受装置 |
| US5005298A (en) * | 1986-09-09 | 1991-04-09 | Hitachi Construction Machinery Co., Ltd. | Displacement controller for fine positioning device |
| JPH05104405A (ja) * | 1991-10-16 | 1993-04-27 | Canon Inc | 切削状態監視装置 |
| US5257461A (en) * | 1992-04-27 | 1993-11-02 | Warner & Swasey | Coordinate measuring machine construction |
| US7894140B2 (en) | 2006-11-14 | 2011-02-22 | Asml Holding N.V. | Compensation techniques for fluid and magnetic bearings |
Families Citing this family (35)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4964149A (en) * | 1987-02-09 | 1990-10-16 | Picker International, Inc. | Fluid controlled counterbalance and power-assist for radiation imaging |
| NL8701139A (nl) * | 1987-05-13 | 1988-12-01 | Philips Nv | Geleideinrichting. |
| US4913021A (en) * | 1988-11-29 | 1990-04-03 | Eastman Kodak Company | High-precision punch and die apparatus |
| US4913012A (en) * | 1988-11-29 | 1990-04-03 | Eastman Kodak Company | High-precision punch and die method |
| JPH0786369B2 (ja) * | 1989-02-04 | 1995-09-20 | 豊田工機株式会社 | 角スライド静圧支承装置 |
| JPH0735813B2 (ja) * | 1989-08-30 | 1995-04-19 | 豊田工機株式会社 | 静圧軸受 |
| NL8902471A (nl) * | 1989-10-05 | 1991-05-01 | Philips Nv | Tweetraps positioneerinrichting. |
| JP3006874B2 (ja) * | 1990-11-16 | 2000-02-07 | 日本トムソン株式会社 | 位置決めテーブル |
| US7365513B1 (en) | 1994-04-01 | 2008-04-29 | Nikon Corporation | Positioning device having dynamically isolated frame, and lithographic device provided with such a positioning device |
| US5874820A (en) | 1995-04-04 | 1999-02-23 | Nikon Corporation | Window frame-guided stage mechanism |
| US5528118A (en) * | 1994-04-01 | 1996-06-18 | Nikon Precision, Inc. | Guideless stage with isolated reaction stage |
| US6989647B1 (en) | 1994-04-01 | 2006-01-24 | Nikon Corporation | Positioning device having dynamically isolated frame, and lithographic device provided with such a positioning device |
| US6246204B1 (en) | 1994-06-27 | 2001-06-12 | Nikon Corporation | Electromagnetic alignment and scanning apparatus |
| US5623853A (en) * | 1994-10-19 | 1997-04-29 | Nikon Precision Inc. | Precision motion stage with single guide beam and follower stage |
| US6008500A (en) * | 1995-04-04 | 1999-12-28 | Nikon Corporation | Exposure apparatus having dynamically isolated reaction frame |
| TW318255B (ja) | 1995-05-30 | 1997-10-21 | Philips Electronics Nv | |
| US5760564A (en) * | 1995-06-27 | 1998-06-02 | Nikon Precision Inc. | Dual guide beam stage mechanism with yaw control |
| US5769545A (en) * | 1996-12-04 | 1998-06-23 | Bently Nevada Corporation | Hydrostatic bearing for supporting rotating equipment, a fluid handling system associated therewith, a control system therefore, method and apparatus |
| CH693071A5 (de) * | 1998-01-23 | 2003-02-14 | C R I D S A Cie De Rech S Ind | Gleitlager. |
| WO1999053207A1 (en) * | 1998-04-13 | 1999-10-21 | Thomson Industries, Inc. | Self-compensating hydrostatic bearing |
| US6142672A (en) * | 1998-06-22 | 2000-11-07 | Bently Nevada Corporation | Fluid flow and control system for a hydrostatic bearing supporting rotating equipment: method and apparatus |
| DE19934291B4 (de) * | 1998-08-07 | 2004-08-26 | Karl-Heinz Wiemers | Verfahren und Vorrichtung zur mechanischen Bearbeitung von Werkstücken und zur Montage/Demontage von Baugruppen |
| US6324933B1 (en) * | 1999-10-06 | 2001-12-04 | Agere Systems Guardian Corp. | Planar movable stage mechanism |
| US6428210B1 (en) | 2000-07-11 | 2002-08-06 | Lintech Motion Control, Inc. | Precision air bearing slide and stage assembly for controlled linear motion |
| JP2002283174A (ja) * | 2001-03-26 | 2002-10-03 | Fanuc Ltd | 直線駆動装置 |
| JP2005032818A (ja) * | 2003-07-08 | 2005-02-03 | Canon Inc | 静圧軸受、位置決め装置、並びに露光装置 |
| JP2006083939A (ja) * | 2004-09-16 | 2006-03-30 | Fanuc Ltd | 流体軸受構造及び軸受隙間の調整方法 |
| JP4276277B2 (ja) * | 2007-09-11 | 2009-06-10 | ファナック株式会社 | 流体軸受構造および流体軸受の組立方法 |
| CN101769336B (zh) * | 2009-01-05 | 2013-02-13 | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 | 空气导轨 |
| DE102010047048B4 (de) | 2010-09-30 | 2018-03-01 | Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover | Fluidostatische Positionierachse |
| CN102189412A (zh) * | 2011-05-13 | 2011-09-21 | 东北大学 | 一种主动控制闭式静压导轨 |
| CN104204717B (zh) | 2012-01-26 | 2017-07-04 | 卡尔蔡司工业测量技术有限公司 | 确定用于监测流体轴承和具有至少一个流体轴承的机器的校正值的方法 |
| EP3009225A1 (en) * | 2014-10-17 | 2016-04-20 | Bostek Innovation S.L.U. | Gantry machine tool with large horizontal support crossbeam with horizontal counterbalancing device |
| DE102017205536A1 (de) * | 2017-03-31 | 2018-10-04 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Luftlager mit variabler Luftzuführung |
| JP7052555B2 (ja) * | 2018-05-21 | 2022-04-12 | 株式会社ジェイテクト | 研削装置 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3053589A (en) * | 1959-04-07 | 1962-09-11 | Nat Res Dev | Journal bearings |
| US3100130A (en) * | 1960-12-15 | 1963-08-06 | Mecanorga S A | Self-adjusting fluid bearing |
| CH383086A (fr) * | 1962-10-26 | 1964-10-15 | Mecanorga S A | Dispositif pour maintenir constante, suivant une direction déterminée, la distance entre les surfaces voisines, séparées par un léger jeu, d'un corps de référence et d'un corps mobile |
| JPS5485678A (en) * | 1977-12-20 | 1979-07-07 | Canon Inc | High accuracy alignment method for air bearing guide system xy stage |
| JPS56126547A (en) * | 1980-03-06 | 1981-10-03 | Makino Milling Mach Co Ltd | Machine equipped with load compensating guide face |
| NL8204383A (nl) * | 1981-11-13 | 1983-06-01 | Citizen Watch Co Ltd | Micro-instelbare verplaatsings- en rotatie-instelinrichting. |
-
1984
- 1984-01-20 JP JP59007173A patent/JPS60150950A/ja active Pending
-
1985
- 1985-01-18 US US06/692,574 patent/US4630942A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5005298A (en) * | 1986-09-09 | 1991-04-09 | Hitachi Construction Machinery Co., Ltd. | Displacement controller for fine positioning device |
| JPS63232912A (ja) * | 1987-03-19 | 1988-09-28 | Canon Inc | 流体軸受装置 |
| JPH05104405A (ja) * | 1991-10-16 | 1993-04-27 | Canon Inc | 切削状態監視装置 |
| US5257461A (en) * | 1992-04-27 | 1993-11-02 | Warner & Swasey | Coordinate measuring machine construction |
| US7894140B2 (en) | 2006-11-14 | 2011-02-22 | Asml Holding N.V. | Compensation techniques for fluid and magnetic bearings |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4630942A (en) | 1986-12-23 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS60150950A (ja) | 案内装置 | |
| US4653408A (en) | Table mechanism for controlling table attitude | |
| US4193644A (en) | Servo control system | |
| US4884329A (en) | Precision automatic assembly apparatus, with electromagnetically supported member and assembly method using same | |
| US6230070B1 (en) | Work position adjusting apparatus and adjusting method | |
| CN109443203B (zh) | 一种高精度的二维工作台z轴误差补偿方法及系统 | |
| US9979262B2 (en) | Positioning device in gantry type of construction having a position-measurement device for measuring the position of a carriage relative to a cross-member | |
| US4504048A (en) | Micro-adjustable displacement and rotation setting apparatus | |
| US5212873A (en) | Position-sensing probe | |
| US4604833A (en) | Table mechanism | |
| US7504794B2 (en) | Planar motor | |
| JPH07334245A (ja) | 超精密送り装置およびこれを用いたｘｙテ−ブル並びにテ−ブル移送装置 | |
| US4569248A (en) | Coupling arm for transmitting linear motion | |
| US6120004A (en) | Variable capillary apparatus for hydrostatic bearing and motion error compensating method using same | |
| JP2628523B2 (ja) | 表面形状測定用トレーサ | |
| Shimokohbe et al. | A high precision straight-motion system | |
| JP2002022868A (ja) | Ｘ−ｙステージの可動テーブルの支持構造 | |
| JP2747254B2 (ja) | 流体軸受装置 | |
| JPH0435293B2 (ja) | ||
| JPS60111910A (ja) | 精密平面精度測定装置 | |
| JPS6190804A (ja) | 工作機械 | |
| LAZAK et al. | COMPENSATION OF WORKTABLE MOTION ERROR BY AN ACTIVELY CONTROLLED HYDROSTATIC GUIDEWAY. | |
| JPS63232912A (ja) | 流体軸受装置 | |
| JPH0435294B2 (ja) | ||
| CN118139404A (zh) | 安装装置和安装方法 |