JPS5850337A - 可動体保持装置 - Google Patents

可動体保持装置

Info

Publication number
JPS5850337A
JPS5850337A JP15044681A JP15044681A JPS5850337A JP S5850337 A JPS5850337 A JP S5850337A JP 15044681 A JP15044681 A JP 15044681A JP 15044681 A JP15044681 A JP 15044681A JP S5850337 A JPS5850337 A JP S5850337A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
parallel
movable body
springs
parallel spring
spring
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP15044681A
Other languages
English (en)
Inventor
Shinichi Tanaka
伸一 田中
Tsuneo Hirose
広瀬 凡夫
Masahiro Kosaka
小坂 雅博
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP15044681A priority Critical patent/JPS5850337A/ja
Publication of JPS5850337A publication Critical patent/JPS5850337A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16FSPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
    • F16F15/00Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion
    • F16F15/02Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems
    • F16F15/04Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems using elastic means
    • F16F15/06Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems using elastic means with metal springs
    • F16F15/073Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems using elastic means with metal springs using only leaf springs

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Aviation & Aerospace Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Springs (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は2次元に動く可動体の保持装置、特に可動体の
回転運動を抑制し、2次元の並進運動のみが容易な保持
装置を提供するものである。
可動体の回転運動を抑制し、並進運動のみ容易な保持装
置としては2例えば光学式情報再生装置の情報読取へ7
1・の可動部分の保持装置として有用である3、このよ
うな保持装置としては平行バネが従来からよく知らJq
−でいる。
第1図に1−平行バネの動作を説明するだめの原理図で
ある。第1図(a)kJ、外力が可動体2に作用してい
ない場合を示すものである。2枚の長さの等しい板バネ
3a、3bは固定部拐1に垂直で互いに平行にそれぞれ
の一端が固定さねて」・・す、他端はそれぞれ可動体2
に固定さJl、でいる。すなわち、2枚の板バネ3a、
3bi−平行バネを構成する。
第1図(b)は、そのような平行バネで保持された可動
体2に図で上向きの夕1力Fか作用した」場合を示した
ものである。この場合、2枚の板バネ3a。
3bは同じようにたわみ、可動体2は上方に並進運動を
する。寸だ、第1図(C)は可動体2に図示のような回
転トルクTが作用した場合を示したものである。この場
合、板バネsbKに1引張り応力。
板パイ・3aには圧縮応力あるいは凶手のような曲げ応
力が生ずる。板バネは、そのような微小な変形に対して
は極めて犬き々スティフネスを有するため、可動体の回
転運動は大幅に抑制されることがよく知られている。
このような平行バネを2段直列に接続することにより(
以下、これを2段平行バネと呼ぶ)、可動体の2次元の
並進運動を可能表する保持装置を得ることができる。
第2図は、そのようにして得られる2次元の保持装置の
従来例を示す概略構成図である。同図において、板バネ
13aと13bから成る第1の平行バネと、板バネ13
cと13dから成る第2の平行バネを、互いに変位の方
向が直向するように中継部材14を介して直列に接続す
ることにより2段平行バネが構成されている。可動体1
2は上記2段平行バネを介して固定部材11に係合され
ている。このとき可動体12は、同図に示したX−Y方
向に2次元の並進運動が可能で、回転運動が抑制される
ことは第1図の説明からも明らかである。
ところが第2図の構成では、上記iil動体12の2次
元の並進運動に依存して、同図の2方向にも変位すると
いう欠点がある。丑だ、そのために、第2図の2次元保
持装置で可動体を両側から両持の形で保持すると、可動
体に、原理的に動かなくなる。したがって」−記2段平
行バネは可動体を片持てのみ保持することが可能であり
、そのため安定性が悪く、微小な首振りが生し易いとい
う欠点があった。
不発#J U:手記欠点を解消し、安定性の優れた両持
の保持装置を提供するものである。
一般に、2次元に変位可能な保持装置で可動体を両持の
形で保持するためには、それぞれの側の保持装置で可動
体を片持て保持したときの可動体の軌跡が曲面ではなく
、平面となることが必要である。本発明は、」二記の特
性を備えた2段平行バネで可動体を両持で保持しようと
するものである。
第3図は本発明で用いる2段平行バネの一例の概略構成
図である。同図において、板バネ23aと23bは第1
の平行バネを形成し、板バネ23c  − と23dは第2の平行バネを形成し、さらに上記第1.
第2の平行バネは中継部材24で互いに直列に接続され
て2段平行バネを構成している。上記2段平行バネで、
可動体22と固定部材21を結合することにより、上記
可動体22は2次元の並進運動が可能となる。すなわち
、上記可動体22は、第1の平行バネにより同図のZ方
向の並進運動、第2の平行バネにより同図のY方向の並
進運動がそれぞれ可能であるので、上記可動体22はY
−Z平面円での2次元の並進運動が可能である。
上記2段平行バネは可動体を両持で保持することが可能
であり、安定性の高い保持装置を得ることができる。
第4図は本発明の実施例の概略構成図である。
本実施例は可動体32を、板バネ33a 、33b。
33Cおよび33dと中継部材34aから成る第1の2
段平行バネと、板バネ33e 、33f 、33gおよ
び33hと中継部材34bから成る第2の2段平行バネ
とで両持で保持し、固定部材31に取付けた保持装置で
ある。この場合、上記保持装置は可動体32に対して図
で左右対称に構成されている。このため可動体32の安
定性は優れており、外力による首振り現象等を極めて小
さくすることができる。
なお、上記の説明では2段平行バネの第1の平行バネと
第2の平行バネは、その長さ方向が互いに略直交するも
のとして説明したが、これらは必ずしも直交する必要は
なく、平行でなければ何ら差支えないことは明らかであ
る。
以上の説明から明らかなように本発明は、可動体の2次
元の並進運動が可能で、回転運動を大幅に抑制し、首振
り等の極めて少ない安定性の高い保持装置を提供するも
のである。
【図面の簡単な説明】
第1図(a) 、 (b) 、 (C)は平行バネの原
理説明図、第2図は従来の2次元保持装置の概略構成図
、第3図は本発明で使用し得る2段平行バネの一例の概
略構成図、第4図は本発明の一実施例の概略構成図であ
る。 21.31・・・・・・固定部材、22.32・・・・
可動体、23a〜23d 、33a 〜33h  ・板
バネ、24.34a 、34b・・・・・・中継部材。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名第1

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 複数枚の板状バネを平行に配し、その両端において前記
    板バネを互いに結合したXF行バネを2組直列的に結合
    して2連子行バネを構成し、一端を固定した前記2連子
    行バネ2つにより可動体を両側から両持の形で保持し、
    かつ前記2連犯行バネは下記の各項 (I)  前記2組の平行バネはその長さ方向が互いに
    非平行であること。 (1丁)前記平行バネを構成する板状バネはすべて、前
    記2組の平行バネのいずれの長さ方向にも平行な下向に
    対して垂直であること。 を満たすことを特徴とする可動体保持装置。
JP15044681A 1981-09-21 1981-09-21 可動体保持装置 Pending JPS5850337A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15044681A JPS5850337A (ja) 1981-09-21 1981-09-21 可動体保持装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15044681A JPS5850337A (ja) 1981-09-21 1981-09-21 可動体保持装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5850337A true JPS5850337A (ja) 1983-03-24

Family

ID=15497107

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP15044681A Pending JPS5850337A (ja) 1981-09-21 1981-09-21 可動体保持装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS5850337A (ja)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2557954A1 (fr) * 1984-01-06 1985-07-12 Bechtel Int Corp Dispositif d'absorption d'energie pour tuyauterie et analogue
EP0214825A2 (en) * 1985-09-13 1987-03-18 Ford Motor Company Limited Vibration damper
EP0849492A3 (en) * 1996-12-18 2000-01-12 Ingersoll-Rand Company Parallel displacement single axis vibration absorber
JP2006175595A (ja) * 2004-12-21 2006-07-06 Hilti Ag 手持式工具装置用のサイドグリップ
JP2006339191A (ja) * 2005-05-31 2006-12-14 Nikon Corp ウェハホルダ、ウェハ積層方法及び積層型半導体装置製造方法
WO2012130474A1 (de) * 2011-04-01 2012-10-04 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Vorrichtung zur mechanischen schwingungsentkopplung

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2557954A1 (fr) * 1984-01-06 1985-07-12 Bechtel Int Corp Dispositif d'absorption d'energie pour tuyauterie et analogue
EP0214825A2 (en) * 1985-09-13 1987-03-18 Ford Motor Company Limited Vibration damper
EP0214825A3 (en) * 1985-09-13 1987-07-29 Ford Motor Company Limited Vibration damper
EP0849492A3 (en) * 1996-12-18 2000-01-12 Ingersoll-Rand Company Parallel displacement single axis vibration absorber
JP2006175595A (ja) * 2004-12-21 2006-07-06 Hilti Ag 手持式工具装置用のサイドグリップ
JP2006339191A (ja) * 2005-05-31 2006-12-14 Nikon Corp ウェハホルダ、ウェハ積層方法及び積層型半導体装置製造方法
WO2012130474A1 (de) * 2011-04-01 2012-10-04 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Vorrichtung zur mechanischen schwingungsentkopplung
US9222544B2 (en) 2011-04-01 2015-12-29 Fraunhofer-Gesellschaft Zur Device for mechanical vibration decoupling

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS5850336A (ja) 可動体保持装置
CN105904443B (zh) 一种运动解耦的两自由度柔顺并联机构
JPS5850337A (ja) 可動体保持装置
CN110010190B (zh) 三维恒力并联柔性微定位平台
JPS6130345A (ja) 静圧空気浮上ステ−ジ
US4855633A (en) Piezoelectric actuator
JPH10186198A (ja) 平行・真直微動装置およびこれを用いたレンズ鏡筒の微小移動装置
KR830009942A (ko) 구동기저하를 방지한 종축효과 전기팽창변환기로 구성된 레버 구동기
JP3809624B2 (ja) レバー変位拡大機構
JPS6187110A (ja) 微動移動機構
JPH0746908B2 (ja) 位置決め装置
Mavanthoor et al. Bistable compliant four-bar mechanisms with a single torsional spring
JP2757860B2 (ja) 弾性支点機構
JPH0344533Y2 (ja)
JP4039718B2 (ja) テーブル機構
JPH0746909B2 (ja) 位置決め装置
JP2555608B2 (ja) 圧電素子の変位変換装置
JPS6230769Y2 (ja)
JPH03209189A (ja) ステージ
JPH01238759A (ja) 6自由度精密微動台
JP2009044787A (ja) 駆動装置および可動構造体
JPH07136888A (ja) 精密位置決め装置の変位拡大機構
SU1713065A1 (ru) Устройство дл прецизионного перемещени изделий
JP3809623B2 (ja) レバー変位拡大機構
EP1549458A1 (en) Two-dimensional displacement apparatus