KR101536954B1

KR101536954B1 - 툴홀더의 직진성이 향상된 미소절삭장치

Info

Publication number: KR101536954B1
Application number: KR1020130161705A
Authority: KR
Inventors: 박종권; 최수창; 노승국; 김병섭; 이성철
Original assignee: 한국기계연구원
Priority date: 2013-12-23
Filing date: 2013-12-23
Publication date: 2015-07-17
Also published as: KR20150073710A

Abstract

툴홀더의 직진성이 향상된 미소절삭장치가 개시되어 있다.
개시된 툴홀더의 직진성이 향상된 미소절삭장치는,
후방에, 가공머신의 결합부에 결합하기 위한 상대 결합부가 구비되고, 전방에 설치챔버가 마련된 원통형의 본체; 상기 설치챔버에 인입되는 스프링 하우징과, 상기 스프링 하우징의 전방에 구비된 채 상기 본체의 전면에 고정되는 고정판으로 이루어진 스프링 홀더; 상기 스프링 홀더의 축방향 중심부에 배치된 채, 툴을 홀딩하는 툴홀더; 상기 스프링 하우징의 내주면에 외주가 고정되고, 상기 툴홀더의 외주면에 내주가 고정되어, 상기 툴홀더가 스프링 홀더에 지름방향으로 탄력 지지되게 하는 다수의 판스프링; 및 상기 툴홀더를 전진시켜주는 액츄에이터;를 포함하되, 상기 툴홀더의 후방에는 액츄에이터의 선단부가 삽입되는 액츄에이터 삽입홈이 형성되되, 상기 액츄에이터 삽입홈과 이에 접하는 액츄에이터 선단은 구경이 다른 구면으로 이루어져 점 접촉되는 것을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

툴홀더의 직진성이 향상된 미소절삭장치{Improved linearity of tool holder the FTS}

본 발명은 툴홀더의 직진성이 향상된 미소절삭장치에 관한 것이다.

특히, 툴홀더와 홀더 하우징 사이를 2개 이상의 판스프링에 의해 병렬로 연결하되, 판스프링을 축선을 중심으로 방사상으로 대칭되게 배치하여 툴홀더의 직진운동시 편향되지 않고 정확한 직진운동이 가능토록 한 점, 툴을 툴홀더에 척킹할 때 척킹수단으로 상온에서 수축되고 냉각시에는 팽창하는 형상기억합금으로 된 척킹링을 적용함으로써 툴을 견고하게 고정시킬 수 있도록 한 점에 특징을 갖는 톨홀더의 직진성이 향상된 미소절삭장치에 관한 것이다.

최근 반도체, 항공우주, 영상정보, 정밀기계 산업이 발전하면서 초정밀 가공기술에 대한 필요성이 더욱 증가하고 있는 추세이다. 초정밀 가공법중 다이아몬드 공구를 사용한 초정밀 절삭기술은 절입량이 수 ㎛에서 수십 ㎛이지만, 이 절입량을

서브마이크로미터 이하로 제어하면 결정립계 단차가 없는 표면과 결함이 없는 이상적인 표면이 얻어질 가능성이 있다.

그러나, 초정밀 가공기에서는 주축, 이송장치 등 주요 부품의 운동특성이 가공정밀도에 미치는 영향이 매우 크므로 보다 높은 가공정밀도를 실현하기 위해서는 각각의 요소부품의 운동정밀도 향상과 더불어 운동오차의 실시간 보상이 절대적으로 요구된다.

특히, 최근의 초정밀 가공기에서는 가공 가능한 공작물의 직경이 커지면서 가공정밀도가 높아지는 추세에 따라 각 슬라이드의 행정거리가 수백 ㎜로 상대적으로 길어짐에도 불구하고, ㎚수준의 높은 분해능과 전 운동구간에 걸쳐 높은 운동정

밀도가 요구되고 있다. 그러나 이 경우 이송부의 관성질량이 매우 크기 때문에 실시간으로 운동오차를 보상하기에는 응답속도가 절대적으로 늦어져, 실시간 운동오차 보상이 매우 어렵게 된다.

이와 같은 문제점을 극복하기 위하여 주축과 이송계의 운동 정밀도를 정밀하게 측정하면서 압전 액츄에이터를 이용하여 상대적으로 질량이 매우 작은 절삭공구와 툴 홀더만을 미세하게 구동시켜 실시간으로 운동오차를 보정하면서 가공할 수 있는 미소절삭공구대(FTS; Fast Tool Servo)가 사용되고 있으며, 이러한 압전 액츄에이터의 고속응답을 이용하여 공구의 끝부분에 기하학적인 운동을 유발시켜 미세패턴을 가공하는 진동절삭장치 등에 응용하고 있다.

상술한 초정밀제품의 가공을 위한 종래의 미소절삭장치의 일예로, 국내실용신안등록 제20-0145496호의 미소절삭공구가 탑재되는 가동부, 상기 가동부의 하부에 설치되어 그 수축, 팽창에 의해 가동부를 길이방향으로 이송시키는 수단 및 가동부의 전후의 적어도 일측면의 상하를 두 개의 팔에 의해 탄력적으로 지지하는 좌우측 탄성지지수단 및 가동부의 전후의 적어도 일측면의 상하를 두 개의 팔에 의해 탄력적으로 지지하는 전후측 탄성지지수단을 구비하여 압전 물질에 의해 공구를 이송하는 공구이송장치의 모든 횡방향에 대한 강성을 향상시킬 수 있도록 한 것이 개시되어 있다.

그러나, 상기한 종래의 미소절삭장치는 가동부가 탄성지지수단에 의해 대칭적으로 지지되지 않아서 운동오차의 보정정밀도가 떨어지는 문제점이 있었다. 즉, 종래의 미소절삭장치는 가동부의 좌우측과 하측은 탄성지지수단에 의해 지지되나, 상측은 지지되지 않은 상태이므로 가동부가 정확한 직진운동 되지 못할 수 있어서 결국 가공정밀도를 떨어뜨리는 요인이 되고 있다.

본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해소하기 위한 것으로, 본 발명의 주요 목적은 툴홀더와 홀더 하우징 사이를 2개 이상의 판스프링에 의해 병렬로 연결하되, 판스프링을 축선을 중심으로 방사상으로 대칭되게 배치하여 툴홀더의 직진운동시 편향되지 않고 정확한 직진운동이 가능토록 한 툴홀더의 직진성이 향상된 미소절삭장치를 제공함에 있다.

또한, 본 발명의 다른 목적은 툴을 툴홀더에 척킹할 때 척킹수단으로 상온에서 수축되고 냉각시에는 팽창하는 형상기억합금으로 된 척킹링을 적용함으로써 툴을 견고하게 고정시킬 수 있도록 한 툴홀더의 직진성이 향상된 미소절삭장치를 제공함에 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은,

후방에, 가공머신의 결합부에 결합하기 위한 상대 결합부가 구비되고, 전방에 설치챔버가 마련된 원통형의 본체; 상기 설치챔버에 인입되는 스프링 하우징과, 상기 스프링 하우징의 전방에 구비된 채 상기 본체의 전면에 고정되는 고정판으로 이루어진 스프링 홀더; 상기 스프링 홀더의 축방향 중심부에 배치된 채, 툴을 홀딩하는 툴홀더; 상기 스프링 하우징의 내주면에 외주가 고정되고, 상기 툴홀더의 외주면에 내주가 고정되어, 상기 툴홀더가 스프링 홀더에 지름방향으로 탄력 지지되게 하는 다수의 판스프링; 및 상기 툴홀더를 전진시켜주는 액츄에이터;를 포함하되, 상기 툴홀더의 후방에는 액츄에이터의 선단부가 삽입되는 액츄에이터 삽입홈이 형성되되, 상기 액츄에이터 삽입홈과 이에 접하는 액츄에이터 선단은 구경이 다른 구면으로 이루어져 점 접촉되는 것을 더 포함하는 툴홀더의 직진성이 향상된 미소절삭장치가 제공된다.

삭제

또한, 본 발명의 상기 액츄에이터는 피에조 액추에이터인 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명은 상기 상대 결합부의 말단과, 상기 상대 결합부의 말단이 삽입되는 결합부의 말단은 각형으로 된 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 상기 본체의 원주면에는 다수의 냉각홀이 형성된 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 상기 툴홀더는, 축방향 절개부가 다수 형성되며, 그 내부에 툴의 일부가 삽입되는 툴 포켓을 갖는 툴 삽입링; 및 상기 툴 삽입링의 표면에 끼워진 채 상온에서는 수축되어 상기 툴 삽입링을 조여주고, 냉각시에는 팽창되어 상기 툴 삽입링을 이완시켜주는 형상기억합금재로 된 조임링으로 구성된 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 상기 판 스프링들은 축방향에서 보았을 때 대칭형으로 배치된 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 상기 각 판 스프링의 두께 단면은 사각 또는 사다리꼴 형태로 된 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명은 상기 각 판 스프링의 말단부에 형성된 노치부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명은 상기 본체의 외주면에 조립방향 표시부가 형성되어, 본체를 상기 가공머신의 조립부에 조립할 때 정조립이 가능토록 한 것을 특징으로 한다.

이상의 본 발명은 툴홀더와 홀더 하우징 사이를 2개 이상의 판 스프링에 의해 병렬로 연결하되, 판 스프링을 축선에 대해 방사상으로 대칭되게 배치함으로써 툴홀더가 직진운동할 때 어느 한 쪽으로 편향되지 않고 정 직진운동이 가능토록 함에 따라 가공오차를 줄일 수 있는 장점이 있다.

또한, 본 발명은 툴홀더에 툴을 척킹할 때 형상기억함금을 이용함으로써 툴을 견고하게 고정시켜 툴 빠짐 현상을 방지할 수 있어서 장치의 신뢰도를 높일 수 있다.

도 1은 본 발명에 따른 미소절삭장치의 설치상태 단면도
도 2는 본 발명에 따른 미소절삭장치의 일부 분해사시도
도 3은 본 발명에 따른 미소절삭장치의 결합사시도
도 4a는 본 발명에 따른 미소절삭장치의 툴 척킹 전 사시도
도 4b는 본 발명에 따른 미소절삭장치의 툴 척킹 후 사시도
도 5a는 본 발명에 따른 미소절삭장치에 있어서 다른 실시예의 툴 척킹구조를 도시한 것으로, 척킹 전 사시도
도 5b는 본 발명에 따른 미소절삭장치에 있어서 다른 실시예의 툴 척킹구조를 도시한 것으로, 척킹 후 사시도
도 6a ~ 6d는 본 발명에 따른 미소절삭장치에서 다양한 형태의 판 스프링이 설치된 상태의 요부 단면도
도 7은 본 발명에 따른 미소절삭장치에서 판 스프링 설계요소를 설명하기 위한 요부 도면
도 8은 본 발명에 따른 미소절삭장치에서 판 스프링의 최적 설계를 위한 참고 그래프

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 기술 등은 첨부되는 도면들과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있다. 본 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 함과 더불어, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공될 수 있다. 명세서 전문에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.

본 명세서에서 사용된 용어들은 실시예를 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 다수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 '포함한다(comprise)' 및/또는 '포함하는(comprising)'은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.

첨부된 도 1은 본 발명에 따른 미소절삭장치의 설치상태 단면도이고, 도 2는 본 발명에 따른 미소절삭장치의 일부 분해사시도이며, 도 3은 본 발명에 따른 미소절삭장치의 결합사시도이다.

위의 도 1 내지 3을 참고하면, 본 발명에 따른 미소절삭장치(FTS; Fast Tool Servo)(100)는 툴홀더가 안정적으로 직진운동되는 구성을 갖는 것으로, 본체(110), 스프링 홀더(120), 툴홀더(130), 판 스프링(140) 및 액츄에이터(150)를 포함한다.

본체(110)는 원통형으로 구성되며, 후방에는 선반 등의 가공머신(1)의 결합부(1a)에 결합하기 위하여 상대 결합부(111)가 구비되고, 전방에는 상기 판 스프링(140)이 수납되는 설치챔버(112)가 구비되어 있다.

여기서, 상기 본체(110)의 원주면에는 다수의 냉각홀(113)이 원주방향을 따라 배치되게 형성되어 있다. 상기 냉각홀(113)은 외부와 연통되어 있어서 본체(110) 내에 설치되는 상기 액츄에이터(150)에서 발생되는 구동열을 대기에 의해 자연 냉각 되도록 함으로써 과열로 인한 작동오류를 방지할 수 있다.

또한, 상기 상대 결합부(111)의 말단과, 상기 상대 결합부(111)의 말단이 삽입되는 결합부(1a)의 말단은 각형으로 되는 것이 바람직하다. 상기 상대 결합부(111)와 결합부(1a)는 같은 모양의 각형을 이루고 있어서 결합시 본체(110)가 원주방향으로 슬립되지 않고 조립된 상태를 유지할 수 있도록 함으로써 정확하고 견고한 조립이 가능하게 된다.

또한, 상기 본체(110)의 외주면에는 조립방향 표시부(114)가 형성될 수 있다. 이 조립방향 표시부(114)는 본체(110)를 상기 가공머신(1)의 결합부(1a)에 조립할 때 정조립을 가능케 하는 시각적 가이드 역할을 한다.

즉, 상기 본체(110)는 원통형이므로 조립방향으로 가늠하기가 어려우나, 상기와 같이 조립방향 표시부(114)가 표식되어 있으면 이를 시각적으로 인지하여 조립방향을 가늠할 수 있으므로 정조립이 가능하게 된다.

스프링 홀더(120)는 상기 판 스프링(140)을 지지하기 위한 것으로서, 상기 설치챔버(112)에 인입되면 그 내부에 상기 판 스프링(140)이 설치되는 스프링 하우징(121)과, 상기 스프링 하우징(121)의 전방에 구비된 채 상기 본체(110)의 전면에 고정되는 고정판(122)으로 이루어진다.

상기 고정판(122)은 상기 본체(110)의 전면에 밀착시킨 후 외부에서 나사로서 조립될 수 있고, 이와는 달리 스프링 하우징(121)의 외주면에 나사산을 형성하고, 상기 설치챔버(112)의 내면에는 상기 나사산과 치합되는 상대 나사산을 형성하고 나사산과 상대 나사산에 의해 나사 조립하는 방법도 적용할 수 있다.

도 4a는 본 발명에 따른 미소절삭장치의 툴 척킹 전 사시도이고, 도 4b는 본 발명에 따른 미소절삭장치의 툴 척킹 후 사시도이다.

위의 도 4a 및 4b를 참고하면, 툴홀더(130)는 툴(tool:2)을 홀딩하기 위한 것으로, 상기 스프링 홀더(120)의 축방향 중심부에 배치된다.

상기 툴홀더(130)는 원주방향으로 수축 및 이완이 가능하도록 축방향 절개부(131a)가 다수 형성되며, 내부에 툴(2)의 일부가 삽입되는 툴 포켓(131b)을 갖는 툴 삽입링(131)과; 상기 툴 삽입링(131)의 표면을 압박하여 툴 삽입링(131)에 끼워진 툴을 조임하여 주는 조임링(132)으로 구성된다.

여기서, 상기 조임링(132)은 툴 삽입링(131)의 표면에 끼워진 채 상온에서는 수축되어 상기 툴 삽입링(131)을 조여주고, 반대로 냉각시에는 팽창되어 상기 툴 삽입링(131)을 이완시켜 풀림하여 주는 형상기억함금(shape memory alloy , 形狀記憶合金)으로 구성된다. 조임링(132)을 형상기억합금으로 구성하게 되면, 원주면 전체를 감싸면서 조여주게 되므로 견고한 체결력을 발휘하게 되므로 장시간 사용시에도 툴(2)이 탈거됨을 방지할 수 있다.

한편, 상기와는 달리 도 5a 및 도 5b에 도시되어 있듯이, 툴홀더(130a)를 스프링 홀더(120)의 축방향 중심부에 고정하되, 툴홀더(130a)의 선단부에 툴팁(2a)을 안착할 수 있도록 안착홈(130b)을 형성하고, 이 안착홈(130b)에 툴팁(2a)을 안착시킨뒤 고정볼트(130c)로 체결 고정하는 방식도 적용할 수 있다.

도 6a ~ 6d는 본 발명에 따른 미소절삭장치에서 다양한 형태의 판 스프링이 설치된 상태의 요부 단면도이고, 도 7은 본 발명에 따른 미소절삭장치에서 판 스프링 설계요소를 설명하기 위한 요부 도면이며, 도 8은 본 발명에 따른 미소절삭장치에서 판 스프링의 최적 설계를 위한 참고 그래프이다.

위의 도면을 참고하면, 판 스프링(140)은 스프링 하우징(121)과 툴홀더(130) 사이를 탄력 연결하는 역할을 하는 것으로, 툴홀더(130)의 정확한 직진운동을 가능케 하는 핵심 역할을 한다.

이러한 판 스프링(140)은 상기 스프링 하우징(121)의 내주면에 외주가 고정되고, 상기 툴홀더(130)의 외주면에 내주가 고정되어 있다.

또한, 상기 판 스프링(140)은 다수 개로 구성되되, 축선(O)을 기준으로 그 주변을 따라 방사상으로 배치됨과 아울러, 대칭형으로 배치되어 툴홀더(130)의 전후진 동작시 균일한 탄성을 받도록 하였다. 이러한 배치 형태는 앞서 설명된 종래의 스프링 배치 형태에 비해 개선된 사항으로서, 개선된 구조에 의하면 툴홀더(130)의 전후진 동작시 한쪽으로 편향됨이 없이 정확한 직진운동이 가능하게 되는 장점을 득할 수 있다.

또한, 상기 판 스프링(140)들은 스프링 하우징(121)과 툴홀더(130) 사이의 전방 측에 위치하는 메인 판스프링(141)과, 상기 메인 판스프링(141)과 일정간격을 두고 후방에 나란하게 위치하는 서브 판스프링(142) 한 쌍으로 구성된다.

또한, 상기 판 스프링(140)들은 도 6a 및 6c와 같이 두께 단면이 사각, 사다리꼴 형태를 가질 수 있다. 이에 더하여, 도 6b 및 6d에서와 같이 상기 사각 또는 사다리꼴의 말단부에 노치부(143)가 더 형성될 수 있다. 노치부(143)가 없는 형태의 경우는 판 스프링의 가공이 쉽고, 노치부가 있는 형태에 비해 강성이 강하여 내구성이 좋은 장점은 있으나 높은 강성으로 변위량이 감소하여 정밀도가 낮은 반면, 노치부(143)가 있는 형태의 경우는 노치부에서의 변형 발생으로 변위량이 크고 정밀도가 높으나 장시간 사용시 노치부(143)에 응력이 집중되어 파손의 우려가 있다는 단점이 있다. 따라서, 이러한 장단점을 고려하여 상황에 맞게 적정한 형태를 선정하여 적용해야 한다.

상기한 판 스프링(140)의 설계변수는 도 7과 같이, 스프링 두께(T_S), 스프링 반지름(R_S), 툴홀더(130)의 끝단에서 메인 판스프링(141) 까지의 거리(L_ms), 메인 판스프링(141)과 서브 판스프링(142)의 거리(L_SS)에 의해 결정된다.

예컨대, 도 8에서와 같이, 판 스프링의 반지름이 26mm 일 때, L_ms : L_SS의 비율변화에 따른 공진주파수 영역을 보면 1:1.5일 때 공진주파수(판 스프링의 떨림현상)가 최대가 된다. 따라서, 1:1.5이하의 비율로 설계되는 것이 공진주파수를 줄일 수 있는 최적 설계요건이 된다. 다만, 이는 일 예시일 뿐 판 스프링의 반지름이 달라지면 L_ms : L_SS의 비율 변화도 달라지게 될 것이므로 그에 맞게 설계변경을 해야 한다.

다시 도 1을 참고하면, 액츄에이터(150)는 상기 툴홀더(130)를 전진시켜주는 역할을 하는 것으로, 이 액츄에이터(150)는 정밀제어가 가능한 피에조 액츄에이터(Piezo actuator)가 적용되는 것이 바람직하다.

여기서, 상기 툴홀더(130)의 후방에는 액츄에이터(150) 선단부가 삽입되는 액츄에이터 삽입홈(133)이 형성되되, 상기 액츄에이터 삽입홈(133)과 이에 접하는 액츄에이터 선단은 구경이 다른 구면으로 이루어져 양자 간에 점 접촉된다. 이와 같이 점접촉 구조를 취하는 이유는 면접촉이나 선접촉의 경우는 그 기울기에 의해 어느 한 쪽으로 치움침이 발생하게 되면 툴홀더(130)가 정확하게 직진 운동되지 않고 편향운동을 하게 되므로 직진 정밀도가 떨어지나, 점접촉의 경우는 위의 경우와 달리 기울기에 영향을 받지 않으므로 정밀한 직진성을 발휘할 수 있기 때문이다.

상기한 본 발명에 따른 미소절삭장치(100)는 일반 선삭가공은 물론, 툴의 반복된 전후진 동작에 의해 피 공작물의 표면에 미세크기의 엠보싱 패턴을 형성하는 것도 가능하다.

1 : 가공머신 100 : 미소절삭장치
110 : 본체 111 : 상대 결합부
112 : 설치챔버 113 : 냉각홀
114 : 조립방향 표시부 120 : 스프링 홀더
121 : 스프링 하우징 122 : 고정판
130 : 툴홀더 131 : 툴 삽입링
132 : 조임링 140 : 판 스프링
141 : 메인 판스프링 142 : 서브 판스프링
143 : 노치부 150 : 액츄에이터

Claims

후방에, 가공머신의 결합부에 결합하기 위한 상대 결합부가 구비되고, 전방에 설치챔버가 마련된 원통형의 본체;
상기 설치챔버에 인입되는 스프링 하우징과, 상기 스프링 하우징의 전방에 구비된 채 상기 본체의 전면에 고정되는 고정판으로 이루어진 스프링 홀더;
상기 스프링 홀더의 축방향 중심부에 배치된 채, 툴을 홀딩하는 툴홀더;
상기 스프링 하우징의 내주면에 외주가 고정되고, 상기 툴홀더의 외주면에 내주가 고정되어, 상기 툴홀더가 스프링 홀더에 지름방향으로 탄력 지지되게 하는 다수의 판스프링; 및
상기 툴홀더를 전진시켜주는 액츄에이터;를 포함하되,
상기 툴홀더의 후방에는 액츄에이터의 선단부가 삽입되는 액츄에이터 삽입홈이 형성되되, 상기 액츄에이터 삽입홈과 이에 접하는 액츄에이터 선단은 구경이 다른 구면으로 이루어져 점 접촉되는 것을 더 포함하는 툴홀더의 직진성이 향상된 미소절삭장치.
삭제
제1항에 있어서,
상기 액츄에이터는 피에조 액추에이터인 것을 특징으로 하는 툴홀더의 직진성이 향상된 미소절삭장치.
제1항에 있어서,
상기 상대 결합부의 말단과, 상기 상대 결합부의 말단이 삽입되는 결합부의 말단은 각형으로 된 것을 특징으로 하는 툴홀더의 직진성이 향상된 미소절삭장치.
제1항에 있어서,
상기 본체의 원주면에는 다수의 냉각홀이 형성된 것을 특징으로 하는 툴홀더의 직진성이 향상된 미소절삭장치.
제1항에 있어서,
상기 툴홀더는,
축방향 절개부가 다수 형성되며, 그 내부에 툴의 일부가 삽입되는 툴 포켓을 갖는 툴 삽입링; 및
상기 툴 삽입링의 표면에 끼워진 채 상온에서는 수축되어 상기 툴 삽입링을 조여주고, 냉각시에는 팽창되어 상기 툴 삽입링을 이완시켜주는 형상기억합금재로 된 조임링으로 구성된 것을 특징으로 하는 툴홀더의 직진성이 향상된 미소절삭장치.
제1항에 있어서,
상기 판 스프링들은 축방향에서 보았을 때 대칭형으로 배치된 것을 특징으로 하는 툴홀더의 직진성이 향상된 미소절삭장치.
제7항에 있어서,
상기 각 판 스프링의 두께 단면은 사각 또는 사다리꼴 형태로 된 것을 특징으로 하는 툴홀더의 직진성이 향상된 미소절삭장치.
제8항에 있어서,
상기 각 판 스프링의 말단부에 형성된 노치부를 포함하는 것을 특징으로 하는 툴홀더의 직진성이 향상된 미소절삭장치.
제1항에 있어서,
상기 본체의 외주면에 조립방향 표시부가 형성되어, 본체를 상기 가공머신의 조립부에 조립할 때 정조립이 가능토록 한 것을 특징으로 하는 툴홀더의 직진성이 향상된 미소절삭장치.
제1항에 있어서,
상기 각 판 스프링은 스프링 하우징과 툴홀더 사이의 전방 측에 위치하는 메인 판스프링 및 상기 메인 판스프링과 일정간격을 두고 후방에 위치하는 서브 판스프링, 한 쌍으로 구성된 것을 특징으로 하는 툴홀더의 직진성이 향상된 미소절삭장치.