JP4276277B2 - 流体軸受構造および流体軸受の組立方法 - Google Patents
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Description
空気軸受などの流体軸受は、軸受間隙が軸受剛性と関係しており、軸受間隙が狭い方が軸受剛性は高くなる。高い軸受剛性を持たせ、かつ、軸受が非接触の状態を保つには軸受間隙を数ミクロンにする必要がある。
この数ミクロンの軸受間隙が狭すぎると、外力によって容易に軸受が接触するので、負荷容量が少なくなり、逆に広すぎると十分な軸受剛性が得られなくなるため、最適な軸受間隙に管理する必要がある。
数ミクロンの軸受間隙を形成するために、軸受を構成する部品を軸受間隙が数ミクロンとなるように加工する必要がある。軸受間隙を数ミクロンの目標にするために、部品の寸法測定と加工を繰り返し実行しなければならず、機械加工のみでこの部品を加工することは、非常に時間を要している。そして、各部品を加工した後は、その軸受間隙を調整することができない。軸受間隙の調整が可能で、軸受を構成する部品の機械加工の負担を軽減する流体軸受の構造として、特許文献1に公開される技術がある。
しかしながら、特許文献1に公開される流体軸受の組み立て時には、各面の空気軸受の間隙をインジケータを用いて測定し微調整を行いながら作業を実施する必要があった。この組立方法では、調整作業に時間がかかるだけでなく、間隙を全体的に均一に調整して空気軸受を組み立てることは非常に困難であった。
本発明の目的は、流体軸受を組み立てるに際し、作業者が煩雑な調整作業を行う必要がないだけでなく、常に、正確な軸受間隙で組み立てることが可能な、流体軸受構造およびその組立方法を提供することである。
また、空気軸受を使用する高精度の3次元測定器のような測定器や加工機は、一般的には恒温槽内で稼動する。したがって、室温が常時一定であるので構成材料の熱膨張で流体軸受間隙が変化することもない。
図1(a)は、本発明の実施形態である流体軸受の概要の説明図である。符号20は、流体軸受をガイドするための機械などに固定される軸受ガイドである。この軸受ガイド20を包囲するように箱型の軸受(スライダ)10が構成されている。
図1(b)は、箱形の軸受(スライダ)10を構成する平坦な面とそれに垂直な端面とを備えた板状部材1の斜視図である。板状部材1の平坦な面6には、その一端辺部にボルト挿通孔2がその端部の辺に沿って複数(この実施形態では3つ)形成されている。また、このボルト挿通孔2が形成された端部に対向する辺側の端面7には、ボルト挿通孔2と対応するようにタップ穴3が辺に沿って複数(この実施形態では3つ)形成されている。また、板状部材1の平坦な面6には、複数(図1(b)では4つを図示している)の流体吐出口4が設けられている。
この板状部材1を4枚組み合わせて、箱形の軸受(スライダ)10を形成する。1つの板状部材1の端面7に他の板状部材1の平坦な面6を当接し、端面7に設けられたタップ穴3とボルト挿通孔2の位置を合わせ、ボルト5をボルト挿通孔2に通して、タップ穴と螺合させて2つの板状部材1を結合する。同様にして、4枚の板状部材1を結合し箱形の軸受(スライダ)10を形成する。
図3に示される実施形態では、軸受ガイド20の断面寸法が100*100mmの正方形、軸受(スライダ)10の線熱膨張係数が10*10-6/℃、軸受ガイド20の線熱膨張係数が20*10-6/℃としている。材質の例としては、軸受(スライダ)10に用いる線膨張係数の小さいステンレスと軸受ガイド20に用いる線膨張係数の大きいジュラルミンとの組み合わせを例としている。
なお、軸受流体を組み立てる温度において、板状部材1と軸受ガイド20とが密着して軸受(スライダ)10を形成できるように、タップ穴3の形成位置およびボルト孔の形成位置を正確に工作すれば、前記および図7に示されるように、ボルト5の径よりもボルト挿通孔2の径を大きくすることにより微調整可能とする構成をとらなくてもよい。
また、本発明の流体軸受構造が温度環境の変化によって破壊されるのを防止するため、当該流体軸受構造を有する測定装置や加工機に加温装置や冷却装置の温度調節器を具備させることも当業者が必要に応じて実施してもよい。
2 ボルト挿通孔
3 タップ穴
4 流体吐出口
5 ボルト
6 平坦な面
7 端面
8 流体軸受面
10 軸受(スライダ)
20 軸受ガイド
Claims (3)
- ガイドとスライドからなる流体軸受構造であって、前記スライドは、平坦な面とそれに直角な端面を有する四角形状の板状部材の一方の辺の近傍に該辺に沿って2以上のボルト挿通孔を設け、対抗する他方の辺の辺側の前記端面にボルト挿通孔に対応してタップ穴を設け、一方の板状部材のボルト挿通孔にボルトを挿通して他方の板状部材のタップ穴と螺合させて、4枚の前記板状部材をボルトで結合して箱型とし、前記箱型の内面を流体軸受の軸受面として前記ガイドが挿通された流体軸受構造において、
前記流体軸受の軸受面は、駆動方向に垂直な断面形状が略正方形または略正方形の一部であり、前記流体軸受を使用する温度と異なる温度環境の下で前記ガイドと前記スライドの軸受間隙部を密着させて組み立て、前記使用する温度での軸受間隙を組み立て時の前記温度環境の設定温度により調整可能とするように、前記ガイドと前記スライドとがそれぞれ熱膨張率の異なる材質であることを特徴とする流体軸受構造。 - ガイドとスライドからなる流体軸受構造であって、前記スライドは、平坦な面とそれに直角な端面を有する四角形状の板状部材の一方の辺の近傍に該辺に沿って2以上のボルト挿通孔を設け、対抗する他方の辺の辺側の前記端面にボルト挿通孔に対応してタップ穴を設け、一方の板状部材のボルト挿通孔に該ボルト挿通孔の径より小さい径のボルトを挿通して他方の板状部材のタップ穴と螺合させて、4枚の前記板状部材をボルトで結合して箱型とし、箱の内面を流体軸受の軸受面としてガイドが挿通され、前記ボルト挿通孔に対するボルトの挿通位置を調整することにより、軸受間隙を調整できるようにした流体軸受構造において、
前記流体軸受の軸受面は、駆動方向に垂直な断面形状が略正方形または略正方形の一部であり、該流体軸受を使用する温度と異なる温度環境下で、前記ガイドと前記スライドの軸受間隙部を密着させて組み立て、前記使用する温度での軸受間隙を組み立て時の前記温度環境の設定温度により調整可能とするように、前記ガイドと前記スライドとがそれぞれ熱膨張率の異なる材質であることを特徴とする流体軸受構造。 - ガイドとスライドからなる流体軸受を組み立てる方法であって、前記流体軸受の軸受面は、駆動方向に垂直な断面形状が略正方形または略正方形の一部であり、前記ガイドと前記スライドとがそれぞれ熱膨張率の異なる材質を選択し、該流体軸受を使用する温度と異なる温度環境下で前記ガイドと前記スライドの軸受間隙部を密着させて組み立て、前記使用する温度での軸受間隙を組み立て時の前記温度環境の設定温度により調整可能とすることを特徴とした流体軸受の組立方法。
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