JPS59190561A - 静圧ネジ機構 - Google Patents
静圧ネジ機構Info
- Publication number
- JPS59190561A JPS59190561A JP6404183A JP6404183A JPS59190561A JP S59190561 A JPS59190561 A JP S59190561A JP 6404183 A JP6404183 A JP 6404183A JP 6404183 A JP6404183 A JP 6404183A JP S59190561 A JPS59190561 A JP S59190561A
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- Japan
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- pressure
- screw
- fluid
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は静圧ネジにおける静圧支承力を増加ぜしむるこ
とを目的としたものであり、却、ネジと、雄ネジに螺合
する雄ネジと、前記雄ネジの軸方向に加わる外力を検出
する手段と、該検出手段よりのイ言号を増巾する手段と
、該増巾手段よりの信号に従って前記雌ネジに圧力流体
を供給する手段とからなり、前記雌ネジは前記雄ネジと
螺合して係合する第１のフランク面及び第２のフランク
面にそれぞれ複数個配置した流体吐出孔を有し、第１の
フランク面の流体吐出孔と、第２のフランク面の流体吐
出口は、互いに独立した流体管路によって罰記圧力流体
供給手段如連通しており、前記検出信号に比例した圧力
差を第１のフランク面と第２のフランク面に与えること
を可能にした静圧ネジ機構に関する。
とを目的としたものであり、却、ネジと、雄ネジに螺合
する雄ネジと、前記雄ネジの軸方向に加わる外力を検出
する手段と、該検出手段よりのイ言号を増巾する手段と
、該増巾手段よりの信号に従って前記雌ネジに圧力流体
を供給する手段とからなり、前記雌ネジは前記雄ネジと
螺合して係合する第１のフランク面及び第２のフランク
面にそれぞれ複数個配置した流体吐出孔を有し、第１の
フランク面の流体吐出孔と、第２のフランク面の流体吐
出口は、互いに独立した流体管路によって罰記圧力流体
供給手段如連通しており、前記検出信号に比例した圧力
差を第１のフランク面と第２のフランク面に与えること
を可能にした静圧ネジ機構に関する。
従来静圧ネジは流体膜による平均化効果にょって高精度
な送りを実現できること、減衰能が高く送り系の動剛性
が向上することなどからその優位性が指摘されてきたが
、雄ネジと雌ネジの形状に高い精度と難しし・加工を要
求されたために実用化を果た１−のは困短だった。
な送りを実現できること、減衰能が高く送り系の動剛性
が向上することなどからその優位性が指摘されてきたが
、雄ネジと雌ネジの形状に高い精度と難しし・加工を要
求されたために実用化を果た１−のは困短だった。
しかし、近年加工技術の進歩によって油圧による静圧ネ
ジは実用化され始めたものの、受圧面積を太きくするた
めに、ネジ山の高さを高くしなければならず、したがっ
て例えば雄イ・ジ外径寸法が同一なボールネジに比して
雄ネジの捩れ剛性が低くなるとか、ネジ部の加工代が多
いことによる加工の蝿しさ等は相変らずであり、又、Ｉ
Ｃなど半導体製造装置を始めとする油を嫌う雰囲気中で
の製造装置には使えないという問題があった。
ジは実用化され始めたものの、受圧面積を太きくするた
めに、ネジ山の高さを高くしなければならず、したがっ
て例えば雄イ・ジ外径寸法が同一なボールネジに比して
雄ネジの捩れ剛性が低くなるとか、ネジ部の加工代が多
いことによる加工の蝿しさ等は相変らずであり、又、Ｉ
Ｃなど半導体製造装置を始めとする油を嫌う雰囲気中で
の製造装置には使えないという問題があった。
本発明は上記問題を解決するため、外力が雌ネジから流
体ｊ模を介して雄ネ７に加わることに着目し、雄ネジの
軸長手方向に加わる外力を検出することによって雄イ、
ジと雌ネジとの係合部に供給される流体圧を外力に応じ
て変化せしめ、その係合部の隙間を一定に保つ、すなわ
ち剛性の高い高精度な静圧ネジを提供するものである。
体ｊ模を介して雄ネ７に加わることに着目し、雄ネジの
軸長手方向に加わる外力を検出することによって雄イ、
ジと雌ネジとの係合部に供給される流体圧を外力に応じ
て変化せしめ、その係合部の隙間を一定に保つ、すなわ
ち剛性の高い高精度な静圧ネジを提供するものである。
以下本発明の具体的実施例につし・てその−例に従って
説明する。第１図、第２図は本実施例の要部断面図であ
つ、摺動体１は摺動面１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ、１ｅ、
１ｆに流体吐出孔４ａ、４ｂ、４Ｃ１４ｄ、４Ｃ１４ｆ
を通して外部の供給源から流体が供給されるため、テー
ブル２の案内面２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄ及びテーブル２
に固着されているガイド板乙の案内面３ａ、３ｂによっ
て摺動可能に静圧支承されている。
説明する。第１図、第２図は本実施例の要部断面図であ
つ、摺動体１は摺動面１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ、１ｅ、
１ｆに流体吐出孔４ａ、４ｂ、４Ｃ１４ｄ、４Ｃ１４ｆ
を通して外部の供給源から流体が供給されるため、テー
ブル２の案内面２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄ及びテーブル２
に固着されているガイド板乙の案内面３ａ、３ｂによっ
て摺動可能に静圧支承されている。
又、摺動体１はテーブル２に固着されたモータ台５に固
定したモータ６によってカップリング７、雄イ、シ８を
介して雄ネジ８に螺合した雌ネジ９．１０に回転、駆動
力を直線駆動力として伝達駆動して℃・る。
定したモータ６によってカップリング７、雄イ、シ８を
介して雄ネジ８に螺合した雌ネジ９．１０に回転、駆動
力を直線駆動力として伝達駆動して℃・る。
ここで雄ネジ８はモータ台５及びモータ台に固着された
フランジ１１、テーブル２に固着された取伺台１ろに嵌
合して固定したフランジ１２中に設けた流体吐出孔５
ｂ、１１ａ、５ａ、１２ａに外部供給源から流体を供給
することて、スラスト及びラジアル方向に静圧支承され
ている。
フランジ１１、テーブル２に固着された取伺台１ろに嵌
合して固定したフランジ１２中に設けた流体吐出孔５
ｂ、１１ａ、５ａ、１２ａに外部供給源から流体を供給
することて、スラスト及びラジアル方向に静圧支承され
ている。
又、鮪イ、ジ９．１０は摺動体１に固定されたブラケッ
ト１４に対向して嵌合固定されている。さ、らに雌ネジ
９はネジ山の右側フランク面である第１のフランク面９
ａに流体吐出孔９ｂを複数個配置し、１ｌ１１１ネジ１
０はネジ山の左側フランク面て゛ある第２のフランク面
１０ａに流体吐出孔１０１〕を複数個配置しである。
ト１４に対向して嵌合固定されている。さ、らに雌ネジ
９はネジ山の右側フランク面である第１のフランク面９
ａに流体吐出孔９ｂを複数個配置し、１ｌ１１１ネジ１
０はネジ山の左側フランク面て゛ある第２のフランク面
１０ａに流体吐出孔１０１〕を複数個配置しである。
又、流体吐出孔９１〕、１０１）はブラケット１４、摺
動体１の管路１４，１．１４ｂ、１ｇ、１［］を介して
互いの管路が連通ずることなくサーボ弁１５の異なるボ
ートに導かれている。゛ さらに雄ネジのスラスト力を支承する静圧軸受面５Ｃ１
１１ｂには静圧力を電気信号として検出するための圧力
検出器５ｄ、１１Ｃが装着され、その差信号を検出増巾
するための差動増［１］器１６と増巾器１７を介してサ
ーボ弁１５に電気信号と（−て入力される。
動体１の管路１４，１．１４ｂ、１ｇ、１［］を介して
互いの管路が連通ずることなくサーボ弁１５の異なるボ
ートに導かれている。゛ さらに雄ネジのスラスト力を支承する静圧軸受面５Ｃ１
１１ｂには静圧力を電気信号として検出するための圧力
検出器５ｄ、１１Ｃが装着され、その差信号を検出増巾
するための差動増［１］器１６と増巾器１７を介してサ
ーボ弁１５に電気信号と（−て入力される。
摺動体１のネジ方向に外力が加わったとき、その外力は
雌ネジ９．１０から雄ネジ８へと伝わり静圧軸受面５Ｃ
１１１１）に圧力差を生ずる。この圧力差は圧力検出器
５ｄ、１１ｃ、差動増巾器−１６により電気係号として
検出され、あらかじめ設定した増巾率を生じせしめる増
ｒｌ〕器１７を通ってサーボ弁１５に与えられ、サーボ
弁１５は前記差信号に応じた圧力差を管路１ｇ、１１］
に発生させる。
雌ネジ９．１０から雄ネジ８へと伝わり静圧軸受面５Ｃ
１１１１）に圧力差を生ずる。この圧力差は圧力検出器
５ｄ、１１ｃ、差動増巾器−１６により電気係号として
検出され、あらかじめ設定した増巾率を生じせしめる増
ｒｌ〕器１７を通ってサーボ弁１５に与えられ、サーボ
弁１５は前記差信号に応じた圧力差を管路１ｇ、１１］
に発生させる。
該圧力差は管路１４ａ、１４Ｉ）を介して流体吐出孔９
ｂ、１０ｂの圧力差となり、よって雄ネジ８と雌ネジ９
．１０のフランク面９ａ、１０ａに前記圧力差に応じた
静圧支承力を発生させる。
ｂ、１０ｂの圧力差となり、よって雄ネジ８と雌ネジ９
．１０のフランク面９ａ、１０ａに前記圧力差に応じた
静圧支承力を発生させる。
本発明によれは静圧ネジ部の剛性不足をサーボ弁という
差圧力発生機構によって補うことができるため、雄ネジ
外径が同一の静圧ネジでネジ山の高さが従来より低くて
も従来と同一以上の剛性を得ることができ、又、これ迄
軸径１００ｍ１ｎ以上の大径のネジでしか実現出来なか
った空気を作動流体とする静圧ネジについても実現可能
となった。
差圧力発生機構によって補うことができるため、雄ネジ
外径が同一の静圧ネジでネジ山の高さが従来より低くて
も従来と同一以上の剛性を得ることができ、又、これ迄
軸径１００ｍ１ｎ以上の大径のネジでしか実現出来なか
った空気を作動流体とする静圧ネジについても実現可能
となった。
又、本発明では雄ネジのスラスト軸受の静圧力を検出す
ることとしたが、例えばカンチレバーのよへな圧力検出
機構を用いても良く、雄坏ジの長手方向の変位を検出す
る方法ても良（・。さらに雌ネジのフランク面の静圧力
を検出する方法で゛も良℃・か、この場合は雄イ、ジの
酔歩の影響を受ける可能性かあるので注意を要ずろ。
ることとしたが、例えばカンチレバーのよへな圧力検出
機構を用いても良く、雄坏ジの長手方向の変位を検出す
る方法ても良（・。さらに雌ネジのフランク面の静圧力
を検出する方法で゛も良℃・か、この場合は雄イ、ジの
酔歩の影響を受ける可能性かあるので注意を要ずろ。
第１図は本発明の具体的一実施例を示す要部断面図、！
￥！′２図は第１図の要部断面図である。 １ ・摺動体、 ２ テーブル、 ５ｄ、１１Ｃ・・圧力検出器、 ８ ・・Ｊ４Ｌネジ、 ？、１０ ・雌ネジ、１５・
・・サーボ弁、 １６・・ 差動増ｒ１］器、１７・
−・増ｒｌＪ器。
￥！′２図は第１図の要部断面図である。 １ ・摺動体、 ２ テーブル、 ５ｄ、１１Ｃ・・圧力検出器、 ８ ・・Ｊ４Ｌネジ、 ？、１０ ・雌ネジ、１５・
・・サーボ弁、 １６・・ 差動増ｒ１］器、１７・
−・増ｒｌＪ器。
Claims (2)
- （１）テーブルに摺動体を摺動可能に支持し、前記テー
ブル上に静圧的に支承された雄イ・ジと螺合する雌ネジ
を介して前記摺動体を摺動する送り装置において、前記
雄ネジの軸方向に加わる外力を検出する検出手段と、該
検出手段の出力信号を増巾する増巾手段と、該増巾手段
の出力信号に基づき前記雌ネジに圧力流体を供給する圧
力流体供給手段とからなり、前記雌ネジは前記雄ネジと
螺合して係合する第１のフランク面及び第２のフランク
面に夫々複数個の流体吐出孔を配置し、前記夫々のフラ
ンク面の流体吐出孔は互いに独立した流体管路によって
前記圧力流体供給手段に連通しており、前記検出手段か
らの出力信号に比例した圧力差を前記夫々のフランク面
に供給することを特徴とする静圧ネジ（浅溝。 - （２）検出手段は雄ネジを静圧支承する静圧軸受の軸長
手方向を支承する静圧スラスト軸受の圧力変化を検出す
る圧力検出器からなることを特徴とする特許請求の範囲
第１項記載の静圧ネジ機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6404183A JPS59190561A (ja) | 1983-04-12 | 1983-04-12 | 静圧ネジ機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6404183A JPS59190561A (ja) | 1983-04-12 | 1983-04-12 | 静圧ネジ機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59190561A true JPS59190561A (ja) | 1984-10-29 |
Family
ID=13246628
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6404183A Pending JPS59190561A (ja) | 1983-04-12 | 1983-04-12 | 静圧ネジ機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59190561A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6415855U (ja) * | 1987-07-14 | 1989-01-26 | ||
| JPH01135960A (ja) * | 1987-11-20 | 1989-05-29 | Toyoda Mach Works Ltd | テーブル駆動装置 |
| JPH0314354U (ja) * | 1989-06-27 | 1991-02-13 | ||
| JP2011208655A (ja) * | 2010-03-29 | 2011-10-20 | Ube Machinery Corporation Ltd | 油圧浮上台形ねじ |
-
1983
- 1983-04-12 JP JP6404183A patent/JPS59190561A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6415855U (ja) * | 1987-07-14 | 1989-01-26 | ||
| JPH01135960A (ja) * | 1987-11-20 | 1989-05-29 | Toyoda Mach Works Ltd | テーブル駆動装置 |
| JPH0314354U (ja) * | 1989-06-27 | 1991-02-13 | ||
| JP2011208655A (ja) * | 2010-03-29 | 2011-10-20 | Ube Machinery Corporation Ltd | 油圧浮上台形ねじ |
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