JPS6130345A - 静圧空気浮上ステ−ジ - Google Patents

静圧空気浮上ステ−ジ

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JPS6130345A
JPS6130345A JP15154984A JP15154984A JPS6130345A JP S6130345 A JPS6130345 A JP S6130345A JP 15154984 A JP15154984 A JP 15154984A JP 15154984 A JP15154984 A JP 15154984A JP S6130345 A JPS6130345 A JP S6130345A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
bearing
stage
guides
movable
bearing pads
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP15154984A
Other languages
English (en)
Inventor
Hiroshi Goto
博史 後藤
Sadao Sugiyama
定夫 杉山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Omron Corp
Original Assignee
Omron Tateisi Electronics Co
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Filing date
Publication date
Application filed by Omron Tateisi Electronics Co filed Critical Omron Tateisi Electronics Co
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Priority to US06/756,103 priority patent/US4648724A/en
Publication of JPS6130345A publication Critical patent/JPS6130345A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
    • F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
    • F16C29/02—Sliding-contact bearings
    • F16C29/025—Hydrostatic or aerostatic

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Machine Tool Units (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （イ）発明の分野 仁の発明は超精密位置決めを必要とする、超精密測定器
・超精密加工機・半導体製造装置等忙適用される静圧空
気浮上ステージに関する。
（ロ）発明の背景 従来、例えば昭和５７年精根学会春季大会学術講演会論
文集第２０７頁記載の静圧空気浮上ステージがあった。
この浮上ステージは第４図および第５図に示すように、
定盤１上にステージ２をＸ軸方向に案内する可能ガイド
３と、Ｙ軸方向に案内する可動ガイド４とが配置され、
これらの各可動ガイド３゜４の両＋４部かつ固定ガイド
５．６の内側に軸受パッド７．７．８．８が配置されて
構成されている。
この従来構造の場合、軸受パッド７．８よりの圧縮空気
の吹出しによって、その外側の固定ガイド５．６の存在
によシ、軸受パッド７．８に反力が作用し、この軸受パ
ッド７．８０反力によって可動ガイド３，４がたわみ、
このたわみによってステージ２の良好な走り精度が得ら
れＫ＜くなる欠点があった。
（ハ）発明の目的 この発明は、軸受反力による可動ガイドのだわ　。
みを極力押さえ、良好なステージ走り精度を安定して得
られる静圧空気浮上ステージの提供を目的とする。
に）発明の要約 この発明は、可動ガイドの軸受パッドを固定ガイド両側
面の一対で対向配置した静圧空気浮上ス。
テージであることを特徴とする特 （ホ）発明の効果 この発明によれば、Ｉｖ＃ガイドの軸受パッドを固定ガ
イド両側面の一対で対向配置したので、軸受反力は互い
に相反する方向に働いて打ち消され、軸受反力による可
動ガイドのたわみを大幅に減少′　　することができ、
したがってステージの走り精度を向上させることができ
る。
また、軸受パッドを１本の固定ガイドの両側面に配置し
たことによシ、可動ガイド系の軸受剛性が従来例の２倍
となり安定したヨーイング走り精度を得ることができる
。
（へ）発明の実施例 この発明の一実施例を図面に基づいて詳述する。
図面は静圧空気浮上ステージを示し、第１図および第２
図において、定盤ｌｌ上にステージ１２をＸ軸方向に案
内する可動ガイド１３と、ＹＩ！１ｌｉ１方向に案内す
る可動ガイド１４と金量Ｉｉ７シ、これらの各可動ガイ
ド１３．１４の両端部に固定ガイド１５．１６の内外側
に対向する４対の軸受パッド１７．１７．１７，１７．
１８．１８．１８．１８を配置している。
上述のように構成したので、軸受パッド１７゜１７およ
び１８．１８よりの圧縮空気の吹出しＫよって、固定ガ
イド１５および１６の存在により軸受パッド１７．１７
および１８．１８に反力が働いても、その反力は互いに
相反する方向忙働いて打ち消され、可動ガイド部１３．
１４にたわみを生じさせない。
従って可動ガイド１３，１４＃−を高精度に超精密加工
された部品形状のまま、保持されるので、それに沿って
移動するステージ１２は、移動時は外乱を受けず良好な
走り精度を得ることができる。
しかも、軸受パッド部の剛性が高くなるので、ヨーイン
グなどの走り精度が向上する。
（ト）発明のその他の列 上述の実施例において、可動ガイド１３．１４の両端部
に４対の゛軸受パッドを配置したが、この対の軸受パッ
ドは、第３図に示すように、可動ガイ−ド１３．１４の
一端部゛側のみ固定ガイドをはさむ軸受パッドを配置す
るようにしてもよい。゛この実施例の場合、前例に比べ
可動ガイドのたわみは大きくなるが、第４．５図に示す
従来タイプに比べては小さく押えられる。
【図面の簡単な説明】
図面は、この発明の一実施例を示し、 第１図社静圧空気浮上バンドの平面図、第２図はそのＷ
１１１１８正而図、 第３図は他の実施例を示す平面図、 第４図は従来例を示す平面図、 第５図社その簡略正面図である。 １２・・−ステージ １３．１４・・・可動ガイド １５．１６・・・固定ガイド １７．１８・・・軸受パッド 第３図 Ｔ／、１６・　軸貸バシド ｌｈ４図 第５図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １、可動ガイドが軸受パッドによって案内される静圧空
    気浮上ステージにおいて、 上記可動ガイドの軸受パッドは固定ガイド両側面の一対
    で対向配置したことを特徴とする静圧空気浮上ステージ
    。
JP15154984A 1984-07-20 1984-07-20 静圧空気浮上ステ−ジ Pending JPS6130345A (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15154984A JPS6130345A (ja) 1984-07-20 1984-07-20 静圧空気浮上ステ−ジ
US06/756,103 US4648724A (en) 1984-07-20 1985-07-18 Static pressure air surface stage

Applications Claiming Priority (1)

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JP15154984A JPS6130345A (ja) 1984-07-20 1984-07-20 静圧空気浮上ステ−ジ

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JPS6130345A true JPS6130345A (ja) 1986-02-12

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ID=15520944

Family Applications (1)

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JP15154984A Pending JPS6130345A (ja) 1984-07-20 1984-07-20 静圧空気浮上ステ−ジ

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Publication number Publication date
US4648724A (en) 1987-03-10

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