JPS6187110A - 微動移動機構 - Google Patents
微動移動機構Info
- Publication number
- JPS6187110A JPS6187110A JP20833584A JP20833584A JPS6187110A JP S6187110 A JPS6187110 A JP S6187110A JP 20833584 A JP20833584 A JP 20833584A JP 20833584 A JP20833584 A JP 20833584A JP S6187110 A JPS6187110 A JP S6187110A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- axis
- springs
- parallel plate
- moved
- actuators
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
- G02B6/4219—Mechanical fixtures for holding or positioning the elements relative to each other in the couplings; Alignment methods for the elements, e.g. measuring or observing methods especially used therefor
- G02B6/422—Active alignment, i.e. moving the elements in response to the detected degree of coupling or position of the elements
- G02B6/4226—Positioning means for moving the elements into alignment, e.g. alignment screws, deformation of the mount
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/255—Splicing of light guides, e.g. by fusion or bonding
- G02B6/2555—Alignment or adjustment devices for aligning prior to splicing
- G02B6/2557—Alignment or adjustment devices for aligning prior to splicing using deformable flexure members, flexible hinges or pivotal arms
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/36—Mechanical coupling means
- G02B6/38—Mechanical coupling means having fibre to fibre mating means
- G02B6/3801—Permanent connections, i.e. wherein fibres are kept aligned by mechanical means
- G02B6/3803—Adjustment or alignment devices for alignment prior to splicing
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Mechanical Coupling Of Light Guides (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、元ファイバの心合せ等に用いる微動移動＋
！に構に関するものである。
！に構に関するものである。
従来のこの種の装置の一例を第４図に示す＠この装置は
下部チーフル１．中１４チー７゛ル２、上部テーブル３
よりなる。図では説明をわかり易くするため３者を分離
して描いである。下部テーブル１には鋼球４の案内用の
Ｖ字形の溝５．６が、中間チーフル２の裏面には、Ｖ字
形の溝５．６と対向する位置にＶ字形の溝１．８が、ま
たその表面にはやはり鋼球４０案内用のＶ字形の溝９．
１０が、上部テーブル３の表面には、Ｖ字形の溝９゜１
０と対向する位置にＶ字形の？４１１．１２がそれぞれ
設けられている。従って、下部テーブル１に対し、中間
テーブル２はＹ方向に滑らかに移動可能であり、中間テ
ーブル２に対し上部チーフル３はＸ方向に滑らかく移動
可能となっている。
下部チーフル１．中１４チー７゛ル２、上部テーブル３
よりなる。図では説明をわかり易くするため３者を分離
して描いである。下部テーブル１には鋼球４の案内用の
Ｖ字形の溝５．６が、中間チーフル２の裏面には、Ｖ字
形の溝５．６と対向する位置にＶ字形の溝１．８が、ま
たその表面にはやはり鋼球４０案内用のＶ字形の溝９．
１０が、上部テーブル３の表面には、Ｖ字形の溝９゜１
０と対向する位置にＶ字形の？４１１．１２がそれぞれ
設けられている。従って、下部テーブル１に対し、中間
テーブル２はＹ方向に滑らかに移動可能であり、中間テ
ーブル２に対し上部チーフル３はＸ方向に滑らかく移動
可能となっている。
一方、下部テーブル１にはアクチュエータ固定台１３が
、中間テーブル２にはアクチュエータ固定台１４．１５
が、上部チーフル３にはアクチュエータ固定＠１６がそ
れぞれ設けられており、７クチユ工−タ固定台１３と１
４の中間にはＹ軸りニアアクチュエータ１７が、アクチ
ュエータ固定台１５．１６の中間にはＸ軸すニアアクチ
ュエータ１８がそれぞれ固定され【いる。
、中間テーブル２にはアクチュエータ固定台１４．１５
が、上部チーフル３にはアクチュエータ固定＠１６がそ
れぞれ設けられており、７クチユ工−タ固定台１３と１
４の中間にはＹ軸りニアアクチュエータ１７が、アクチ
ュエータ固定台１５．１６の中間にはＸ軸すニアアクチ
ュエータ１８がそれぞれ固定され【いる。
従つ？、Ｘ軸すニア７クチユエータ１８およびＹ軸すニ
ア７クチユエータ１７を伸縮させることにより上部テー
ブル３を下部テーブル１に対し、Ｘ軸、Ｙ軸方向に任意
に動かすことができる。
ア７クチユエータ１７を伸縮させることにより上部テー
ブル３を下部テーブル１に対し、Ｘ軸、Ｙ軸方向に任意
に動かすことができる。
このように、構成された従来のＸ−Ｙ＄動機構において
は、Ｙ軸アクチュエータ１７は中間テーブル２を介して
上部テーブル３を動か丁ため慣性負荷が大きくなり高速
起動停止動作が困難となる問題点があった。
は、Ｙ軸アクチュエータ１７は中間テーブル２を介して
上部テーブル３を動か丁ため慣性負荷が大きくなり高速
起動停止動作が困難となる問題点があった。
この発明は、上記問題点を解決するためになされたもの
で、慣性負荷の小さい、高速動作が可能な微動移動機構
を得ることを目的とする。
で、慣性負荷の小さい、高速動作が可能な微動移動機構
を得ることを目的とする。
この発明にかかる微動移動機構は、移動台を互に直角を
なす２対の平行板ばねで、それぞれ支持し、これらの平
行板ばねの他端をそれぞれの軸方向に移動させるアクチ
ュエータを設けたものである。
なす２対の平行板ばねで、それぞれ支持し、これらの平
行板ばねの他端をそれぞれの軸方向に移動させるアクチ
ュエータを設けたものである。
この発明においては、移動台の移動方向と一致するアク
チュエータを駆動すると、移動方向と直′角方向の１対
の平行板ばねが変位し、他方の１対の平行板ばねは変位
することなく７クチユエータの駆動力を移動台に伝え移
動台を目的とする方向に移動させる。
チュエータを駆動すると、移動方向と直′角方向の１対
の平行板ばねが変位し、他方の１対の平行板ばねは変位
することなく７クチユエータの駆動力を移動台に伝え移
動台を目的とする方向に移動させる。
第２図、第３図はこの発明の詳細な説明するための図で
ある。
ある。
これらの図において、２１．２２は平行板ばねであり、
ばね支持体２３．２４に接層等の手段により固定されて
いる。この構造体において、ばね支持体２４をばね支持
体２３に対しけぼ平行方向に力Ｆを加えると平行板ばね
２１．２２は点線のよ５に変形し、ばね支持体２４はば
ね支持体２３に対しδだげ平行移動する。これは平行板
ばね２１゜２２は曲がり易いが、伸縮しにくいという性
質を利用したもので、第３図に示すように一体構造にし
ても同じ機能をもち、荷重計等に数多く利用されている
。
ばね支持体２３．２４に接層等の手段により固定されて
いる。この構造体において、ばね支持体２４をばね支持
体２３に対しけぼ平行方向に力Ｆを加えると平行板ばね
２１．２２は点線のよ５に変形し、ばね支持体２４はば
ね支持体２３に対しδだげ平行移動する。これは平行板
ばね２１゜２２は曲がり易いが、伸縮しにくいという性
質を利用したもので、第３図に示すように一体構造にし
ても同じ機能をもち、荷重計等に数多く利用されている
。
第１図はこの発明の一実施例であって、移動台３１は２
対の平行板ばね３２．３３と３４．３５に支えられてい
る。平行板ばね３２．３３の他端は支持体３６を介して
Ｙ軸７クチユエータ３８に接続され、平行板ばね３４，
３５の他端は支持体３１を介してＸ軸７り＋ユエータ３
９に接続されている。
対の平行板ばね３２．３３と３４．３５に支えられてい
る。平行板ばね３２．３３の他端は支持体３６を介して
Ｙ軸７クチユエータ３８に接続され、平行板ばね３４，
３５の他端は支持体３１を介してＸ軸７り＋ユエータ３
９に接続されている。
支持体３６は平行板ばね３２．３３のほか、それと直角
方向の平行板ばね４０．４１に支持され、支持体３１は
平行板ばね３４．３５のほか、それと直角方向の平行板
ばね４２，４３に支持されている。平行板ばね４０．４
１および平行板ばね４２゜４３の他端、Ｙ軸７クチユエ
ータ３８およびＸ軸アクチュエータ３９の他端はいずれ
も基＆４４に接続されている。
方向の平行板ばね４０．４１に支持され、支持体３１は
平行板ばね３４．３５のほか、それと直角方向の平行板
ばね４２，４３に支持されている。平行板ばね４０．４
１および平行板ばね４２゜４３の他端、Ｙ軸７クチユエ
ータ３８およびＸ軸アクチュエータ３９の他端はいずれ
も基＆４４に接続されている。
さて、このような構造体においてＹ軸７クチユエータ３
８が伸びる場合を考えると、移動台３１と支持体３６は
それぞれ平行板ばね３４．３５と４０．４１に支持され
ているのでＹ軸方向に平行に移動する。一方、平行板ば
ね３２，３３はＹ軸方向には剛性が高いので両者は一体
となって動く。
８が伸びる場合を考えると、移動台３１と支持体３６は
それぞれ平行板ばね３４．３５と４０．４１に支持され
ているのでＹ軸方向に平行に移動する。一方、平行板ば
ね３２，３３はＹ軸方向には剛性が高いので両者は一体
となって動く。
同様に移動台３１はＸ軸アクチュエータ３９の伸縮に従
って、Ｘ軸方向に一体となって動く。
って、Ｘ軸方向に一体となって動く。
すなわち、移動台３１はそれぞれＹ軸アクチュエータ３
８．Ｘ軸７クチユエータ３９の動きに忠実に従い、互に
相手の動きに干渉されないことがわかる。
８．Ｘ軸７クチユエータ３９の動きに忠実に従い、互に
相手の動きに干渉されないことがわかる。
このように、移動台３１はＸ軸、Ｙ軸アクチュエータ３
９．３８１ＣよりＸ軸、Ｙ軸方向に任意に動かてことが
できるので、たとえば、この移動台３１にハンド４５を
固定し、それに光７アイパケープル４６をつかませ、固
定台４７に支持される光フアイバケーブル４８と対向さ
せれば、両党ファイハケ−フル４６，４８の心合せを正
確に行うことができる。
９．３８１ＣよりＸ軸、Ｙ軸方向に任意に動かてことが
できるので、たとえば、この移動台３１にハンド４５を
固定し、それに光７アイパケープル４６をつかませ、固
定台４７に支持される光フアイバケーブル４８と対向さ
せれば、両党ファイハケ−フル４６，４８の心合せを正
確に行うことができる。
ここで、使用するＸ軸、Ｙ軸７クチユエータ３９゜３８
は軸方向に変位するリニアアクチュエータであればよく
、電歪素子を利用したものや磁歪素子を利用したものＶ
ｃ＠定されることなく、動電形のリニア７クチユエータ
であってもよい。 −また、ここで用いる平行板ばね
３２〜３５．４０〜４３は一体化構造をなす形状で説明
したが、第２図の原理で説明したよ５に平行板ばねな接
着剤等圧より組合せたものでもよいことは言うまでもな
い。
は軸方向に変位するリニアアクチュエータであればよく
、電歪素子を利用したものや磁歪素子を利用したものＶ
ｃ＠定されることなく、動電形のリニア７クチユエータ
であってもよい。 −また、ここで用いる平行板ばね
３２〜３５．４０〜４３は一体化構造をなす形状で説明
したが、第２図の原理で説明したよ５に平行板ばねな接
着剤等圧より組合せたものでもよいことは言うまでもな
い。
以上説明したように、この発明の微動移動機構は移動台
を互に直角をなす２対の平行板ばねで支持し、平行板ば
ねを介して７クチユエータで直接２軸方向に動か丁よう
に構成したので、７クチユエータに作用する慣性負荷を
小さくすることができ高速動作が可能な利点がある。ま
た、すべて平行板ばね支持としたため摺動する個所がな
いので、慣性摩擦力は作用せず微少位置決めが可能な利
点を有する。
を互に直角をなす２対の平行板ばねで支持し、平行板ば
ねを介して７クチユエータで直接２軸方向に動か丁よう
に構成したので、７クチユエータに作用する慣性負荷を
小さくすることができ高速動作が可能な利点がある。ま
た、すべて平行板ばね支持としたため摺動する個所がな
いので、慣性摩擦力は作用せず微少位置決めが可能な利
点を有する。
第１図はこの発明の一実施例を示す斜視図、第２図、第
３図はこの発明の原理を示す図、第４図は従来の微動移
動機構の斜視図である。 図中、３１は移動台、３２．３３．３４．３５゜４０．
４１，４２．４３は平行板ばね、３６．３７は支持体、
３８はＹ軸７クチユエータ、３９はＸ軸アクチュエータ
、４４は基板、４５はハンド、４６．４８は光フッイノ
くケーブル、４１は固定台である。 第３図 第２図 第 ４７
３図はこの発明の原理を示す図、第４図は従来の微動移
動機構の斜視図である。 図中、３１は移動台、３２．３３．３４．３５゜４０．
４１，４２．４３は平行板ばね、３６．３７は支持体、
３８はＹ軸７クチユエータ、３９はＸ軸アクチュエータ
、４４は基板、４５はハンド、４６．４８は光フッイノ
くケーブル、４１は固定台である。 第３図 第２図 第 ４７
Claims (1)
- 移動台を互に直角をなす２対の平行板ばねで支持すると
ともに、前記平行板ばねを変位させ前記平行板ばねを介
して２軸方向にそれぞれ移動させるアクチュエータを具
備させたことを特徴とする微動移動機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59208335A JPH0646246B2 (ja) | 1984-10-05 | 1984-10-05 | 微動移動機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59208335A JPH0646246B2 (ja) | 1984-10-05 | 1984-10-05 | 微動移動機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6187110A true JPS6187110A (ja) | 1986-05-02 |
| JPH0646246B2 JPH0646246B2 (ja) | 1994-06-15 |
Family
ID=16554564
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59208335A Expired - Lifetime JPH0646246B2 (ja) | 1984-10-05 | 1984-10-05 | 微動移動機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0646246B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6385605A (ja) * | 1986-09-30 | 1988-04-16 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 線材心合わせ装置 |
| JPH02269583A (ja) * | 1989-04-06 | 1990-11-02 | Prima Meat Packers Ltd | マイクロマニピュレータ |
| JPH03166081A (ja) * | 1989-11-24 | 1991-07-18 | Toshiro Higuchi | マイクロマニピュレータの微小移動装置 |
| KR100418788B1 (ko) * | 2001-06-15 | 2004-02-19 | 현대자동차주식회사 | 로봇 엥커링 플레이트 구조 |
| KR101582485B1 (ko) * | 2014-10-24 | 2016-01-05 | 가부시키가이샤후지쿠라 | 광섬유 융착 접속기 및 이것을 구비하는 광섬유 융착 접속 장치 |
| CN106881726A (zh) * | 2017-04-11 | 2017-06-23 | 大连理工大学 | 一种平动式机器人柔性手爪 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56156812A (en) * | 1980-05-09 | 1981-12-03 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Aligning device for optical fiber |
| JPS60101505A (ja) * | 1983-10-05 | 1985-06-05 | カブロプテイ エス・ア | 構成部材の正確な位置決め方法及び装置 |
-
1984
- 1984-10-05 JP JP59208335A patent/JPH0646246B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56156812A (en) * | 1980-05-09 | 1981-12-03 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Aligning device for optical fiber |
| JPS60101505A (ja) * | 1983-10-05 | 1985-06-05 | カブロプテイ エス・ア | 構成部材の正確な位置決め方法及び装置 |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6385605A (ja) * | 1986-09-30 | 1988-04-16 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 線材心合わせ装置 |
| JPH02269583A (ja) * | 1989-04-06 | 1990-11-02 | Prima Meat Packers Ltd | マイクロマニピュレータ |
| JPH03166081A (ja) * | 1989-11-24 | 1991-07-18 | Toshiro Higuchi | マイクロマニピュレータの微小移動装置 |
| KR100418788B1 (ko) * | 2001-06-15 | 2004-02-19 | 현대자동차주식회사 | 로봇 엥커링 플레이트 구조 |
| KR101582485B1 (ko) * | 2014-10-24 | 2016-01-05 | 가부시키가이샤후지쿠라 | 광섬유 융착 접속기 및 이것을 구비하는 광섬유 융착 접속 장치 |
| CN106881726A (zh) * | 2017-04-11 | 2017-06-23 | 大连理工大学 | 一种平动式机器人柔性手爪 |
| CN106881726B (zh) * | 2017-04-11 | 2019-04-23 | 大连理工大学 | 一种平动式机器人柔性手爪 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0646246B2 (ja) | 1994-06-15 |
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