JPH03166081A - マイクロマニピュレータの微小移動装置 - Google Patents
マイクロマニピュレータの微小移動装置Info
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- JPH03166081A JPH03166081A JP1303389A JP30338989A JPH03166081A JP H03166081 A JPH03166081 A JP H03166081A JP 1303389 A JP1303389 A JP 1303389A JP 30338989 A JP30338989 A JP 30338989A JP H03166081 A JPH03166081 A JP H03166081A
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- Micromachines (AREA)
- Manipulator (AREA)
- Apparatus Associated With Microorganisms And Enzymes (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、マイクロマニピュレータの微小移動装置に関
するものである。
するものである。
(従来の技術)
従来、バイオテクノロジーにおいては、遺伝子・細胞な
どに人工的操作を加え、新しい遺伝情報体を作威して、
これを利用或いは研究する分野がある。その対象は遺伝
子.細胞,核.受精胚.組織或いは原生動物とさまざま
であるが、このうち、光学顕微鏡で観察できるものに対
して、物理的・機械的操作を加える手法としてマイクロ
マニピュレーションがある.例えば、動植物細胞や核に
外来遺伝子を注入して遺伝子の形質発現機構を解析する
場合、又は、初期胚・桑実胚を分割して仮親に移植し一
卵性複数子を作る場合、或いは受精卵の細胞質に他の個
体を移植してクローン生物を作る場合などに、マイクロ
マニピエレー夕は不可欠のものである. 一方、圧電素子(又は電歪素子)を用いた衝撃力による
微小移動装置は、既に、本願の発明者によって提案され
ており、特開昭63 − 299785号として公開さ
れている. かかる従来の微小移動装置のill威及びその動作の概
略について、第9図及び第12図を用いて説明する. これらの図に示すように、従来の微小移動装置は、移動
体2と慣性体3を圧電素子4で結合し、移動体2をベー
ス1上に置いて、その摩擦力で保持するように構成され
ている. そこで、圧電素子4に電圧を印加して慣性体3を加速し
、その反動を利用して移動体2の移動を引き起こすこと
により、単純な機構でありながら、10nm〜10μm
程度の微動を可能にしている.その移動原理は、以下の
通りである。
どに人工的操作を加え、新しい遺伝情報体を作威して、
これを利用或いは研究する分野がある。その対象は遺伝
子.細胞,核.受精胚.組織或いは原生動物とさまざま
であるが、このうち、光学顕微鏡で観察できるものに対
して、物理的・機械的操作を加える手法としてマイクロ
マニピュレーションがある.例えば、動植物細胞や核に
外来遺伝子を注入して遺伝子の形質発現機構を解析する
場合、又は、初期胚・桑実胚を分割して仮親に移植し一
卵性複数子を作る場合、或いは受精卵の細胞質に他の個
体を移植してクローン生物を作る場合などに、マイクロ
マニピエレー夕は不可欠のものである. 一方、圧電素子(又は電歪素子)を用いた衝撃力による
微小移動装置は、既に、本願の発明者によって提案され
ており、特開昭63 − 299785号として公開さ
れている. かかる従来の微小移動装置のill威及びその動作の概
略について、第9図及び第12図を用いて説明する. これらの図に示すように、従来の微小移動装置は、移動
体2と慣性体3を圧電素子4で結合し、移動体2をベー
ス1上に置いて、その摩擦力で保持するように構成され
ている. そこで、圧電素子4に電圧を印加して慣性体3を加速し
、その反動を利用して移動体2の移動を引き起こすこと
により、単純な機構でありながら、10nm〜10μm
程度の微動を可能にしている.その移動原理は、以下の
通りである。
即ち、移動体2を左(+)方向に移動させる場合、まず
、第11図(a)に示すように、圧電素子4が縮んでい
る状態から、第11図(b)に示すように、圧電素子4
を急激に延ばすと、移動体2と慣性体3が互いに離れる
方向に移動する.次に、第11図(c)に示すように、
圧電素子4をゆっくりと引き戻し、第11図(d)に示
すように、圧電素子4が元の長さに戻ったところで急に
止めると、慣性体3が移動体2に衝突する形になり、第
11図(e)に示すように、移動体2は左方向に移動す
る。
、第11図(a)に示すように、圧電素子4が縮んでい
る状態から、第11図(b)に示すように、圧電素子4
を急激に延ばすと、移動体2と慣性体3が互いに離れる
方向に移動する.次に、第11図(c)に示すように、
圧電素子4をゆっくりと引き戻し、第11図(d)に示
すように、圧電素子4が元の長さに戻ったところで急に
止めると、慣性体3が移動体2に衝突する形になり、第
11図(e)に示すように、移動体2は左方向に移動す
る。
また、移動体2を右(一)方向に移動させる場合、まず
、第12図(a)に示すように、圧電素子4が伸びてい
る状態から、第12図(b)に示すように、圧電素子4
を急激に縮めると、移動体2と慣性体3が互いに近づく
方向に移動する.次に、第12図(c)に示すように、
圧電素子4をゆっくりと延ばし、第12図(d)に示す
ように、圧電素子4が元の長さに戻ったところで、急に
止めると、慣性体3が移動体2に衝突する形になり、第
12図(e)に示すように、移動体2は右方向へ移動す
る.更に、本願の発明者によって、この微小移動装置を
マイクロマニピュレータへ応用したものが、特願平1−
87287号として既に提案されている.(発明が解決
しようとする課B) しかしながら、上記の微小移動装置は、第13図に示す
ように、ベース10の摩擦面上の移動体11に微小器具
l4を取付けて、圧電素子l2の駆動により慣性体13
を加速し、その反動を利用して移動体1lの移動を引き
起こすようにしている.即ち、圧電素子12の伸び縮み
が慣性体l3を介して間接的に移動体11を移動させる
構造になっているため圧電素子12の伸び縮みそのもの
の超微動を行うことはできなかった. 本発明は、上記問題点を除去し、圧電素子の伸び縮みそ
のものをマイクロマニピュレータの微小器具の駆動に用
いることにより、より微細なマニビュレーションが可能
なマイクロマニピュレータの微小移動装置を提供するこ
とを目的とする.(!illを解決するための手段) 本発明は、上記目的を達或するために、微小器具を駆動
するマイクロマニピュレータの微小移動装置において、
摩擦面を有するベース(20.30)と、微小器具(2
4.34)が取付けられる慣性体(23. 33)と、
該慣性体(23.33)に衝撃力を付与する圧電素子(
22.32)と、該圧電素子(22.32)が固定され
、前記ベース(20 . 30)の摩擦面を移動する移
動体(21.31) とを設けるようにしたものである
.また、慣性体(33)は、慣性体(33)に取り付け
た摩擦力が小さくなるような摺動材(33a)を介して
前記ベース(30〉の摩擦面を移動するように構或する
. 更に、微小器具を駆動するマイクロマニピュレータの微
小移動装置において、摩擦面を有するベース(40)と
、該ベース(40)の摩擦面を移動可能な移動体(4l
)と、該移動体(4l)の前側に固定される微動用圧電
素子(44〉と、該微動用圧電素子(44)に固定され
る微小器具(45)と、前記移動体(41)の後側に固
定される衝撃力付与用圧電素子(43〉と、該衝撃力付
与用圧電素子の後端に固定される慣性体(42〉とを設
けるようにしたものである.(作用) 本発明によれば、上記のように構威したので、慣性力に
よるインパクト動作と、圧電素子(22.32)自体の
伸び縮みによる超微動動作を行わせることができるので
、より微細なマニビュレーションが可能である.また、
慣性体(33)を圧電素子(32)に固定すると共に、
慣性体(33)に取り付けた摩擦力が小さくなるような
摺動材(33a)、例えばテフロンを介して、その底面
がベース(30)の摩擦面に接触するように構戒するこ
とにより、移動体(31)と圧電素子(32)、圧電素
子(32)と慣性体(33)との接触面に負荷がかかる
ことがことがなく、強固な微小移動装置を得ることがで
きる。
、第12図(a)に示すように、圧電素子4が伸びてい
る状態から、第12図(b)に示すように、圧電素子4
を急激に縮めると、移動体2と慣性体3が互いに近づく
方向に移動する.次に、第12図(c)に示すように、
圧電素子4をゆっくりと延ばし、第12図(d)に示す
ように、圧電素子4が元の長さに戻ったところで、急に
止めると、慣性体3が移動体2に衝突する形になり、第
12図(e)に示すように、移動体2は右方向へ移動す
る.更に、本願の発明者によって、この微小移動装置を
マイクロマニピュレータへ応用したものが、特願平1−
87287号として既に提案されている.(発明が解決
しようとする課B) しかしながら、上記の微小移動装置は、第13図に示す
ように、ベース10の摩擦面上の移動体11に微小器具
l4を取付けて、圧電素子l2の駆動により慣性体13
を加速し、その反動を利用して移動体1lの移動を引き
起こすようにしている.即ち、圧電素子12の伸び縮み
が慣性体l3を介して間接的に移動体11を移動させる
構造になっているため圧電素子12の伸び縮みそのもの
の超微動を行うことはできなかった. 本発明は、上記問題点を除去し、圧電素子の伸び縮みそ
のものをマイクロマニピュレータの微小器具の駆動に用
いることにより、より微細なマニビュレーションが可能
なマイクロマニピュレータの微小移動装置を提供するこ
とを目的とする.(!illを解決するための手段) 本発明は、上記目的を達或するために、微小器具を駆動
するマイクロマニピュレータの微小移動装置において、
摩擦面を有するベース(20.30)と、微小器具(2
4.34)が取付けられる慣性体(23. 33)と、
該慣性体(23.33)に衝撃力を付与する圧電素子(
22.32)と、該圧電素子(22.32)が固定され
、前記ベース(20 . 30)の摩擦面を移動する移
動体(21.31) とを設けるようにしたものである
.また、慣性体(33)は、慣性体(33)に取り付け
た摩擦力が小さくなるような摺動材(33a)を介して
前記ベース(30〉の摩擦面を移動するように構或する
. 更に、微小器具を駆動するマイクロマニピュレータの微
小移動装置において、摩擦面を有するベース(40)と
、該ベース(40)の摩擦面を移動可能な移動体(4l
)と、該移動体(4l)の前側に固定される微動用圧電
素子(44〉と、該微動用圧電素子(44)に固定され
る微小器具(45)と、前記移動体(41)の後側に固
定される衝撃力付与用圧電素子(43〉と、該衝撃力付
与用圧電素子の後端に固定される慣性体(42〉とを設
けるようにしたものである.(作用) 本発明によれば、上記のように構威したので、慣性力に
よるインパクト動作と、圧電素子(22.32)自体の
伸び縮みによる超微動動作を行わせることができるので
、より微細なマニビュレーションが可能である.また、
慣性体(33)を圧電素子(32)に固定すると共に、
慣性体(33)に取り付けた摩擦力が小さくなるような
摺動材(33a)、例えばテフロンを介して、その底面
がベース(30)の摩擦面に接触するように構戒するこ
とにより、移動体(31)と圧電素子(32)、圧電素
子(32)と慣性体(33)との接触面に負荷がかかる
ことがことがなく、強固な微小移動装置を得ることがで
きる。
また、微小器具(34〉の先端の振動を低減することが
でき、より微細なマニピエレーシッンが可能である. 更に、衝撃力付与用圧電素子(43)と、微動用圧電素
子(44)とを2段に設けることにより、衝撃力付与用
圧電素子(43)によって、微小器具(45)を微小移
動させ、更に、微小器具(45〉を微動用圧電素子(4
4)により超微動させることができる。
でき、より微細なマニピエレーシッンが可能である. 更に、衝撃力付与用圧電素子(43)と、微動用圧電素
子(44)とを2段に設けることにより、衝撃力付与用
圧電素子(43)によって、微小器具(45)を微小移
動させ、更に、微小器具(45〉を微動用圧電素子(4
4)により超微動させることができる。
(実施例)
以下、本発明の実施例について図面を参照しながら詳細
に説明する。
に説明する。
第1図は本発明の実施例を示すマイクロマニピュレータ
の微小移動装置の側面図、第2図はその平面図である. これらの図において、摩擦面20aを有するベース20
上に移動体21をセットし、移動体21の側面に圧電素
子22を接着・固定する.更に、圧電素子22の先端部
に慣性体23を接着・固定し、この慣性体23に微小針
等のマニピュレーション用微小器具24を取付ける. この実施例においては、慣性体23は圧電素子22に固
定されているのみで、ベース20の摩擦面20aには接
触していない. 第3図は本発明の第2の実施例を示すマイクロマニピエ
レー夕の微小移動装置の側面図、第4図はその平面図で
ある. これらの図において、摩擦面を有するベース30上に移
動体31をセットし、移動体3lの側面に圧電素子32
を接着・固定する.更に、圧電素子32の先端部に慣性
体33を接着・固定し、この慣性体33に微小針等のマ
ニピュレーシッン用微小器具34を取付ける。
の微小移動装置の側面図、第2図はその平面図である. これらの図において、摩擦面20aを有するベース20
上に移動体21をセットし、移動体21の側面に圧電素
子22を接着・固定する.更に、圧電素子22の先端部
に慣性体23を接着・固定し、この慣性体23に微小針
等のマニピュレーション用微小器具24を取付ける. この実施例においては、慣性体23は圧電素子22に固
定されているのみで、ベース20の摩擦面20aには接
触していない. 第3図は本発明の第2の実施例を示すマイクロマニピエ
レー夕の微小移動装置の側面図、第4図はその平面図で
ある. これらの図において、摩擦面を有するベース30上に移
動体31をセットし、移動体3lの側面に圧電素子32
を接着・固定する.更に、圧電素子32の先端部に慣性
体33を接着・固定し、この慣性体33に微小針等のマ
ニピュレーシッン用微小器具34を取付ける。
この実施例においては前記した第1図及び第2図の場合
と異なり、慣性体33は摩擦面となる底面に摩擦力が小
さくなるような摺動材33a1例えばテフロンを有し、
圧電素子32に固定されると共に、前記摺動材33aが
ベース30の摩擦面30aに接触するようになっている
. このように構戒すると、移動体31と圧電素子32、圧
電素子32と慣性体33との接触面に負荷がかからなく
なるため、強固な微小移動装置を得ることができる. また、マニピュレーシッン用微小器具34の超微動時の
振動を抑制することができる. 次に、本発明のマイクロマニピュレータの微小移動装置
の動作について第5図及び第6図を参照しながら説明す
る.ここでは、第3図と同様にマイクロマニピュレータ
の微小移動装置が設置されている.そこで、 まず、第5図(a)に示すように、圧電素子32が縮ん
でいる状態から、第5図(b)に示すように、圧電素子
32を急激に延ばすと、移動体31と慣性体33が互い
に離れる方向に移動する。つまり、慣性体33は左方向
へ超微動変位し、これに応じてマニピュレーシ5ン用微
小器具34も左方向へ超微動する.次に、第5図(c)
に示すように、圧電素子32をゆっくりと引き戻し、第
5図(d)に示すように、圧電素子32が元の長さに戻
ったところで急に止めると、慣性体33が移動体31に
衝突する形になり、第5図(e)に示すように、移動体
3lは右方向に移動する.この状態では、慣性体33は
右方向へ、マニビエレーション用微小器具34も右方向
へ微小移動したことになる. また、第6図(a)に示すように、圧電素子32が伸び
ている状態から、第6図(b)に示すように、圧電素子
32を急激に縮めると、移動体3lと慣性体33が互い
に近づく方向に移動する,つまり、慣性体33は右方向
へ変位し、これに応じてマニビュレーション用微小器具
34も右方向へ超微動する。次に、第6図(c)に示す
ように、圧電素子32をゆっくりと延ばすと、慣性体3
3も左方向へ直ちに超微動変位し、これに応じてマニピ
エレーシッン用微小器具34も左方向へ超微動する。そ
して、第6図(d)に示すように、圧電素子32が元の
長さに戻ったところで急に止めると、第6図(e)に示
すように、移動体3lは左方向へ移動すると共に、マニ
ピュレーション用微小器具34も左方向へ超微動する.
このように、マニピュレーシッン用微小器具34を慣性
体33に取付けたので、圧電素子32自体の伸び縮みと
、それに起因する慣性体33のインパクト動作により、
マユビュレーシッン用微小器具34を超微動させること
ができる. 第7図は本発明の第3の実施例を示すマイクロマニピュ
レータの微小移動装置の側面図、第8図はその平面図で
ある. これらの図において、摩擦面40aを有するベース40
上に移動体4lをセットし、移動体41の前面に微動用
圧電素子44を接着・固定し、その圧電素子44の前面
に微小針等のマニピュレーション用微小器具45を固定
する.更に、移動体4lの後面に衝撃力付与用圧電素子
43を接着・固定し、その圧電素子43の後面に慣性体
42を固定する。
と異なり、慣性体33は摩擦面となる底面に摩擦力が小
さくなるような摺動材33a1例えばテフロンを有し、
圧電素子32に固定されると共に、前記摺動材33aが
ベース30の摩擦面30aに接触するようになっている
. このように構戒すると、移動体31と圧電素子32、圧
電素子32と慣性体33との接触面に負荷がかからなく
なるため、強固な微小移動装置を得ることができる. また、マニピュレーシッン用微小器具34の超微動時の
振動を抑制することができる. 次に、本発明のマイクロマニピュレータの微小移動装置
の動作について第5図及び第6図を参照しながら説明す
る.ここでは、第3図と同様にマイクロマニピュレータ
の微小移動装置が設置されている.そこで、 まず、第5図(a)に示すように、圧電素子32が縮ん
でいる状態から、第5図(b)に示すように、圧電素子
32を急激に延ばすと、移動体31と慣性体33が互い
に離れる方向に移動する。つまり、慣性体33は左方向
へ超微動変位し、これに応じてマニピュレーシ5ン用微
小器具34も左方向へ超微動する.次に、第5図(c)
に示すように、圧電素子32をゆっくりと引き戻し、第
5図(d)に示すように、圧電素子32が元の長さに戻
ったところで急に止めると、慣性体33が移動体31に
衝突する形になり、第5図(e)に示すように、移動体
3lは右方向に移動する.この状態では、慣性体33は
右方向へ、マニビエレーション用微小器具34も右方向
へ微小移動したことになる. また、第6図(a)に示すように、圧電素子32が伸び
ている状態から、第6図(b)に示すように、圧電素子
32を急激に縮めると、移動体3lと慣性体33が互い
に近づく方向に移動する,つまり、慣性体33は右方向
へ変位し、これに応じてマニビュレーション用微小器具
34も右方向へ超微動する。次に、第6図(c)に示す
ように、圧電素子32をゆっくりと延ばすと、慣性体3
3も左方向へ直ちに超微動変位し、これに応じてマニピ
エレーシッン用微小器具34も左方向へ超微動する。そ
して、第6図(d)に示すように、圧電素子32が元の
長さに戻ったところで急に止めると、第6図(e)に示
すように、移動体3lは左方向へ移動すると共に、マニ
ピュレーション用微小器具34も左方向へ超微動する.
このように、マニピュレーシッン用微小器具34を慣性
体33に取付けたので、圧電素子32自体の伸び縮みと
、それに起因する慣性体33のインパクト動作により、
マユビュレーシッン用微小器具34を超微動させること
ができる. 第7図は本発明の第3の実施例を示すマイクロマニピュ
レータの微小移動装置の側面図、第8図はその平面図で
ある. これらの図において、摩擦面40aを有するベース40
上に移動体4lをセットし、移動体41の前面に微動用
圧電素子44を接着・固定し、その圧電素子44の前面
に微小針等のマニピュレーション用微小器具45を固定
する.更に、移動体4lの後面に衝撃力付与用圧電素子
43を接着・固定し、その圧電素子43の後面に慣性体
42を固定する。
このように構威されるので、衝撃力付与用圧電素子43
の駆動により、移動体4lは微小移動し、マニビュレー
シッン用微小器具45も微小移動する,更に、微動用圧
電素子44の駆動により、それに直接固定されている微
小器具45は超微動を行なわせることができる. また、上記実施例においては、微小器具として微小針を
示したが、これを微小電極等へ適用することも可能であ
る. なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、
本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能であり、これ
らを本発明の範囲から排除するものではない. (発明の効果) 以上、詳細に説明したように、本発明によれば、以下の
ような効果を奏することができる.(1)慣性力による
インパクト動作と、圧電素子自体の伸び縮みによる超微
動動作を行わせ得るので、より微細なマニピュレーショ
ンが可能となる.(2)慣性体を圧電素子に固定すると
共に、その底面がベースの摩擦面に接触するように構威
することにより、移動体と圧電素子、圧電素子と慣性体
との接触面に負荷がかかることがことがないので、強固
な微小移動装置を得ることができる.(3)また、衝撃
力付与用圧電素子と、微動用圧電素子とを2段に設ける
ことにより、衝撃力付与用圧電素子によって、微小器具
を微小移動させ、更に、微小器具を微動用圧電素子によ
り超微動させることができる.従って、マニピュレーシ
ッンの目的物に対して、多様な木目の細かい制御を実行
させることができる。
の駆動により、移動体4lは微小移動し、マニビュレー
シッン用微小器具45も微小移動する,更に、微動用圧
電素子44の駆動により、それに直接固定されている微
小器具45は超微動を行なわせることができる. また、上記実施例においては、微小器具として微小針を
示したが、これを微小電極等へ適用することも可能であ
る. なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、
本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能であり、これ
らを本発明の範囲から排除するものではない. (発明の効果) 以上、詳細に説明したように、本発明によれば、以下の
ような効果を奏することができる.(1)慣性力による
インパクト動作と、圧電素子自体の伸び縮みによる超微
動動作を行わせ得るので、より微細なマニピュレーショ
ンが可能となる.(2)慣性体を圧電素子に固定すると
共に、その底面がベースの摩擦面に接触するように構威
することにより、移動体と圧電素子、圧電素子と慣性体
との接触面に負荷がかかることがことがないので、強固
な微小移動装置を得ることができる.(3)また、衝撃
力付与用圧電素子と、微動用圧電素子とを2段に設ける
ことにより、衝撃力付与用圧電素子によって、微小器具
を微小移動させ、更に、微小器具を微動用圧電素子によ
り超微動させることができる.従って、マニピュレーシ
ッンの目的物に対して、多様な木目の細かい制御を実行
させることができる。
第1図は本発明の実施例を示すマイクロマニピュレータ
の微小移動装置の側面図、第2図はその平面図、第3図
は本発明の他の実施例を示すマイクロマニピュレータの
微小移動装置の側面図、第4図はその平面図、第5図及
び第6図はその動作説明図、第7図は本発明の第3の実
施例を示すマイクロマニピエレー夕の微小移動装置の側
面図、第8図はその平面図、第9図は従来の微小移動装
置の側面図、第10図はその平面図、第11図及び第1
2図はその動作説明図、第13図は従来のマイクロマニ
ピュレータの微小移動装置の側面図である。 20, 30. 40・・・ベース、21. 31.
41・・・移動体、2232, 43. 44・・・圧
電素子、23, 33. 42・・・慣性体、20a,
30a,40a・・・摩擦面、33a・・・底面(摩擦
面)、24, 34. 45・・・マニピュレーション
用微小器具。
の微小移動装置の側面図、第2図はその平面図、第3図
は本発明の他の実施例を示すマイクロマニピュレータの
微小移動装置の側面図、第4図はその平面図、第5図及
び第6図はその動作説明図、第7図は本発明の第3の実
施例を示すマイクロマニピエレー夕の微小移動装置の側
面図、第8図はその平面図、第9図は従来の微小移動装
置の側面図、第10図はその平面図、第11図及び第1
2図はその動作説明図、第13図は従来のマイクロマニ
ピュレータの微小移動装置の側面図である。 20, 30. 40・・・ベース、21. 31.
41・・・移動体、2232, 43. 44・・・圧
電素子、23, 33. 42・・・慣性体、20a,
30a,40a・・・摩擦面、33a・・・底面(摩擦
面)、24, 34. 45・・・マニピュレーション
用微小器具。
Claims (3)
- (1)微小器具を駆動するマイクロマニピュレータの微
小移動装置において、 (a)摩擦面を有するベースと、 (b)微小器具が取付けられる慣性体と、 (c)該慣性体に衝撃力を付与する圧電素子と、 (d)該圧電素子が固定され、前記ベースの摩擦面を移
動する移動体とを具備してなるマイクロマニピュレータ
の微小移動装置。 - (2)前記慣性体は前記ベースの摩擦面を移動すること
を特徴とする請求項1記載のマイクロマニピュレータの
微小移動装置。 - (3)微小器具を駆動するマイクロマニピュレータの微
小移動装置において、 (a)摩擦面を有するベースと、 (b)該ベースの摩擦面を移動可能な移動体と、 (d)該微動用圧電素子に固定される微小器具と、 (e)前記移動体の後側に固定される衝撃力を付与する
圧電素子と、 (f)該圧電素子の後端に固定される慣性体とを具備す
るマイクロマニピュレータの微小移動装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1303389A JPH0698584B2 (ja) | 1989-11-24 | 1989-11-24 | マイクロマニピュレータの微小移動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1303389A JPH0698584B2 (ja) | 1989-11-24 | 1989-11-24 | マイクロマニピュレータの微小移動装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03166081A true JPH03166081A (ja) | 1991-07-18 |
JPH0698584B2 JPH0698584B2 (ja) | 1994-12-07 |
Family
ID=17920432
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1303389A Expired - Lifetime JPH0698584B2 (ja) | 1989-11-24 | 1989-11-24 | マイクロマニピュレータの微小移動装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0698584B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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1989
- 1989-11-24 JP JP1303389A patent/JPH0698584B2/ja not_active Expired - Lifetime
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US10723991B2 (en) | 2009-12-23 | 2020-07-28 | Andreas Schirr | Apparatus and method for generating a tool motion |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0698584B2 (ja) | 1994-12-07 |
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