JP6358392B2 - 一体形成された直線移動機構 - Google Patents
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Description
本発明の第二の態様によれば、直線移動機構は、固定部と、前記固定部を共通の固定点として前記固定部を通る直線移動方向線に沿って反対向きに設けられた第1の直線移動部および第2の直線移動部と、を有し、前記第1および第2の直線移動部のそれぞれが、前記直線移動方向線に対して線対称の形状を有し、前記固定部に一端が固定され、前記直線移動方向線に直交する入力方向および入力変位を、前記直線移動方向線に沿った出力方向および出力変位に変換する弾性装置と、前記弾性装置を前記入力方向に前記入力変位だけ変形するように配置された操作部材と、前記直線移動方向線上にある前記弾性装置の他端に固定され、前記弾性装置の変形により前記出力方向に前記出力変位だけ移動する可動部材と、を有し、前記第1および第2の直線移動部のそれぞれの可動部材が独立に、かつ反対向きに直線移動可能である。
本発明の第三の態様によれば、直線移動機構は、固定部と、前記固定部を共通の固定点として、前記固定部に対して反対向きに設けられた第1の直線移動部と第2の直線移動部と、を有し、前記第1および第2の直線移動部のそれぞれが、長軸の一端が前記固定部に固定され他端が可動な弾性楕円リングと、前記弾性楕円リングの短軸の方向に前記弾性楕円リングを変形するように配置された操作部材と、前記弾性楕円リングの前記長軸の他端に固定された可動部材と、前記可動部材を弾性支持するように配置された弾性支持部材と、を備える。
1.1)構造
図1および図2を参照すると、第1の実施形態による直線移動機構10は、固定部103に接続された固定点102および可動部105に接続された可動点104を有する楕円リング101を有する。固定点102および可動点104は、楕円リング101の長軸の両端である。
図3を参照すると、軟質ばね部106aおよび106bが相互に逆の入力方向201aおよび201bに押圧または引張されると、楕円リング101は矢印202a、202bおよび203で示されるように変形することで、短軸の長さが減少または増大し、長軸の長さが増大または減少する。固定点102は移動が妨げられているので、可動点104が方向203の方向に移動することにより、可動部105は出力方向205にわずかに移動する一方、可動部110aおよび110bも同じ方向204aおよび204bにそれぞれわずかに移動する。
図4に例示するように、直線移動機構10のすべての部分101〜114は、所定厚さの均質材料からなる単一の弾性板120から平面構造形状を切り取ることによって一体形成されてもよい。これにより、直線移動機構10は、すべての部分101〜114が同じ厚さである2次元構造を有するので、重量および大きさを小さくすることが容易となり、製造が簡単になる。直線移動機構10の製造には、射出成形、3次元プリンタあるいはMEMS(Microelectromechanical Systems)のような他の技術を用いてもよい。
本発明の第1の実施形態によれば、軟質ばね部の大きい入力変位が、ばね定数比に従って、可動部の小さい直線移動に変換される。これにより、入力変位が低精度で軟質ばね部に加えられても、直線移動機構は高精度の直線移動を提供することができる。ばね定数比が既知の場合、可動部の変位量は、可動部の変位を正確に測定することなく、軟質ばねの入力変位を正確に測定することによって高精度で計算することができる。したがって、本発明の第1の実施形態は、可動部のナノ分解能の移動を達成することができる。
i.確実に予測可能かつ反復可能な移動。
ii.複雑な位置センサや閉ループサーボ制御なしの正確な移動であるため、開ループ制御が可能。
iii.極低温から400℃以上までの広い温度範囲で完全に動作。
iv.押圧/引張機構(入力機構)を考慮する必要のない半永久的な寿命。
v.粒子汚染なし、交差汚染なし。
vi.腐食性の気体や液体中のような腐食条件に対する高い耐性。
2.1)構造
図5および図6に示すように、第2の実施形態による直線移動機構20は、第1の直線移動部300および第2の直線移動部400の組合せによって形成される。それぞれの直線移動部は、図1および図2に示した直線移動機構10とほぼ同じ機能的構造を有する。第1の直線移動部300および第2の直線移動部400は、楕円リング301および401の長軸が互いに一致するように配置される。第1の直線移動部300および第2の直線移動部400は、第1の実施形態の固定部103に対応する共通の固定部303/403を有する。したがって、直線移動機構20は、その両側にそれぞれ可動部305および405を備える。
図7を参照すると、操作板307aおよび307bが逆方向に動作することにより、軟質ばね306aおよび306bは、第1の実施形態で述べたように同時に押圧または引張される。同様に、操作板407aおよび407bが操作板307aおよび307bと同様に、しかし操作板307aおよび307bとは独立に動作する。これにより、軟質ばね部306aおよび306bならびに軟質ばね部406aおよび406bが押圧または引張されると、楕円リング301および401が変形し、それによって可動部305および405がそれぞれ方向309および409の方向に移動する。
図4に示した第1の実施形態と同様に、直線移動機構20のすべての部分も、例えば、所定厚さの単一の弾性板から平面構造形状を切り取ることによって一体形成されてもよい。これにより、すべての部分が同じ厚さである2次元構造を有する直線移動機構20を製造することができるので、重量および大きさの低減が容易となり、製造が簡単になる。直線移動機構20の製造には、射出成形、3次元プリンタあるいはMEMSのような他の技術を用いてもよい。
3.1)調整可能な支持組立体
3.1.1)構造
図8を参照すると、支持組立体は、バイポッド(二脚台)600および第2の実施形態で説明した直線移動機構20から構成される。バイポッド600は、2本の支持ロッド601および602を有し、それらの一端は上側で接続され、そこに載置部603が設けられて逆V字形のバイポッドを形成する。支持ロッド601および602の他端は、第1の直線移動部300の可動部305および第2の直線移動部400の可動部405にそれぞれ固定される。支持ロッド601および602は同じ構造を有する。以下、図9〜図11に示す支持ロッド601の構造を例として説明する。
図9〜図11を参照すると、支持ロッド601は、固定部610、2個の制限変位可撓性ジョイント611および612、相対的な剛性を有するロッド613、ならびに2個の制限変位可撓性ジョイント614および615を含む脚のような形状を有する。制限変位可撓性ジョイント611、612、614および615の各々は、支持ロッド601の長手軸に対して直交する可撓性方向D1とD2が交互に、制限された可撓性を提供する。可撓性方向D1は、支持ロッド601および602によって形成される平面内で支持ロッド601に直交する方向であり、一般的に図10に例示されている。可撓性方向D2は、支持ロッド601および602によって形成される平面に直交する方向であり、一般的に図11に例示されている。この例では、制限変位可撓性ジョイント611および614は方向D2の方向に湾曲可能である一方、制限変位可撓性ジョイント612および615は方向D1の方向に湾曲可能である。これにより、支持ロッド601は、方向D1およびD2の方向に自由に湾曲可能である。同様に、支持ロッド602は、固定部分620、2個の制限変位可撓性ジョイント621および622、相対的な剛性を有する剛体のロッド623、ならびに2個の制限変位可撓性ジョイント624および625を含む脚のような形状を有し、支持ロッド602の長手軸に対して直交する可撓性方向D1およびD2に自由に湾曲可能である。
図15を参照すると、支持組立体は、バイポッド600および直線移動機構20から組み立てられる。支持ロッド601および602は、第1の直線移動部300の可動部305および第2の直線移動部400の可動部405にそれぞれ固定される。これにより、バイポッド600の載置部603は、可動部305および405の直線移動のそれぞれの方向および変位に応じて、支持ロッド601および602によって形成される平面上の制限された範囲内で任意の位置に移動することができる。
上記のような構造のバイポッド600は、十分な強度の弾性材料からなり、射出成形、3次元プリンタあるいはMEMSのような任意の技術を用いて一体形成してもよい。
3.2.1)構造
図17〜図21を参照すると、6自由度を有するヘクサポッド(六脚台)構成は、底板701、上板702ならびに3個の支持組立体A、BおよびCを有する。支持組立体A、BおよびCのそれぞれは、図8に示すようなバイポッド(600A,600B,600C)および直線移動機構(20A,20B,20C)から構成される。支持組立体A、BおよびCは、一般的に図20に示すように、正三角形構成で底板701上に固定配置される。上板702は、バイポッド600A、600Bおよび600Cの載置部に固定される。これにより、上板702は、3個の位置調整可能な点によって支持される。
上板702は支持組立体A、BおよびCによって支持されているので、上板702の位置および/または傾きは、直線移動機構20A、20Bおよび20Cの少なくとも1つの直線移動の拡大、縮小または平行移動を独立に制御することによって変化させることができる。以下、ヘクサポッドの一般的動作について、一例として図16A〜図16Dおよび図18を参照して説明する。
既に説明したように、第1または第2の実施形態による直線移動機構によれば、軟質ばね部の大きい入力変位が、ばね定数比に従って、可動部の小さい直線移動に変換される。これにより、入力変位が低精度で軟質ばね部に加えられても、直線移動機構を用いたヘクサポッドシステムは高精度で上板を移動することができる。ばね定数比が既知の場合、上板の変位量は、上板の変位を正確に測定することなく、入力変位を正確に測定することによって高精度で計算することができる。
MEMS技術を用いて、第1または第2の実施形態による直線移動機構を容易に微細化することができる。このような微細化された直線移動機構は、顕微鏡下で細胞サイズの物体を操作するためのマイクロマニピュレータ用の移動縮小機構として利用できるので好ましい。
本発明は、航空機、宇宙船等のさまざまな過酷環境にさらされ得る6自由度調整装置のような高精度測定装置に適用可能である。
(付記1)
入力方向および入力変位を、前記入力方向に直交する出力方向および出力変位に変換するように配置された弾性装置と、
前記弾性装置を前記入力方向に前記入力変位だけ変形するように配置された操作部材と、
前記弾性装置に固定され、前記出力方向に前記出力変位だけ移動する可動部材と、
を備えた直線移動機構。
(付記2)
前記入力変位と前記出力変位との比が、前記弾性装置および前記操作部材のばね定数の組合せによって決定される付記1に記載の直線移動機構。
(付記3)
前記直線移動機構が、一体形成された2次元構造を有する付記1または2に記載の直線移動機構。
(付記4)
長軸の一端が固定され他端が可動な弾性楕円リングと、
前記弾性楕円リングの短軸の方向に前記弾性楕円リングを変形するように配置された操作部材と、
前記弾性楕円リングの他端に固定された可動部材と、
前記可動部材を弾性支持するように配置された弾性支持部材と、
を備えた直線移動機構。
(付記5)
前記弾性支持部材が、前記可動部材の移動を前記長軸の方向に沿った直線移動に限定する付記4に記載の直線移動機構。
(付記6)
前記操作部材の押圧変位と前記可動部材の直線移動変位との比が、前記弾性楕円リング、前記操作部材および前記弾性支持部材のばね定数の組合せによって決定される付記4または5に記載の直線移動機構。
(付記7)
前記操作部材のばね定数が前記弾性支持部材のばね定数よりも小さい付記6に記載の直線移動機構。
(付記8)
前記操作部材が、前記短軸の方向に前記弾性楕円リングを挟持する1対のばね部を有する付記4ないし7のいずれか1項に記載の直線移動機構。
(付記9)
前記弾性支持部材が、複数の板ばねを介して前記可動部材を挟持する1対の支持部を有する付記4ないし8のいずれか1項に記載の直線移動機構。
(付記10)
前記直線移動機構が、一体形成された2次元構造を有する付記4ないし9のいずれか1項に記載の直線移動機構。
(付記11)
第1の直線移動部と、
共通の固定点で前記第1の直線移動部に固定された第2の直線移動部と、
を有し、
前記第1および第2の直線移動部のそれぞれが、
入力方向および入力変位を、前記入力方向に直交する出力方向および出力変位に変換するように配置された弾性装置と、
前記弾性装置を前記入力方向に前記入力変位だけ変形するように配置された操作部材と、
前記弾性装置に固定され、前記出力方向に前記出力変位だけ移動する可動部材と、
を備えた直線移動機構。
(付記12)
前記第1および第2の直線移動部のそれぞれの前記可動部材が、対応する直線移動部の前記出力方向に独立に移動する付記11に記載の直線移動機構。
(付記13)
前記入力変位と前記出力変位との比が、前記弾性装置および前記操作部材のばね定数の組合せによって決定される付記11または12に記載の直線移動機構。
(付記14)
前記直線移動機構が、一体形成された2次元構造を有する付記11ないし13のいずれか1項に記載の直線移動機構。
(付記15)
入力方向に入力変位だけ弾性装置を変形させ、
前記入力方向および前記入力変位を、前記入力方向に直交する出力方向および出力変位に変換し、
前記弾性装置に固定された可動部材を前記出力方向に前記出力変位だけ移動させる、
直線移動方法。
(付記16)
前記入力変位と前記出力変位との比が、前記弾性装置および前記操作部材のばね定数の組合せによって決定される付記15に記載の直線移動方法。
(付記17)
付記1ないし3のいずれか1項に記載の直線移動機構の製造方法であって、
所定厚さの弾性板を用意し、
前記弾性板から前記直線移動機構を切り取る、
直線移動機構の製造方法。
(付記18)
付記4ないし10のいずれか1項に記載の直線移動機構の製造方法であって、
所定厚さの弾性板を用意し、
前記弾性板から前記直線移動機構を切り取る、
直線移動機構の製造方法。
(付記19)
付記11ないし14のいずれか1項に記載の直線移動機構の製造方法であって、
所定厚さの弾性板を用意し、
前記弾性板から前記直線移動機構を切り取る、
直線移動機構の製造方法。
Claims (10)
- 長軸の一端が固定され他端が可動な弾性楕円リングと、
前記弾性楕円リングの短軸の方向に前記弾性楕円リングを変形するように配置された操作部材と、
前記弾性楕円リングの前記他端に固定された可動部材と、
前記可動部材を弾性支持するように配置された弾性支持部材と、
を備えた直線移動機構。 - 前記弾性支持部材が、前記可動部材の移動を前記長軸の方向に沿った直線移動に限定する請求項1に記載の直線移動機構。
- 前記操作部材の押圧または引張変位と前記可動部材の直線移動変位との比が、前記弾性楕円リング、前記操作部材および前記弾性支持部材のそれぞれのばね定数の組合せによって決定される請求項1または2に記載の直線移動機構。
- 前記操作部材のばね定数が前記弾性支持部材のばね定数よりも小さい請求項3に記載の直線移動機構。
- 前記操作部材が、前記短軸の方向に前記弾性楕円リングを挟持する1対のばね部を有する請求項1ないし4のいずれか1項に記載の直線移動機構。
- 前記弾性支持部材が、複数の板ばねを介して前記可動部材を挟持する1対の支持部を有する請求項1ないし5のいずれか1項に記載の直線移動機構。
- 前記弾性楕円リング、前記操作部材、前記可動部材および前記弾性支持部材が、一体形成された2次元構造を有する請求項1ないし6のいずれか1項に記載の直線移動機構。
- 固定部と、前記固定部を共通の固定点として前記固定部を通る直線移動方向線に沿って反対向きに設けられた第1の直線移動部および第2の直線移動部と、を有し、
前記第1および第2の直線移動部のそれぞれが、
前記直線移動方向線に対して線対称の形状を有し、前記固定部に一端が固定され、前記直線移動方向線に直交する入力方向および入力変位を、前記直線移動方向線に沿った出力方向および出力変位に変換する弾性装置と、
前記弾性装置を前記入力方向に前記入力変位だけ変形するように配置された操作部材と、
前記直線移動方向線上にある前記弾性装置の他端に固定され、前記弾性装置の変形により前記出力方向に前記出力変位だけ移動する可動部材と、
を有し、前記第1および第2の直線移動部のそれぞれの可動部材が独立に、かつ反対向きに直線移動可能である直線移動機構。 - 固定部と、前記固定部を共通の固定点として、前記固定部に対して反対向きに設けられた第1の直線移動部と第2の直線移動部と、を有し、
前記第1および第2の直線移動部のそれぞれが、
長軸の一端が前記固定部に固定され他端が可動な弾性楕円リングと、
前記弾性楕円リングの短軸の方向に前記弾性楕円リングを変形するように配置された操作部材と、
前記弾性楕円リングの前記長軸の他端に固定された可動部材と、
前記可動部材を弾性支持するように配置された弾性支持部材と、
を備えた直線移動機構。 - 請求項8または9に記載の直線移動機構の製造方法であって、
所定厚さの弾性板を用意し、
前記弾性板から前記直線移動機構を切り取る、
直線移動機構の製造方法。
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