JP5217489B2 - 駆動機構 - Google Patents
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Description
課題2)組立の簡略化
課題3)ゴミ対策
以下に、上述した課題について述べる。
一部または全部の長さが伸縮することで駆動力を生じる伸縮アクチュエータと、
前記伸縮アクチュエータの駆動力を、前記伸縮アクチュエータの伸縮方向に垂直な方向の移動に変換する移動機構とで構成され、
前記移動機構は、前記撮像部を搭載し、前記移動機構の移動方向に前記撮像部と共に移動する移動部を備え、
前記伸縮アクチュエータは、略平行に配置された第1の支持部と第2の支持部とを有し、
前記第1の支持部と前記第2の支持部との間隔が伸縮するアクチュエータであり、
前記移動機構は、
前記伸縮アクチュエータに積層されており、
前記移動部と、
一端が共に前記第1の支持部に接続され、他端が前記移動部に接続された第1および第2のレバーと、
一端が共に前記第2の支持部に接続され、他端が前記移動部の前記第1および第2のレバーが接続された位置とは異なる位置に接続された第3および第4のレバーと、
前記第1のレバーの中間部と前記第3のレバーの中間部とを接続する第1の回転部と、
前記第2のレバーの中間部と前記第4のレバーの中間部とを接続する第2の回転部とを備えたことを特徴とする駆動機構。
前記第2の支持部と前記第3および第4のレバーとを接続する弾性を有する1対の第2のヒンジとを備えたことを特徴とする1に記載の駆動機構。
前記第3および第4のレバーは、第2の連結部を介して前記移動部に接続されていることを特徴とする1または2に記載の駆動機構。
前記第3および第4のレバーと前記第2の連結部とを接続する弾性を有する1対の第4のヒンジとを備えたことを特徴とする1乃至3の何れか1項に記載の駆動機構。
前記第2の連結部と前記移動部とを接続する第2の弾性部材とを備えたことを特徴とする3または4に記載の駆動機構。
前記第3および第4のレバーと前記移動部とを接続する第2の弾性部材とを備えたことを特徴とする1または2に記載の駆動機構。
に記載の駆動機構。
100 伸縮アクチュエータ
110 シリコン基板
111a 第1の支持部
111b 第2の支持部
113 弾性部
115 固定部
115a (固定部の)上面
115b (固定部の)下面
121、121a、121b 形状記憶合金(SMA)薄膜
123 +側電極
125 −側電極
127 中間電極
131 圧電素子
133 +側電極
135 −側電極
137 圧電層
2 撮影光学系
21 撮影光軸
150、151 電源
160、161 スイッチ
3 撮像素子チップ
30 撮像素子パッケージ
31 パッケージ筐体
32 保護ガラス
33 密閉空間
34 基台
35 リードフレーム
4 駆動機構
400 移動機構
411a 第1のレバー
411b 第2のレバー
421a 第3のレバー
421b 第4のレバー
413a、413b 第1の弾性ヒンジ
423a、423b 第2の弾性ヒンジ
415a、415b 第3の弾性ヒンジ
425a、425b 第4の弾性ヒンジ
417 第1の連結部
427 第2の連結部
419a、419b 第1の弾性部材
429a、429b 第2の弾性部材
431 移動部
441a 第1の回転部
441b 第2の回転部
90 SOI基板
91 Si層
93 SiO2絶縁層
95 Si層
Claims (9)
- オートフォーカス動作対象の撮像部を移動させる駆動機構であって、
一部または全部の長さが伸縮することで駆動力を生じる伸縮アクチュエータと、
前記伸縮アクチュエータの駆動力を、前記伸縮アクチュエータの伸縮方向に垂直な方向の移動に変換する移動機構とで構成され、
前記移動機構は、前記撮像部を搭載し、前記移動機構の移動方向に前記撮像部と共に移動する移動部を備え、
前記伸縮アクチュエータは、略平行に配置された第1の支持部と第2の支持部とを有し、
前記第1の支持部と前記第2の支持部との間隔が伸縮するアクチュエータであり、
前記移動機構は、
前記伸縮アクチュエータに積層されており、
前記移動部と、
一端が共に前記第1の支持部に接続され、他端が前記移動部に接続された第1および第2のレバーと、
一端が共に前記第2の支持部に接続され、他端が前記移動部の前記第1および第2のレバーが接続された位置とは異なる位置に接続された第3および第4のレバーと、
前記第1のレバーの中間部と前記第3のレバーの中間部とを接続する第1の回転部と、
前記第2のレバーの中間部と前記第4のレバーの中間部とを接続する第2の回転部とを備えたことを特徴とする駆動機構。 - 前記第1の支持部と前記第1および第2のレバーとを接続する弾性を有する1対の第1のヒンジと、
前記第2の支持部と前記第3および第4のレバーとを接続する弾性を有する1対の第2のヒンジとを備えたことを特徴とする請求項1に記載の駆動機構。 - 前記第1および第2のレバーは、第1の連結部を介して前記移動部に接続されており、
前記第3および第4のレバーは、第2の連結部を介して前記移動部に接続されていることを特徴とする請求項1または2に記載の駆動機構。 - 前記第1および第2のレバーと前記第1の連結部とを接続する弾性を有する1対の第3のヒンジと、
前記第3および第4のレバーと前記第2の連結部とを接続する弾性を有する1対の第4のヒンジとを備えたことを特徴とする請求項1乃至3の何れか1項に記載の駆動機構。 - 前記第1の連結部と前記移動部とを接続する第1の弾性部材と、
前記第2の連結部と前記移動部とを接続する第2の弾性部材とを備えたことを特徴とする請求項3または4に記載の駆動機構。 - 前記第1および第2のレバーと前記移動部とを接続する第1の弾性部材と、
前記第3および第4のレバーと前記移動部とを接続する第2の弾性部材とを備えたことを特徴とする請求項1または2に記載の駆動機構。 - 前記第1および第2の支持部と、前記第1乃至第4のレバーと、弾性を有する1対の前記第1のヒンジと、弾性を有する1対の前記第2のヒンジとは、SOI基板により一体に形成されていることを特徴とする請求項2乃至6の何れか1項に記載の駆動機構。
- 前記第1乃至第4のレバーと、前記第1および第2の連結部と、弾性を有する1対の前記第3のヒンジと、弾性を有する1対の前記第4のヒンジと、前記第1および第2の回転部と、前記移動部と、前記第1および第2の弾性部材とは、一体に形成されていることを特徴とする請求項5または7に記載の駆動機構。
- 前記第1乃至第4のレバーと、前記第1および第2の回転部と、前記移動部と、前記第1および第2の弾性部材とは、一体に形成されていることを特徴とする請求項6または7に記載の駆動機構。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008042690A JP5217489B2 (ja) | 2008-02-25 | 2008-02-25 | 駆動機構 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008042690A JP5217489B2 (ja) | 2008-02-25 | 2008-02-25 | 駆動機構 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009196060A JP2009196060A (ja) | 2009-09-03 |
JP5217489B2 true JP5217489B2 (ja) | 2013-06-19 |
Family
ID=41140167
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008042690A Expired - Fee Related JP5217489B2 (ja) | 2008-02-25 | 2008-02-25 | 駆動機構 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5217489B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5724452B2 (ja) * | 2011-02-24 | 2015-05-27 | 株式会社村田製作所 | 圧電発電装置 |
JP2012198524A (ja) * | 2011-03-09 | 2012-10-18 | Canon Inc | 撮像素子の駆動機構 |
DE102011006595B4 (de) | 2011-03-31 | 2019-01-17 | Robert Bosch Gmbh | Mikromechanisches Bauteil und Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil |
JPWO2013108705A1 (ja) * | 2012-01-16 | 2015-05-11 | アルプス電気株式会社 | 微小可動機構及び可変容量コンデンサ |
JP6361365B2 (ja) * | 2014-08-13 | 2018-07-25 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電駆動装置及びその駆動方法、ロボット及びその駆動方法 |
US10557533B2 (en) | 2015-07-30 | 2020-02-11 | Nec Corporation | Linear motion mechanism formed integrally |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5559449A (en) * | 1978-10-26 | 1980-05-02 | Minolta Camera Co Ltd | Bellows device |
JPS63178362U (ja) * | 1987-05-08 | 1988-11-18 | ||
JPH01161326A (ja) * | 1987-12-18 | 1989-06-26 | Asahi Optical Co Ltd | 焦点距離可変レンズのレンズ移動機構 |
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-
2008
- 2008-02-25 JP JP2008042690A patent/JP5217489B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009196060A (ja) | 2009-09-03 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
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