JPH0735813B2 - 静圧軸受 - Google Patents

静圧軸受

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JPH0735813B2
JPH0735813B2 JP1221819A JP22181989A JPH0735813B2 JP H0735813 B2 JPH0735813 B2 JP H0735813B2 JP 1221819 A JP1221819 A JP 1221819A JP 22181989 A JP22181989 A JP 22181989A JP H0735813 B2 JPH0735813 B2 JP H0735813B2
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Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、軸内に冷却ジャケットを設けた静圧軸受に関
するものである。
〈従来の技術〉 工作物を非真円形状に創成する刃物台として第５図で示
すように、角スライド軸１の一端にバイト２を装着した
バイトホルダ３をピエゾアクチュエータ４を介して取付
け、前記角スライド軸１を軸受金５との間に形成した表
面絞り静圧案内面６に供給される油によって軸方向にス
ライド可能に軸承し、図略のリニアモータによる軸線方
向の駆動と前記ピエゾアクチュエータ４の２つの動きの
合成によりバイト２を回転するワークに非真円形状に創
成するよう作動している。
前記表面絞り静圧案内面６の油の供給は、タンク８から
油を油圧ポンプ９によって汲み揚げ、油圧ポンプ９から
吐出する圧油を減圧弁10により一定圧に減圧し、これを
軸受金５に設けた油導入管７から表面絞り静圧案内面に
供給している。この表面絞り静圧案内面６に供給された
油は角スライド軸１と軸受金５間の隙間を通って環状排
出溝11に導かれ、環状排出溝11よりタンク８に還流され
るようになっている。尚、8aはタンク８内の油温コント
ローラ、17はバイトホルダ３を支承しているダイヤフラ
ムを示す。
〈発明が解決しようとする課題〉 前記角スライド軸１内に嵌装されているピエゾアクチュ
エータ４は素子に電圧を印加して変化させるため発熱
し、これを冷却する必要がある。
このピエゾアクチュエータ４の冷却手段は第５図で示す
ように、ピエゾアクチュエータ４の外周面に冷却ジャケ
ット12を設け、この冷却ジャケット12の外周面に螺旋状
の油通路13を形成し、油圧ポンプ９から固定側14まで配
管した冷却油供給管15aと可動側の油通路13の一端とを
ホース15により連絡し、固定側14からタンク８まで配管
した油排出管16aと前記油通路13の他端とをホース16に
より連絡した構成である。
この場合、ホース15、16が角スライド軸１の運動の抵抗
となり表面絞り静圧案内面６では軸承位置決め精度を劣
化する。
〈課題を解決するための手段〉 本発明は、上記従来の問題点に鑑みてなされたもので、
その特徴とする構成は、外周面に螺旋状の油通路が形成
された冷却ジャケットを介してアクチュエータをスライ
ド軸内に嵌挿し、このスライド軸を軸受金との間に形成
した静圧案内面に供給される油によって軸方向にスライ
ド可能に軸承した静圧軸受において、前記スライド軸に
前記静圧案内面と前記冷却ジャケットの油通路とを連通
する冷却油供給ポートと、前記油通路を低圧側に連通す
る冷却油排出ポートとを設けたものである。
〈作用〉 上記の構成により、スライド軸を静圧軸承する静圧案内
面へ供給される油の一部をスライド軸に設けた冷却油供
給ポートより冷却ジャケット外周面の油通路に導いてア
クチュエータの冷却を行う。油通路に導かれた油はスラ
イド軸に設けられた冷却油供給ポートより低圧側に排出
される。
〈実施例〉 以下本発明の実施例を図面に基づいて説明する。第１図
において、１は角スライド軸であり、その軸内に螺旋状
の油通路13を外周面に設けた冷却ジャケット12を介して
ピエゾアクチュエータ４が嵌装されている。
３は前記ピエゾアクチュエータ４によって左右方向に微
少振動するバイトホルダであり、バイト２が嵌着されて
いる。17はダイヤフラムを示す。
前記角スライド軸１は軸受金５に軸方向にスライド可能
に静圧軸承されている。この静圧軸承構造は第２図及び
第３図、第４図で示すように、角スライド軸１と軸受金
５との間に形成された油圧ポケット20、表面絞り静圧案
内面6a、6b、絞り溝23、24a、24b、深溝25、排出口21、
この排出口21に連通している環状排出溝11とから構成さ
れている。
前記表面絞り案内面6a、6bへの油の供給手段は、角スラ
イド軸１の各面に対し直交する方向に油導入管７、7aが
軸受金５に設けられ、前記油圧ポケット20、20aと連通
させ、タンク８から油を油圧ポンプ９によって汲み揚
げ、油圧ポンプ９から吐出する圧油を減圧弁10にて一定
圧に減圧して前記油導入管７、7aに導入するようにした
構成である。
尚、油導入管7a側には絞り（ノズル）22が設けられてい
る。また、この絞り22により第２図に示す角スライド軸
１のＡ−Ａ方向の軸受剛性は保たれる。
一方、油導入管７には供給油（冷却油）の流れをスムー
ズにするため油導入管7aに取付けたような絞りは設けて
いないが、冷却油供給ポート18の径を油導入管7aの径よ
りも小さくし、第４図の表面絞り案内面6aと比較して、
第３図の表面絞り案内面6bには絞り溝23が形成されてい
るため、油の供給圧力によるＢ−Ｂ方向の軸受剛性を保
つことができる。
前記環状排出溝11はタンク８に連通しており、表面絞り
静圧案内面6a、6bに供給された油を排出口21及び環状排
出溝11を経てタンク８に還流する。8aは油温コントロー
ラである。
上記の構成において、角スライド軸１に前記表面絞り静
圧案内面6a、6bと冷却ジャケット12の油通路13とを連通
する冷却油供給ポート18と、前記油通路13をタンク８に
連通する冷却油排出ポート19とを設けたものである。
尚、冷却油供給ポート18は螺旋状の油通路13の一端と対
応し、冷却油排出ポート19は他端と対応する位置に設け
られることが適当である。
本発明は上記の通りの構造であるから、油導入管７、7a
から油圧ポケット20を経て表面絞り静圧案内面6a、6bに
導入される油は圧を高め、角スライド軸１に軸方向にス
ライド可能に軸承し、図略のリニアモータにより軸方向
に駆動される。
この角スライド軸１が軸方向にスライドしても角スライ
ド軸１に設けられている冷却油供給ポート18は表面絞り
静圧案内面6bと常に連通している。従って、表面絞り静
圧案内面6bの深溝25に供給された油の一部が冷却油供給
ポート18を介して冷却ジャケット12の油通路13に導か
れ、可動の角スライド軸１内に設けられているピエゾア
クチュエータ４を冷却する。油通路13に導かれた油は冷
却油排出ポート19より排出されタンク８に還流される。
〈発明の効果〉 以上のように本発明によると、外周面に螺旋状の油通路
が形成された冷却ジャケットを介してアクチュエータを
スライド軸内に嵌挿し、このスライド軸に、このスライ
ド軸を軸受金に対して軸方向に軸承する静圧案内面と冷
却ジャケットの油通路とを連通する冷却油供給ポートを
設けるだけで、静圧案内面に供給される油の一部によっ
てスライド軸内に装着したアクチュエータの冷却を行な
うことができるので、油の供給構造を簡素化することが
でき、可動部であるスライド軸への冷却油の供給に従来
のようにホースを可動部と固定側との間に取付ける必要
がなくなり、スライド軸は摺動摩擦やホースによる運動
の抵抗がなくなり、高速での運動、位置決め精度の向上
が得られる。
【図面の簡単な説明】
図面は本発明の実施例を示し、第１図は要部断面図、第
２図は第１図II−II線断面図、第３図は第２図III−III
線断面図、第４図は第２図IV−IV線断面図、第５図は従
来構造の断面図である。 １…角スライド軸、４…ピエゾアクチュエータ、５…軸
受金、６…表面絞り静圧案内面、12…冷却ジャケット、
13…油通路、18…冷却油供給ポート、19…冷却油排出ポ
ート。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】外周面に螺旋状の油通路が形成された冷却
    ジャケットを介してアクチュエータをスライド軸内に嵌
    挿し、このスライド軸を軸受金との間に形成した静圧案
    内面に供給される油によって軸方向にスライド可能に軸
    承した静圧軸受において、前記スライド軸に前記静圧案
    内面と前記冷却ジャケットの油通路とを連通する冷却油
    供給ポートと、前記油通路を低圧側に連通する冷却油排
    出ポートとを設けたことを特徴とする静圧軸受。
JP1221819A 1989-08-30 1989-08-30 静圧軸受 Expired - Lifetime JPH0735813B2 (ja)

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JP1221819A JPH0735813B2 (ja) 1989-08-30 1989-08-30 静圧軸受
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EP90116515A EP0415374B1 (en) 1989-08-30 1990-08-28 Feed mechanism with a sliding member guided by a hydrostatic bearing
DE69014022T DE69014022D1 (de) 1989-08-30 1990-08-28 Zuführmechanismus mit einem durch ein hydrostatisches Lager geführten Gleitteil.

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JPH0389021A JPH0389021A (ja) 1991-04-15
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