JP2016527545A - Memsファイバ光スイッチ - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (15)
- 光スイッチであって、
1つ以上の入力ファイバおよび複数の出力ファイバを含む、アレイ内に位置付けられた複数の光ファイバと、
入力ファイバからの光を前記複数の出力ファイバのうちの特定の目標の出力ファイバに制御可能に反射するように構成された微小電気機械(MEMS)ミラーと、を備え、該MEMSミラーの位置が、前記複数の出力ファイバのうちの第1の目標の出力ファイバから第2の目標の出力ファイバに切り替えるように制御可能であり、前記MEMSミラーの位置が、複数の垂直方向に千鳥状の櫛ドライブを使用して制御される、光スイッチ。 - 前記ミラーが、前記複数のファイバのうちのいずれの他のファイバも横断しない、前記第1の目標の出力ファイバから前記第2の目標の出力ファイバへの切り替え軌道を提供するように制御される、請求項1に記載の光スイッチ。
- 前記MEMSミラーが2つの軸を含み、各軸が、前記MEMSミラーを正および負両方のxおよびy座標方向で回転させるために、時計回り方向および反時計回り方向の両方で回転することができる、請求項1に記載の光スイッチ。
- 第1の軸が第2の軸の構造と共に全体として回転し、かつ該第2の軸が独立して回転し得るように、該第2の軸が前記第1の軸の構造内に位置付けられるように、前記軸が構造化される、請求項2に記載の光スイッチ。
- 特定の垂直方向に千鳥状の櫛ドライブアクチュエータが上部櫛形電極および下部櫛形電極を備え、前記上部および下部電極が、前記上部および下部櫛形電極間に電位差が印加されると、力が前記上部および下部櫛形電極を一緒に引き寄せ、特定の軸に沿う前記MEMSミラーの対応する回転を引き起こすような関係で上部および下部空間に分布される、請求項1に記載の光スイッチ。
- 前記垂直方向に千鳥状の櫛ドライブアクチュエータが、前記MEMSミラーから反射された光が前記第2の目標の出力ファイバに方向付けられるように、前記MEMSミラーの角度位置を変化させるように、選択的に駆動される、請求項4に記載の光スイッチ。
- 前記複数の光ファイバがフェルール内に位置付けられる、請求項1に記載の光スイッチ。
- 前記複数の光ファイバと前記MEMSミラーとの間に位置付けられたレンズをさらに備える、請求項1に記載の光スイッチ。
- 前記MEMSミラーを制御するための制御回路をさらに備える、請求項1に記載の光スイッチ。
- 光スイッチであって、
1つ以上の入力ファイバおよび複数の出力ファイバを含む、アレイ内に位置付けられた複数の光ファイバと、
入力ファイバからの光を前記複数の出力ファイバのうちの特定の目標の出力ファイバに制御可能に反射するように構成された微小電気機械(MEMS)ミラーと、を備え、該MEMSミラーの位置が、前記複数の出力ファイバのうちの第1の目標の出力ファイバから第2の目標の出力ファイバに切り替えるように制御可能であり、前記MEMSミラーの位置が、該MEMSミラーに結合された複数のバイモルフサスペンションアームを使用して制御される、光スイッチ。 - 前記MEMSミラーが、特定のサスペンションアームの変形に基づいて+x、−x、+y、または−y軸に沿って回転させられる、請求項10に記載の光スイッチ。
- 各サスペンションアームが、異なる熱膨張係数を有するバイモルフ材料を含み、前記サスペンションアームの変形が、前記バイモルフ材料を加熱するために前記サスペンションアームを通して電流を印加することによって引き起こされる、請求項11に記載の光スイッチ。
- 各サスペンションアームが、バイモルフ材料の二重S字状の折り畳み構造を含む、請求項11に記載の光スイッチ。
- 前記MEMSミラーが、+/−xおよびy軸に沿うMEMSミラーの4方向回転を提供する、4対のサスペンションアームによって制御される、請求項11に記載の光スイッチ。
- 前記MEMSミラーがハイブリッド駆動機構を形成するための第2の駆動機構を含み、前記第2の駆動機構が静電気または圧電気である、請求項10に記載の光スイッチ。
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---|---|---|---|---|
CN110954994A (zh) * | 2019-12-18 | 2020-04-03 | 华中科技大学 | 一种光开关 |
CN111596413A (zh) * | 2020-04-12 | 2020-08-28 | 桂林电子科技大学 | 一种基于mems反射器的多芯光纤开关 |
CN111596411A (zh) * | 2020-04-12 | 2020-08-28 | 桂林电子科技大学 | 一种基于阵列mems反射器的多芯光纤扇入扇出器件 |
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Citations (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002156593A (ja) * | 2000-09-28 | 2002-05-31 | Xerox Corp | 絶縁体上シリコンの基板上の光スイッチの構造体 |
US20020093720A1 (en) * | 2001-01-17 | 2002-07-18 | Optical Coating Laboratory, Inc. | Optical cross-connect with magnetic micro-electro-mechanical actuator cells |
US20020094152A1 (en) * | 2001-01-17 | 2002-07-18 | Feierabend Patrick E. | Optical switch with low-inertia micromirror |
JP2003057574A (ja) * | 2001-08-20 | 2003-02-26 | Fujitsu Ltd | マイクロミラー素子の製造方法およびこれにより製造されるマイクロミラー素子 |
JP2003101479A (ja) * | 2001-06-22 | 2003-04-04 | Lucent Technol Inc | プログラマブルマルチプレクサとディマルチプレクサ |
JP2003209981A (ja) * | 2002-01-16 | 2003-07-25 | Seiko Instruments Inc | 圧電アクチュエータ及びそれを備えた電子機器 |
JP2003529108A (ja) * | 2000-03-24 | 2003-09-30 | オニックス マイクロシステムズ インコーポレイテッド | 操作及び/又は感知のための垂直静電櫛形ドライブをもつ二次元ジンバル型走査アクチュエータ |
JP2005043544A (ja) * | 2003-07-25 | 2005-02-17 | Ricoh Co Ltd | 波面収差補正ミラーおよび光ピックアップ |
JP2005266712A (ja) * | 2004-03-22 | 2005-09-29 | Hitachi Cable Ltd | 光スイッチ |
US7190509B2 (en) * | 2001-11-07 | 2007-03-13 | Trex Enterprises Corp. | Optically addressed MEMS |
JP2009229916A (ja) * | 2008-03-24 | 2009-10-08 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | マイクロミラー素子およびマイクロミラーアレイ |
US20100073789A1 (en) * | 2008-09-24 | 2010-03-25 | Border John N | Low cost moveable mirror |
US20110292490A1 (en) * | 2009-05-29 | 2011-12-01 | University Of Florida Research Foundation, Inc. | Method and apparatus for providing high-fill-factor micromirror/micromirror arrays with surface mounting capability |
US20120099176A1 (en) * | 2010-10-20 | 2012-04-26 | Zhou Tiansheng | Micro-electro-mechanical systems micromirrors and micromirror arrays |
JP2013120376A (ja) * | 2011-12-09 | 2013-06-17 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Memsミラー装置の制御方法およびmemsミラー装置 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6865311B2 (en) * | 2001-11-02 | 2005-03-08 | Oplink Communications, Inc. | Re-configurable dispersion compensation module (RDCM) |
US6873757B2 (en) * | 2002-05-31 | 2005-03-29 | Oplink Communications, Inc. | Multiple optical switches using refractive optics |
US7450801B2 (en) * | 2004-08-24 | 2008-11-11 | Lucent Technologies Inc. | Apparatus for free-space switching between planar lightwave circuits |
JP4528112B2 (ja) * | 2004-12-27 | 2010-08-18 | 富士通株式会社 | 光スイッチ並びに光スイッチの制御装置及び制御方法 |
JP4476140B2 (ja) * | 2005-03-07 | 2010-06-09 | 富士通株式会社 | 波長選択スイッチ |
CN101216498A (zh) * | 2007-12-29 | 2008-07-09 | 紫光通讯科技有限公司 | 一种双轴差动电容式微机械加速度计 |
CN101359093A (zh) * | 2008-09-18 | 2009-02-04 | 上海交通大学 | 基于soi基板的二维光学可动平台装置及其制造方法 |
CN102645705A (zh) * | 2011-02-21 | 2012-08-22 | 华为技术有限公司 | 一种波分复用器、光开关装置及光开关控制方法 |
-
2013
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Patent Citations (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003529108A (ja) * | 2000-03-24 | 2003-09-30 | オニックス マイクロシステムズ インコーポレイテッド | 操作及び/又は感知のための垂直静電櫛形ドライブをもつ二次元ジンバル型走査アクチュエータ |
JP2002156593A (ja) * | 2000-09-28 | 2002-05-31 | Xerox Corp | 絶縁体上シリコンの基板上の光スイッチの構造体 |
US20020093720A1 (en) * | 2001-01-17 | 2002-07-18 | Optical Coating Laboratory, Inc. | Optical cross-connect with magnetic micro-electro-mechanical actuator cells |
US20020094152A1 (en) * | 2001-01-17 | 2002-07-18 | Feierabend Patrick E. | Optical switch with low-inertia micromirror |
JP2003101479A (ja) * | 2001-06-22 | 2003-04-04 | Lucent Technol Inc | プログラマブルマルチプレクサとディマルチプレクサ |
JP2003057574A (ja) * | 2001-08-20 | 2003-02-26 | Fujitsu Ltd | マイクロミラー素子の製造方法およびこれにより製造されるマイクロミラー素子 |
US7190509B2 (en) * | 2001-11-07 | 2007-03-13 | Trex Enterprises Corp. | Optically addressed MEMS |
JP2003209981A (ja) * | 2002-01-16 | 2003-07-25 | Seiko Instruments Inc | 圧電アクチュエータ及びそれを備えた電子機器 |
JP2005043544A (ja) * | 2003-07-25 | 2005-02-17 | Ricoh Co Ltd | 波面収差補正ミラーおよび光ピックアップ |
JP2005266712A (ja) * | 2004-03-22 | 2005-09-29 | Hitachi Cable Ltd | 光スイッチ |
JP2009229916A (ja) * | 2008-03-24 | 2009-10-08 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | マイクロミラー素子およびマイクロミラーアレイ |
US20100073789A1 (en) * | 2008-09-24 | 2010-03-25 | Border John N | Low cost moveable mirror |
US20110292490A1 (en) * | 2009-05-29 | 2011-12-01 | University Of Florida Research Foundation, Inc. | Method and apparatus for providing high-fill-factor micromirror/micromirror arrays with surface mounting capability |
US20120099176A1 (en) * | 2010-10-20 | 2012-04-26 | Zhou Tiansheng | Micro-electro-mechanical systems micromirrors and micromirror arrays |
JP2013120376A (ja) * | 2011-12-09 | 2013-06-17 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Memsミラー装置の制御方法およびmemsミラー装置 |
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