JP2003209981A - 圧電アクチュエータ及びそれを備えた電子機器 - Google Patents
圧電アクチュエータ及びそれを備えた電子機器Info
- Publication number
- JP2003209981A JP2003209981A JP2002007788A JP2002007788A JP2003209981A JP 2003209981 A JP2003209981 A JP 2003209981A JP 2002007788 A JP2002007788 A JP 2002007788A JP 2002007788 A JP2002007788 A JP 2002007788A JP 2003209981 A JP2003209981 A JP 2003209981A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric
- members
- piezoelectric actuator
- fixed
- driven member
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
- G02B26/0833—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
- G02B26/0858—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD the reflecting means being moved or deformed by piezoelectric means
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
- G02B26/0833—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
- G02B26/0841—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD the reflecting element being moved or deformed by electrostatic means
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/32—Optical coupling means having lens focusing means positioned between opposed fibre ends
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/35—Optical coupling means having switching means
- G02B6/3564—Mechanical details of the actuation mechanism associated with the moving element or mounting mechanism details
- G02B6/3568—Mechanical details of the actuation mechanism associated with the moving element or mounting mechanism details characterised by the actuating force
- G02B6/3578—Piezoelectric force
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
- H10N30/204—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using bending displacement, e.g. unimorph, bimorph or multimorph cantilever or membrane benders
- H10N30/2041—Beam type
- H10N30/2042—Cantilevers, i.e. having one fixed end
- H10N30/2043—Cantilevers, i.e. having one fixed end connected at their free ends, e.g. parallelogram type
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
- H10N30/204—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using bending displacement, e.g. unimorph, bimorph or multimorph cantilever or membrane benders
- H10N30/2041—Beam type
- H10N30/2042—Cantilevers, i.e. having one fixed end
- H10N30/2044—Cantilevers, i.e. having one fixed end having multiple segments mechanically connected in series, e.g. zig-zag type
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/35—Optical coupling means having switching means
- G02B6/351—Optical coupling means having switching means involving stationary waveguides with moving interposed optical elements
- G02B6/3512—Optical coupling means having switching means involving stationary waveguides with moving interposed optical elements the optical element being reflective, e.g. mirror
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/35—Optical coupling means having switching means
- G02B6/351—Optical coupling means having switching means involving stationary waveguides with moving interposed optical elements
- G02B6/3524—Optical coupling means having switching means involving stationary waveguides with moving interposed optical elements the optical element being refractive
- G02B6/3526—Optical coupling means having switching means involving stationary waveguides with moving interposed optical elements the optical element being refractive the optical element being a lens
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/35—Optical coupling means having switching means
- G02B6/354—Switching arrangements, i.e. number of input/output ports and interconnection types
- G02B6/3554—3D constellations, i.e. with switching elements and switched beams located in a volume
- G02B6/3556—NxM switch, i.e. regular arrays of switches elements of matrix type constellation
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/35—Optical coupling means having switching means
- G02B6/3564—Mechanical details of the actuation mechanism associated with the moving element or mounting mechanism details
- G02B6/3566—Mechanical details of the actuation mechanism associated with the moving element or mounting mechanism details involving bending a beam, e.g. with cantilever
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Lens Barrels (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明の課題は、コンパクトな構造で駆動力
が大きく振動等の外乱に対しても、温度・湿度といった
環境条件にも影響されないアクチュエータを提供するこ
とにある。 【解決手段】 本発明の圧電アクチュエータは、小型で
発生力の大きな圧電素子を駆動源に用いることで、曲げ
変位を発生させてその角度変位が最大となる点で被稼動
部材を支持するようにしたり、被稼動部材の支持点に偶
力を与えることによって大きな変位を得るようにした。
更にこの駆動機構を互いに交わる２軸に対して回転駆動
させるように組合せた機構とすることによって、被稼動
部材を所望方向に向けることが出来る機構を実現した。
が大きく振動等の外乱に対しても、温度・湿度といった
環境条件にも影響されないアクチュエータを提供するこ
とにある。 【解決手段】 本発明の圧電アクチュエータは、小型で
発生力の大きな圧電素子を駆動源に用いることで、曲げ
変位を発生させてその角度変位が最大となる点で被稼動
部材を支持するようにしたり、被稼動部材の支持点に偶
力を与えることによって大きな変位を得るようにした。
更にこの駆動機構を互いに交わる２軸に対して回転駆動
させるように組合せた機構とすることによって、被稼動
部材を所望方向に向けることが出来る機構を実現した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光通信分野あるい
は情報記録装置等において使用される光路切換え、調整
機能を備えたアクチュエータに関する。
は情報記録装置等において使用される光路切換え、調整
機能を備えたアクチュエータに関する。
【０００２】
【従来の技術】光通信分野で用いられている光スイッチ
は図１に示すように一方の複数チャンネルの光ファイバ
ー群と他方の複数チャンネルの光ファイバー群との間に
介在し、一方の光ファイバーの端部から出射される光
を、他方の複数の光ファイバーの端部に切換え入射させ
る機能を担うもので、大きく分類すると「メカニカル
型」「平面光導波路型」「ミラー型」「バブル型」の四
方式のものがある。最近の光通信分野においては数百チ
ャンネルを超えるような多数導波路に適用できる大規模
光スイッチを必要とするようになっていて、これに対応
出来るものとして「ミラー型」が注目されている。ミラ
ー型は光ファイバからの入射光をシリコン基板などを使
った微小ミラーで反射させ、光の経路を変更する方式で
ある。ミラーを変位させて光を反射又は透過させたり、
ミラーの向きを変えて反射光の出射方向を変更させたり
するものである。多チャンネル光スイッチとしては１つ
のミラーの向きを変えることで複数のチャンネルに光を
切換え出射させることができるので、コンパクトな多チ
ャンネル切換え光スイッチとして有利である。
は図１に示すように一方の複数チャンネルの光ファイバ
ー群と他方の複数チャンネルの光ファイバー群との間に
介在し、一方の光ファイバーの端部から出射される光
を、他方の複数の光ファイバーの端部に切換え入射させ
る機能を担うもので、大きく分類すると「メカニカル
型」「平面光導波路型」「ミラー型」「バブル型」の四
方式のものがある。最近の光通信分野においては数百チ
ャンネルを超えるような多数導波路に適用できる大規模
光スイッチを必要とするようになっていて、これに対応
出来るものとして「ミラー型」が注目されている。ミラ
ー型は光ファイバからの入射光をシリコン基板などを使
った微小ミラーで反射させ、光の経路を変更する方式で
ある。ミラーを変位させて光を反射又は透過させたり、
ミラーの向きを変えて反射光の出射方向を変更させたり
するものである。多チャンネル光スイッチとしては１つ
のミラーの向きを変えることで複数のチャンネルに光を
切換え出射させることができるので、コンパクトな多チ
ャンネル切換え光スイッチとして有利である。
【０００３】ところで、この種のチャンネル光スイッチ
の駆動には静電型のアクチュエータが使用された例が示
されている。これは静電圧を正電圧から逆電圧に切換え
印加することでミラー部材を駆動させるものであるが、
静電力を用いるものであるため駆動力が弱く、大きな負
荷の駆動には不向きであり、振動等の外乱に対しても弱
い上、極めて大きな駆動電圧を要し、湿度の影響を受け
易いといった問題があった。
の駆動には静電型のアクチュエータが使用された例が示
されている。これは静電圧を正電圧から逆電圧に切換え
印加することでミラー部材を駆動させるものであるが、
静電力を用いるものであるため駆動力が弱く、大きな負
荷の駆動には不向きであり、振動等の外乱に対しても弱
い上、極めて大きな駆動電圧を要し、湿度の影響を受け
易いといった問題があった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、コン
パクトな構造で駆動力が大きく振動等の外乱に対して
も、温度・湿度といった環境条件にも影響されないアク
チュエータを提供することにある。
パクトな構造で駆動力が大きく振動等の外乱に対して
も、温度・湿度といった環境条件にも影響されないアク
チュエータを提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の圧電アクチュエ
ータは、小型で発生力の大きな圧電素子を駆動源に用い
ることで、曲げ変位を発生させてその角度変位が最大と
なる点で被稼動部材を支持するようにしたり、被稼動部
材の支持点に偶力を与えることによって大きな変位を得
るようにした。更にこの駆動機構を互いに交わる２軸に
対して回転駆動させるように組合せた機構とすることに
よって、被稼動部材を所望方向に向けることが出来る機
構を実現した。
ータは、小型で発生力の大きな圧電素子を駆動源に用い
ることで、曲げ変位を発生させてその角度変位が最大と
なる点で被稼動部材を支持するようにしたり、被稼動部
材の支持点に偶力を与えることによって大きな変位を得
るようにした。更にこの駆動機構を互いに交わる２軸に
対して回転駆動させるように組合せた機構とすることに
よって、被稼動部材を所望方向に向けることが出来る機
構を実現した。
【０００６】
【発明の実施の形態】本発明は、光通信分野で求められ
ている多チャンネルの切換えをコンパクトな構造で確実
な動作が可能な光スイッチを開発して提供することに出
発している。図１に示すように一方の複数チャンネルの
光ファイバー群と他方の複数チャンネルの光ファイバー
群との間に介在し、一方の光ファイバーの端部から出射
される光を、他方の複数の光ファイバーの所望の端部に
切換え入射させる機能を担うものとして、図２に示すよ
うなミラーを用いるもの、図３に示すようなレンズを用
いるものなどを想定した。この他光路方向を変更させる
手段としてはファイバーやプリズムといった光学デバイ
スを用いることも選択出来る。図２において示したもの
は縦一横に複数マトリックス状に配列された出力用のフ
ァイバー・アレーと受光用のファイバー・アレー、更に
二つのミラー・アレーから構成されている。出力用のフ
ァイバー・アレーから出力された光は１番目のミラー・
アレーで反射され、２番目のミラー・アレーで更に反射
された後、受光用のファイバー・アレーに入射される構
成となっている。二つのミラー・アレーにおける各ミラ
ーの角度を調整することにより出力用のファイバー・ア
レーからの出力光を受光用のファイバー・アレーの任意
のポートのファイバーに入射することが出来るものであ
る。また、図３に示したものは出力用の各ファイバーの
端面に設けられたレンズと受光用の各ファイバーの端面
に設けられたレンズの角度を可変することにより出力光
を任意のポートのファイバーに向けると共に、ロス無く
入射光を受光するような構成としたものである。この様
に、縦一横に複数マトリックス状に配列された出力用の
ファイバー・アレーと受光用のファイバー・アレーを用
いる構成とすることで、光を飛ばす空間距離を極めて小
さくできるためスイッチの大規模化に際してもロスの小
さなスイッチが実現できるのである。
ている多チャンネルの切換えをコンパクトな構造で確実
な動作が可能な光スイッチを開発して提供することに出
発している。図１に示すように一方の複数チャンネルの
光ファイバー群と他方の複数チャンネルの光ファイバー
群との間に介在し、一方の光ファイバーの端部から出射
される光を、他方の複数の光ファイバーの所望の端部に
切換え入射させる機能を担うものとして、図２に示すよ
うなミラーを用いるもの、図３に示すようなレンズを用
いるものなどを想定した。この他光路方向を変更させる
手段としてはファイバーやプリズムといった光学デバイ
スを用いることも選択出来る。図２において示したもの
は縦一横に複数マトリックス状に配列された出力用のフ
ァイバー・アレーと受光用のファイバー・アレー、更に
二つのミラー・アレーから構成されている。出力用のフ
ァイバー・アレーから出力された光は１番目のミラー・
アレーで反射され、２番目のミラー・アレーで更に反射
された後、受光用のファイバー・アレーに入射される構
成となっている。二つのミラー・アレーにおける各ミラ
ーの角度を調整することにより出力用のファイバー・ア
レーからの出力光を受光用のファイバー・アレーの任意
のポートのファイバーに入射することが出来るものであ
る。また、図３に示したものは出力用の各ファイバーの
端面に設けられたレンズと受光用の各ファイバーの端面
に設けられたレンズの角度を可変することにより出力光
を任意のポートのファイバーに向けると共に、ロス無く
入射光を受光するような構成としたものである。この様
に、縦一横に複数マトリックス状に配列された出力用の
ファイバー・アレーと受光用のファイバー・アレーを用
いる構成とすることで、光を飛ばす空間距離を極めて小
さくできるためスイッチの大規模化に際してもロスの小
さなスイッチが実現できるのである。
【０００７】さて、このような出力用のファイバー・ア
レーと受光用のファイバー・アレー間に介在させ、光路
方向を変更させる光学デバイスを所望方向に駆動制御す
ることがこの光スイッチには必要であるが、それに応え
る手段として本発明は小型で発生力の大きな圧電素子を
駆動源に用いるようにした。圧電素子に曲げ変位を発生
させてその角度変位が最大となる点で被稼動部材を支持
するようにしたり、被稼動部材の支持点に偶力を与える
ことによって大きな変位を得るようにし、更にこの駆動
機構を互いに交わる２軸、一般には直交する２軸に対し
て回転駆動させるように組合せた機構とすることによっ
て、被稼動部材を所望方向に向けることが出来る機構を
実現したものである。以下に圧電素子を用いたアクチュ
エータの各種態様を順次提示する。圧電素子を用いたア
クチュエータの基本形態を図４に示す。１）は長手方向
に伸縮する短冊状の圧電素子を２枚重ね合わせたバイモ
ルフ型で、電圧を逆に印加して図の右側に示すように一
方の圧電素子が伸びるように、他方の圧電素子が縮むよ
うに差動的に伸縮させることによって、バイメタル形態
で上下に反り返る。２）は１枚の短冊状の圧電素子を金
属と貼り合わせたユニモルフ型で、圧電素子に電圧を印
可すると正逆の電圧により圧電素子が伸び、又は縮む。
金属は伸縮しないので、圧電素子と金属は相対的に長さ
が変わり、図の右側に示すようにバイメタル形態で上下
に反り返る。この部材の一端を固定すれば他端は反りに
応じて変位することになる。この変位を駆動力として利
用する。
レーと受光用のファイバー・アレー間に介在させ、光路
方向を変更させる光学デバイスを所望方向に駆動制御す
ることがこの光スイッチには必要であるが、それに応え
る手段として本発明は小型で発生力の大きな圧電素子を
駆動源に用いるようにした。圧電素子に曲げ変位を発生
させてその角度変位が最大となる点で被稼動部材を支持
するようにしたり、被稼動部材の支持点に偶力を与える
ことによって大きな変位を得るようにし、更にこの駆動
機構を互いに交わる２軸、一般には直交する２軸に対し
て回転駆動させるように組合せた機構とすることによっ
て、被稼動部材を所望方向に向けることが出来る機構を
実現したものである。以下に圧電素子を用いたアクチュ
エータの各種態様を順次提示する。圧電素子を用いたア
クチュエータの基本形態を図４に示す。１）は長手方向
に伸縮する短冊状の圧電素子を２枚重ね合わせたバイモ
ルフ型で、電圧を逆に印加して図の右側に示すように一
方の圧電素子が伸びるように、他方の圧電素子が縮むよ
うに差動的に伸縮させることによって、バイメタル形態
で上下に反り返る。２）は１枚の短冊状の圧電素子を金
属と貼り合わせたユニモルフ型で、圧電素子に電圧を印
可すると正逆の電圧により圧電素子が伸び、又は縮む。
金属は伸縮しないので、圧電素子と金属は相対的に長さ
が変わり、図の右側に示すようにバイメタル形態で上下
に反り返る。この部材の一端を固定すれば他端は反りに
応じて変位することになる。この変位を駆動力として利
用する。
【０００８】次にロッド状の圧電素子の軸方向伸縮運動
を直接利用する形態のアクチュエータを示す。図５の
１）に示したものは一端を固定した圧電部材Ａと同じく
一端を固定した圧電部材Ｂの他端とを被稼動部材の異な
る部位に接続し、両圧電部材Ａ，Ｂの伸び動作によって
前記被稼動部材に偶力を発生させるものである。２）に
示したものは一端を固定した圧電部材Ａと同じく一端を
固定した圧電部材Ｂの他端とをＺ字形状の被稼動部材の
両端部に部位に接続し、両圧電部材Ａ，Ｂの伸び動作に
よって前記被稼動部材に偶力を発生させるものである。
そして、３）示したものは一端を固定した圧電部材Ａと
同じく一端を固定した圧電部材Ａ’を並行させて他端で
被稼動部材を挟む形態で保持し、それとは対称形態で一
端を固定した圧電部材Ｂと同じく一端を固定した圧電部
材Ｂ’を並行させて他端は前記被稼動部材を挟む形態で
保持配置する構造とした。圧電部材Ａが伸びる時はＡ’
は縮み、圧電部材Ｂは縮みＢ’は伸びるように作動す
る。すなわち、圧電部材ＡとＡ’および圧電部材Ｂと
Ｂ’は常に伸縮が逆となり、圧電部材ＡとＢ’および圧
電部材Ａ’とＢは常に伸縮が同じとなるように作動する
ように構成される。この作動によって前記被稼動部材に
偶力を発生させるものである。
を直接利用する形態のアクチュエータを示す。図５の
１）に示したものは一端を固定した圧電部材Ａと同じく
一端を固定した圧電部材Ｂの他端とを被稼動部材の異な
る部位に接続し、両圧電部材Ａ，Ｂの伸び動作によって
前記被稼動部材に偶力を発生させるものである。２）に
示したものは一端を固定した圧電部材Ａと同じく一端を
固定した圧電部材Ｂの他端とをＺ字形状の被稼動部材の
両端部に部位に接続し、両圧電部材Ａ，Ｂの伸び動作に
よって前記被稼動部材に偶力を発生させるものである。
そして、３）示したものは一端を固定した圧電部材Ａと
同じく一端を固定した圧電部材Ａ’を並行させて他端で
被稼動部材を挟む形態で保持し、それとは対称形態で一
端を固定した圧電部材Ｂと同じく一端を固定した圧電部
材Ｂ’を並行させて他端は前記被稼動部材を挟む形態で
保持配置する構造とした。圧電部材Ａが伸びる時はＡ’
は縮み、圧電部材Ｂは縮みＢ’は伸びるように作動す
る。すなわち、圧電部材ＡとＡ’および圧電部材Ｂと
Ｂ’は常に伸縮が逆となり、圧電部材ＡとＢ’および圧
電部材Ａ’とＢは常に伸縮が同じとなるように作動する
ように構成される。この作動によって前記被稼動部材に
偶力を発生させるものである。
【０００９】圧電素子を用いた種々の形態のアクチュエ
ータを以下に順次紹介する。図６の（ａ）に示すものは
一端を固定した一つのユニモルフ又はバイモルフの短冊
状圧電部材Ａの他端に長手方向を異にする他のユニモル
フ又はバイモルフの短冊状圧電部材Ｂの一端を取り付け
たものである。この構成によると圧電部材Ｂの他端部は
圧電部材Ａの他端の変位量に圧電部材Ｂの変位量が合成
された変位をすることになる。例えば、一端が固定され
た圧電部材Ａの他端が図面の表裏方向に変位するもの
で、今電圧の印加によって裏面側に変位されたときは、
圧電部材Ｂの他端に固定されたミラーは図面中Ｙ方向か
ら見て反時計方向に回転される。そして圧電部材Ｂも図
面の表裏方向に変位するもので、今電圧の印加によって
表面側に変位されたときは、圧電部材Ｂの他端に固定さ
れたミラーは図面中Ｘ方向から見て反時計方向に回転さ
れる。これら２つの変位を独立に制御することによりミ
ラーに自由な動きをさせることができる。図６の(ｂ)に
示すものは(ａ)に示したものを二つ組合せたアクチュエ
ータである。すなわち被稼動部材としてここではミラー
を示しているが、このミラーの異なる部分をそれぞれの
端部と接続した形態であり、該ミラーは４つの圧電部材
の夫々の動きに応じた２つの支持部の変位によってその
向きが変るものである。ミラーがあらゆる向きを取るこ
とが出来るようにその支持部は玉継手のようなフリージ
ョイントが好ましい。ただし、小型のアクチュエータを
作る場合には剛性の低い弾性素材をフリージョイントと
して使用しても構わない。このような構成とすること
で、例えばエッチングによりユニモルフの金属部やバイ
モルフの中間電極を兼ねる所定形状の弾性部を形成し、
その上でゾル−ゲル法やスッパタ法等により圧電部材を
構成する製法がとれる。
ータを以下に順次紹介する。図６の（ａ）に示すものは
一端を固定した一つのユニモルフ又はバイモルフの短冊
状圧電部材Ａの他端に長手方向を異にする他のユニモル
フ又はバイモルフの短冊状圧電部材Ｂの一端を取り付け
たものである。この構成によると圧電部材Ｂの他端部は
圧電部材Ａの他端の変位量に圧電部材Ｂの変位量が合成
された変位をすることになる。例えば、一端が固定され
た圧電部材Ａの他端が図面の表裏方向に変位するもの
で、今電圧の印加によって裏面側に変位されたときは、
圧電部材Ｂの他端に固定されたミラーは図面中Ｙ方向か
ら見て反時計方向に回転される。そして圧電部材Ｂも図
面の表裏方向に変位するもので、今電圧の印加によって
表面側に変位されたときは、圧電部材Ｂの他端に固定さ
れたミラーは図面中Ｘ方向から見て反時計方向に回転さ
れる。これら２つの変位を独立に制御することによりミ
ラーに自由な動きをさせることができる。図６の(ｂ)に
示すものは(ａ)に示したものを二つ組合せたアクチュエ
ータである。すなわち被稼動部材としてここではミラー
を示しているが、このミラーの異なる部分をそれぞれの
端部と接続した形態であり、該ミラーは４つの圧電部材
の夫々の動きに応じた２つの支持部の変位によってその
向きが変るものである。ミラーがあらゆる向きを取るこ
とが出来るようにその支持部は玉継手のようなフリージ
ョイントが好ましい。ただし、小型のアクチュエータを
作る場合には剛性の低い弾性素材をフリージョイントと
して使用しても構わない。このような構成とすること
で、例えばエッチングによりユニモルフの金属部やバイ
モルフの中間電極を兼ねる所定形状の弾性部を形成し、
その上でゾル−ゲル法やスッパタ法等により圧電部材を
構成する製法がとれる。
【００１０】図７に２つのユニモルフ又はバイモルフの
短冊状の圧電部材Ａ，Ａ’を長手方向に繋ぎ合せた形態
を示す。両端を固定し両圧電部材に逆方向の反りを発生
させ、両部材を繋ぎ合わせた接合部分に捻り運動を起こ
させるものである。図中イはユニモルフ方式の横断面
図、ハは平面図で中央の接合部に支持部材を介してミラ
ーが載置されたものを示している。いま、ロに示すよう
に圧電部材Ａには電圧を印加して凸状の反りを生じさ
せ、圧電部材Ａ’には電圧を印加して凹状の反りを生じ
させると接合部は矢印で示す捻れ運動を生じ、ミラーを
右下がり状態とする。印加電圧を逆転させるとＡが凹状
にＡ’が凸状に反り、左下がり状態とする。すなわち全
体として接合部を節とする屈曲変位を起こさせるもので
ある。また、この機構を異なる方向、ここでは直交する
方向に組合せた形態をニ、ホに示す。図中ニは横断面
図、ハは平面図である。この構成によれば、圧電部材
Ａ，Ａ’によって屈曲変位を起こし中央部のミラーを傾
斜させることができる上に、異なる方向にも圧電部材
Ｂ，Ｂ’によって同様の屈曲変位を起こさせ、中央部に
おいて圧電部材Ａ，Ａ’の中央部を異なる方向に傾ける
ように作用し、載置されたミラーには両機構の合成傾斜
変位を与えることができる。
短冊状の圧電部材Ａ，Ａ’を長手方向に繋ぎ合せた形態
を示す。両端を固定し両圧電部材に逆方向の反りを発生
させ、両部材を繋ぎ合わせた接合部分に捻り運動を起こ
させるものである。図中イはユニモルフ方式の横断面
図、ハは平面図で中央の接合部に支持部材を介してミラ
ーが載置されたものを示している。いま、ロに示すよう
に圧電部材Ａには電圧を印加して凸状の反りを生じさ
せ、圧電部材Ａ’には電圧を印加して凹状の反りを生じ
させると接合部は矢印で示す捻れ運動を生じ、ミラーを
右下がり状態とする。印加電圧を逆転させるとＡが凹状
にＡ’が凸状に反り、左下がり状態とする。すなわち全
体として接合部を節とする屈曲変位を起こさせるもので
ある。また、この機構を異なる方向、ここでは直交する
方向に組合せた形態をニ、ホに示す。図中ニは横断面
図、ハは平面図である。この構成によれば、圧電部材
Ａ，Ａ’によって屈曲変位を起こし中央部のミラーを傾
斜させることができる上に、異なる方向にも圧電部材
Ｂ，Ｂ’によって同様の屈曲変位を起こさせ、中央部に
おいて圧電部材Ａ，Ａ’の中央部を異なる方向に傾ける
ように作用し、載置されたミラーには両機構の合成傾斜
変位を与えることができる。
【００１１】図８に上記の機構を異なる方向、一般には
直交する方向に組合せた形態を示す。まず両側の固定部
に固定された圧電部材Ａ，Ａ’と同様の圧電部材Ｂ，
Ｂ’の接合部に枠体の軸を固定し、更に該枠体の前記圧
電部材とは異なる向きで図６に示した機構の圧電部材
Ｃ，Ｃ’と同様の圧電部材Ｄ，Ｄ’とを配置し、その接
合部に稼動部材（ミラー）を中央で固定した軸を固定す
る。そして、この圧電部材の組合せにおいてＡとＢ、
Ａ’とＢ’、ＣとＤ、Ｃ’とＤ’とは、反り動作を同じ
くするように構成する。いま、圧電部材に電圧を印加し
て図に示すようにＡとＢが凸状にＡ’とＢ’、が凹状に
反るようにさせると、枠体は右下がりに傾く。そして、
図に示すように圧電部材ＣとＤに表面側に凸となるよう
に反らせ、圧電部材Ｃ’とＤ’には裏面側に凸となるよ
うに反らせれば、右下がりに傾いた枠内においてミラー
は御辞儀をする態様で手前に傾くことになる。このよう
に異なる方向の捻り運動を枠体を介して組合せることに
よって、被稼動体をあらゆる向きに姿勢制御することが
可能となる。また、この図８に示された機構は図５に示
した圧電素子の伸縮力を直接利用して偶力を発生させる
圧電アクチェータを用いても実現できることは容易に理
解されよう。
直交する方向に組合せた形態を示す。まず両側の固定部
に固定された圧電部材Ａ，Ａ’と同様の圧電部材Ｂ，
Ｂ’の接合部に枠体の軸を固定し、更に該枠体の前記圧
電部材とは異なる向きで図６に示した機構の圧電部材
Ｃ，Ｃ’と同様の圧電部材Ｄ，Ｄ’とを配置し、その接
合部に稼動部材（ミラー）を中央で固定した軸を固定す
る。そして、この圧電部材の組合せにおいてＡとＢ、
Ａ’とＢ’、ＣとＤ、Ｃ’とＤ’とは、反り動作を同じ
くするように構成する。いま、圧電部材に電圧を印加し
て図に示すようにＡとＢが凸状にＡ’とＢ’、が凹状に
反るようにさせると、枠体は右下がりに傾く。そして、
図に示すように圧電部材ＣとＤに表面側に凸となるよう
に反らせ、圧電部材Ｃ’とＤ’には裏面側に凸となるよ
うに反らせれば、右下がりに傾いた枠内においてミラー
は御辞儀をする態様で手前に傾くことになる。このよう
に異なる方向の捻り運動を枠体を介して組合せることに
よって、被稼動体をあらゆる向きに姿勢制御することが
可能となる。また、この図８に示された機構は図５に示
した圧電素子の伸縮力を直接利用して偶力を発生させる
圧電アクチェータを用いても実現できることは容易に理
解されよう。
【００１２】次に異なる捻り形態の圧電部材を図９に示
す。この捻り変位素子は図９の(１)に示すように２つの
ユニモルフ又はバイモルフの短冊状の圧電部材Ａ，Ａ’
を長手方向に並行させて繋ぎ合せた形態となっている。
一端側を共に固定し一方の圧電部材Ａには左側に凸、他
方の圧電部材Ａ’には右側に凸となるよう互いに反対の
反りが与えられるように電圧が印加される。するとこの
場合には圧電部材Ａの他端側は図中時計方向に変位しよ
うとし、圧電部材Ａ’の他端側は反時計方向に変位しよ
うとする。ところが両部材は側面で接合状態となってい
るため、他端の中央部は双方の力がキャンセルし合い、
圧電部材Ａの他端側角部が図中右側へ、圧電部材Ａ’の
他端側角部が図中左側へ変位する。すなわちこの両部材
Ａ，Ａ’の他端は上から見ると反時計方向に捻れ運動を
生じることになる。また、この形態では圧電部材Ａと圧
電部材Ａ’の分極方向を異ならせれば、同一方向の印加
電圧で捻れ運動を起こすことができる。その場合には個
々の圧電部材の多様な変位は制限されるが、電極を共通
とし印加電圧も同じとして単純化することができる。こ
の捻り変位素子機構を異なる方向、一般には直交する方
向に組合せた形態を図９の(２)示す。まず圧電部材Ａ，
Ａ’の一方を固定部に固定すると共に同様の圧電部材
Ｂ，Ｂ’の一方を他の固定部に固定して、両部材の他端
を枠体の対向する中心部にそれぞれ固定し、更に該枠体
の前記圧電部材とは異なる向きで対向する位置に図９の
(１)に示した機構の圧電部材Ｃ，Ｃ’と同様の圧電部材
Ｄ，Ｄ’との一端を固定するように配置し、その両部材
の他端で稼動部材（ミラー）の対向する部位を固定す
る。そして、この圧電部材の組合せにおいてＡ、Ａ’と
Ｂ、Ｂ’がそしてＣ、Ｃ’とＤ、Ｄ’が捻り動作の向き
をそれぞれ同じくするように構成する。いま、圧電部材
に電圧を印加して図に示すようにようにさせると、枠体
は右下がりに傾く。そして、図に示すようにＡ、Ａ’と
Ｂ、Ｂ’とが縦方向に時計方向に捻れると枠体は図中で
のけぞる形態で回動し、圧電部材Ｃ、Ｃ’とＤ、Ｄ’が
図に示したように横方向時計回りに動けば、のけぞる形
態で傾いた枠内においてミラーは右下がりに傾くことに
なる。このように異なる方向の捻り運動を枠体を介して
組合せることによって、被稼動体をあらゆる向きに姿勢
制御することが可能となる。
す。この捻り変位素子は図９の(１)に示すように２つの
ユニモルフ又はバイモルフの短冊状の圧電部材Ａ，Ａ’
を長手方向に並行させて繋ぎ合せた形態となっている。
一端側を共に固定し一方の圧電部材Ａには左側に凸、他
方の圧電部材Ａ’には右側に凸となるよう互いに反対の
反りが与えられるように電圧が印加される。するとこの
場合には圧電部材Ａの他端側は図中時計方向に変位しよ
うとし、圧電部材Ａ’の他端側は反時計方向に変位しよ
うとする。ところが両部材は側面で接合状態となってい
るため、他端の中央部は双方の力がキャンセルし合い、
圧電部材Ａの他端側角部が図中右側へ、圧電部材Ａ’の
他端側角部が図中左側へ変位する。すなわちこの両部材
Ａ，Ａ’の他端は上から見ると反時計方向に捻れ運動を
生じることになる。また、この形態では圧電部材Ａと圧
電部材Ａ’の分極方向を異ならせれば、同一方向の印加
電圧で捻れ運動を起こすことができる。その場合には個
々の圧電部材の多様な変位は制限されるが、電極を共通
とし印加電圧も同じとして単純化することができる。こ
の捻り変位素子機構を異なる方向、一般には直交する方
向に組合せた形態を図９の(２)示す。まず圧電部材Ａ，
Ａ’の一方を固定部に固定すると共に同様の圧電部材
Ｂ，Ｂ’の一方を他の固定部に固定して、両部材の他端
を枠体の対向する中心部にそれぞれ固定し、更に該枠体
の前記圧電部材とは異なる向きで対向する位置に図９の
(１)に示した機構の圧電部材Ｃ，Ｃ’と同様の圧電部材
Ｄ，Ｄ’との一端を固定するように配置し、その両部材
の他端で稼動部材（ミラー）の対向する部位を固定す
る。そして、この圧電部材の組合せにおいてＡ、Ａ’と
Ｂ、Ｂ’がそしてＣ、Ｃ’とＤ、Ｄ’が捻り動作の向き
をそれぞれ同じくするように構成する。いま、圧電部材
に電圧を印加して図に示すようにようにさせると、枠体
は右下がりに傾く。そして、図に示すようにＡ、Ａ’と
Ｂ、Ｂ’とが縦方向に時計方向に捻れると枠体は図中で
のけぞる形態で回動し、圧電部材Ｃ、Ｃ’とＤ、Ｄ’が
図に示したように横方向時計回りに動けば、のけぞる形
態で傾いた枠内においてミラーは右下がりに傾くことに
なる。このように異なる方向の捻り運動を枠体を介して
組合せることによって、被稼動体をあらゆる向きに姿勢
制御することが可能となる。
【００１３】変位方向を異にする２組の圧電部材で被稼
動部材（ミラー）を支持する枠体を構成した更に異なる
形態を図１０に示す。図１０に示したものは１対のＵ字
状のユニモルフ又はバイモルフ型圧電部材Ａ，Ｂの両端
を互いに接合してリング状に形成すると共に対向する両
部材Ａ，Ｂの中心部を軸部材を介して固定部材に固定
し、もう１対のＵ字状のユニモルフ又はバイモルフ型圧
電部材Ｃ，Ｄの両端も互いに接合してリング状に形成す
ると共に対向する両部材Ｃ，Ｄの中心部を前記圧電部材
Ａ，Ｂの接合部に軸部材を介してそれぞれ固定し内側枠
体とし、該内側枠体の接合部に被稼動体（ミラー）の両
端部の軸を取り付けた構造である。図の(１)はＵ字状が
コの字状に形成された角型タイプで、(２)はＵ字状が半
円形に形成された丸型タイプというだけで、基本的に同
じものと考えてよい。圧電部材ＡとＢ及び圧電部材Ｃと
Ｄは電圧が印加されると反りが逆形態となるように構成
されるので、その接合部には捻れ力が働くことになる。
いま、(１)において、中央部が固定された圧電部材Ａの
両端部が図面上表側に反りかえり（図中○で表示）、中
央部が固定された圧電部材Ｂの両端部が図面上裏側に反
りかえる（図中●で表示）力を受けると、接合部に接続
された軸は右側が裏側に左側が表側に移動するように回
転変位される。この回転変位によって内側枠体を構成し
ている圧電部材Ｃ，Ｄのリングを右下がり方向に傾斜さ
せる。この圧電部材Ｃ，Ｄのリングも電圧が印加される
と変形し、例えば圧電部材Ｃの両端部が図面上表側に反
りかえり、中央部が固定された圧電部材Ｂの両端部が図
面上裏側に反りかえる力を受けると、ミラーが固定され
た軸は上方が表側に下方が裏側に反りかえり、御辞儀を
するように回転する。印加電圧の方向が変れば当然なが
ら反対の駆動となる。
動部材（ミラー）を支持する枠体を構成した更に異なる
形態を図１０に示す。図１０に示したものは１対のＵ字
状のユニモルフ又はバイモルフ型圧電部材Ａ，Ｂの両端
を互いに接合してリング状に形成すると共に対向する両
部材Ａ，Ｂの中心部を軸部材を介して固定部材に固定
し、もう１対のＵ字状のユニモルフ又はバイモルフ型圧
電部材Ｃ，Ｄの両端も互いに接合してリング状に形成す
ると共に対向する両部材Ｃ，Ｄの中心部を前記圧電部材
Ａ，Ｂの接合部に軸部材を介してそれぞれ固定し内側枠
体とし、該内側枠体の接合部に被稼動体（ミラー）の両
端部の軸を取り付けた構造である。図の(１)はＵ字状が
コの字状に形成された角型タイプで、(２)はＵ字状が半
円形に形成された丸型タイプというだけで、基本的に同
じものと考えてよい。圧電部材ＡとＢ及び圧電部材Ｃと
Ｄは電圧が印加されると反りが逆形態となるように構成
されるので、その接合部には捻れ力が働くことになる。
いま、(１)において、中央部が固定された圧電部材Ａの
両端部が図面上表側に反りかえり（図中○で表示）、中
央部が固定された圧電部材Ｂの両端部が図面上裏側に反
りかえる（図中●で表示）力を受けると、接合部に接続
された軸は右側が裏側に左側が表側に移動するように回
転変位される。この回転変位によって内側枠体を構成し
ている圧電部材Ｃ，Ｄのリングを右下がり方向に傾斜さ
せる。この圧電部材Ｃ，Ｄのリングも電圧が印加される
と変形し、例えば圧電部材Ｃの両端部が図面上表側に反
りかえり、中央部が固定された圧電部材Ｂの両端部が図
面上裏側に反りかえる力を受けると、ミラーが固定され
た軸は上方が表側に下方が裏側に反りかえり、御辞儀を
するように回転する。印加電圧の方向が変れば当然なが
ら反対の駆動となる。
【００１４】図１１に本発明における部材の支持形態の
例を示す。１）に示した例は左右の圧電部材Ａ，Ｂが紙
面の上下方向にそれぞれ逆の向きで反りかえる形態のア
クチュエータに適用されるものである。両圧電部材の自
由端部中央に該圧電部材より細い部材で稼動部材を両側
から挟むように支持するものである。矢印で示す向きに
回転力が生じたとき中央の被稼動部材Ａ，Ｂは時計方向
に回転変位させられるが、その際、この細く剛性の低い
支持部はその動きを妨げることなく大きな回転変位を許
容する変換機能を果たす。２）に示した例は同じ左右の
圧電部材Ａ，Ｂが紙面の上下方向にそれぞれ逆の向きで
反りかえる形態のアクチュエータに適用されるもので、
両圧電部材の自由端部中央を該圧電部材より細い部材で
連結接続するものである。矢印で示す向きに力が生じた
とき圧電部材Ａは上方に圧電部材Ｂは下方に変位しよう
とするが、その際、この細く剛性の低い支持部はその動
きを妨げることなく大きな回転変位を許容する変換機能
を果たす。その結果、この細い中央の連結部材は右下が
りに傾斜させられるが、この細い部材に被稼動部材を取
り付けておけばその右下がりに傾斜が該被稼動部材に伝
達されることになる。３）に示す例は両端支持構造をと
るバイモルフタイプ又はユニモルフタイプの圧電部材の
固定端側構造を示したものである。例えば、交互に切り
欠き溝を設けた構造の支持部で図示していない圧電部材
を支持する。この構造によって、バイモルフタイプ又は
ユニモルフタイプの圧電部材の両端部での拘束をなく
し、上下方向への変形を大きくする。溝は図示したよう
に両面でなく片面であってもよいし、厚み方向ではなく
幅方向の切り込みであってもよい。
例を示す。１）に示した例は左右の圧電部材Ａ，Ｂが紙
面の上下方向にそれぞれ逆の向きで反りかえる形態のア
クチュエータに適用されるものである。両圧電部材の自
由端部中央に該圧電部材より細い部材で稼動部材を両側
から挟むように支持するものである。矢印で示す向きに
回転力が生じたとき中央の被稼動部材Ａ，Ｂは時計方向
に回転変位させられるが、その際、この細く剛性の低い
支持部はその動きを妨げることなく大きな回転変位を許
容する変換機能を果たす。２）に示した例は同じ左右の
圧電部材Ａ，Ｂが紙面の上下方向にそれぞれ逆の向きで
反りかえる形態のアクチュエータに適用されるもので、
両圧電部材の自由端部中央を該圧電部材より細い部材で
連結接続するものである。矢印で示す向きに力が生じた
とき圧電部材Ａは上方に圧電部材Ｂは下方に変位しよう
とするが、その際、この細く剛性の低い支持部はその動
きを妨げることなく大きな回転変位を許容する変換機能
を果たす。その結果、この細い中央の連結部材は右下が
りに傾斜させられるが、この細い部材に被稼動部材を取
り付けておけばその右下がりに傾斜が該被稼動部材に伝
達されることになる。３）に示す例は両端支持構造をと
るバイモルフタイプ又はユニモルフタイプの圧電部材の
固定端側構造を示したものである。例えば、交互に切り
欠き溝を設けた構造の支持部で図示していない圧電部材
を支持する。この構造によって、バイモルフタイプ又は
ユニモルフタイプの圧電部材の両端部での拘束をなく
し、上下方向への変形を大きくする。溝は図示したよう
に両面でなく片面であってもよいし、厚み方向ではなく
幅方向の切り込みであってもよい。
【００１５】以上、各種形態の圧電アクチュエータの例
を示してきた。本発明は光通信分野で求められている多
チャンネルの切換えをコンパクトな構造で確実な動作が
可能な光スイッチを開発して提供することに出発してお
り、これらは光スイッチに適用されるミラー等の光デバ
イスを駆動するアクチュエータを意図して開発されたも
のである。しかし、この圧電アクチュエータはこれに限
らず、ＣＤ、ＤＶＤをはじめとする光ピックアップの駆
動、調整等各種機器のアクチューエータとして適用でき
ることは明らかであり、用途は光スイッチに限定される
ものではない。
を示してきた。本発明は光通信分野で求められている多
チャンネルの切換えをコンパクトな構造で確実な動作が
可能な光スイッチを開発して提供することに出発してお
り、これらは光スイッチに適用されるミラー等の光デバ
イスを駆動するアクチュエータを意図して開発されたも
のである。しかし、この圧電アクチュエータはこれに限
らず、ＣＤ、ＤＶＤをはじめとする光ピックアップの駆
動、調整等各種機器のアクチューエータとして適用でき
ることは明らかであり、用途は光スイッチに限定される
ものではない。
【００１６】
【発明の効果】本発明の圧電アクチュエータは、小型で
発生力の大きな圧電素子を駆動源に用いることで、曲げ
変位を発生させてその角度変位が最大となる点で被稼動
部材を支持するようにしたり、被稼動部材の支持点に偶
力を与えることによって大きな変位を得るようにしたも
のであるから、コンパクトな構造で駆動力が大きく振動
等の外乱に対しても、温度・湿度といった環境条件にも
影響されないアクチュエータを提供することができたも
のである。圧電アクチュエータの具体的構造として、一
部が固定された第一の方向に変位する第一の圧電部材
と、該第一の圧電部材に接続された第二の方向に変位す
る第二の圧電部材とからなり、該第二の圧電部材に固定
された被稼動部材を駆動させるものは、二つの圧電部材
の動きを合成することができ、所望の駆動への対応が広
くなる。更にその圧電アクチュエータを２組備え、それ
ぞれの第二の圧電部材に支持された被稼動部材を駆動さ
せるようにしたものは被稼動部材を所望の方向に向か
せ、安定支持する機能を備える。
発生力の大きな圧電素子を駆動源に用いることで、曲げ
変位を発生させてその角度変位が最大となる点で被稼動
部材を支持するようにしたり、被稼動部材の支持点に偶
力を与えることによって大きな変位を得るようにしたも
のであるから、コンパクトな構造で駆動力が大きく振動
等の外乱に対しても、温度・湿度といった環境条件にも
影響されないアクチュエータを提供することができたも
のである。圧電アクチュエータの具体的構造として、一
部が固定された第一の方向に変位する第一の圧電部材
と、該第一の圧電部材に接続された第二の方向に変位す
る第二の圧電部材とからなり、該第二の圧電部材に固定
された被稼動部材を駆動させるものは、二つの圧電部材
の動きを合成することができ、所望の駆動への対応が広
くなる。更にその圧電アクチュエータを２組備え、それ
ぞれの第二の圧電部材に支持された被稼動部材を駆動さ
せるようにしたものは被稼動部材を所望の方向に向か
せ、安定支持する機能を備える。
【００１７】ユニモルフあるいはバイモルフ構造の二つ
の圧電部材を同一面上に並べて一体的に形成し、一端を
固定して他端に被稼動部材を取り付けたものであって、
二つの圧電部材を逆方向に変位させることにより、二つ
の圧電部材の境界を回転軸とした圧電アクチュエータ
は、小型ながら駆動力の強い捻り変位を発生させること
ができる。圧電アクチュエータとして両端を固定した短
冊状圧電部材に両端部と中央部を節とする曲げ変位を発
生させ、曲げ変位の方向が反転する境界で被稼働部材を
支持する構成を採用したものは、被稼働部を曲げ変位の
方向に回転駆動させることができる。圧電アクチュエー
タとして、一端を固定して長手方向に伸縮動作を行なわ
せるロッド状の圧電部材を少なくとも２組用い、他端を
被稼動部材の異なる部位に接続する構成を採用したもの
は、該被稼動部材に偶力を与えることができる。圧電ア
クチュエータとして、２つのユニモルフ又はバイモルフ
の短冊状の圧電部材を長手方向に並行させて繋ぎ合せた
形態とし、一端側を共に固定し一方の圧電部材には凸、
他方の圧電部材には凹となるよう互いに反対の反りが与
えられるように電圧を印加する構成を採用したものは、
他端に捻れ運動を生じさせる。更に圧電アクチュエータ
を請求項３乃至６のいずれかに記載の圧電アクチュエー
タを互いに交わる２軸に対して回転駆動させるように組
合せた機構としたものは、被稼動部材を所望方向に向け
ることが出来る機構を実現できる。圧電アクチュエータ
の構成として、１対のＵ字状のユニモルフ又はバイモル
フ型圧電部材の両端を互いに接合してリング状に形成す
ると共に対向する両部材の中心部を軸部材を介して固定
部材に固定し、もう１対のＵ字状のユニモルフ又はバイ
モルフ型圧電部材の両端も互いに接合してリング状に形
成すると共に対向する両部材の中心部を前記圧電部材の
接合部に軸部材を介してそれぞれ固定して内側枠体と
し、該内側枠体の接合部に被稼動部材の両端部の軸を取
り付けたものは、駆動部の構成としてではなく、枠体の
構成として圧電部材を用いるものであるため、機構の小
型化大出力仕様に有利である。本発明の圧電アクチュエ
ータは、コンパクトな構造で駆動力が大きく振動等の外
乱に対しても、温度・湿度といった環境条件にも影響さ
れないため、光スイッチの光路方向を決めるミラー、レ
ンズ、ファイバー、プリズムといった光デバイスを備え
た電子機器の駆動用に用いて有効である。
の圧電部材を同一面上に並べて一体的に形成し、一端を
固定して他端に被稼動部材を取り付けたものであって、
二つの圧電部材を逆方向に変位させることにより、二つ
の圧電部材の境界を回転軸とした圧電アクチュエータ
は、小型ながら駆動力の強い捻り変位を発生させること
ができる。圧電アクチュエータとして両端を固定した短
冊状圧電部材に両端部と中央部を節とする曲げ変位を発
生させ、曲げ変位の方向が反転する境界で被稼働部材を
支持する構成を採用したものは、被稼働部を曲げ変位の
方向に回転駆動させることができる。圧電アクチュエー
タとして、一端を固定して長手方向に伸縮動作を行なわ
せるロッド状の圧電部材を少なくとも２組用い、他端を
被稼動部材の異なる部位に接続する構成を採用したもの
は、該被稼動部材に偶力を与えることができる。圧電ア
クチュエータとして、２つのユニモルフ又はバイモルフ
の短冊状の圧電部材を長手方向に並行させて繋ぎ合せた
形態とし、一端側を共に固定し一方の圧電部材には凸、
他方の圧電部材には凹となるよう互いに反対の反りが与
えられるように電圧を印加する構成を採用したものは、
他端に捻れ運動を生じさせる。更に圧電アクチュエータ
を請求項３乃至６のいずれかに記載の圧電アクチュエー
タを互いに交わる２軸に対して回転駆動させるように組
合せた機構としたものは、被稼動部材を所望方向に向け
ることが出来る機構を実現できる。圧電アクチュエータ
の構成として、１対のＵ字状のユニモルフ又はバイモル
フ型圧電部材の両端を互いに接合してリング状に形成す
ると共に対向する両部材の中心部を軸部材を介して固定
部材に固定し、もう１対のＵ字状のユニモルフ又はバイ
モルフ型圧電部材の両端も互いに接合してリング状に形
成すると共に対向する両部材の中心部を前記圧電部材の
接合部に軸部材を介してそれぞれ固定して内側枠体と
し、該内側枠体の接合部に被稼動部材の両端部の軸を取
り付けたものは、駆動部の構成としてではなく、枠体の
構成として圧電部材を用いるものであるため、機構の小
型化大出力仕様に有利である。本発明の圧電アクチュエ
ータは、コンパクトな構造で駆動力が大きく振動等の外
乱に対しても、温度・湿度といった環境条件にも影響さ
れないため、光スイッチの光路方向を決めるミラー、レ
ンズ、ファイバー、プリズムといった光デバイスを備え
た電子機器の駆動用に用いて有効である。
【図１】光通信に用いられる出力側と受光側のファイバ
アレー組合せを示す図である。
アレー組合せを示す図である。
【図２】出力側と受光側のファイバアレー間のミラー式
光スイッチを示す図である。
光スイッチを示す図である。
【図３】出力側と受光側のファイバアレー間のレンズ式
光スイッチを示す図である。
光スイッチを示す図である。
【図４】バイモルフタイプとユニモルフタイプの圧電部
材を説明する図である。
材を説明する図である。
【図５】偶力を発生させるメカニズムを説明する図であ
る。
る。
【図６】複数の圧電部材を用いたアクチュエータの例を
示す図である。
示す図である。
【図７】圧電部材に屈曲運動を起こさせるアクチュエー
タの例を示す図である。
タの例を示す図である。
【図８】２組の圧電部材に屈曲運動を起こさせるアクチ
ュエータと枠体を用いて２軸駆動を可能にしたアクチュ
エータの例を示す図である。
ュエータと枠体を用いて２軸駆動を可能にしたアクチュ
エータの例を示す図である。
【図９】反り運動を行なう２組の圧電部材を並行して接
合し、接合部を軸とした捻り運動を発生させる圧電部材
と、それを２組に枠体を用いて２軸駆動を可能にしたア
クチュエータの例を示す図である。
合し、接合部を軸とした捻り運動を発生させる圧電部材
と、それを２組に枠体を用いて２軸駆動を可能にしたア
クチュエータの例を示す図である。
【図１０】圧電部材自体で枠体を形成し、それを２組用
いて２軸駆動を可能にしたアクチュエータの例を示す図
である。
いて２軸駆動を可能にしたアクチュエータの例を示す図
である。
【図１１】本発明における支持機構例を示す図である。
Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ａ'，Ｂ'，Ｃ'，Ｄ' それぞれ圧電部
材を示す
材を示す
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 渡辺 聖士
千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地 株
式会社エスアイアイ・アールディセンター
内
Ｆターム(参考） 2H041 AA16 AB14 AC08 AZ02 AZ05
2H044 BE04 BE06 BE09
Claims (9)
- 【請求項１】 一部が固定された第一の方向に変位する
第一の圧電部材と、該第一の圧電部材に接続された第二
の方向に変位する第二の圧電部材とからなり、該第二の
圧電部材に固定された被稼動部材を駆動させる圧電アク
チュエータ。 - 【請求項２】請求項１に記載の圧電アクチュエータを２
組備え、それぞれの第二の圧電部材に支持された被稼動
部材を駆動させる圧電アクチュエータ。 - 【請求項３】 ユニモルフあるいはバイモルフ構造の二
つの圧電部材を同一面上に並べて一体的に形成し、一端
を固定して他端に被稼動部材を取り付けたものであっ
て、二つの圧電部材を逆方向に変位させることにより、
二つの圧電部材の境界を回転軸とした捻り変位を被稼働
部材に付与する圧電アクチュエータ。 - 【請求項４】 両端を固定した短冊状圧電部材に曲げ変
位を発生させ、曲げ変位の方向が反転する境界で稼働部
を支持し、被稼働部材を曲げ変位の方向に回転駆動させ
る圧電アクチュエータ。 - 【請求項５】 一端を固定して長手方向に伸縮動作を行
なわせるロッド状の圧電部材を少なくとも２組用い、他
端を被稼動部材の異なる部位に接続して、該被稼動部材
に偶力を与える圧電アクチュエータ。 - 【請求項６】 ２つのユニモルフ又はバイモルフの短冊
状の圧電部材を長手方向に並行させて繋ぎ合せた形態と
し、一端側を共に固定し一方の圧電部材には凸、他方の
圧電部材には凹となるよう互いに反対の反りが与えられ
るように電圧を印加することにより、他端に捻れ運動を
生じさせる圧電アクチュエータ。 - 【請求項７】 請求項３乃至６のいずれかに記載の圧電
アクチュエータによって枠体を駆動させ、該枠体に前記
アクチュエータとは異なる回転方向をもつ同種の圧電ア
クチュエータを取り付け、該圧電アクチュエータに取り
つけられた被稼動部材に異なる二軸周りの回転動作をさ
せる圧電アクチュエータ。 - 【請求項８】 １対のＵ字状のユニモルフ又はバイモル
フ型圧電部材の両端を互いに接合してリング状に形成す
ると共に対向する両部材の中心部を軸部材を介して固定
部材に固定し、もう１対のＵ字状のユニモルフ又はバイ
モルフ型圧電部材の両端も互いに接合してリング状に形
成すると共に対向する両部材の中心部を前記圧電部材の
接合部に軸部材を介してそれぞれ固定して内側枠体と
し、該内側枠体の接合部に被稼動部材の両端部の軸を取
り付けた圧電アクチュエータ。 - 【請求項９】 被稼動部材が光路方向を決めるミラー、
レンズ、ファイバー、プリズムといった光デバイスであ
る請求項１乃至８に記載の圧電アクチュエータ付電子機
器。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002007788A JP4146127B2 (ja) | 2002-01-16 | 2002-01-16 | 圧電アクチュエータ及びそれを備えた電子機器 |
| US10/339,070 US20030168942A1 (en) | 2002-01-16 | 2003-01-09 | Piezoelectric actuator and electronic device having the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002007788A JP4146127B2 (ja) | 2002-01-16 | 2002-01-16 | 圧電アクチュエータ及びそれを備えた電子機器 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2008036444A Division JP4739359B2 (ja) | 2008-02-18 | 2008-02-18 | 圧電アクチュエータ及びそれを備えた電子機器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003209981A true JP2003209981A (ja) | 2003-07-25 |
| JP4146127B2 JP4146127B2 (ja) | 2008-09-03 |
Family
ID=27646214
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002007788A Expired - Fee Related JP4146127B2 (ja) | 2002-01-16 | 2002-01-16 | 圧電アクチュエータ及びそれを備えた電子機器 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20030168942A1 (ja) |
| JP (1) | JP4146127B2 (ja) |
Cited By (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007228782A (ja) * | 2006-01-24 | 2007-09-06 | Ngk Insulators Ltd | 圧電／電歪デバイス |
| WO2007119603A1 (ja) * | 2006-03-23 | 2007-10-25 | National University Corporation Nagoya University | 触覚ディスプレイ装置、多自由度アクチュエータ、及び、ハンドリング装置 |
| JP2007312465A (ja) * | 2006-05-16 | 2007-11-29 | Omron Corp | 駆動装置、光走査型装置及び物体情報検知装置 |
| JP2008020701A (ja) * | 2006-07-13 | 2008-01-31 | Stanley Electric Co Ltd | ２次元光スキャナ、それを用いた光学装置および２次元光スキャナの製造方法 |
| JP2008040240A (ja) * | 2006-08-08 | 2008-02-21 | Stanley Electric Co Ltd | 光偏向器及びその製造方法 |
| JP2008249858A (ja) * | 2007-03-29 | 2008-10-16 | Konica Minolta Opto Inc | マイクロスキャナおよびそれを備える光学機器 |
| JP2008271668A (ja) * | 2007-04-18 | 2008-11-06 | Alps Electric Co Ltd | アクチュエータ |
| JP2008271667A (ja) * | 2007-04-18 | 2008-11-06 | Alps Electric Co Ltd | アクチュエータ |
| JP2009002978A (ja) * | 2007-06-19 | 2009-01-08 | Konica Minolta Opto Inc | マイクロスキャナ及びそれを備えた光走査装置。 |
| JP2009003165A (ja) * | 2007-06-21 | 2009-01-08 | Konica Minolta Opto Inc | マイクロスキャナ及びそれを備えた光走査装置。 |
| JP2009118682A (ja) * | 2007-11-08 | 2009-05-28 | Nikon Corp | マイクロアクチュエータ、マイクロアクチュエータアレー、マイクロアクチュエータ装置、光学デバイス、表示装置、露光装置、及びデバイス製造方法 |
| WO2009096330A1 (ja) * | 2008-01-28 | 2009-08-06 | Konica Minolta Holdings, Inc. | 駆動装置および撮像装置 |
| US8477398B2 (en) | 2009-05-11 | 2013-07-02 | Panasonic Corporation | Optical reflection element |
| JP2013200404A (ja) * | 2012-03-23 | 2013-10-03 | Stanley Electric Co Ltd | 光偏向器 |
| JP2014232180A (ja) * | 2013-05-28 | 2014-12-11 | スタンレー電気株式会社 | 光偏向器 |
| JP5654158B1 (ja) * | 2014-05-07 | 2015-01-14 | 株式会社トライフォース・マネジメント | 可動反射素子および二次元走査装置 |
| JP2015215586A (ja) * | 2014-11-19 | 2015-12-03 | 株式会社トライフォース・マネジメント | 可動反射素子 |
| JP2016527545A (ja) * | 2013-06-27 | 2016-09-08 | オプリンク コミュニケーションズ エルエルシー | Ｍｅｍｓファイバ光スイッチ |
| JP2017167558A (ja) * | 2017-05-22 | 2017-09-21 | オプリンク コミュニケーションズ エルエルシー | Ｍｅｍｓファイバ光スイッチ |
| KR20180015743A (ko) | 2015-06-09 | 2018-02-13 | 다이-이치 세이코 가부시키가이샤 | 가동 반사 장치 및 이것을 이용한 반사면 구동 시스템 |
Families Citing this family (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7182262B2 (en) * | 2003-03-13 | 2007-02-27 | Symbol Technologies, Inc. | Inertial drive scanning arrangement and method |
| JP2005031388A (ja) * | 2003-07-14 | 2005-02-03 | Hitachi Ltd | ビームダイレクションモジュール及びそれを用いた光スイッチ |
| US7283698B2 (en) * | 2004-08-30 | 2007-10-16 | Gary Poovey | Bending element light switch |
| US8148874B2 (en) * | 2005-04-15 | 2012-04-03 | University Of Florida Research Foundation, Inc. | Microactuator having multiple degrees of freedom |
| WO2008096797A1 (ja) * | 2007-02-06 | 2008-08-14 | Sharp Kabushiki Kaisha | 駆動装置、それを備えた撮像装置、及び撮像機器 |
| JP5172364B2 (ja) * | 2008-01-16 | 2013-03-27 | スタンレー電気株式会社 | 光偏向器 |
| US7605966B2 (en) * | 2008-01-21 | 2009-10-20 | Stanley Electric Co., Ltd. | Optical deflector |
| DE102008001071B4 (de) * | 2008-04-09 | 2017-05-24 | Robert Bosch Gmbh | Mikromechanische Aktuatorstruktur und entsprechendes Betätigungsverfahren |
| DE102014211027A1 (de) * | 2014-06-10 | 2015-12-17 | Robert Bosch Gmbh | Mikromechanisches Bauteil und Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil |
| KR102486426B1 (ko) | 2018-02-23 | 2023-01-09 | 엘지이노텍 주식회사 | 카메라 모듈 |
| JP6970134B2 (ja) | 2019-03-19 | 2021-11-24 | 株式会社東芝 | 半導体装置 |
| CN113067964B (zh) * | 2019-12-31 | 2023-01-13 | 中芯集成电路（宁波）有限公司 | 一种压电驱动器和成像模组 |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3146367A (en) * | 1960-07-05 | 1964-08-25 | Gen Dynamics Corp | Electrostrictive apparatus for changing displays |
| JPS63272300A (ja) * | 1987-04-30 | 1988-11-09 | Yamaichi Electric Mfg Co Ltd | 円方向振動子 |
| US5159225A (en) * | 1991-10-18 | 1992-10-27 | Aura Systems, Inc. | Piezoelectric actuator |
| JP2538754B2 (ja) * | 1993-09-21 | 1996-10-02 | 山一電機株式会社 | 捩れ振動子 |
| US6327120B1 (en) * | 1997-04-17 | 2001-12-04 | Fujitsu Limited | Actuator using piezoelectric element and head-positioning mechanism using the actuator |
| US5867302A (en) * | 1997-08-07 | 1999-02-02 | Sandia Corporation | Bistable microelectromechanical actuator |
| AU3756300A (en) * | 1999-03-18 | 2000-10-04 | Trustees Of Boston University | Very large angle integrated optical scanner made with an array of piezoelectric monomorphs |
| US6242850B1 (en) * | 1999-07-28 | 2001-06-05 | Technology Commercialization Corp. | Piezoelectric motor and a disk drive using same |
| JP2003123416A (ja) * | 2001-10-17 | 2003-04-25 | Fujitsu Ltd | ヘッドアセンブリおよび記録媒体駆動装置 |
-
2002
- 2002-01-16 JP JP2002007788A patent/JP4146127B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2003
- 2003-01-09 US US10/339,070 patent/US20030168942A1/en not_active Abandoned
Cited By (22)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007228782A (ja) * | 2006-01-24 | 2007-09-06 | Ngk Insulators Ltd | 圧電／電歪デバイス |
| JP4982877B2 (ja) * | 2006-03-23 | 2012-07-25 | 国立大学法人名古屋大学 | 触覚ディスプレイ装置、多自由度アクチュエータ、及び、ハンドリング装置 |
| WO2007119603A1 (ja) * | 2006-03-23 | 2007-10-25 | National University Corporation Nagoya University | 触覚ディスプレイ装置、多自由度アクチュエータ、及び、ハンドリング装置 |
| JP2007312465A (ja) * | 2006-05-16 | 2007-11-29 | Omron Corp | 駆動装置、光走査型装置及び物体情報検知装置 |
| JP2008020701A (ja) * | 2006-07-13 | 2008-01-31 | Stanley Electric Co Ltd | ２次元光スキャナ、それを用いた光学装置および２次元光スキャナの製造方法 |
| JP2008040240A (ja) * | 2006-08-08 | 2008-02-21 | Stanley Electric Co Ltd | 光偏向器及びその製造方法 |
| JP2008249858A (ja) * | 2007-03-29 | 2008-10-16 | Konica Minolta Opto Inc | マイクロスキャナおよびそれを備える光学機器 |
| JP2008271668A (ja) * | 2007-04-18 | 2008-11-06 | Alps Electric Co Ltd | アクチュエータ |
| JP2008271667A (ja) * | 2007-04-18 | 2008-11-06 | Alps Electric Co Ltd | アクチュエータ |
| JP2009002978A (ja) * | 2007-06-19 | 2009-01-08 | Konica Minolta Opto Inc | マイクロスキャナ及びそれを備えた光走査装置。 |
| JP2009003165A (ja) * | 2007-06-21 | 2009-01-08 | Konica Minolta Opto Inc | マイクロスキャナ及びそれを備えた光走査装置。 |
| JP2009118682A (ja) * | 2007-11-08 | 2009-05-28 | Nikon Corp | マイクロアクチュエータ、マイクロアクチュエータアレー、マイクロアクチュエータ装置、光学デバイス、表示装置、露光装置、及びデバイス製造方法 |
| WO2009096330A1 (ja) * | 2008-01-28 | 2009-08-06 | Konica Minolta Holdings, Inc. | 駆動装置および撮像装置 |
| US8477398B2 (en) | 2009-05-11 | 2013-07-02 | Panasonic Corporation | Optical reflection element |
| JP2013200404A (ja) * | 2012-03-23 | 2013-10-03 | Stanley Electric Co Ltd | 光偏向器 |
| JP2014232180A (ja) * | 2013-05-28 | 2014-12-11 | スタンレー電気株式会社 | 光偏向器 |
| JP2016527545A (ja) * | 2013-06-27 | 2016-09-08 | オプリンク コミュニケーションズ エルエルシー | Ｍｅｍｓファイバ光スイッチ |
| JP5654158B1 (ja) * | 2014-05-07 | 2015-01-14 | 株式会社トライフォース・マネジメント | 可動反射素子および二次元走査装置 |
| JP2015215586A (ja) * | 2014-11-19 | 2015-12-03 | 株式会社トライフォース・マネジメント | 可動反射素子 |
| KR20180015743A (ko) | 2015-06-09 | 2018-02-13 | 다이-이치 세이코 가부시키가이샤 | 가동 반사 장치 및 이것을 이용한 반사면 구동 시스템 |
| US10473917B2 (en) | 2015-06-09 | 2019-11-12 | Dai-Ichi Seiko Co., Ltd. | Movable reflection device and reflection surface drive system utilizing same |
| JP2017167558A (ja) * | 2017-05-22 | 2017-09-21 | オプリンク コミュニケーションズ エルエルシー | Ｍｅｍｓファイバ光スイッチ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US20030168942A1 (en) | 2003-09-11 |
| JP4146127B2 (ja) | 2008-09-03 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4146127B2 (ja) | 圧電アクチュエータ及びそれを備えた電子機器 | |
| KR100695170B1 (ko) | 압전 액츄에이터를 사용하는 마이크로 미러 | |
| US8729770B1 (en) | MEMS actuators with combined force and bi-directional rotation | |
| KR100743315B1 (ko) | 마이크로 미러 디바이스 및 이를 이용한 마이크로 미러디바이스 어레이 | |
| EP1130442B1 (en) | Optical switches using dual axis micromirrors | |
| US8659811B2 (en) | Actuator, optical scanner and image forming device | |
| JP4193817B2 (ja) | アクチュエータ | |
| US8717652B2 (en) | Micro scanner device and method for controlling micro scanner device | |
| US20080054757A1 (en) | Tip-tilt actuator | |
| US7436575B2 (en) | Small thin film movable element, small thin film movable element array and method of driving small thin film movable element array | |
| US20080304124A1 (en) | Actuator, optical scanner and image forming device | |
| US20150217990A1 (en) | Electrostatically driven mems device | |
| EP3697725B1 (en) | Five degrees of freedom mems actuator for autofocus, optical image stabilization, and super resolution imaging in miniature cameras | |
| CN101750734A (zh) | 振动镜部件 | |
| JPH06180428A (ja) | 静電力駆動小型光スキャナ | |
| WO2005102909A1 (ja) | アクチュエータ | |
| JP4739359B2 (ja) | 圧電アクチュエータ及びそれを備えた電子機器 | |
| JP5217489B2 (ja) | 駆動機構 | |
| JP2002202465A (ja) | 固定反射鏡と枢動可能な反射鏡とを有する支持構造を用いる光スイッチ | |
| JP2001075042A (ja) | 光偏向器 | |
| JP2005070791A (ja) | 微小電子機械システム（ｍｅｍｓ）走査ミラー装置 | |
| US7184619B2 (en) | Beam direction module and optical switch using the same | |
| JP2008015256A (ja) | 光偏向器 | |
| JP2003258330A (ja) | 変位拡大機能を備えた圧電アクチュエータ及びこれを備えた電子機器 | |
| CN111258057A (zh) | 一种扫描驱动器及光纤扫描器 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20040304 |
|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20041119 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20071214 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20071225 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080215 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080401 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080522 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080617 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080619 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110627 Year of fee payment: 3 |
|
| RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20091108 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110627 Year of fee payment: 3 |
|
| RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R3D03 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120627 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130627 Year of fee payment: 5 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |