JP2009196060A - 駆動機構 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】駆動機構4は、形状記憶合金薄膜121よりなる伸縮アクチュエータと、X字状に組み合わされた2組のレバー411,421と、移動部431とで構成される。レバー411b,421bの一端は弾性ヒンジ413b,423bを介して伸縮アクチュエータの両端にそれぞれ連結され、弾性ヒンジ415b,425bを介して移動部にそれぞれ連結されてX字状に組み合わされ、レバーの中央部分は回転部441bで相互に回動可能に接続されている。伸縮アクチュエータが伸縮すると、回転部を中心にレバーが回動し、移動部が伸縮アクチュエータの伸縮方向に垂直なZ方向へ移動する。
【選択図】図5
Description
課題2)組立の簡略化
課題3)ゴミ対策
以下に、上述した課題について述べる。
前記伸縮アクチュエータの駆動力を、前記伸縮アクチュエータの伸縮方向に垂直な方向の移動に変換する移動機構とで構成され、
前記移動機構は、前記移動機構の移動方向に移動する移動部を備えたことを特徴とする駆動機構。
前記移動機構は、
前記伸縮アクチュエータに積層されており、
前記移動部と
一端が共に前記第1の支持部に接続され、他端が前記移動部に接続された第1および第2のレバーと、
一端が共に前記第2の支持部に接続され、他端が前記移動部の前記第1および第2のレバーが接続された位置とは異なる位置に接続された第3および第4のレバーと、
前記第1のレバーの中間部と前記第3のレバーの中間部とを接続する第1の回転部と、
前記第2のレバーの中間部と前記第4のレバーの中間部とを接続する第2の回転部とを備えたことを特徴とする1に記載の駆動機構。
前記第2の支持部と前記第3および第4のレバーとを接続する弾性を有する1対の第2のヒンジとを備えたことを特徴とする2に記載の駆動機構。
前記第3および第4のレバーは、第2の連結部を介して前記移動部に接続されていることを特徴とする2または3に記載の駆動機構。
前記第3および第4のレバーと前記第2の連結部とを接続する弾性を有する1対の第4のヒンジとを備えたことを特徴とする2乃至4の何れか1項に記載の駆動機構。
前記第2の連結部と前記移動部とを接続する第2の弾性部材とを備えたことを特徴とする4または5に記載の駆動機構。
前記第3および第4のレバーと前記移動部とを接続する第2の弾性部材とを備えたことを特徴とする2または3に記載の駆動機構。
100 伸縮アクチュエータ
110 シリコン基板
111a 第1の支持部
111b 第2の支持部
113 弾性部
115 固定部
115a (固定部の)上面
115b (固定部の)下面
121、121a、121b 形状記憶合金(SMA)薄膜
123 +側電極
125 −側電極
127 中間電極
131 圧電素子
133 +側電極
135 −側電極
137 圧電層
2 撮影光学系
21 撮影光軸
150、151 電源
160、161 スイッチ
3 撮像素子チップ
30 撮像素子パッケージ
31 パッケージ筐体
32 保護ガラス
33 密閉空間
34 基台
35 リードフレーム
4 駆動機構
400 移動機構
411a 第1のレバー
411b 第2のレバー
421a 第3のレバー
421b 第4のレバー
413a、413b 第1の弾性ヒンジ
423a、423b 第2の弾性ヒンジ
415a、415b 第3の弾性ヒンジ
425a、425b 第4の弾性ヒンジ
417 第1の連結部
427 第2の連結部
419a、419b 第1の弾性部材
429a、429b 第2の弾性部材
431 移動部
441a 第1の回転部
441b 第2の回転部
90 SOI基板
91 Si層
93 SiO2絶縁層
95 Si層
Claims (10)
- 一部または全部の長さが伸縮することで駆動力を生じる伸縮アクチュエータと、
前記伸縮アクチュエータの駆動力を、前記伸縮アクチュエータの伸縮方向に垂直な方向の移動に変換する移動機構とで構成され、
前記移動機構は、前記移動機構の移動方向に移動する移動部を備えたことを特徴とする駆動機構。 - 前記伸縮アクチュエータは、略平行に配置された第1の支持部と第2の支持部とを有し、前記第1の支持部と前記第2の支持部との間隔が伸縮するアクチュエータであり、
前記移動機構は、
前記伸縮アクチュエータに積層されており、
前記移動部と
一端が共に前記第1の支持部に接続され、他端が前記移動部に接続された第1および第2のレバーと、
一端が共に前記第2の支持部に接続され、他端が前記移動部の前記第1および第2のレバーが接続された位置とは異なる位置に接続された第3および第4のレバーと、
前記第1のレバーの中間部と前記第3のレバーの中間部とを接続する第1の回転部と、
前記第2のレバーの中間部と前記第4のレバーの中間部とを接続する第2の回転部とを備えたことを特徴とする請求項1に記載の駆動機構。 - 前記第1の支持部と前記第1および第2のレバーとを接続する弾性を有する1対の第1のヒンジと、
前記第2の支持部と前記第3および第4のレバーとを接続する弾性を有する1対の第2のヒンジとを備えたことを特徴とする請求項2に記載の駆動機構。 - 前記第1および第2のレバーは、第1の連結部を介して前記移動部に接続されており、
前記第3および第4のレバーは、第2の連結部を介して前記移動部に接続されていることを特徴とする請求項2または3に記載の駆動機構。 - 前記第1および第2のレバーと前記第1の連結部とを接続する弾性を有する1対の第3のヒンジと、
前記第3および第4のレバーと前記第2の連結部とを接続する弾性を有する1対の第4のヒンジとを備えたことを特徴とする請求項2乃至4の何れか1項に記載の駆動機構。 - 前記第1の連結部と前記移動部とを接続する第1の弾性部材と、
前記第2の連結部と前記移動部とを接続する第2の弾性部材とを備えたことを特徴とする請求項4または5に記載の駆動機構。 - 前記第1および第2のレバーと前記移動部とを接続する第1の弾性部材と、
前記第3および第4のレバーと前記移動部とを接続する第2の弾性部材とを備えたことを特徴とする請求項2または3に記載の駆動機構。 - 前記第1および第2の支持部と、前記第1乃至第4のレバーと、弾性を有する1対の前記第1のヒンジと、弾性を有する1対の前記第2のヒンジとは、SOI基板により一体に形成されていることを特徴とする請求項3乃至7の何れか1項に記載の駆動機構。
- 前記第1乃至第4のレバーと、前記第1および第2の連結部と、弾性を有する1対の前記第3のヒンジと、弾性を有する1対の前記第4のヒンジと、前記第1および第2の回転部と、前記移動部と、前記第1および第2の弾性部材とは、一体に形成されていることを特徴とする請求項6または8に記載の駆動機構。
- 前記第1乃至第4のレバーと、前記第1および第2の回転部と、前記移動部と、前記第1および第2の弾性部材とは、一体に形成されていることを特徴とする請求項7または8に記載の駆動機構。
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