JP2009156313A - リニアガイドおよびこれを利用した位置決めテーブル装置 - Google Patents
リニアガイドおよびこれを利用した位置決めテーブル装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009156313A JP2009156313A JP2007333431A JP2007333431A JP2009156313A JP 2009156313 A JP2009156313 A JP 2009156313A JP 2007333431 A JP2007333431 A JP 2007333431A JP 2007333431 A JP2007333431 A JP 2007333431A JP 2009156313 A JP2009156313 A JP 2009156313A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rail
- linear guide
- base
- bush
- rolling
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
- F16C29/004—Fixing of a carriage or rail, e.g. rigid mounting to a support structure or a movable part
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
- F16C29/005—Guide rails or tracks for a linear bearing, i.e. adapted for movement of a carriage or bearing body there along
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
- F16C29/04—Ball or roller bearings
- F16C29/06—Ball or roller bearings in which the rolling bodies circulate partly without carrying load
- F16C29/0633—Ball or roller bearings in which the rolling bodies circulate partly without carrying load with a bearing body defining a U-shaped carriage, i.e. surrounding a guide rail or track on three sides
- F16C29/0635—Ball or roller bearings in which the rolling bodies circulate partly without carrying load with a bearing body defining a U-shaped carriage, i.e. surrounding a guide rail or track on three sides whereby the return paths are provided as bores in a main body of the U-shaped carriage, e.g. the main body of the U-shaped carriage is a single part with end caps provided at each end
- F16C29/0638—Ball or roller bearings in which the rolling bodies circulate partly without carrying load with a bearing body defining a U-shaped carriage, i.e. surrounding a guide rail or track on three sides whereby the return paths are provided as bores in a main body of the U-shaped carriage, e.g. the main body of the U-shaped carriage is a single part with end caps provided at each end with balls
- F16C29/064—Ball or roller bearings in which the rolling bodies circulate partly without carrying load with a bearing body defining a U-shaped carriage, i.e. surrounding a guide rail or track on three sides whereby the return paths are provided as bores in a main body of the U-shaped carriage, e.g. the main body of the U-shaped carriage is a single part with end caps provided at each end with balls with two rows of balls, one on each side of the rail
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Bearings For Parts Moving Linearly (AREA)
Abstract
【課題】レールのボルト周りに生じる変形を最小に保って高精度な位置決めを果たすことを可能にしたリニアガイドを提供する。
【解決手段】リニアガイドは転動溝3a、3bを有するレール1を備える。このレール1はレール底面に通したボルト孔4周縁にレール取り付け用ベースのブッシュ周りの逃げに対応させて形成される穴11を備える。
【選択図】図1
【解決手段】リニアガイドは転動溝3a、3bを有するレール1を備える。このレール1はレール底面に通したボルト孔4周縁にレール取り付け用ベースのブッシュ周りの逃げに対応させて形成される穴11を備える。
【選択図】図1
Description
本発明は直線案内用レールの取り付け用基部への組み付けで高精度を維持して組み付けることを可能にしたリニアガイドおよびこれを利用した位置決めテーブル装置に関する。
テーブルなどの移動体を直線案内するためにリニアガイドが多用されている。このリニアガイドにはテーブルを直線案内するレールが組み込まれており、ボールなどの転動体に支承されたスライダがこのレール上を軸方向に運動するように構成される。このようなレールは、たとえば半導体製造装置、工作機械などの精密位置決めテーブルに使用するものではテーブル位置決めなどに誤差を生じさせないように、高い真直度を維持することを求められる。
レールのボール転動溝の真直度を狂わせる要因に一つにレールの機械加工では十分満足できる加工精度に仕上げたものがその後のレールの組み立てにおいてレールをベースに組み付けるときにボルトの締め付けで生じる軸力によってレールが変形し、このとき転動溝の真直度が大きく低下することがある。レールの転動溝に生じるこうした現象は締結部材の位置に倣って同じ間隔で周期的に現われる。
組み立て時のレールの変形に起因する真直度の低下を軽減する意図でレールの使用条件とほぼ同じ条件でレールを固定し、転動溝を研削加工することがある。しかし、この方法はボルトを締め付ける際に実際にトルク測定しながら軸力を一定に維持しようとしても、接合底面の状態が同じ状態にならず、軸力が一定しない傾向があり、また一方、レールを組み付けるベースの厚さ、ベースの材質など相違によっても軸力が変化してしまい、転動溝の真直度の低下を食い止めることができない。
一方、ボルトの座ぐり深さをより深くしてレール底面からボルト接合面までの距離をより小さくして転動溝の弾性変形の絶対値を小さくする試みある(たとえば、特開平8−303459号公報)。この方法では転動溝の変形量について0.1μm以下という値を得ることができる。しかしながら、この方法も適用可能なレールに限りがある。
特開平8−303459号公報、第3頁、図1−図3
レールの転動溝の研削加工ではレールおよび加工用治具(ベース状の治具)の条件をレール組み立て時とのレールおよび正規の取り付け用ベースの条件とを合わせることが望ましい。現状、石またはセラミックスでベースを構成する場合、ボルトを用いてレールを締め付けるにはベース上のレール固定位置に金属製のブッシュを装着することが欠かせず、こうしたブッシュの埋め込みではベースの平坦度を維持するために平坦に加工したベースの上面とブッシュ端面との間に逃げを設けている。
転動溝の真直度についてレールの研削で慎重に加工し、望ましい値に維持できたとしても、レールを正規のベースに取り付けてボルトで締め上げたとき、ベースには上記のブッシュを取り囲む逃げがあるためレールのボルト周りに締め付けに伴う軸力によって変形が生じ、転動溝の真直度が加工時の値と比べて少なからず悪化する。
レールのボルト周りに生じる変形を抑える十分な手立てがないと、これを組み込んだ位置決めテーブルのリニアガイドにおいて直線変位するスライダの運動がスムーズでなくなり、テーブル位置決めなどに誤差が発生する。
本発明の目的はレールのボルト周りに生じる変形を最小に保って高精度な位置決めを果たすことを可能にしたリニアガイドおよびこれを利用した位置決めテーブル装置を提供することにある。
本発明は複数の転動溝を有するレールと、レールの転動溝内に配置される複数の転動体に支承され、軸方向に移動可能に設けられたスライダとを備え、レールがレール本体を貫いて穿たれたボルト孔によって取り付け用基部に固定されるようにしたリニアガイドにおいて、レールの底面に通したボルト孔周縁に取り付け用基部のブッシュ周りの逃げに対応させて凹部を設けたことを特徴とするものである。
本発明においては取り付け用基部のブッシュ周りの逃げに対応させて凹部を設けている。このような凹部によりレール研削加工時点とレール組み立て時点とにおいてレールおよび基部の双方の間に接合座面の食い違いが生じない。すなわち、レールおよび基部の双方の間で接合座面の不揃いをなくし、一致させることができる。したがって、レールの変形の再現性が極めて良好で、転動溝の真直度を研削加工時の値に近い値を維持することが可能になる。
本発明によるリニアガイドの一実施の形態について図面を参照して説明する。図3において、本実施の形態のリニアガイドはレール1と、このレール1に沿って軸方向に移動可能に設けられたスライダ2とを備える。レール1は各側面に軸方向に刻設された2条の転動溝3a、3bを有する。上側の転動溝3aは上面と側面とが交わる稜線に沿って形成されており、これは1/4円弧状のゴシックアーク溝である。また、下側の転動溝3bは側面に沿って形成され、これは1/2円弧状のゴシックアーク溝である。
さらに、レール1は所定のピッチで上面から底面にかけて穿つ4個のボルト孔4(4個のうち、2個についてはスライダ2の下に隠れている)を有する。それぞれボルト孔4はステップ状に形成されており、後記のように底面に近い位置にボルト頭部を置く座を有する。
一方、スライダ2はスライダ本体5と、このスライダ本体5の前後方向端部にそれぞれ設けられるエンド・キャップ6a、6bとを備える。スライダ本体5は袖部7a、7bの内側側面に転動溝3a、3bに対向して形成される、図示しない転動溝を有し、これはレール1の転動溝3a、3bと同じゴシックアーク溝である。また、袖部7a、7bを軸方向に貫いて形成される図示しない転動体用戻し路を備える。
さらに、エンド・キャップ6a、6bはスライダ本体5の転動溝と転動体用戻し路とを結ぶ湾曲通路を有し、転動溝と戻し路と2つの湾曲通路とによってボールなどの転動体のための循環回路が形成されている。スライダ2はこの循環する転動体に支承されてレール1に沿って軸方向に移動する。なお、図において、符号8はサイドシールを示しており、符号9はグリース・ニップルを示している。
図1(a)(b)に示すように、レール1はボルト孔4を穿設しているレール本体10を備える。このレール本体10は底面に通したボルト孔4の周縁に削成された円錐形の穴11を有する。この穴11はレール本体10の底面から座ぐり加工で図2に示すベース12と干渉しない、たとえば4.5mmの深さに刻まれる。穴11の直径はベース12に装着したブッシュ13周りの逃げ14と同じ直径である。なお、図2において、符号15はベース12にレール1を締め付けるためのボルトを示している。
本実施の形態ではレール1が下面に通したボルト孔4の周縁にブッシュ13の逃げ14と同じ直径を有する穴11を有するので、レール研削加工とレール組み立てとにおいてレールおよびベース双方の間に接合座面の食い違いが生じない。従来、レールおよびベース双方の間に接合座面の食い違いが大きく、研削加工時点では満足できる転動溝の真直度を維持することができても、レール組み立て時点ではボルト15の締め付けに伴う軸力でレールが変形し、転動溝の真直度を維持できなくなっていた。接合座面の不揃いを最小限に留めている本実施の形態のものはレール1の変形の再現性が極めて良好で、転動溝の真直度を研削加工時の値に近い値を保つことができる。
レールの変形状態を有限要素法により解析した結果を図4(a)(b)に示す。図4(a)が従来の接合座面に相違がある場合の解析結果で、図4(b)が接合座面の食い違いが生じない、本実施の形態のレールを加工後、正規のベースに組み付けた場合の解析結果である。図4(a)の従来の接合座面に相違がある場合には研削加工時点では転動溝3a、3bが高精度に維持されているが、正規のベースに組み付けた場合に解析結果に見るように変形を生じることが判る。この値は標準サイズのレールで1〜2μmである。これに対し、本実施の形態のレールにおいては転動溝3a、3bの精度が研削加工および組み立て時点で殆ど変化せず、標準サイズのレールで1μm以下になる。
なお、ブッシュ13周りの逃げ14の影響を少なくするために締め付けに伴う軸力を安定させる必要があり、レール研削加工およびレール組み立てにおいてそれぞれボルト15を締め付けるとき、トルクレンチを用いて一定の値で締め付けるようにする。
本発明の異なる実施の形態について説明する。図5(a)(b)において、レール1はボルト孔4を穿設しているレール本体10を有する。このレール本体10はボルト孔4の周縁に形成された円形の穴16を備える。この円形の穴16は底面から座ぐり加工で相手ベースと干渉しない、1.5mmの深さに刻まれる。上記実施の形態と同様に、穴16の直径はベースに埋め込まれたブッシュ周りの逃げと同じ直径である。
本実施の形態においては、レール1がブッシュ周りの逃げと同じ直径の穴16を有する。このようなレール1によれば、レール研削加工とレール組み立てとにおいてレールおよびベース双方の間に接合座面の食い違いが生じない。この接合座面に一致によりレール1の変形を抑えることが可能で、上記実施の形態と同様に、組み立て時における転動溝の真直度を研削加工時の値に近い値に保つことができる。
本発明に係るリニアガイドを利用した位置決めテーブルについて説明する。図6(a)(b)において、本発明の位置決めテーブルは水平方向に動くXYテーブル21を有する。このXYテーブル21は水平方向に運動するXテーブル22とXテーブル22に沿って運動するYテーブル23とで構成される。Xテーブル22は後記のリニアガイドによってX軸方向(図6(a)参照)に案内されるようになっている。Xテーブル22は送り機構としてのボールねじ式駆動装置24と連結されている。
また、位置決めテーブルはセラミックスから製作されるベース25を備える。このベース25は平坦度を高く保って加工された水平面26を備えており、この水平面26に後に詳述される2本のリニアガイド27を有する。Xテーブル22はリニアガイド27のレール28上に間隔をおいて配置される2個のスライダ29に支承されている(図7参照)。
図6(b)に示すように、Yテーブル23はベース25に配置した4個の静圧気体軸受30上にそれぞれコラム31を介して支承される。このような静圧気体軸受30を組み込むことで、Yテーブル23の直線運動中、ベース25とYテーブル23とが非接触に保たれる。また、Yテーブル23はその下面にXテーブル22の各側面32のとの間に僅かの間隙を保って配置される2個の静圧気体軸受33を備える(図7参照)。この静圧気体軸受33によりXテーブル22のX軸に沿う直線運動がYテーブル23と非接触で伝達することができる。
さらに、XYテーブル21は双方のテーブル22、23の間に設けられるリニアモータ34を備える。このリニアモータ34はXテーブル22に固定される固定子35と、Yテーブル23に装着された移動子36とで構成される。Yテーブル23はテーブル位置を検出するためのL形ミラー37と、L形ミラー37とそれぞれ対向して配置される2個のレーザ測長器38とを備える。
図8に示すように、セラミックス製のベース25にブッシュ39が埋め込まれている。このブッシュ39周りにはベース25を削り落として逃げを削成している。一般に、たとえば金属製のブッシュとセラミックスからなるベースとは材質の相違から寸法上の安定性に差があり、仮に研削加工等で面一に仕上げても、位置決めテーブル供用中には金属の伸びが大きく、ベースの上面にブッシュが僅かに突出する可能性がある。これを防ぐためブッシュ周りには予め逃げを形成することで、ブッシュが突出する不具合を軽減している。本実施の形態のレール28は、図9に示すようなブッシュ周りの逃げと同じ直径の穴40を有する。
このようなレール28によれば、レール研削加工とレール組み立てとにおいてレールおよびベース双方の間に接合座面の食い違いが生じない。この接合座面に一致によりレール28の変形を抑えることが可能で、組み立て時における転動溝の真直度を研削加工時の値に近い値に保つことができる。これにより、スライダ29の運動に微少な狂いを生じないでXテーブル22を高い精度を維持して位置決めすることができる。
1、28… レール
2、29… スライダ
3a、3b… 転動溝
4… ボルト孔
10… レール本体
11、16、40… 穴
13、39… ブッシュ
14… 逃げ
22… Xテーブル
23… Yテーブル
25… ベース
27… リニアガイド
30、33… 静圧気体軸受
2、29… スライダ
3a、3b… 転動溝
4… ボルト孔
10… レール本体
11、16、40… 穴
13、39… ブッシュ
14… 逃げ
22… Xテーブル
23… Yテーブル
25… ベース
27… リニアガイド
30、33… 静圧気体軸受
Claims (4)
- 複数の転動溝を有するレールと、前記レールの転動溝内に配置される複数の転動体に支承され、軸方向に移動可能に設けられたスライダとを備え、前記レールがレール本体を貫いて穿たれたボルト孔によって取り付け用基部に固定されるようにしたリニアガイドにおいて、前記レールの底面に通した前記ボルト孔周縁に前記取り付け用基部のブッシュ周りの逃げに対応させて凹部を設けたことを特徴とするリニアガイド。
- 前記凹部が前記ブッシュ周りの逃げにほぼ等しい直径を有する円錐形穴からなることを特徴とする請求項1記載のリニアガイド。
- 前記凹部が前記ブッシュ周りの逃げにほぼ等しい直径を有する円形穴からなることを特徴とする請求項1記載のリニアガイド。
- 取り付け用基部に請求項1ないし3のいずれか1項に記載のリニアガイドを組み付けてなる位置決めテーブル装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007333431A JP2009156313A (ja) | 2007-12-26 | 2007-12-26 | リニアガイドおよびこれを利用した位置決めテーブル装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007333431A JP2009156313A (ja) | 2007-12-26 | 2007-12-26 | リニアガイドおよびこれを利用した位置決めテーブル装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009156313A true JP2009156313A (ja) | 2009-07-16 |
Family
ID=40960560
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007333431A Pending JP2009156313A (ja) | 2007-12-26 | 2007-12-26 | リニアガイドおよびこれを利用した位置決めテーブル装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2009156313A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7355421B1 (ja) * | 2022-10-24 | 2023-10-03 | 豊司 風間 | 摺動案内機構及び摺動案内機構の製造方法 |
-
2007
- 2007-12-26 JP JP2007333431A patent/JP2009156313A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7355421B1 (ja) * | 2022-10-24 | 2023-10-03 | 豊司 風間 | 摺動案内機構及び摺動案内機構の製造方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6962398B2 (ja) | ボールねじ装置 | |
US7798719B2 (en) | Method of manufacturing linear guide device and track rail for the linear guide device | |
US4475776A (en) | Linear slide bearing | |
EP1783385B1 (en) | Rolling guiding device | |
US20040129856A1 (en) | Vertical guide unit and stage system with the same unit | |
US6238092B1 (en) | Air bearing for a motion system | |
JPS6211211B2 (ja) | ||
JP2003247543A (ja) | 直動案内ユニット | |
JP4071974B2 (ja) | 直動案内ユニット | |
JP2009156313A (ja) | リニアガイドおよびこれを利用した位置決めテーブル装置 | |
KR101536954B1 (ko) | 툴홀더의 직진성이 향상된 미소절삭장치 | |
CN114483782A (zh) | 直动引导单元 | |
GB2166812A (en) | Linear slide rolling bearings | |
JP2007247773A (ja) | リニアガイド装置およびその位置決め方法 | |
JP2007155036A (ja) | リニアブッシュ及びその製造方法 | |
JPH07127638A (ja) | 位置決め機構を内蔵した直動案内装置 | |
JP3893523B2 (ja) | リニアガイド | |
JPH0255647B2 (ja) | ||
JPH0155937B2 (ja) | ||
JP2575926B2 (ja) | 直線案内装置 | |
JP2542192Y2 (ja) | 直動転がり案内ユニット | |
JPS63308264A (ja) | 直線運動案内機構の予圧調整装置 | |
JP5916929B1 (ja) | 非円形加工装置 | |
JPH05138428A (ja) | 直動転がり案内ユニツトにおけるトラツクレール用埋栓切削加工装置及び該埋栓切削加工方法 | |
JPH07279957A (ja) | リニアガイド装置の案内レール |