JPH01135960A - テーブル駆動装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 【産業上の利用分！Ｐ】

この発明は工作機械などに用いるテーブル駆動装置に関
するものである。

【従来の技術】

従来、超精密加工機等においては、特開昭６１−２０９
８３４号公報に示されているように、スライドベースに
設けたスライド案内面にスライドテーブルを静圧支持し
、このテーブルに設けた送りナツトにボール送りねじを
ボールを介してねし嵌合させ、前記送りねじを送りモー
タによって直線往復動させるようにしたテーブル駆動装
置があった。また、このようなテーブル駆動装置では、
通常、前記送りねじをボール軸受によってスライドベー
スに軸支している。

【発明が解決しようとする問題点】

従来のテーブル駆動装置は前述のようにスライド案内面
に静圧軸受を採用しており、この静圧軸受はすべり軸受
に比べて剛性が低いため、ボール送りねじの酔歩によっ
てテーブルを真直に送りにくいという問題点がある。 この発明は、前述したような問題点を解決して静圧軸受
を用い抵抗が小さく超精密の案内ができるものでありな
がら、高直性能にすぐれたテーブルＩＩＪＫｗＪ装置を
比較的簡単な構成で提供することを目的とするものであ
る。

【問題点を解決するための手段】

この発明によるテーブル駆動装置は、スライドベースの
スライド案内面に静圧支持したスライドテーブルを直線
性ｕＬ１ＪＪＪさせるためのボール送りねじの一端部を
スラスト方向とラジアル方向の２方向に一方の静圧軸受
によって、また前記送りねじの他端部をラジアル方向の
みに他方の静圧軸受によって、それぞれ前記ベースに静
圧支持したものである。

【作　　用】

この発明のテーブル駆動装置は、ボール送りねじの一端
部と他端部を、一方および他方の静圧軸受によってそれ
ぞれスライドベースに静圧支持したので、ボール送りね
じの回転によって発生する芯ずれ誤差を静圧軸受部分で
吸収することができ、テーブルの真直性能を向上できる
。

【実施例】 以下、この発明の一実施例につき図を参照して説明する
。 第１図において、１は工作機械のスライドベースであり
、このベース１の上部に設けたスライド案内面１ａに、
スライドテーブル２が直線往復動可能に従来のものと同
様に静圧支持されて、係合されている。テーブル２の下
方にこれの移動方向と平行にボール送りねし３が配置さ
れ、この送りねじ３の一端部をフレキシブルカップリン
グ４を介して正逆回転する送りモータ５に連結され、こ
のモータ５は前記ベース１に固定されている。前記送り
ねじ３は、両端部が後述する静圧軸受６゜７によってそ
れぞれスライドベース１に軸支されていると共に、中間
部が前記テーブル２の下方突起部２ａに嵌合固定した送
りナツト８に図示省略したボールを介してねじ嵌合され
ている。そして、送りモータ５の駆動により送りねじ３
が軸方向に移動せずに正逆回転することで、送りねじ３
にボールを介してねし嵌合された送りナツト８によって
テーブル２が第１図の左右方向に直線往復動される。 送りねし３の第１図右方に位置する一端部には、第２図
に詳細を示すように、支承体９がテーパ嵌合され、支承
体９は、右端面がスペーサ１０を介し送りねし３にねし
嵌合されたナツト１１で締付けられ、送りねじ３に固定
されている。送りねじ３の右端部を軸支する一方の静圧
軸受６は次のように構成されている。すなわち、ベース
１に軸受主体１２が固定され、この主体１２に支承体９
の筒状部９ａが遊嵌され、これらの間にラジアル静圧ポ
ケット１３が形成されている。主体１２の右端面には筒
体１４を介してスラスト受板１５が配置され、これらが
ボルト１６によって主体１２に締付固定され、主体１２
の左端面には覆い板１７がボルト１８によって締付は固
定されている。支承体９の筒状部９ａの右端にこれより
大外径の環状部９ｂが一体に設けられ、環状部９ｂの左
、右端面が主体１２とスラスト受板１５の対向面にそれ
ぞれ支持され、環状部９ｂの端面と主体１２およびスラ
スト受板１５との間にスラスト静圧ボヶッｌ−１９ａ、
１９ｂが形成されている。ベース１内には一端が図示し
ないポンプの吐出側に接続された圧油供給路２０が形成
され、この供給＃５２゜は静圧軸受６内に設けたノズル
体２１を有する流路２２を介してラジアル静圧ポケット
１３およびスラスト静圧ポケッｌ−１９ａ、１９ｂにそ
れぞれ接続され、これらの静圧ポケット１３，１９ａ。 １９ｂは図示しない油タンクと接続され、このタンクは
前記ポンプの吸入側に接続されている。 また、送りねじ３の第１図左方に位置する他端部には筒
状の支承体２３がテーバ嵌合され、支承体２３は、左端
面が送りねじ３にねじ嵌合されたナツト２４で締付けら
れ、送りねじ３に固定されている。送りねじ３の左端部
を軸支する他方の静圧軸受７は、軸受本体２５がベース
１に固定され、軸受本体２５に支承体２３が嵌合支持さ
れ、これらの間にラジアル静圧ポケット２５が形成され
ている。静圧ポケット２５は、圧油供給路２０　（第２
図参照）にノズル体を有する流路（共に図示してない）
で接続され、また前記タンクに接続されている。 ここでスラスト静圧軸受は軸受剛性を高く、逆にラジア
ル静圧軸受は軸受クリアランスを大きくして軸受剛性を
低くしてあり、これによって送りねじ３は半径方向に容
易に変位可能となっている。 以上のように構成された実施例のテーブル駆動装置は、
送りモータ５が駆動されてテーブル２が移動する運転時
には、ポンプがｗＡｒ！ｊＪされて圧油供給路２０から
一方の静圧軸受６のラジアル静圧ポケット１３およびス
ラスト静圧ポケット１９ａ。 １９ｂにノズル体２１で調整された圧油が供給され、送
りねじ３のラジアルおよびスラスト方向荷重を支承体９
を介して静圧支持すると共に、前記供給路２０から他方
の静圧軸受７のラジアル静圧ポケット２５にノズル体（
図示しない）で調整された圧油が供給され、送りねじ３
のラジアル方向荷重を支承体２３を介して静圧支持する
。このため、送りねじ３は、一端部および他端部で両方
の静圧軸受６，７によってラジアル方向の荷重が静圧支
持され、一端部のみで一方の静圧軸受６でスラスト方向
の荷重が静圧支持されることになる。 この場合、ラジアル方向の軸受剛性を低くしているため
、送りねじ３の回転によって発生する芯ずれ誤差を吸収
できる。

【発明の効果】

以上説明したように、この発明のテーブル駆動装置によ
れば、ボール送りねじを、一端部および他端部で両方の
静圧軸受によってラジアル方向に静圧支持し、一端部の
みで一方の静圧軸受によってスラスト方向に静圧支持し
たので、ラジアル方向の軸受剛性を低くしたので、前記
送りねじの回転によって発生する芯ずれ誤差を吸収でき
、真直性を向上でき、また構成が比較的簡単であるとい
う効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例によるテーブル駆動装置を
示す概略縦断面図、第２図は同一方の静圧軸受部分を示
す拡大縦断面図である。 １・・・スライドベース、２・・・スライドテーブル、
３・・・ボール送りねじ、５・・・送給モータ、６・・
一方の静圧軸受、７・・・他方の静圧軸受、８・・・ナ
ツト、９．２３・・・支承体、１３，２５・・・ラジア
ル静圧ボケッ１１．１９ａ、１９ｂ　　スラスト軸受ポ
ケット。 ２７図 ４！　７■ンフ゛°ルカン７ツシ７゛ ８：　クツＬ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. スライドベースに設けたスライド案内面にスライドテー
   ブルを直線往復動可能に静圧支持し、送りモータによっ
   て正逆回転されるボール送りねじを前記スライドテーブ
   ルに設けた送りナットにボールを介してねじ嵌合させた
   テーブル駆動装置において、前記送りねじの一端部をス
   ラスト方向とラジアル方向の２方向に一方の静圧軸受に
   よって前記ベースに静圧支持し、送りねじの他端部をラ
   ジアル方向のみに他方の静圧軸受によってベースに静圧
   支持したことを特徴とするテーブル駆動装置。